技術(shù)編號：5450501
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種真空領(lǐng)域中的真空泵。特別涉及一種單機能達(dá)到超高真空極限的超臨界真空泵?，F(xiàn)有的單機真空泵的極限10-2帕。如果采用現(xiàn)有的單機真空泵對密閉的容器抽氣，難以達(dá)到超高真空度?，F(xiàn)有的技術(shù)必須使用幾種泵的真空機組；相繼抽氣，才能達(dá)到超高真空。其原因是單機真空泵抽密閉的容器中的氣體，抽到一定的真空度10-4帕?xí)r，容器中仍有2.4×106(個)氣體分子，單機真空泵抽密閉容器的氣體分子，容器中氣體稀薄達(dá)10-2帕，這時氣體分子間距加大，隨著壓力的變化，單機真空...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。