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基于雙層水冷動(dòng)磁鋼氣磁結(jié)合氣浮雙工件臺(tái)矢量圓弧換臺(tái)方法及裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9666511

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光刻機(jī)是極大規(guī)模集成電路制造中重要的超精密裝備之一。作為光刻機(jī)關(guān)鍵子系統(tǒng)的工件臺(tái)在很大程度上決定了光刻機(jī)的分辨率、套刻精度和產(chǎn)率。產(chǎn)率是光刻機(jī)發(fā)展的主要追求目標(biāo)之一。在滿足分辨率和套刻精度的條件下,提尚工件臺(tái)運(yùn)彳丁效率進(jìn)而提尚提尚光刻機(jī)廣率是工件臺(tái)技術(shù)的發(fā)展方向。提尚工件臺(tái)運(yùn)彳丁效率最直接的方式就是提高工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)加速度和速度,但是為保證原有精度,速度和加速度不能無(wú)限制提高。最初的工件臺(tái)只有一個(gè)硅片承載裝置,光刻機(jī)一次只能處理一個(gè)硅片,全部工序串行處理,生...
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