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技術(shù)編號：1844785

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本實用新型涉及一種玻璃基板的加工機構(gòu)，尤其涉及一種基板與掩膜板的自動對位機構(gòu)。背景技術(shù)玻璃基材等薄板已廣泛用于制造IXD-TFT顯示屏、有機發(fā)光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應(yīng)用及其他類似者。于此類應(yīng)用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管， 這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續(xù)步驟，包括如化學(xué)氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質(zhì)蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程。用于處理玻璃基材的系統(tǒng)可包括一或多個制程處理室，以進行前述所述制...
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