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基板檢測裝置的制作方法

文檔序號:11854809閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基板檢測裝置,包括:

支撐架;

設(shè)置在所述支撐架上的重力感應(yīng)模塊;

信號轉(zhuǎn)換模塊,與所述重力感應(yīng)模塊連接,獲得所述重力感應(yīng)模塊的壓力信息并將其轉(zhuǎn)換為電信號;

控制模塊,與所述信號轉(zhuǎn)換模塊連接,根據(jù)所述電信號判斷所述基板的狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述支撐架的數(shù)量為多個,每個所述支撐架皆包括一橫桿和多個豎桿,每個豎桿的一端連接在所述橫桿上。

3.如權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述多個豎桿均勻排布。

4.如權(quán)利要求3所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述橫桿和所述豎桿一體成型。

5.如權(quán)利要求3所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述橫桿和所述豎桿可拆卸的組裝在一起。

6.如權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述重力感應(yīng)模塊設(shè)置在所述豎桿的另一端。

7.如權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述重力感應(yīng)模塊通過一信號線與所述信號轉(zhuǎn)換模塊相連接。

8.如權(quán)利要求7所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述支撐架為中空結(jié)構(gòu),所述信號線穿設(shè)在所述支撐架中。

9.如權(quán)利要求7所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述支撐架為實心結(jié)構(gòu),所述信號線貼附在所述支撐架表面。

10.如權(quán)利要求1所述的基板檢測裝置,其特征在于,所述重力感應(yīng)模塊通過無線信號與所述信號轉(zhuǎn)換模塊相通訊。

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