專利名稱：：多羥基化合物和含有其的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種多羥基化合物和含有該多羥基化合物的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
：化學(xué)放大型抗蝕劑組合物用于半導(dǎo)體微制造。在半導(dǎo)體微制造中，希望形成具有高分辨率、高敏感性和良好線邊^(qū)糙度的圖案，預(yù)計(jì)化學(xué)放大型抗蝕劑組合物能提供這樣的圖案。JP2006-58739A公開了一種含多羥基化合物的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，其中至少一個(gè)接到苯基上的羥基被1-乙氧基乙基所保護(hù)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個(gè)目的是提供能提供化學(xué)放大型抗蝕劑組合物的新型多羥基化合物，其中所述化學(xué)放大型抗蝕劑組合物提供具有良好分辨率和良好線邊緣1度的圖案。本發(fā)明的另一目的是提供含有所述多羥基化合物的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。通過下面的描述，本發(fā)明的這些及其他目的將顯而易見。本發(fā)明涉及如下內(nèi)容<1>式(I)所代表的多羥基化合物其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，選自R1、R2、R3、R4和R5的至少一個(gè)為式(II)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所代表的基團(tuán)，一fA+一03S-i——CO廣U—(II)其中(^和(32各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被-O畫、畫S-、-NH畫、-CO國、-CO畫O-或國NR國所代替，其中R代表烷基，A+代表有機(jī)反離子，f1/不3、？^""x叩U^其中X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)—CO—0—一0—CHy0——0—CH了0—CO——0—fH—0"'''CH3ZM戈表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前"ilA當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，W可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基；<2>根據(jù)<1>的多羥基化合物，其中選自R1、R2、R3、W和R5的至少一個(gè)為式(III)所代表的基團(tuán)；<3>根據(jù)<1>或<2>的多羥基化合物，其中X1和X2代表氫原子，iH化O,W為-CO國O國；<4>根據(jù)<1>到<3>中任一項(xiàng)的多羥基化合物，其中(^和(^為氟原子；<5>根據(jù)<1>到<4>中任一項(xiàng)的多羥基化合物，其中所述有機(jī)反離子為選自式(VIa)所代表的陽離子、式(VIb)所代表的陽離子和式(VIc)所代表的陽離子中的至少一種陽離子，CH3-c一o—co—p3—一其中P、pZ和pS各自獨(dú)立地代表氫原子、羥基、Cl-C12烷基或C1-C12烷紘其中P"和ps各自獨(dú)立地代表氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12其中pG和P各自獨(dú)立地代表Cl-C12烷基或C3-C12環(huán)烷基，或者P6和P連接形成C3-C12二價(jià)無環(huán)烴基，所述二價(jià)無環(huán)烴基與相鄰的S+一起形成環(huán)，且所述二價(jià)無環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CHr任選地被-CO-、-O-或-S-所代替，p8代表氫原子，p9代表可被取代的Cl-C12烷基、C3-C12環(huán)烷基或C6-C10芳基，或者PS和P'連接形成二價(jià)烴基，所述二價(jià)烴基與相鄰的-CHCO-—起形成2-氧代環(huán)烷基，且所述二價(jià)烴基中的至少一個(gè)-CHr可被-CO-、-O-或-S-所代替；<6>根據(jù)<1>到<5>中任一項(xiàng)的多羥基化合物，其中式(I)所代表的多羥基化合物的分子量為500-5,000;<7>—種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，所述組合物包含根據(jù)<1>到<6>中任一項(xiàng)的式(I)所代表的多羥基化合物和溶劑；<8>根據(jù)<7>的組合物，其中所述組合物還包含選自式(I，-1)所代表的化合物、式(I，-2)所代表的化合物、式(I，-3)所代表的化合物和式(1，-4)所代表的化合物中的至少一種化合物，21^55qr22r61(pr23(I'-l)其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氳原子或C1-C4烷基，且選自R21、R22、R23、R24和R25的至少一個(gè)為式(III)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子，其中X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)—CO-0——0—CHyO——0-C%"0—CO—~0—CH—O———C一0—CO—,,,CH3,、ZM義表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前M當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，^可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基，(1'-2>其巾R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R"和RW的定義同上，OH(i'-3)A72其中R71、R72和R"各自獨(dú)立地代表氫原子、Cl-C4烷基、C2-C4烯13基、C3-C8環(huán)烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，議74代表氫原子或羥基，OH其中R"代表氫原子、C1-C4烷基、C2-C4烯基、C3-C8環(huán)烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，R"代表氳原子或曱基；<9>根據(jù)<7>的組合物，其中所述組合物還包含式(I，-l)和(I，-2)所代表的化合物；<10>根據(jù)<7>的組合物，其中所述組合物還包含式(I，-1)、(1，-2)和(l，-3)所代表的化合物；<11>根據(jù)<7>到<10>中任一項(xiàng)的組合物，其中所述組合物包含兩種或更多種式(i)所代表的多羥基化合物；<12>—種制備式(I)所代表的多羥基化合物的方法，其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R6°、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，選自R1、R2、R3、！^和R5的至少一個(gè)為式(n)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所^f戈表的基團(tuán)，A+—03S-i——CO^~U—(II)其中(^和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表Cl-C20二價(jià)烴基，A+代表有機(jī)反離子，{3、？^3^—十9十w—纟y、(iii)^U乂VL^其中X1、X2、XS和X"各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)—c0—0——0-ch歹0—一0—c%0~co~~0~ch"0—-c—o—co—,,,ch3,ch3ZM戈表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，1tiljl當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，W可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基，所述方法包括使式(VII)所代表的化合物與式(VIII)所代表的化合物在堿的存在下反應(yīng)，(VII)其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67的定義同上，選自R11、R12、R13、R"和R15的至少一個(gè)為氫原子，其余的為氫原子或上面提到的式(III)所代表的基團(tuán)，_《a+—03s-6——co廣u—l(viii)其中Q1、Q2、U和A+的定義同上，L代表卣素原子、Cl-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰IL^，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替；<13>式(VIII)所代表的化合物，一fa+—03s-1——co「u—l(vi工i)其中(^和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被-O國、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替，其中R代表烷基，A+代表有機(jī)反離子，L代表鹵素原子、C1-C12烷基磺酰錄或C6-C12芳基磺酰氧基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替；<14>一種制備式(VIII)所代表的化合物的方法，_fa+—03s-6——co^~~u—l(vii工)其中(^和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被-O隱、國S誦、-NH畫、國CO-、畫CO-O-或畫NR-所代替，其中R代表烷基，A+代表有機(jī)反離子，L代表鹵素原子、C1-C12烷基磺酰猛或C6-C12芳基磺酰氡基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替，所述方法包括使式(X)所代表的化合物與式(XI)所代表的化合物反應(yīng)，M+—03S-i——CO^~U—L(X)其中Qt和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被畫O畫、國S國、-NH隱、-CO-、國CO畫O國或-NR畫所代替，其中R代表烷基，M+代表Li+、Na+、K+或Ag+，L代表卣素原子、C1-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳差^磺酰氡基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替，一z(xi)其中A+的定義同上，Z-代表F、Cr、Br-、r、BF4-、AsF6_、SbF,、PF6或C104;<15>式(X)所代表的化合物，一fm+—o3s-<!:—co廣u—L(x)其中(^和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被畫O畫、國S國、國NH-、國CO-、畫CO畫O畫或-NR畫所代替，其中R代表烷基，16M+代表Li+、Na+、K+或Ag+,L代表卣素原子、C1-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰氧基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替；<16>—種制備式(X)所代表的化合物的方法，—fM+—03S-6——~U—L(X)其中(^和(/各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被-O畫、畫S-、-NH陽、-CO-、-CO畫O誦或畫NR-所代替，其中R代表烷基，M+代表Li+、Na+、K+或Ag+,L代表離素原子、C1-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰氡基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替，所述方法包括使式(XII)所代表的醇化合物與式(XIII)所代表的羧^應(yīng)，HO——U—L(XII)其中U和L的定義同上，M+_03S-(|:—C02H(XIII)Q2其中Q1、(^和M+的定義同上。具體實(shí)施例方式首先，舉例說明式(I)所代表的本發(fā)明的多羥基化合物(下文簡(jiǎn)稱為多羥基化合物(I))。在多羥基化合物(I)中，R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R6°、R61、R62、R63、R64、R65、R66和1167各自獨(dú)立地代表氬原子或C1-C4烷基。Cl-C4烷基的實(shí)例包括曱基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基和叔丁基，優(yōu)選甲基。從多羥基化合物(I)的制備角度出發(fā)，R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67優(yōu)選為氬原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R"優(yōu)選為甲基。在多羥基化合物(I)中，選自R1、R2、R3、R"和R5的至少一個(gè)為式(II)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所代表的基團(tuán)，9+_03S-i-COj~u—(I工)(下文簡(jiǎn)稱為基團(tuán)(II))，《2、P(III)(下文簡(jiǎn)稱為基團(tuán)(III))。在基團(tuán)(II)中，Q1和()2各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基。Cl-C6全氟烷基的實(shí)例包括三氟甲基、五氟乙基、七氟丙基、九氟丁基、十一氟戊基和十三氟己基，優(yōu)選三氟甲基。(^和(^各自獨(dú)立地優(yōu)選代表氟原子或三氟甲基，(^和(32更優(yōu)選為氟原子。在基團(tuán)(II)中，U代表C1-C20二價(jià)烴基。Cl-C20二價(jià)烴基的至少一個(gè)亞曱基可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替，其中R代表烷基。R所代表的烷基的實(shí)例包括C1-C4烷基，例如曱基、乙基、丙基、異丙基和丁基。C1-C20二價(jià)烴基的實(shí)例包括下式所代表的C1-C20直鏈或支鏈亞烷基——CH2—-CH2CH2--(CH2)'2/3-(CH2)'2/4"(CH2)《CH2>'2'6(CH2).2/7(CH2)2/8"(CH2)'2'9_(CH2)'2/10<CH2>'2'11_(CH2)■2/12"<CH2)2/13(CH2>-(CH2)'2J15_(CH2)16—'2/i7-(CH,)'2718■2/19(CH2)'2y20<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>~<CH2)('(CH2)2——(CH2):-(CH2)3—和下式所代表的其中至少一個(gè)亞甲基被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替的C1-C20二價(jià)烴基_CH2CH2OCH2CH2--(CH2CH20}3CH2CH2--(CH2CH20)5CH2CH2-_(CH2CH20)4CH2CH2'_(CH2CH20)5CH2CH2-一CH2CH2SCH2CH2CH2CH2S(CH2CH2S)4CH2CH2.CH3——CH2CH2S(CH2CH2S)2CH2CH2.CH2(CH2)5—N——(CH2)5CH2—-CH2CH2OCH2CH2SCH2CH2OCH2CH2CH3CH2(CH2)8—N-(CH2)8CH2—(CH2)5—0——C-(CH2〉4——0-(CH2)4-C—(CH2)4-(CH2)12_0——C-(CH2)2/4其中，優(yōu)選C1-C20直鏈或支鏈亞烷基，更優(yōu)選C2-C16直鏈或支鏈亞烷基。在基團(tuán)(II)中，A+代表有機(jī)反離子。有機(jī)反離子的實(shí)例包括式(VIa)所代表的陽離子(Via)其中P、pz和P"各自獨(dú)立地代表氫原子、羥基、C1-C12烷基或Cl-C12烷IL^(下文簡(jiǎn)稱為陽離子(VIa》，式(VIb)所代表的陽離子"p5(vib)其中P"和ps各自獨(dú)立地代表氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷H&(下文簡(jiǎn)稱為陽離子(VIb》，和式(VIc)所代表的陽離子》一C,H—C—P9(VIc)其中p6和p7各自獨(dú)立地代表Cl-C12烷基或C3-C12環(huán)烷基，或者P6和P連接形成C3-C12二價(jià)無環(huán)烴基，所述C3-C12二價(jià)無環(huán)烴基與相鄰的S+—起形成環(huán)，且所述二價(jià)無環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CHr任選地被-CO-、-O-或-S-所代替，p8代表氫原子，p9代表可被取代的C1-C12烷基、C3-C12環(huán)烷基或C6-C10芳基，或者ps和ps連接形成二價(jià)烴基，所述二價(jià)烴基與相鄰的-CHCO-—起形成2-氧代環(huán)烷基，且所述二價(jià)烴基中的至少一個(gè)-CH2-可被-CO-、-O-或-S-所代替(下文簡(jiǎn)稱為陽離子(VIc))。陽離子(VIa)、(VIb)和(VIc)中C1-C12烷基的實(shí)例包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、辛基和2-乙基己基。陽離子(VIa)和(VIb)中C1-C12烷IL^的實(shí)例包括甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、丁lL基、異丁氣基、仲丁氡基、叔丁氡基、戊氡基、己氡基、辛氧基和2-乙基己氡基。3陽離子(VIc)中C3-C12環(huán)烷基的實(shí)例包括環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、環(huán)辛基和環(huán)癸基。通過連接P6和P7形成的C3-C12二價(jià)無環(huán)烴基的實(shí)例包括三亞甲基、四亞曱基和五亞甲基。相鄰的S+與二價(jià)無環(huán)烴基一起形成的環(huán)基的實(shí)例包括四亞曱基銳基、五亞曱基41&和氧二亞乙基瓶基。陽離子(VIc)中C6-C10芳基的實(shí)例包括苯基、曱苯基、二甲苯基和萘基。通過連接P8和P9形成的二價(jià)烴基的實(shí)例包括Cl-C6亞烷基，例如亞甲基、亞乙基、三亞甲基、四亞甲基和五亞甲基，相鄰的-CHCO-與二價(jià)烴基一起形成的2-氧代環(huán)烷基的實(shí)例包括2-氧代環(huán)戊基和2-氧代環(huán)己基。作為有機(jī)反離子，優(yōu)選陽離子(VIa)，并優(yōu)選式(VId)所代表的陽離子(VId)其中P22、P23和p24各自獨(dú)立地代表氫原子或Cl-C4烷基。式(VId)中Cl-C4烷基的實(shí)例包括曱基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基和叔丁基。陽離子(VIa)的實(shí)例包括如下22<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>陽離子(VIc)的實(shí)例包括如下:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula>在基團(tuán)(III)中，X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基。C1-C4MJ^的實(shí)例包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基和叔丁基。X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地優(yōu)選代表氫原子、甲基或乙基。X1、X2、X3和X4更優(yōu)選代表相同的基團(tuán)。X1、X2、X3和X4全都更優(yōu)選代表氫原子、甲基或乙基，X1、X2、X3和X4全都尤其優(yōu)選代表氳原子。在基團(tuán)(III)中，n代表0-3的整數(shù)，優(yōu)選整數(shù)0或1，更優(yōu)選0。W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)—CO-O—一O—CHyO——O-C%"0-CO——0—H-。一,.,,CH3優(yōu)選代表-co-o-。在基團(tuán)(ni)中，Z1代表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前l(fā)i當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，W可為氫原子。Cl-C6烷基的實(shí)例包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、叔丁基、戊基、異戊基和己基。C3-C12環(huán)烷基的實(shí)例包括環(huán)丙基、環(huán)丁基、環(huán)戊基、環(huán)己基和環(huán)辛基。環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基。所述脂環(huán)炫基可具有單環(huán)或雙環(huán)或更多環(huán)，優(yōu)選具有雙環(huán)或更多環(huán)的脂環(huán)烴基。C3-C20脂環(huán)烴基的實(shí)例包括如下<formula>formulaseeoriginaldocumentpage29</formula>在以上式子中，一條具有開放端的直線示出從相鄰的-w-延伸的鍵，另一條具有開放端的直線示出w目鄰基團(tuán)w延伸的鍵。它們的優(yōu)選實(shí)例包括如下:它們尤其優(yōu)選的實(shí)例包括如下:X3>1D。在以上式子中，一條具有開放端的直線示出^目鄰的-W-延伸的鍵，另一條具有開放端的直線示出^M目鄰基團(tuán)W延伸的鍵。式VU所4&表的基團(tuán)的實(shí)例包括如下基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage32</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>在以上式子中，具有開放端的直線示出^M目鄰的-w-延伸的鍵。它們的優(yōu)選實(shí)例包括在以上式子中，具有開放端的直線示出^M目鄰的-w-延伸的鍵。~CH^~CO廠fY、作為基團(tuán)(III),優(yōu)選基團(tuán)?；鶊F(tuán)(III)的實(shí)例包括下列式(IIIa)到(IIIq)所代表的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage36</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage37</formula>優(yōu)選其中選自R1、R2、R3、R"和RS的至少一個(gè)為基團(tuán)(III)的多羥基化合物(I)。優(yōu)選其中選自R1、R2、R3、R"和RS的一到四個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(H)的多羥基化合物(I)，更優(yōu)選其中選自R1、R2、R3、R4和R5的一到三個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(II)的多羥基化合物(I)。多羥基化合物(I)的實(shí)例包括其中R1、R2、R3、J^和R5中的任一個(gè)為基團(tuán)(II)而其余四個(gè)基團(tuán)為氫原子的多羥基化合物(I);其中R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為基團(tuán)(II)而另三個(gè)基團(tuán)為氫原子且另一個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(III)的多羥基化合物(I);其中R1、R2、R3、114和115中的任一個(gè)為基團(tuán)(11)而另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子且其余兩個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(III)的多羥基化合物(I);其中R1、R2、R3、R"和RS中的任兩個(gè)為基團(tuán)(II)而其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子的多羥基化合物(i);其中R1、R2、R3、R-和RS中的任兩個(gè)為基團(tuán)(II)而另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子且另一個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(III)的多羥基化合物(I);其中R1、R2、R3、！^和R5中的任三個(gè)為基團(tuán)(II)而其余兩個(gè)基團(tuán)為氬原子的多羥基化合物(i);其中R1、R2、R3、！^和RS中的任四個(gè)為基團(tuán)(II)而另一個(gè)基團(tuán)為氫原子的多羥基化合物(I);和其中R1、R2、R3、！^和RS全部為基團(tuán)(II)的多羥基化合物(1)。多羥基化合物(I)的分子量通常為500-5,000,優(yōu)選600-3,000，更優(yōu)選600-2,000。多羥基化合物(I)的優(yōu)選實(shí)例包括這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為曱基，R1、R2、R3、W和R5中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R6>R65為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIb)所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIc)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIc)所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氬原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為曱基，R1、R2、R3、R"和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IId)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氬原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和R65為甲基，R1、R2、R3、議4和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIe)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIId)所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為曱基，R1、R2、R3、R"和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIf)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIe)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R6>R65為甲基，R1、R2、R3、R"和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIg)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIH)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為曱基，R1、R2、R3、議4和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIh)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIg)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R1、R2、R3、114和議5中的任兩個(gè)為上面提到的式(1印所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、R"和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIj)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIh)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、W和W中的任一個(gè)為上面提到的式(IIk)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(II1)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIi)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R"和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIm)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIj)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIn)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIk)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任三個(gè)為上面提到的式(IIo)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、議4和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIp)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(III1)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、議4和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIq)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIm)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R"和R66為氫原子，R51、R53、R55、R56、R59、R61、R63、1165和R67為曱基，R1、R2、R3、R"和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIr)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R54、R57、R58、R6°、1162和1164為氳原子，R51、R52、R53、R55、R56、R61、R63、R65、1166和議67為曱基，R"為叔丁基，R1、R2、R3、R"和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIs)所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為曱基，R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIt)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIn)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIu)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIo)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氳原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIv)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIp)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和R65為甲基，R1、R2、R3、議4和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIr)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIq)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIw)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，其余三個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R"和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIb)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；和這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和R65為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIx)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，其余兩個(gè)基團(tuán)為氫原子。接下來，舉例說明本發(fā)明的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。本發(fā)明的抗蝕劑組合物含多羥基化合物(I)和溶劑。本發(fā)明的抗蝕劑組合物可含兩種或更多種多羥基化合物(I)。多羥基化合物(I)自身不溶于或難溶于堿水溶液中而在酸的作用下將變得可溶于堿水溶液中。此外，通過用射線輻照自身或本發(fā)明的抗蝕劑組合物，多羥基化合物(I)產(chǎn)生酸。通過輻照本發(fā)明的抗蝕劑組合42物而產(chǎn)生的酸催化性地作用于多羥基化合物(I)，分裂式(II)所代表的基團(tuán)，從而使多羥基化合物(I)變得可溶于堿水溶液中。所用溶劑足以溶解各組分、具有適當(dāng)?shù)那г锼俾什⒃谌軇┱舭l(fā)后提供均勻、光滑的涂層?？梢允褂帽绢I(lǐng)域內(nèi)通常使用的溶劑。溶劑的實(shí)例包括二醇醚酯，如乙二醇一乙醚乙酸酯、乙二醇一甲醚乙酸酯和丙二醇單甲醚乙酸酯；無環(huán)酯，如乳酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯和丙酮酸乙酯；酮，如丙酮、甲基異丁基酮、2-庚酮和環(huán)己酮；和環(huán)酯，如，丁內(nèi)酯。這些溶劑可單獨(dú)使用或可將其中的兩種或更多種混合來使用。本發(fā)明的抗蝕劑組合物的優(yōu)選實(shí)例包括包含至少一種溶劑和至少一種多羥基化合物(I)的抗蝕劑組合物，所述至少一種溶劑選自上面提到的溶劑，所述至少一種多羥基化合物(I)選自這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、議4和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氬原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIa)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIb)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為曱基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIc)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIc)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和議65為曱基，R1、R2、R3、W和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IId)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIe)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIId)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIf)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIe)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R"和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIg)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIf)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R"和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIh)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIg)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、44R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIi)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為曱基，R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIj)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIh)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R1、R2、R3、W和W中的任一個(gè)為上面提到的式(IIk)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(II1)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIi)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、！^和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIm)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIj)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R"和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、議4和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIn)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIk)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、議4和R5中的任三個(gè)為上面提到的式(IIo)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和議65為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIp)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(III1)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為45氫原子，這樣的多羥基化合物(l),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R"和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIq)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIm)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R52、R54、R57、R58、R6°、R62、1^64和R"為氫原子，R51、R53、R55、R56、R59、R61、R63、1165和1167為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIr)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R54、R57、R58、R6°、1162和1164為氫原子，R51、R52、R53、R55、R56、R61、R63、R65、R66和R"為甲基，R"為叔丁基，R1、R2、R3、R"和RS中的任兩個(gè)為上面提到的式(IIs)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIt)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIn)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、W和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIu)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIo)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、R"和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIv)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIp)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、114和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIr)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIq)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、RS5、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、議4和RS中的任一個(gè)為上面提到的式(IIw)所代表的基團(tuán)，另一個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子，這樣的多幾基化合物(I)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、議63和1165為甲基，R1、R2、R3、W和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIb)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子，和這樣的多羥基化合物(I),其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氫原子，R53、RS5、R56、R59、R61、1163和1165為甲基，R1、R2、R3、議4和R5中的任一個(gè)為上面提到的式(IIx)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子。在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中，多羥基化合物(I)的量?jī)?yōu)選占多羥基化合物(I)與溶劑的總量的0.1-60重量％，更優(yōu)選0.1-50重量％。除多羥基化合物(I)外，本發(fā)明的抗蝕劑組合物優(yōu)選還含至少一種化合物，所述至少一種化合物選自式(IM)所代表的化合物:其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67的定義同上，且選自R21、R22、R23、R"和R25的至少一個(gè)為基團(tuán)(III)，其余的為氫原子(下文簡(jiǎn)稱為化合物d，國l)),式(I，-2)所代表的化合物:其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R"和R"的定義同上(下文簡(jiǎn)稱為化合物(I，-2))，式(I，-3)所代表的化合物OH(I'一3)其中R71、R72和R"各自獨(dú)立地代表氫原子、Cl-C4烷基、C2-C4烯基、C3-C8環(huán)烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，議74代表氬原子或羥基(下文簡(jiǎn)稱為化合物(1，-3))，和式(r-4)所4戈表的化合物OH其中R"代表氫原子、C1-C4烷基、C2-C4烯基、C3-C8環(huán)烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，R^代表氫原子或甲基(下文簡(jiǎn)稱為化合物d，闘4))。本發(fā)明的抗蝕劑組合物更優(yōu)選舍選自化合物(r-i)和化合物(r-2)的至少一種化合物，尤其優(yōu)選含化合物(r-i)和化合物(r-2)。本發(fā)明的48抗蝕劑組合物也優(yōu)選含化合物(r-3)和選自化合物(r-i)和化合物(r-2)的至少一種化合物。優(yōu)選其中選自R21、R22、R23、R"和R25的一到三個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(III)的化合物(I，-1)，更優(yōu)選其中選自R21、R22、R23、1124和1125的二或三個(gè)基團(tuán)為基團(tuán)(III)的化合物(I，-1)。在化合物(I，國1)中，R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67優(yōu)選為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1^3和1165優(yōu)選為甲基。化合物(I，-1)的實(shí)例包括這樣的化合物(I，-1),其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R21、R22、R23、1124和1125中的任三個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的化合物(I，-1)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R65為甲基，R21、R22、R23、議24和R"中的任三個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子；這樣的化合物(I，-1)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R6°、R62、R64、R66和R67為氳原子，R53、R55、R56、R59、R61、R"和R"為甲基，R21、R22、R23、R^和R"中的任兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIa)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子；和這樣的化合物(I，國l)，其中R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、1166和議67為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、R63和R65為甲基，R21、R22、R23、R"和R25中的任兩個(gè)基團(tuán)為上面提到的式(IIIb)所代表的基團(tuán)，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子。在化合物(I，-2)中，R51、R52、R54、R57、R58、R60、R62、R64、R66和R67優(yōu)選為氫原子，R53、R55、R56、R59、R61、1^3和1^5優(yōu)選為甲基.化合物(I，-2)的實(shí)例包括以下化合物在化合物(I，-3)和(I，-4)中，Cl-C4烷基的實(shí)例包括甲基、乙基、丙基、丁基和異丁基。C2-C4烯基的實(shí)例包括乙烯基、丙烯基和3-丁烯基。C3-C8環(huán)烷基的實(shí)例包括環(huán)戊基和環(huán)己基。C6-C12芳基的實(shí)例包括苯基和甲苯基。C7-C12芳烷基的實(shí)例包括千基。優(yōu)選其中R71、R72和R"各自獨(dú)立地代表氫原子、甲基或乙基的化合物(I，-3)。優(yōu)選其中R"代表氫原子、甲基或乙基的化合物(I，-4)?；衔?I，-3)和(I，-4)的實(shí)例包括以下化合物化合物(I，-3)可按US5,556,995中描述的方法制備?；衔?I，-4)可按US5,374,742中描述的方法制備。當(dāng)本發(fā)明的抗蝕劑組合物除多羥基化合物(I)和溶劑外還含至少一種選自化合物(r-i)、(i，-2)、(r-3)和(r-4)的化合物時(shí)，多羥基化合物(i)的量通常占多羥基化合物(i)、化合物(i，-i)、化合物(r-2)、化合物(i，-3)和化合物(I，-4)的總量的2-95重量％，優(yōu)選5-80重量％，更優(yōu)選10-60重量％。當(dāng)本發(fā)明的抗蝕劑組合物除多羥基化合物(I)和溶劑外還含化合物(r-i)和(r-2)時(shí)，化合物(r-i)的量通常占化合物(r-i)與化合物(r-2)的總量的1-99重量％。當(dāng)本發(fā)明的抗蝕劑組合物除至少一種選自化合物(r-i)和(r-2)的化合物外還含化合物(i，-3)時(shí)，化合物(r-3)的量通常占化合物(i，-i)、(r-2)和(r-3)的總量的1-99重量％。50雖然如上所述多羥基化合物(I)在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中也起到產(chǎn)酸劑的作用，但本發(fā)明的抗蝕劑組合物可含其他產(chǎn)酸劑。產(chǎn)酸劑可選自通過用射線輻照所述產(chǎn)酸劑自身或含所述產(chǎn)酸劑的抗蝕劑組合物而產(chǎn)生酸的各種化合物。產(chǎn)酸劑的實(shí)例包括馕鹽、卣代烷基三溱化合物、二砜化合物、含磺?；闹氐淄榛衔铩⒒撬狨セ衔锖秃酋ｋ被孽啺坊衔?。馕鹽的實(shí)例包括一個(gè)或更多個(gè)硝基包含在陰離子中的錯(cuò)鹽、一個(gè)或更多個(gè)酯基包含在陰離子中的4翁鹽。樣鹽的實(shí)例包括二苯基哄4翁三氣曱磺酸鹽、(4-曱絲苯基)苯M錄六氟銻酸鹽、(4-甲猛苯基)苯基碘镥三氟甲磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘镎四氟硼酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎮(zhèn)六氟磷酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘憤六氟銻酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)殃憤三氟甲磺酸鹽、三苯基锍六氟磷酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、三苯基锍(l-金剛烷基甲lL&)羰基二氟甲磺酸鹽、三苯基锍(3-羥甲基-1-金剛烷基)甲氧基二氟甲磺酸鹽、三苯基锍l-(六氫-2-氧代-3,5-亞甲基-2H-環(huán)戊[b]呋喃-6-基氧羰基)二氟甲磺酸鹽、三苯基锍(4-氧代-l-金剛烷氧基)羰基二氟甲磺酸鹽、三苯基锍(3-羥基-l-金剛烷基)甲氧基g二氟甲磺酸鹽、(4-甲基苯基)二苯基锍九氟丁磺酸鹽、(4-甲緣苯基)二苯基锍六氟銻酸鹽、(4-甲氧基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽、(4-甲基苯基)二苯基锍三氟曱磺酸鹽、(4-甲基苯基)二苯基锍十七氟辛磺酸鹽、(2,4，6-三曱基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽、(4-叔丁基苯基)二苯基锍三氟甲磺酸鹽、(4-苯基^)二苯基锍六氟磷酸鹽、(4-苯基苯硫基)二苯基锍六氟銻酸鹽、l-(2-萘酰甲基)四氫噻吩镎(thiolanium)六氟銻酸鹽、l-(2-萘酰甲基)四氫蓉吩錄、三氟甲磺酸鹽、(4-羥基-l-萘基)二甲基锍六氟銻酸鹽和(4-羥基-l-萘基)二曱基锍三氟甲磺酸鹽。卣代烷基三溱化合物的實(shí)例包括2-甲基-4，6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三溱、2,4，6-三(三氯甲基)-1,3,5-三溱、2-苯基-4,6-雙(三氯甲基)-1，3,5-三喚、2-(4-氯苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6畫雙(三氯甲基)-l，3,5-三溱、2-(4-甲緣-l-萘基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3，5國三嚷、2-(苯并[d[l，3間二氧雜環(huán)戊烯(dioxoran)-5-基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3,5-三嗪、2-(4-甲IL^苯乙烯基)-4,6-雙(三氯曱基)-l，3,5-三嗪、2-(3，4,5-三甲氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯曱基)-l，3,5-三嗪、2-(3，4-二甲氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嚷、2-(2,4-甲氧基苯乙烯51基)-4,6-雙(三氯甲基)-l,3，5-三嗪、2-(2-甲氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯曱基)-l,3，5-三噪、2-(4-丁氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪和2-(4-戊氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-l，3,5-三嗪?；撬狨セ衔锏膶?shí)例包括對(duì)曱苯磺酸l-苯甲酰-l-苯基甲酯(通常稱為"苯偶姻曱笨璜酸酯")、對(duì)曱M酸2-苯甲酰-2-羥基-2-苯基乙酯(通常稱為"a-羥甲基苯偶姻曱M酸酯，，)、三(甲磺酸)l,2，3-苯-三-酯、對(duì)甲笨璜酸2，6-二硝基節(jié)酯、對(duì)甲笨璜酸2-硝基千酯和對(duì)甲苯磺酸4-硝基千酯。二砜化合物的實(shí)例包括二苯基二砜和二(對(duì)曱苯基)二砜。含磺酰基的重氮甲烷化合物的實(shí)例包括雙(苯基磺酰)重氮甲烷、雙(4-氯苯基磺酰)重氮曱烷、雙(對(duì)甲苯基磺酰)重氮甲烷、雙(4-叔丁基苯基磺酰)重氮甲烷、雙(2，4-二甲苯基磺酰)重氮甲烷、雙(環(huán)己基磺酰)重氮甲烷和(苯甲酰)(苯基磺酰)重氮曱烷。含磺酰氣基的酰亞胺化合物的實(shí)例包括N-(苯基磺酰ltJO琥珀酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰HJO琥珀酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰lL&)鄰苯二甲酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)-5-降冰片烯-2，3-二羧酰亞胺、N-(三氟曱基磺酰氧基)萘酰亞胺和N-(10-樟腦磺酰Hi0萘酰亞胺。所述產(chǎn)酸劑可單獨(dú)使用或可使用其中兩種或更多種的混合物。當(dāng)本發(fā)明的抗蝕劑組合物含產(chǎn)酸劑時(shí)，產(chǎn)酸劑的量通常占多羥基化合物(I)與產(chǎn)酸劑的總和的1-98重量％，優(yōu)選3-95重量％,更優(yōu)選5-80重量％。在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中，由于曝光后延遲發(fā)生的酸失活引起的性能衰退可通#入有^化合物特別是含氮有M化合物作為猝滅劑來減小。含氮有M化合物的具體實(shí)例包括下式所^f戈表的胺化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage53</formula>其中f和f獨(dú)立地代表氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基，所述烷基、環(huán)烷基和芳基可被選自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的M和可被Cl-C6烷氧基所取代的Cl-C6烷氧基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代，f和T"獨(dú)立地代表氫原子、烷基、環(huán);^基、芳基或烷g，所述貌基、環(huán)烷基、芳基和烷氧基可被選自羥基、可被C1-C4烷基所取代的JL^和Cl-C6烷氡基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代，或者f和f與它們所連接的碳原子連接在一起形成芳環(huán)，T5代表氫原子、烷基、環(huán)烷基、芳基、烷HJ^或硝基，所述烷基、環(huán)烷基、芳基和烷氧基可被選自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的氨基和Cl-C6烷H^的至少一個(gè)基團(tuán)所取代，T6代表烷基或環(huán)烷基，所述烷基和環(huán)烷基可被選自羥基、可被C1-C4烷基所取代的M和Cl-C6烷氧基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代，以及A!代表-CO-、-NH-、-S-、-S-S-、至少一個(gè)亞甲基可被-0-所4戈替的亞烷基或至少一個(gè)亞甲基可被-0-所4戈替的亞烯基；和下式所代表的季銨堿，T丄T7OH其中T1、f和"的定義同上，F(xiàn)代表氫原子、烷基、環(huán)烷基或芳基，所述烷基和環(huán)烷基可被選自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的氨基和53Cl-C6烷氧基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代，所述芳基可被選自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的氨基、Cl-C6烷氧基和Cl-C4全氟烷基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代。T1、T2、T3、T4、T5、f和T7中的烷基優(yōu)選含約1-10個(gè)碳原子，更優(yōu)選含約l-6個(gè)^^、子?？杀籆1-C4烷基所取代的氨基的實(shí)例包括氨基、甲基氨基、乙基M、正丁基M、二甲基^J^和二乙基^J^可被C1-C6烷SJ^所取代的C1-C6烷氧基的實(shí)例包括曱氧基、乙氧基、正丙氡基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁緣、正戊緣、正己猛和2-曱錄乙錄。可被選自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的氨基和可被Cl-C6烷氧基所取代的Cl-C6烷氣基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代的烷基的具體實(shí)例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正辛基、正壬基、正癸基、2-(2-甲氧基乙氧基)乙基、2-幾基乙基、2-羥基丙基、2-H&乙基、4-^JO"基和6-Jl&己基。T1、T2、T3、T4、T5、16和T7中的環(huán)烷基優(yōu)選含約5-10個(gè)碳原子。可被選自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的氨基和Cl-C6烷氡基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代的環(huán)烷基的具體實(shí)例包括環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基和環(huán)辛基。T1、T2、T3、f和T5中的芳基優(yōu)選含約6-10個(gè)碳原子?？杀贿x自羥基、可被Cl-C4烷基所取代的氨基和Cl-C6烷氧基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代的芳基的具體實(shí)例包括苯基和萘基。f中的芳基優(yōu)選含約6-10個(gè)碳原子。可被選自羥基、可被C1-C4烷基所取代的氨基、Cl-C6烷氧基和Cl-C4全氟烷基的至少一個(gè)基團(tuán)所取代的芳基的具體實(shí)例包括苯基、萘基和3-三氟甲基苯基。T3、f和T5中的烷ft&優(yōu)選含約l-6個(gè)碳原子，其具體實(shí)例包括甲猛、乙狄、正丙M、異丙氧基、正丁緣、叔丁氧基、正戊緣、正己緣。(中的亞烷基和亞烯基優(yōu)選含2-6個(gè)碳原子。亞烷基的具體實(shí)例包括亞乙基、三亞甲基、四亞甲基、亞曱二氡基和亞乙-l，2-二氧基，亞烯基的具體實(shí)例包括乙烯-l,2-二基、l-丙烯-l，3-二基和2-丁烯-1，4-二基。胺化合物的具體實(shí)例包括正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、苯胺、2-甲基苯胺、3-曱基苯胺、4-甲基苯胺、4-硝基苯胺、1-萘胺、2-萘胺、乙二胺、四亞甲基二胺、六亞甲基二胺、4，4，-二^i^-l,2-二苯基乙烷、4，4，-二氨基-3，3，-二甲基二苯基甲烷、4，4，-二氨基-3,3，-二乙基二苯基甲烷、二丁胺、二戊胺、二己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、N-甲基苯胺、艱咬、二苯胺、三乙胺、三甲胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、三壬胺、三脊胺、甲基二丁胺、甲基二戊胺、甲基二己胺、甲基二環(huán)己胺、甲基二庚胺、甲基二辛胺、甲基二壬胺、甲基二癸胺、乙基二丁胺、乙基二戊胺、乙基二己胺、乙基二庚胺、乙基二辛胺、乙基二壬胺、乙基二癸胺、二環(huán)己基甲胺、三[2-(2-甲S^乙IL&)乙基胺、三異丙醇胺、N,N-二甲基苯胺、2，6-二異丙基苯胺、咪唑、苯并咪哇、吡啶、4-甲基吡啶、4-甲基咪唑、聯(lián)吡啶、2,2，-聯(lián)吡咬胺、二-2-吡啶酮、1，2-二(2-吡^i0乙烷、1,2-二(4-吡!t^)乙烷、1,3-二(4-吡^^)丙烷、1,2-雙(2-吡>^)乙烯、1，2-雙(4-吡"^)乙烯、1,2-雙(4-吡啶fl&)乙烷、4，4，-二吡^t^硫、4,4，-二吡咬基二硫、1,2-雙(4-吡!t^)乙烯、2,2，-二甲基吡咬胺和3，3，-二曱基吡咬胺。季銨堿的實(shí)例包括四甲基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、四己基氫氧化銨、四辛基氫氧化銨、苯基三甲基氫氧化銨、(3-三氟甲基苯基)三甲基氫氧化銨和(2-羥乙基)三甲基氫氧化銨(所謂的"膽堿，)。如JP11-52575Al中公開的含旅咬骨架的受阻胺化合物也可用作猝滅劑。就形成具有較高分辨率的圖案而言，優(yōu)選使用季銨堿作為猝滅劑。猝滅劑的量通常為0.001-10重量份、優(yōu)選0.01-5重量份每100重量份多羥基化合物(I)。如果需要，本發(fā)明的抗蝕劑組合物可含少量的各種添加劑如敏化劑、溶液抑制劑、其他聚合物、表面活性劑、穩(wěn)定劑和染料，只要不妨礙本發(fā)明的效果即可。施加到襯底上并然后干燥的抗蝕劑膜經(jīng)曝光以形成圖案，然后經(jīng)熱處理以促進(jìn)解封反應(yīng)，其后經(jīng)用堿性顯影劑顯影。所用堿性顯影劑可為本領(lǐng)域內(nèi)使用的各種堿水溶液中的任何一種。一般來說，常使用四曱基氫氧化銨或(2-羥乙基)三甲基氫氧化銨(常稱為"膽堿，，)的水溶液。多羥基化合物(i)可通過使式(vn)所代表的化合物與式(vni)所代表的化合物在堿的存在下反應(yīng)而制得，其中R51、R52、R53、R54、H55、U56、R57、R58、R59、H60、H61、R62、R63、R64、R65、R66和R67的定義同上，選自R11、R12、R13、R"和R15的至少一個(gè)為氫原子，其余的為氫原子或基團(tuán)(III)(下文簡(jiǎn)稱為化合物(VII))，A十03S-C——CO廣U—L(V工II)其中Q1、Q2、U和A+的定義同上，L代表離素原子、Cl-C12烷基磺酰氣基或C6-C12芳基磺酰氣基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替(下文簡(jiǎn)稱為化合物(VIII))。卣素原子的實(shí)例包括氟原子、氯原子、溴原子和碘原子。C1-C12烷基磺酰氧基的實(shí)例包括甲基磺酰氧基、乙基Jt酰氡基、正丙基磺酰氧基、異丙基磺酰氧基、正丁基磺酰氧基、仲丁基磺酰氧基、叔丁基磺酰氧基、正戊基磺酰氧基、正己基磺酰氧基、正庚基磺酰氧基、正辛基磺酰H基、正壬基磺酰氧基、正癸基磺酰氧基、正十一烷基磺酰氧基和正十二烷基磺酰lt^。C6-C12芳基磺酰氡基的實(shí)例包括苯基磺酰lL^和萘l^磺酰IL&。堿的實(shí)例包括有機(jī)堿，如三乙胺和吡啶；堿金屬醇鹽，如甲醇鈉、乙醇鈉和叔丁醇鉀;無機(jī)喊，如氬化鈉、碳酸鉀和氫氧化鈉。這些堿可單獨(dú)使用或可使用其混合物。堿的用量通常為1-6摩爾、優(yōu)選1-4摩爾每1摩爾化合物(VII)?；衔?VII)與化合物(VIII)的反應(yīng)通常在惰性溶劑如丙酮、甲基乙基酮、甲苯、四氫呋喃、N,N-二甲基甲酰胺和二甲基亞砜中進(jìn)行。反應(yīng)溫度通常為-30到200。C，優(yōu)選0到150。C?；衔?VIII)的用量通常為l-6摩爾、優(yōu)選1-4摩爾每1摩爾化合物(VII)。反應(yīng)可在相轉(zhuǎn)移催化劑如四丁基溴化銨的存在下進(jìn)行。反應(yīng)完成后，可通過例如對(duì)反應(yīng)混合物進(jìn)行萃取處理和然后濃縮所獲得的有機(jī)層來分離多羥基化合物(I)。分離出的多羥基化合物(I)可進(jìn)一步通過常規(guī)純化途徑如柱色鐠、重結(jié)晶和蒸餾來純化。化合物(vn)可通過化合物(r-2)與式(ix)所代表的化合物的反應(yīng)制得，(ix)其中X1、X2、X3、X4、n、W、W和Y的定義同上，L，代表氯原子、溴原子、碘原子、曱磺酰氧基或?qū)妆交酋Ｑ趸?下文筒稱為化合物(IX))?；衔?I，-2)可根據(jù)US5866724A中描述的方法制備。作為化合物(IX)，可使用市售的，也可使用通過已知方法制備的?；衔?I，-2)與化合物(IX)的^^應(yīng)通常在惰性溶劑如甲苯、四氫呋喃、N，N-二甲基甲酰胺和二甲基亞砜中進(jìn)行。反應(yīng)溫度通常為-30到200。C，優(yōu)選O到150。C?；衔?IX)的用量通常為1-6摩爾、優(yōu)選1-4摩爾每1摩爾化合物(I'國2)。反應(yīng)優(yōu)選在堿的存在下進(jìn)行。堿的實(shí)例包括有機(jī)喊，如三乙胺和吡啶；堿金屬醇鹽，如曱醇鈉、乙醇鈉和叔丁醇鉀；無機(jī)堿，如氫化鈉、碳酸鉀和氫氧化鈉。這些堿可單獨(dú)使用或可使用其混合物。堿的用量通常為1-6摩爾、優(yōu)選l-4摩爾每l摩爾化合物(I，-2)。反應(yīng)可在相轉(zhuǎn)移催化劑如四丁基溴化銨的存在下進(jìn)行。反應(yīng)也可在硪化物如碘化鉀的存在下進(jìn)行。反應(yīng)完成后，可通過例如對(duì)反應(yīng)混合物進(jìn)行萃取處理和然后濃縮所獲得的有機(jī)層來分離化合物(VII)。分離出的化合物(VII)可進(jìn)一步通過常規(guī)純化途徑如柱色譜、重結(jié)晶和蒸餾來純化。xlclxx-y化合物(vni)可通過式(x)所代表的化合物與式(xi)所代表的化合物的反應(yīng)制得，—fM+一03S-6——CO廠U—L(X)其中Q1、Q"和U的定義同上，M+代表Li+、Na+、K+或Ag+(下文簡(jiǎn)稱為化合物(X))，A+一Z(XI)其中A+的定義同上，Z代表F、Cl、Br、I、BF4、AsF6、SbF6、PF,或CKV(下文簡(jiǎn)稱為化合物(XI))?；衔?X)與化合物(XI)的反應(yīng)通常在溶劑中進(jìn)行。溶劑的實(shí)例包括有機(jī)溶劑，如氯仿、氯甲烷、二氯乙烷、氯苯、丙酮、甲基乙基酮、甲苯、二甲苯、苯甲醚、四氫呋喃、甲醇、乙醇、異丙醇、N,N-二曱基甲酰胺和二甲基亞砜；水；和其混合物。反應(yīng)溫度通常為-30到200。C,優(yōu)選-10到100。C?；衔?XI)的用量通常為0.5-5摩爾、優(yōu)選1-2摩爾每1摩爾化合物(X)。反應(yīng)完成后，可通過例如對(duì)反應(yīng)混合物進(jìn)行萃取處理和然后濃縮所獲得的有機(jī)層來分離化合物(VIII)。分離出的化合物(VIII)可進(jìn)一步通過常規(guī)純化途徑如柱色鐠、重結(jié)晶和蒸餾來純化?；衔?X)可通過式(XII)所代表的醇化合物與式(XIII)所代表的羧酸的反應(yīng)制得HO~U—L(XII)其中U和L的定義同上(下文簡(jiǎn)稱為化合物(XII))，M+_03S-6——C02H(XI工I)其中Q1、QZ和M+的定義同上(下文簡(jiǎn)稱為羧酸(XIH))。化合物(XII)與羧酸(XIII)的反應(yīng)通常在惰性溶劑如氯仿、氯甲烷、二氯乙烷、氯苯、甲苯、二甲苯、苯甲醚、N,N-二曱基甲酰胺和二甲58基亞砜中進(jìn)行。反應(yīng)溫度通常為-30到200'C，優(yōu)選為所用溶劑的沸點(diǎn)到150。C。羧酸(XIII)的用量通常為0.5-5摩爾、優(yōu)選0.8-2摩爾每1摩爾化合物(XII)?；衔?XII)與羧酸(XIII)的反應(yīng)優(yōu)選在酸催化劑或脫水劑的存在下進(jìn)行。酸催化劑的實(shí)例包括有機(jī)酸，如甲磺酸、三氟曱磺酸、苯磺酸和對(duì)甲笨璜酸；無機(jī)酸，如硫酸、鹽酸和氯化氫；和強(qiáng)酸性磺酸樹脂如Nafion(注冊(cè)商標(biāo))。這些酸催化劑可單獨(dú)使用或可使用其中兩種或更多種的混合物。脫水劑的實(shí)例包括l，l，-g二咪唑、N,N，-二環(huán)己M二亞胺、1-烷基-2-卣代吡啶憤鹽、雙(2-氧代-3-D惡唑烷基)次膦酰氯、1-乙基-3-(3-二甲基M丙基)碳二亞胺鹽酸鹽、二-2-吡咬碳酸酯、二-2-吡咬硫碳酸酯和6-甲基-2-硝基苯甲酸酐/4-(二甲基JtJ0吡啶。在4吏用酸的情況下，反應(yīng)優(yōu)選脫水進(jìn)行，例如通過DeanStark方法，因?yàn)榉磻?yīng)時(shí)間傾向于縮短。酸催化劑的用量通常為0.001-3摩爾、優(yōu)選0.01-1摩爾每1摩爾化合物(XII)。脫7JC劑的用量通常為1-3摩爾、優(yōu)選1-2摩爾每1摩爾化合物(XII)。反應(yīng)完成后，可通過例如濃縮或冷卻反應(yīng)混合物來分離化合物(X)。分離出的化合物(X)可進(jìn)一步通過常規(guī)純化途徑如柱色譜、重結(jié)晶和蒸餾來純化。其中M+為L(zhǎng)i+、Na+或K+的化合物(X)也可通過使化合物(XII)與式(XIV)所代表的羧酸反應(yīng)得到式(XV)所代表的化合物、然后使所得到的化合物(XV)水解而制得，F(xiàn)O,S-1——C02H(XIV)其中(^和(^的定義同上(下文簡(jiǎn)稱為羧酸(XIV)),599F02S-1-~~U—L(XV)其中Q1、Q2、U和L的定義同上(下文簡(jiǎn)稱為化合物(XV))?；衔?XII)與羧酸(XIV)的反應(yīng)通常按與化合物(XII)和羧酸(XIII)的反應(yīng)中所描述的相同的方式進(jìn)行?；衔?xv)的水解反應(yīng)通常在惰性溶劑如氯仿、氯甲烷、二氯乙烷、氯苯、丙酮、甲基乙基酮、曱苯、二甲苯、苯曱醚、四氫呋喃、N，N-二甲基曱酰胺和二甲基亞砜中用無機(jī)堿如氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉和碳酸氫鉀進(jìn)行。反應(yīng)溫度通常為-30到200。C，優(yōu)選-10到150。C。無機(jī)喊的用量通常為l-5摩爾、優(yōu)選1-2摩爾每1摩爾化合物(XV)。其中M+為Ag+的化合物(X)可通過使所得到的其中M+為L(zhǎng)i+、Na+或K+的化合物(X)與硝酸銀反應(yīng)而制得。應(yīng)理解，本文中公開的實(shí)施方案從各方面而言都是實(shí)例而非限制性的。本發(fā)明的范圍不是由上面的描述而是由附隨的權(quán)利要求確定，并包括與權(quán)利要求具有等價(jià)含義和范圍的所有變化方案。下面通過實(shí)施例對(duì)本發(fā)明加以更具體的描述，這些實(shí)施例不應(yīng)理解為限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施例1Na03s1H-^Ma03SCF2C02(CH2)12Br0(1)混合300g曱苯、21g二氟磺基乙酸鈉鹽、25g12-溴-1-十二烷醇和催化量的對(duì)甲笨績(jī)酸。所得混合物回流13小時(shí)以進(jìn)行脫水反應(yīng)。冷卻混合物，然后過濾收集沉淀物。沉淀物用少量甲苯洗滌并干燥，Cl+Na03SCF2C02(CH2)12Br03SCF2C02(CH2)12Br得到34.1g二氟磺基乙酸12-溴-l-十二烷基酯的鈉鹽。收率81.2%。rH-NMR(CDC13，內(nèi)標(biāo)四曱基甲硅烷)S(ppm)4.33(t,2H，J=6.9Hz)，3.40(t,2H，J=6.9Hz),1.85(m,2H)，1.78-1.10(m，18H)MS(ESI(-)鐠)M421(C14H24BrF205S=421.05)(2)向200g氯仿中加入34.1g二氟磺基乙酸12-溴-1-十二烷基酯的鈉鹽。向所得溶液中加入192g13.1重量％的氯化三苯^^銃水溶液，所得混合物攪拌過夜。分離混合物得到7JC層和有機(jī)層。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌。濃縮有機(jī)層，得到48.7g上面提到的式(A)所代表的鹽，稱為鹽(A)。收率92.7%。工H-NMR(二甲基亞砜-(16,內(nèi)標(biāo)四甲基曱硅烷)6(ppm)7.87-7.76(m，15H),4.17(t，2H,J=6.9Hz),3.50(t，2H,J=6.9Hz),1.75(m,2H),1.57(m，2H)，1.37-1.23(m，16H)"F-NMR(二甲基亞砜國d6,內(nèi)標(biāo)氟苯)3(ppm)-105.19MS(ESI(+)譜)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(畫)鐠)M421(C14H24BrF205S2=421.05)實(shí)施例2FXFnHO(CH2)6BrNa03S^|fU、H-Na03SCF2C02(CH2)6BrO^$^ci+Na03SCF2C02(CH2)6Br-_03SCF2C02(CH2)6Br(B)(1)混合50g甲苯、10g二氟磺基乙酸鈉鹽、10.8g6-溴-l-己醇和催化量的三氟曱磺酸。所得混合物回流9小時(shí)以進(jìn)行脫水反應(yīng)。冷卻混合物，然后過濾收集沉淀物。沉淀物用少量甲苯洗滌并干燥，得到12.3g二氟磺基乙酸6-溴-l-己酯的鈉鹽。收率72.0%。^匿匪R(CDC13，內(nèi)標(biāo)四甲基甲硅烷)S(ppm)4.35(t，2H,J=6.9Hz)，3.42(t,2H，J=6.9Hz),1.86(m,2H),1.73(m，12H),1.47(m,612H)，1.40(m,2H)MS(ESI(-傳)M337(C8H12BrF205S=336.96)(2)向200g氯仿中加入lLlg二氟磺基乙酸&溴-l-己酯的鈉鹽。向所得溶液中加入84.1g13.1重量％的氯化三苯基锍水溶液，所得混合物攪拌過夜。分離混合物得到水層和有機(jī)層。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌。濃縮有機(jī)層，得到17.2g上面提到的式(B)所代表的鹽，稱為鹽(B)。收率85.3%。tH-NMR(二曱基亞砜-d6,內(nèi)標(biāo)四甲基甲艦)3(ppm)7.77-7.68(m,15H),4,25(t,2H,J=6.9Hz),3.37(t,2H,J=6.9Hz),1.81(m,2H),1.70(m，2H)，1.45-1.36(m，4H)"F國NMR(二甲基亞砜-d6，內(nèi)標(biāo)氟苯)6(ppm)-106.42MS(ESI(+)鐠)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(國)鐠)M337(C8H12BrF205S2=336.96)H(OCH2CH2)3C1-^Na03SCF2CO(OCH2CH2)3C1{^~S*ci+Na03SCF2CO(OCH2CH2)3Cl-C^"f03SCF2CO(OCH2CH2)3C1(c)(1)混合50g甲苯、10g二氟^t基乙酸鈉鹽、7.5g2-[2-(2-氯乙緣)乙IL^乙醇和催化量的三氟甲磺酸。所得混合物回流10小時(shí)以進(jìn)行脫水反應(yīng)。濃縮混合物，得到17.8g二氟磺基乙酸2-[2-(2-氯乙H&)乙HJ^乙酯的鈉鹽。收率定量。力畫NMR(CDC13,內(nèi)標(biāo)四甲基甲珪烷)S(ppm)3.88-3.63(12H)MS(ESI(國傳)M325(C8H12C1F207S=325.00)(2)向200g氯仿中加入17.8g二氟磺基乙酸2-[2-(2-氯乙lLiO乙實(shí)施例3Na03S^Y"H062氧基乙酯的鈉鹽。向所得溶液中加入128.1g13.1重量％的氯化三苯基锍水溶液，所得混合物攪拌過夜。分離混合物得到7jC層和有機(jī)層。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌。濃縮有機(jī)層，得到18.0g上面提到的式(C)所代表的鹽，稱為鹽(C)。收率59.9%。iH-NMR(二曱基亞砜-d6，內(nèi)標(biāo)四甲基甲硅烷)8(ppm)7.78-7.65(m,15H)，3.79-3.57(12H)"F醒NMR(二甲基亞砜-d6，內(nèi)標(biāo)氟苯)S(ppm)-106.50MS(ESI(+)語)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(-)鐠)M325(C8H12C1F207S=325.00)實(shí)施例4CH3H3C-6-CH3H3C/=\|*_H3C-C~4PCI+Na03SCF2C02(CH2)12Br'、^H3C-CH36CH3H3C_i-CH,力:H3C/=VI一—"\_/~S03SCF2C02(CH2)12BrH3C--CH3CH，H3C_f_CH3CH，(D)向120g氯仿中加入20.0g二氟磺基乙酸12-溴-1-十二烷基酯的鈉鹽。向所得溶液中加入210g10重量％的氯化三(4-叔丁基苯基)锍水溶液，所得混合物攪拌過夜。分離混合物得到水層和有機(jī)層。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌。濃縮有機(jī)層，得到33.4g上面提到的式(D)所代表的鹽，稱為鹽(D)。收率87.1%。工H-NMR(CDC13，內(nèi)標(biāo)四曱基甲珪烷)S(ppm)7.71-7.67(m，12H)，4.26(t，2H,J=6.9Hz)，3.41(t，2H,J=6.9Hz)，1.86(m，2H),1.70(m,2H),1.46-1.21(m,16H),1.33(s，27H)"F-NMR(二甲基亞砜-d6,內(nèi)標(biāo)氟苯)3(ppm)-106.03MS(ESI(+傳)M+431(C30H39S+=431.28)MS(ESI(-傳)M422，423(C14H24BrF205S2=421.05)實(shí)施例5(2s:CH2-C~^+NaO3SCF2C02(CH2)12Br-^C^CH2"fj"0_03SCF2C02(CH2)12Br向100g氯仿中加入15.0g二氟磺基乙酸12-溴-1-十二烷基酯的鈉鹽。向所得溶液中加入9.7g溴化四氫-l-(2-氧代-2-苯基乙基)噻吩鐳，所得混合物攪拌過夜。向混合物中加入20g離子交換水，分離所得混合物，得到水層和有機(jī)層。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌。濃縮有機(jī)層，得到12.4g上面提到的式(E)所代表的鹽，稱為鹽(E)。收率58.5%。力-NMR(CDC13,內(nèi)標(biāo)四甲基甲珪烷)3(ppm)7.99(d，2H，J=6.9Hz)，7.60(t,1H，J=7.7Hz),7.45(t，2H，J=8.4Hz),5.35(s,2H)，4.11(t，2H，J=6.9Hz),3.75-3.70(m,4H)，3.64-3.59(m,4H),3.41(t，2H,J=6.9Hz),2.48-2.43(m,4H)，2.30-2.26(m，4H),1.86(m,2H),1.60(m,2H)，1.42(m,2H)，1.28-1.24(m，14H)"F國NMR(二甲基亞砜-d6，內(nèi)標(biāo)氟苯)S(ppm)-106.39MS(ESI(+)鐠)M+207(C12H15OS+=207.08)MS(ESI(國)鐠)M422，423(C14H24BrF205S2=421.05)參考例1將10g2，6-雙[4-羥基-3-(2-羥基-5-曱基千基)-2，5-二甲基千基]-4-甲基酚(下文簡(jiǎn)稱為Bl)溶解在100gN,N-二甲基甲酰胺中。向所得溶液中加入6.8g碳酸鉀。在50。C以下向所得混合物中逐滴加入通過混合7.9g氯乙酸2-甲基-2-金剛烷基酯與40gN，N-二曱基甲酰胺而獲得的溶液。向所得混合物中加入0.6g碘化鉀，所得混合物于50。C攪拌5小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物，用1。/。的草酸水溶液稀釋，然后用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用水洗滌，然后用硫酸鎂和活性炭干燥和脫色。過濾所得混合物，濃縮濾液，得到15.38棕色固體，稱為A1。通過液相色語分析A1，發(fā)現(xiàn)A1中包含下式(l)-(3)所代表的三種化合物64(1)其中y1、y2、y3、y"和ys中的任一個(gè)為基團(tuán)團(tuán)為氫原子(下文筒稱為化合物(l))，-)Y7CH,OY'CH3，另四個(gè)基(2)<fH3其中y6、y7、y8、y'和y"中的任兩個(gè)為基團(tuán)團(tuán)為氫原子(下文筒稱為4匕合物(2))，，另三個(gè)基(3)CH3，另兩個(gè)其中y"、y12、y13、y"和y"中的任三個(gè)為基團(tuán)基團(tuán)為氬原子(下文簡(jiǎn)稱為化合物(3))。Al中化合物(1)、化合物(2)與化合物(3)的含量比如下。下文中，"含量比"指通過、;^目色鐠面積百分?jǐn)?shù)法計(jì)算得到的各化合物的值的比率?；衔?l):化合物(2):化合物(3)=6:92:2液相色鐠質(zhì)譜化合物(l):M+K+=861.4(M+=822.45)化合物(2):[M+K+=1067.4(M+=1028.58)化合物(3):[M+K+=1273.6(M+=1234.71)參考例2將50g按與參考例1中所勤目同的方式獲得的含化合物(l)、化合物(2)和化合物(3)的棕色固體及11.8g氯乙酸2-甲基-2-金剛烷基酯溶解在150gN,N-二甲基甲酰胺中。向所得溶液中加入10.1g碳酸鉀。向所得混合物中加入1.6g碘化鉀，所得混合物于57-58。C攪拌9小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物，用2%的草酸水溶液稀釋，然后用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用水洗滌，然后用硫酸鎂和活性炭千燥和脫色。過濾所得混合物并濃縮濾液。所得殘余物用硅膠色譜(己烷/乙酸乙酯)純化得到20.0g棕色固體，稱為A2。通過液相色鐠分析A2，發(fā)現(xiàn)A2中包含化合物(2)和化合物(3)。A2中不含化合物(l)。A2中化合物(2)與化合物(3)的含量比如下?；衔?2):化合物(3)=29:71參考例3將3.6gBl溶解在36gN，N-二甲基甲酰胺中。向所得溶液中加入0.2g碳酸鉀。在室溫下向所得混合物中逐滴加入通過混合3.0g氯乙酸2-乙基-2-金剛烷基酯與15gN，N-二甲基曱酰胺而獲得的溶液。向所得混合物中加入0.28捵化鉀，所得混合物于50。C攪拌5小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物，用5%的草酸水溶液稀釋，然后用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用水洗滌，然后用石克酸鎂和活性炭干燥和脫色。過濾所得混合物并濃縮濾液，得到3.41g棕色固體，稱為A3。通過液相色鐠分析A3，發(fā)現(xiàn)A3中含下式(4)-(6)所代表的三種化合物C2H5其中y16、y17、y18、y"和y^中的任一個(gè)為基團(tuán)"個(gè)基團(tuán)為氫原子(下文簡(jiǎn)稱為化合物(4))，另四(5)其中y21、y22、y23、￥24和￥25中的任兩個(gè)為基團(tuán)個(gè)基團(tuán)為氫原子(下文簡(jiǎn)稱為化合物(5)),C2H5,另三(6)C2H5其中y26、y"、y28、y"和y鄧中的任三個(gè)為基團(tuán)基團(tuán)為氫原子(下文筒稱為化合物(6))。a3中化合物(4)、化合物(5)與化合物(6)的含量比如下化合物(4):化合物(5):化合物(6)=12:84:4液相色i普質(zhì)譜化合物(4):[m+k+=875.5(m+=836.47)另兩個(gè)化合物(5):[M+K]+=1095.4(M+=1056.61)化合物(6):[M+K+=1315.5(M+=1276.76)實(shí)施例6將通過混合7.5g參考例1中獲得的Al、5.0g鹽(A)、1.5g碳酸鉀和60g丙酮而獲得的混合物回流4小時(shí)。冷卻所得混合物并用2%的草酸水溶液稀釋和中和。所得混合物用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌并濃縮，得到8.9g含式(7)所代表的化合物作為主要組分的組合物，其中Y31、Y32、Y33、Y"和Y"中的任兩個(gè)為如下基團(tuán):另一個(gè)基團(tuán)為如下基團(tuán):03SCF2C02(CH2)12——另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子。所得組合物稱為P1。收率75.2%。MS(ESI(+)鐠)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(畫)鐠)M1369(C^H^FsOwS=1369.70)實(shí)施例7將通過混合4.6gBl、10.3g鹽(A)、3.1g碳酸鉀和60g丙酮而獲得的混合物回流3小時(shí)。冷卻所得混合物并用2%的草酸水溶液稀釋和中和。所得混合物用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌并濃縮，得到11.8g含式(8)所代表的化合物作為主要組分的組合物，其中Y36、Y37、Y38、Y"和Y"中的任兩個(gè)為如下基團(tuán):_。3SCF2C02(CH2)12一6，另三個(gè)基團(tuán)為氫原子。所得組合物稱為P2。收率86.6%。MS(ESI(+)鐠)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(-)"^):M-1298(C69I^F4015S2-=1298.57)實(shí)施例8按與參考例3中所^目同的方式獲得棕色固體，稱為A3，。通過液相色謙分析A3，，發(fā)現(xiàn)A3，中含三種化合物化合物(4)、化合物(5)和化合物(6),并且A3，中化合物(4)、化合物(5)與化合物(6)的含量比如下?；衔?4):化合物(5):化合物(6)=12:85:3將通過混合lO.OgA3，、6.5g鹽(A)、1.6g碳酸鉀和60g丙酮而獲得的混合物回流4小時(shí)。冷卻所得混合物并用2%的草酸水溶液稀釋和中和。所得混合物用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌并濃縮，得到13.0g含式(9)所代表的化合物作為主要組分的組合物，(9)其中y"、y42、y43、y"和y"中的任兩個(gè)為如下基團(tuán):C,H—CH2-C。2-幻，另一個(gè)為如下基團(tuán)^^~+03SCF2C02(CH2)12—另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子。所得組合物稱為P3。收率82.7%。MS(ESI(+)譜)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(-)鐠)M1397(C83H107F2O14S=1397.73)參考例4將10gBl溶解在100gN，N-二曱基甲跣胺中。向所得溶液中加入3.4g碳酸鉀。在50。C以下向所得混合物中逐滴加入通過混合4.0g氯乙酸2-甲基-2-金剛烷基酯與40gN,N-二甲基甲酰胺而獲得的溶液。向所得混合物中加入0.38碘化鉀，所得混合物于50。C攪拌5小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物，用1%的草酸水溶液稀釋，然后用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用水洗滌，然后用硫酸鎂和活性炭干燥和脫色。過濾所得混合物并濃縮濾液，得到7，6g棕色固體。重復(fù)兩次與上面所W目同的程序?；旌纤米厣腆w，得到25.0g棕色固體。通過液相色鐠分析所得棕色固體，發(fā)現(xiàn)所得椋色固體中包含三種化合物Bl、化合物(1)和化合物(2)。所得棕色固體中不含化合物(3)。用磁皎色鐠(使用100g珪膠和己烷與乙酸乙酯的混合溶劑)純化所得棕色固體，得到稱為A4的固體。通過液相色鐠分析A4，發(fā)現(xiàn)A4中含兩種化合物化合物(l)和化合物(2)。A4中化合物(1)與化合物(2)的含量比如下?；衔?l):化合物(2)=96:4實(shí)施例9將通過混合5.0gA4、5.2g鹽(D)、l.Og碳酸鉀和40g丙酮而獲得的混合物回流3小時(shí)。冷卻所得混合物并用2。/。的草酸水溶液將其pH調(diào)節(jié)至3。所得混合物用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌并濃縮，得到8.9g含式(10)所代表的化合物作為主要組分的組合物，(10)j—:H3CH3CH3其中Y46、Y47、Y48、￥49和￥5°中的任一個(gè)為如下基團(tuán)CH3另一個(gè)基團(tuán)為如下基團(tuán)H3:H，03SCF2C02(CH2)12--H3C墨(p-CH3CH3另三個(gè)基團(tuán)為氫原子,<formula>formulaseeoriginaldocumentpage71</formula>所得組合物稱為P4。收率69.6%。MS(ESI(+)鐠)M+431(C30H39S+=431.28)MS(ESI(-)鐠)M1164(C68H85F2012S=1164.46)參考例5將10gBl溶解在100gN,N-二曱基甲酰胺中。向所得溶液中加入6.1g碳酸鉀。在50。C以下向所得混合物中逐滴加入通過混合7.1g氯乙酸2-曱基-2-金剛烷基酯與40gN,N-二甲基甲酰胺而獲得的溶液。向所得混合物中加入O.Sg碘化鉀，所得混合物于50。C攪拌5小時(shí)。冷卻反應(yīng)混合物，用1。/。的草酸7JC溶液稀釋，然后用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用水洗滌,然后用硫酸鎂和活性炭干燥和脫色。過濾所得混合物并濃縮濾液，傳到12.5g棕色固體，稱為A5。通過液相色鐠分析A5，發(fā)現(xiàn)A5中含三種化合物Bl、化合物(l)和化合物(2)。A5中不^^f匕合物(3)。A5中Bl、化合物(1)與化合物(2)的含量比如下。Bl:化合物(l):化合物(2)=121:78實(shí)施例10將通過混合5.0gA5、3.0g鹽(B)、0.8g碳酸鉀和40g丙酮而獲得的混合物回流3小時(shí)。冷卻所得混合物并用2。/。的草酸水溶液將其pH調(diào)節(jié)至3。所得混合物用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌并濃縮，得到5.22g含式(ll)所代表的化合物作為主要組分的組合物，其中Y51、Y52、Y53、￥54和￥55中的任兩個(gè)為如下基團(tuán)CH3另一個(gè)為如下基團(tuán)03SCF2C02(CH2)6—^，另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子。所得組合物稱為P5。收率69.3%。MS(ESI(+)語)M+263(C18H15S+=263.09)MS(ESI(-)鐠)M1271(C74H89F2014S=1271.59)實(shí)施例11將通過混合5.0gA3，、3.1g鹽(E)、0.81g碳酸鉀和40g丙酮而獲得的混合物回流3小時(shí)。冷卻所得混合物并用2。/。的草酸水溶液將其pH調(diào)節(jié)至3。所得混合物用乙酸乙酯萃取。所得有機(jī)層用離子交換水洗滌并濃縮，得到5.18g含式(12)所代表的化合物作為主要組分的組合物，(12)其中Y56、Y57、Y58、Y外和Y^中的任兩個(gè)為如下基團(tuán):C2H5另一個(gè)為如下基團(tuán)另兩個(gè)基團(tuán)為氫原子。所得組合物稱為P6。收率68.2%。MS(ESI(+)鐠)M+207(C12H15OS+=207.08)MS(ESI(-)i普)M1397(C83H1()7F2014S=1397.73)參考例6按JP2003-107708Al中所述的方法合成曱基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯與對(duì)羥基苯乙烯(甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯/對(duì)羥基苯乙烯比率=20/80)的共聚物(稱為Cl)和甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯與對(duì)羥基苯乙烯(甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯/對(duì)羥基苯乙烯比率=30/70)的共聚物(稱為C2)。按US5,556,995Bl中所述的方法由連苯三酚和丙酮合成下式所代表的化合物參考例7稱為B2。下面的實(shí)施例中用到的產(chǎn)酸劑、猝滅劑和溶劑如下。<產(chǎn)酸劑>產(chǎn)酸劑Sl:(4-甲基苯基)二苯基锍九氟丁磺酸鹽<猝滅劑>猝滅劑Qa:2,6-二異丙基苯胺猝滅劑Qb:四丁基氫氧化銨<溶劑>溶劑Y:丙二醇單曱醚乙酸酯實(shí)施例12-19和對(duì)比例1-3混合下面的組分得到溶液，再用孔徑0.2nm的氟樹脂過濾器過濾溶液來制備抗蝕劑液體?；衔?種類和量在表l中描述)產(chǎn)酸劑(種類和量在表l中描述)猝滅劑(種類和量在表l中描述)溶劑(種類在表l中描述)表l<table>tableseeoriginaldocumentpage76</column></row><table>使各硅片在表l"PB，，列中所示的溫度下接觸六甲基二硅氮烷60秒，向硅片上旋涂如上制得的各抗蝕劑液體至干^#膜厚為O.lOnm。施加各抗蝕劑液體后，將這樣涂布了各抗蝕劑液體的硅片在直接熱板上于表1"PB，，列中所示的溫度下預(yù)烘60秒。使用寫入電子束光刻系統(tǒng)(Hitachi,Ltd.制造的"HL-800D",50KeV)將其上已這樣形成各抗蝕劑膜的各硅片曝光于線和間隙圖案中，同時(shí)逐步改變曝光量。曝光后，在熱板上于表1"PEB"列中所示的溫度下使各珪片經(jīng)歷60秒的曝光后烘焙，然后用2.38重量％的四甲基氫氧化銨水溶液槳式顯影(paddledevelopment)60秒。顯影后用掃描電子顯微鏡觀察硅襯底上顯影的各圖案，結(jié)果示于表2中。有效靈敏度(ES):以經(jīng)O.lOjim線和間隙圖案4^模曝光和顯影后線圖案和間隙圖案變?yōu)?:1的曝光量表示。分辨率以在有效靈敏度的曝光量下給出由線圖案分割的間隙圖案的間隙圖案最小尺寸表示。線邊緣Wt度(LER):LER對(duì)應(yīng)0.12nm的l:l線和間隙圖案，用掃描電子顯微鏡從上側(cè)觀察得到。當(dāng)LER為好時(shí)，其評(píng)價(jià)以"O"標(biāo)記，當(dāng)LER為差時(shí)，其評(píng)價(jià)以"x"標(biāo)記。表2實(shí)施例編號(hào)ES(nC)分辨率(nm)LER實(shí)施例121870O實(shí)施例132270O實(shí)施例142870O實(shí)施例151670O實(shí)施例162070O實(shí)施例172660O實(shí)施例182460O實(shí)施例193260O對(duì)比例114卯X對(duì)比例22870X對(duì)比例34860O77M2中所示的結(jié)果可見，通it^j"應(yīng)于本發(fā)明的實(shí)施例獲得的抗蝕劑組合物具有良好的靈敏度、分辨率和線邊^(qū)Wt度。實(shí)施例20用Pl和P3代替Pl,可按與實(shí)施例12中所i^目同的方式獲得抗蝕劑圖案。實(shí)施例21用P4代替P1，可按與實(shí)施例12中所勤目同的方式獲得抗蝕劑圖案。實(shí)施例22用P5代替P1，可按與實(shí)施例12中所^目同的方式獲得抗蝕劑圖案。實(shí)施例23用P6代替P1，可按與實(shí)施例12中所i^目同的方式獲得抗蝕劑圖案。實(shí)施例24用4份P2代替4份P3,并且用下列溶劑Y，代替220份溶劑Y,按與實(shí)施例19中所^目同的方式獲得抗蝕劑圖案。結(jié)果示于表3中。溶劑Y，丙二醇單甲醚乙酸酯160份丙二醇單甲醚100份Y-丁內(nèi)酯5份實(shí)施例2578用2份Pl和2份P2代替4份P3，并且用上述溶劑Y，代替220份溶劑Y，按與實(shí)施例19中所i^目同的方式獲得抗蝕劑圖案。結(jié)果示于表3中。表3實(shí)施例編號(hào)ES(nC)分辨率(nm)LER實(shí)施例243270O實(shí)施例253260O本發(fā)明的抗蝕劑組合物提供了具有優(yōu)良線邊緣粗糙度的抗蝕劑圖案并適合于ArF準(zhǔn)分子激光器光刻術(shù)、極端紫外(EUV)光刻術(shù)和電子光刻術(shù)。79權(quán)利要求1.式(I)所代表的多羥基化合物其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，選自R1、R2、R3、R4和R5的至少一個(gè)為式(II)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所代表的基團(tuán)，其中Q1和Q2各自獨(dú)立地代表氟原子或C1-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替，其中R代表烷基，A+代表有機(jī)反離子，其中X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)-CO-O-，-O-CH2-O-，-O-CH2-O-CO-，id="icf0004"file="A2009100076860002C4.tif"wi="56"he="15"top="198"left="119"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="yes"/>Z1代表C1-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前提是當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，Z1可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基。2.根據(jù)權(quán)利要求l的多羥基化合物，其中選自R1、R2、R3、R4和R5的至少一個(gè)為式(III)所代表的基團(tuán)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的多羥基化合物，其中X1和X2代表氫原子，n4戈表0,W為-CO-O畫。4.根據(jù)權(quán)利要求1的多羥基化合物，其中Q1和Q2為氟原子。5.根據(jù)權(quán)利要求l的多羥基化合物，其中所述有機(jī)反離子為選自式(VIa)所代表的陽離子、式(VIb)所代表的陽離子和式(VIc)所代表的陽離子中的至少一種陽離子，其中P、p2和p3各自獨(dú)立地代表氫原子、羥基、Cl-C12烷基或C1-C12烷紘其中P"和ps各自獨(dú)立地代表氫原子、羥基、C1-C12烷基或C1-C12烷緣，其中P6和p7各自獨(dú)立地代表C1-C12烷基或C3-C12環(huán)烷基，或者P6和P"連接形成C3-C12二價(jià)無環(huán)烴基，所述二價(jià)無環(huán)烴基與相鄰的S+一起形成環(huán)，且所述二價(jià)無環(huán)烴基中的至少一個(gè)-CHr任選地被-CO-、-O畫或國S畫所代替，p8代表氫原子，p9代表可被取代的C1-C12烷基、C3-C12環(huán)烷基或C6-C10芳基，或者pS和P'連接形成二價(jià)烴基，所述二價(jià)烴基與相鄰的-CHCO-—起形成2-氧代環(huán)烷基，且所述二價(jià)烴基中的至少一個(gè)-CH2畫可被-CO誦、國O國或國S畫所代替。6.根據(jù)權(quán)利要求l的多羥基化合物，其中式(I)所代表的多羥基化合物的分子量為500-5,000。7.—種化學(xué)放大型抗蝕劑組合物，所述組合物包含式(I)所代表的多羥基化合物和溶劑，(I>其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R6°、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，選自R1、R2、R3、114和115的至少一個(gè)為式(11)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所代表的基團(tuán)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中C^和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表Cl-C20二價(jià)烴基，A+代表有機(jī)反離子，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中X1、X2、XS和X"各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>ZM戈表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前^A當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，W可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基。8.根據(jù)權(quán)利要求7的組合物，其中所述組合物還包含選自式(I，-l)所代表的化合物、式(1，-2)所代表的化合物、式(r-3)所代表的化合物和式(I，-4)所代表的化合物中的至少一種化合物，其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，且選自R21、R22、R23、R24和R25的至少一個(gè)為式(III)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>其中X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)—C0—0~—0"CH了0"—O—CHyO—CO—一0~CH—0~-C"O—CO—W代表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前M當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，W可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基，2)其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R"和R"的定義同上，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>其中R71、R72和R"各自獨(dú)立地代表氫原子、Cl-C4烷基、C2-C4烯基、C3-C8環(huán)烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，議74代表氫原子或羥基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>其中R"代表氫原子、C1-C4烷基、C2-C4烯基、C3-C8環(huán)烷基、C6-C12芳基或C7-C12芳烷基，R76代表氫原子或甲基。9.根據(jù)權(quán)利要求7的組合物，其中所述組合物還包含式(I，-1)和(1，-2)所代表的化合物。10.根據(jù)權(quán)利要求7的組合物，其中所述組合物還包含式(I，-1)、(r-2)和(r-3)所代表的化合物。11.根據(jù)權(quán)利要求7的組合物，其中所述組合物包含兩種或更多種式(I)所代表的多羥基化合物。12.—種制備式(I)所代表的多羥基化合物的方法，其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67各自獨(dú)立地代表氳原子或C1-C4烷基，選自R1、R2、R3、R"和RS的至少一個(gè)為式(II)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所代表的基團(tuán)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>(II)其中Qi和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表Cl-C20二價(jià)烴基，A+代表有機(jī)反離子，其中X1、X2、X3和X4各自獨(dú)立地代表氫原子或C1-C4烷基，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>Z^戈表Cl-C6烷基或C3-C12環(huán)烷基，前H當(dāng)W不為-CO-O-時(shí)，W可為氫原子，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基，所述方法包括使式(VII)所代表的化合物與式(VIII)所代表的化合物在堿的存在下反應(yīng)，其中R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66和R67的定義同上，選自R11、R12、R13、R"和R15的至少一個(gè)為氳原子，其余的為氫原子或上面提到的式(III)所代表的基團(tuán)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(VIII)其中Q1、Q2、U和A+的定義同上，L代表卣素原子、Cl-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰氧基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替。13.式(VIII)所代表的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(VIII)其中(^和(52各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被-O-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替，其中R代表烷基，A+代表有機(jī)反離子，L代表鹵素原子、C1-C12烷基磺酰lL&或C6-C12芳基磺酰氡基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替。14.一種制備式(VIII)所代表的化合物的方法，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>其中(^和Q"各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞曱基可被國O畫、-S畫、-NH國、畫CO-、畫CO-O畫或畫NR畫所代替，其中R代表烷基，A+代表有機(jī)反離子，L代表鹵素原子、C1-C12烷基磺酰H&或C6-C12芳基磺酰氧基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替，所述方法包括使式(X)所代表的化合物與式(XI)所代表的化合物反應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>其中C^和02各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞曱基可被-O-、-S畫、-NH國、國CO-、畫CO隱O-或畫NR畫所代替，其中R代表烷基，M+代表Li+、Na+、K+或Ag+,L代表卣素原子、C1-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰氧基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>其中A+的定義同上，Z代表F、Cl、Br、I、BF4、AsF6、SbF6、PF6或C104。15.式(X)所代表的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>其中C^和<32各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞曱基可被畫O畫、隱S畫、-NH隱、-CO-、畫CO-O畫或國NR畫所代替，其中R代^i^基，M+代表Li+、Na+、K+或Ag+,L代表卣素原子、C1-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰氡基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替。16.—種制備式(X)所代表的化合物的方法，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>其中Q"和()2各自獨(dú)立地代表氟原子或Cl-C6全氟烷基，U代表C1-C20二價(jià)烴基，所述C1-C20二價(jià)烴基中的至少一個(gè)亞甲基可被_0-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-所代替，其中R代表烷基，M+代表Li+、Na+、K+或Ag+，L代表鹵素原子、C1-C12烷基磺酰氧基或C6-C12芳基磺酰氡基，其中芳基的至少一個(gè)碳原子可被雜原子所代替，所述方法包括使式(XII)所代表的醇化合物與式(XIII)所代表的羧^應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>其中U和L的定義同上，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>其中Q1、(^和M+的定義同上。全文摘要本發(fā)明提供了式(I)所代表的多羥基化合物其中，R⁵¹到R⁶⁷各自獨(dú)立地代表氫原子等，選自R¹到R⁵的至少一個(gè)為式(II)所代表的基團(tuán)，其余的為氫原子或式(III)所代表的基團(tuán)，其中Q¹和Q²各自獨(dú)立地代表氟原子等，U代表C1-C20二價(jià)烴基等，A⁺代表有機(jī)反離子，其中X¹到X⁴各自獨(dú)立地代表氫原子等，n代表0-3的整數(shù)，W代表如下基團(tuán)中的任何一個(gè)(見圖)Z¹代表C1-C6烷基等，環(huán)Y代表C3-C20脂環(huán)烴基。本發(fā)明還提供含有該多羥基化合物的化學(xué)放大型抗蝕劑組合物。文檔編號(hào)G03F7/004GK101514173SQ20091000768公開日2009年8月26日申請(qǐng)日期2009年2月20日優(yōu)先權(quán)日2008年2月22日發(fā)明者安藤信雄,武元一樹申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社