專(zhuān)利名稱(chēng)：具有可移除鋼腳趾罩的凈室安全鞋物件和處理該鞋的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明指向用于半導(dǎo)體器件制造的集成電路及其處理。更具體地，所述發(fā)明提供了用于集成電路制造的潔凈室鞋和/或靴的方法和器件。僅作為實(shí)例，所述鞋和/或靴用于具有大約100級(jí)、10級(jí)或更高級(jí)別的潔凈室機(jī)構(gòu)中。但將認(rèn)識(shí)到所述發(fā)明具有更廣泛范圍的應(yīng)用。
背景技術(shù)：
集成電路已從制造在單個(gè)硅芯片上的少數(shù)互相連接的器件發(fā)展為數(shù)百萬(wàn)的器件。常規(guī)集成電路提供了遠(yuǎn)超出原來(lái)所想象的性能和復(fù)雜度。為了實(shí)現(xiàn)復(fù)雜度和電路密度(即，能夠封裝在給定芯片面積上的器件的數(shù)量)的改進(jìn)，最小的器件特征尺寸，也稱(chēng)為器件“幾何圖形”，已隨著每一代集成電路而變得更小。
不斷增加的電路密度不但改進(jìn)了集成電路的復(fù)雜度和性能，而且為消費(fèi)者提供了更低成本的部件。集成電路或芯片制造機(jī)構(gòu)可耗費(fèi)數(shù)億甚至數(shù)十億美元。每個(gè)制造機(jī)構(gòu)會(huì)有一定的晶片生產(chǎn)量，而每個(gè)晶片在其上有一定數(shù)量的集成電路。因此，通過(guò)使集成電路的單個(gè)器件變得更小，可在每個(gè)晶片上制造更多的器件，從而增加制造機(jī)構(gòu)的產(chǎn)量。使器件變得更小非常有挑戰(zhàn)性，因?yàn)橛糜诩芍圃斓拿總€(gè)工藝都有限制。即，給定的工藝典型地只工作至一定的特征尺寸，并且然后需要改變所述工藝或所述器件布局。另外，由于器件需要越來(lái)越快的設(shè)計(jì)，改進(jìn)的制造機(jī)構(gòu)和其它相關(guān)物件必須改進(jìn)。
有限制的物件的實(shí)例是潔凈室衣服和鞋。這些衣服和鞋必須周期性地清洗以便在通常稱(chēng)為晶片廠(chǎng)(wafer fabs)的常規(guī)制造機(jī)構(gòu)內(nèi)維持基本無(wú)微塵的環(huán)境。不幸的是，潔凈室衣服和鞋的平均壽命通常是有限的。潔凈室衣服的這些和其它限制可在整個(gè)本說(shuō)明書(shū)中找到并且以下更加詳細(xì)。
由以上所述，可見(jiàn)需要改進(jìn)的用于處理半導(dǎo)體器件的技術(shù)包括清潔潔凈室衣服。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，提供了用于半導(dǎo)體器件制造的處理集成電路的技術(shù)。更具體地，本發(fā)明提供了用于集成電路制造的潔凈室鞋和/或靴的方法和裝置。僅作為實(shí)例，所述鞋和/或靴用于具有大約100級(jí)、10級(jí)或更高級(jí)別的潔凈室機(jī)構(gòu)中。但將認(rèn)識(shí)到本發(fā)明具有更廣泛范圍的應(yīng)用。
在一特定實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種潔凈室鞋物件，例如鞋、靴、安全鞋、安全靴。所述物件具有鞋底區(qū)。所述物件具有上部無(wú)微塵聚合物材料，該上部無(wú)微塵聚合物材料具有腳趾區(qū)和腳踝區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到鞋底區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳。所述腳趾區(qū)罩住所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有鋼腳趾罩構(gòu)件，該鋼腳趾罩構(gòu)件裝入和保護(hù)人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼。所述殼適合于罩住鋼腳趾罩構(gòu)件。在所述殼附近內(nèi)提供了密封區(qū)。所述密封區(qū)適合于將鋼腳趾罩構(gòu)件維持在殼內(nèi)并且適合于打開(kāi)并從在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼移除鋼腳趾罩構(gòu)件。
在一可選的特定實(shí)施例中，本發(fā)明提供了一種用于清潔潔凈室鞋物件例如鞋、靴、安全鞋、安全靴的方法。所述方法包括提供所述物件。所述物件具有鞋底區(qū)。所述物件具有上部無(wú)微塵聚合物材料，該上部無(wú)微塵聚合物材料具有腳趾區(qū)和腳踝區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到鞋底區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳。所述腳趾區(qū)罩住人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有鋼腳趾罩構(gòu)件，該鋼腳趾罩構(gòu)件裝入并保護(hù)人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼。所述殼適合于罩住鋼腳趾罩構(gòu)件。在所述殼附近內(nèi)提供了密封區(qū)。所述密封區(qū)適合于將鋼腳趾罩構(gòu)件維持在殼內(nèi)并且適合于打開(kāi)并從在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼移除鋼腳趾罩構(gòu)件。在一個(gè)特定實(shí)施例中，所述方法包括解開(kāi)所述密封區(qū)并從所述殼移除至少所述鋼腳趾罩構(gòu)件。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述鋼腳趾罩構(gòu)件從所述物件完全脫離。所述方法包括使不帶有鋼腳趾罩構(gòu)件的所述潔凈室鞋物件經(jīng)受一個(gè)或多個(gè)清潔工藝。
通過(guò)勝于常規(guī)技術(shù)的本發(fā)明在常規(guī)技術(shù)實(shí)現(xiàn)了許多益處。例如，本技術(shù)提供了依賴(lài)常規(guī)技術(shù)的易用的工藝。在一些實(shí)施例中，所述方法在每晶片的芯片數(shù)方面提供了更高的器件產(chǎn)出。另外，所述方法提供了與常規(guī)工藝技術(shù)兼容的工藝，而不必對(duì)常規(guī)設(shè)備和工藝進(jìn)行實(shí)質(zhì)性修改。優(yōu)選地，所述發(fā)明提供用于改進(jìn)的潔凈室鞋，其根據(jù)特定實(shí)施例能夠承受多次清洗而不會(huì)對(duì)所述潔凈室鞋造成實(shí)質(zhì)性損壞。依據(jù)所述實(shí)施例，可以實(shí)現(xiàn)一個(gè)或多個(gè)這些益處。這些和其它益處將在整個(gè)本說(shuō)明書(shū)中并且特別是在以下進(jìn)一步得到描述。
參考隨后的詳細(xì)描述和附圖可更全面地理解本發(fā)明的各種另外的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的潔凈室鞋的簡(jiǎn)化側(cè)視圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的可選的潔凈室鞋的簡(jiǎn)化側(cè)視圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的潔凈室鞋的頂視圖；以及圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的清潔工藝的簡(jiǎn)化流程圖。
具體實(shí)施例方式
根據(jù)本發(fā)明，提供了用于半導(dǎo)體器件制造的處理集成電路的技術(shù)。更具體地，本發(fā)明提供了用于集成電路制造的潔凈室鞋和/或靴的方法和裝置。僅作為實(shí)例，所述鞋和/或靴用于具有大約100級(jí)、10級(jí)或更高級(jí)別的潔凈室機(jī)構(gòu)。但是將認(rèn)識(shí)到本發(fā)明具有更廣泛范圍的應(yīng)用。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的潔凈室鞋100的簡(jiǎn)化側(cè)視圖。此圖只是一個(gè)實(shí)例，其不應(yīng)過(guò)度限制在此所述權(quán)利要求的范圍。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到其它變化、修改和選擇。如所示出的是潔凈室鞋物件100，例如鞋、靴、安全鞋、安全靴。所述物件具有鞋底區(qū)101。所述物件具有上部無(wú)微塵聚合物材料103，所述聚合物材料具有腳趾區(qū)105和腳踝區(qū)111。所述上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到所述鞋底區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳。所述腳趾區(qū)105罩住所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有鋼腳趾罩構(gòu)件109，所述罩構(gòu)件裝入和保護(hù)所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有在所述上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼。所述殼適合于罩住所述鋼腳趾罩構(gòu)件。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述殼可以是在所述腳趾區(qū)內(nèi)的“袋狀區(qū)”。
在特定實(shí)施例中，所述物件具有在所述殼附近內(nèi)提供的密封區(qū)107。所述密封區(qū)適合于將所述鋼腳趾罩構(gòu)件維持在所述殼內(nèi)并且也適合于打開(kāi)并從在所述上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)內(nèi)提供的殼移除所述鋼腳趾罩構(gòu)件。如所示，所述密封區(qū)閉合并將所述鋼腳趾罩構(gòu)件密封在所述殼內(nèi)。當(dāng)然，可以有其它變化、修改和選擇。所述密封區(qū)的進(jìn)一步細(xì)節(jié)在整個(gè)本說(shuō)明書(shū)中并且特別是在以下提供。
圖2是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的可選的潔凈室鞋的簡(jiǎn)化側(cè)視圖。此圖只是一個(gè)實(shí)例，其不應(yīng)過(guò)度限制在此所述權(quán)利要求的范圍。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到其它變化、修改和選擇。如所示，所述物件具有密封區(qū)201，其已經(jīng)打開(kāi)。一旦打開(kāi)，可移除鋼腳趾罩構(gòu)件109。在特定實(shí)施例中，所述密封區(qū)可以是任何適合的構(gòu)件，例如拉鏈、拉鎖區(qū)、一個(gè)或多個(gè)鈕扣。
圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的潔凈室鞋的頂視圖300。此圖只是一個(gè)實(shí)例，其不應(yīng)過(guò)度限制在此所述權(quán)利要求的范圍。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到其它變化、修改和選擇。如所示，所述物件的頂視圖包括鋼腳趾罩構(gòu)件109和腳踝區(qū)111。所述物件還包括上部無(wú)微塵聚合物材料。在特定實(shí)施例中，所述材料可以是聚乙烯或其它無(wú)微塵材料。當(dāng)然，可以有其它變化、修改和選擇。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的用于清潔鞋物件的方法可概述如下。
1.提供鞋物件(其已在上面描述)；2.解開(kāi)所述密封區(qū)；3.從所述殼移除至少所述鋼腳趾罩構(gòu)件以與所述物件完全脫離；4.使不帶有鋼腳趾罩構(gòu)件的潔凈室鞋物件經(jīng)受一個(gè)或多個(gè)清潔工藝；5.檢查潔凈室鞋物件；6.將所述鋼腳趾罩構(gòu)件插入所述殼；7.將密封區(qū)密封；8.在潔凈室內(nèi)使用鞋物件；9.重復(fù)步驟2到8；以及10.執(zhí)行所需的其它步驟。
以上步驟序列提供了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的方法。在特定實(shí)施例中，本發(fā)明提供了用于清潔鞋物件的方法，所述方法移除所述鋼腳趾罩構(gòu)件。也可提供其它選擇，其中增加步驟、減少一個(gè)或多個(gè)步驟、或以不同的順序提供一個(gè)或多個(gè)步驟，而不背離在此所述權(quán)利要求的范圍。本方法和結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)可在整個(gè)本說(shuō)明書(shū)中并且特別是在以下找到。
圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的清潔工藝的簡(jiǎn)化流程圖400。此圖只是一個(gè)實(shí)例，其不應(yīng)過(guò)度限制在此所述權(quán)利要求的范圍。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到其它變化、修改和選擇。如所示，所述方法在“起始”處開(kāi)始，即步驟401。在一個(gè)特定實(shí)施例中，所述方法包括提供鞋物件，即步驟403。所述物件具有鞋底區(qū)。所述物件具有上部無(wú)微塵聚合物材料，該上部無(wú)微塵聚合物材料具有腳趾區(qū)和腳踝區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到所述鞋底區(qū)。所述上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳。所述腳趾區(qū)罩住所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有鋼腳趾罩構(gòu)件，該鋼腳趾罩構(gòu)件裝入并保護(hù)所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼。所述殼適合于罩住鋼腳趾罩構(gòu)件。
在所述殼附近內(nèi)提供了密封區(qū)。所述密封區(qū)適合于將鋼腳趾罩構(gòu)件維持在殼內(nèi)并且還適合于打開(kāi)并從在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼移除所述鋼腳趾罩構(gòu)件。在一個(gè)特定實(shí)施例中，所述方法包括解開(kāi)所述密封區(qū)并從所述殼移除至少鋼腳趾罩構(gòu)件。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述鋼腳趾罩構(gòu)件從所述物件完全脫離。所述方法包括使不帶有鋼腳趾罩構(gòu)件的潔凈室鞋物件經(jīng)受一個(gè)或多個(gè)清潔工藝。
在一個(gè)特定實(shí)施例中，所述方法包括使用(步驟405)所述鞋物件。所述鞋物件用于潔凈室環(huán)境。所述鞋物件優(yōu)選地是安全鞋和/或靴，其帶有鋼腳趾構(gòu)件以保護(hù)用戶(hù)的腳趾。根據(jù)一個(gè)特定實(shí)施例所述鋼腳趾構(gòu)件能夠承受大約一公噸和更少的力。當(dāng)然，可以有其它的變化、修改和選擇。
在一個(gè)特定實(shí)施例中，所述方法從殼移除鋼腳趾罩構(gòu)件，即步驟407。根據(jù)一個(gè)特定實(shí)施例所述方法開(kāi)啟密封區(qū)以暴露鋼腳趾罩構(gòu)件。依據(jù)所述實(shí)施例，所述密封區(qū)可以是拉鏈、拉鎖裝置、鈕扣或其它鎖裝置。當(dāng)然，可以有其它的變化、修改和選擇。
所述方法使不帶有鋼腳趾構(gòu)件的鞋物件經(jīng)受清潔工藝，即步驟409。所述清潔工藝可以是溶劑、基于水的溶液、表面活性劑和用以從所述鞋物件去除污染和/或微塵的其它溶液的組合。當(dāng)然，可以有其它的變化、修改和選擇。
在一個(gè)特定實(shí)施例中，所述方法在清潔后將鋼腳趾罩構(gòu)件插入(步驟411)鞋物件的殼內(nèi)。依據(jù)所述實(shí)施例，所述方法確定所述清潔工藝是否是可接受的，即步驟413。如果所述清潔工藝是可接受的并且所述鞋物件滿(mǎn)足規(guī)格，所述鞋物件經(jīng)由分支417再次使用，即步驟405?？蛇x地，所述方法經(jīng)由分支419到達(dá)“停止”，即步驟415。當(dāng)然，可以有其它的變化、修改和選擇。
以上步驟序列提供了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的方法。在一個(gè)特定實(shí)施例中，本發(fā)明提供了用于清潔鞋物件的方法，該方法移除了鋼腳趾罩構(gòu)件。也可提供其它選擇，其中增加步驟、移除一個(gè)或多個(gè)步驟、或以不同的順序提供一個(gè)或多個(gè)步驟，而不背離在此所述權(quán)利要求的范圍。
還應(yīng)理解，在此描述的實(shí)例和實(shí)施例僅用于說(shuō)明的目的，并且關(guān)于其的各種修改和變化將建議給本領(lǐng)域的技術(shù)人員，并且包括在此申請(qǐng)的精神和范圍以及所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種潔凈室鞋物件，包括鞋底區(qū)；上部無(wú)微塵聚合物材料，具有腳趾區(qū)和腳踝區(qū)，所述上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到所述鞋底區(qū)，所述上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳，所述腳趾區(qū)罩住所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾；鋼腳趾罩構(gòu)件，裝入并保護(hù)所述人類(lèi)用戶(hù)的所述全部腳趾；殼，在所述上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供。所述殼適合于罩住所述鋼腳趾罩構(gòu)件；以及密封區(qū)，在所述殼附近內(nèi)提供，所述密封區(qū)適合于將所述鋼腳趾罩構(gòu)件維持在所述殼內(nèi)并且適合于打開(kāi)并從在所述上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼移除所述鋼腳趾罩構(gòu)件。
2.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述鞋底區(qū)包括聚合物材料的厚度，所述聚合物材料的厚度適合于為所述人類(lèi)用戶(hù)減震。
3.權(quán)利要求2所述的物件，其中所述聚合物材料的厚度包括橡膠材料。
4.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述鋼腳趾罩構(gòu)件包括剛性鋼的厚度。
5.權(quán)利要求4所述的物件，其中所述鋼腳趾罩構(gòu)件能夠承受1000千克的力。
6.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述上部無(wú)微塵聚合物材料可以是聚乙烯或其它無(wú)微塵材料。
7.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述密封區(qū)包括拉鏈。
8.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述密封區(qū)包括拉鎖區(qū)。
9.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述密封區(qū)包括一個(gè)或多個(gè)鈕扣。
10.權(quán)利要求1所述的物件，其中所述殼是所述上部無(wú)微塵聚合物材料的一部分。
11.一種用于處理一個(gè)或多個(gè)潔凈室鞋物件的方法，包括提供潔凈室鞋物件，所述潔凈室鞋物件包括鞋底區(qū)；上部無(wú)微塵聚合物材料，具有腳趾區(qū)和腳踝區(qū)，所述上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到所述鞋底區(qū)，所述上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳，所述腳趾區(qū)罩住所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾；鋼腳趾罩構(gòu)件，裝入并保護(hù)所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾；殼，在所述上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供，所述殼適合于罩住所述鋼腳趾罩構(gòu)件；以及密封區(qū)，在所述殼附近內(nèi)提供，所述密封區(qū)適合于將所述鋼腳趾罩構(gòu)件維持在所述殼內(nèi)并且適合于打開(kāi)并從在所述上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼移除所述鋼腳趾罩構(gòu)件；解開(kāi)所述密封區(qū)；從所述殼移除至少所述鋼腳趾罩構(gòu)件；以及使不帶有所述鋼腳趾罩構(gòu)件的所述潔凈室鞋物件經(jīng)受一個(gè)或多個(gè)清潔工藝。
12.權(quán)利要求11所述的方法進(jìn)一步包括將第二個(gè)鋼腳趾罩構(gòu)件插入所述殼內(nèi)；并密封所述密封區(qū)。
13.權(quán)利要求11所述的方法進(jìn)一步包括將提供、解開(kāi)、移除和經(jīng)受的所述步驟重復(fù)至少五個(gè)或更多個(gè)清潔周期。
14.權(quán)利要求11所述的方法，其中一個(gè)或多個(gè)清潔工藝有表面活性劑處理。
15.權(quán)利要求11所述的方法，其中所述解開(kāi)包括打開(kāi)所述密封區(qū)。
16.權(quán)利要求11所述的方法，其中所述鞋底區(qū)包括聚合物材料的厚度，所述聚合物材料的厚度適合于為所述人類(lèi)用戶(hù)減震。
17.權(quán)利要求16所述的方法，其中所述聚合物材料的厚度包括橡膠材料。
18.權(quán)利要求11所述的方法，其中所述鋼腳趾罩構(gòu)件包括剛性鋼的厚度。
19.權(quán)利要求11所述的方法，其中所述鋼腳趾罩構(gòu)件能夠承受1000千克的力。
全文摘要
一種潔凈室鞋物件，例如，鞋、靴、安全鞋、安全靴。所述物件具有鞋底區(qū)。所述物件具有上部無(wú)微塵聚合物材料，該上部無(wú)微塵聚合物材料具有腳趾區(qū)和腳踝區(qū)。上部無(wú)微塵聚合物材料耦合到鞋底區(qū)。上部無(wú)微塵聚合物材料能夠裝入人類(lèi)用戶(hù)的腳。腳趾區(qū)罩住所述人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有鋼腳趾罩構(gòu)件，該鋼腳趾罩構(gòu)件裝入和保護(hù)人類(lèi)用戶(hù)的全部腳趾。所述物件具有在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼。所述殼適合于罩住鋼腳趾罩構(gòu)件。在所述殼附近內(nèi)提供了密封區(qū)。所述密封區(qū)適合于將鋼腳趾罩構(gòu)件維持在殼內(nèi)并且適合于打開(kāi)并從在上部無(wú)微塵聚合物材料的腳趾區(qū)中提供的殼移除鋼腳趾罩構(gòu)件。
文檔編號(hào)A43B13/02GK101023818SQ200610024139
公開(kāi)日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2006年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月24日
發(fā)明者鄧覺(jué)為, 藍(lán)仁隆, 吳其穎, 孫崢嶸 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司