專利名稱：無極準分子燈及其應用的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬電光學領域，涉及一種通過微波激勵放電發(fā)光的準分子燈，具體涉及準 分子燈的諧振腔系統(tǒng)及采用可產生波長為207nm紫外光的無極燈管時的應用。
背景技術：
受激準分子燈目前廣泛應用于半導體集成電路、液晶顯示面板和印刷線路板等 電子部件的制造工序中的紫外線曝光裝置等中，但是現(xiàn)在進入實用狀態(tài)的大都是高壓 電場激發(fā)光的準分子燈，例如專利公開號CN1494105A的(受激準分子燈)，專利公開號 CN101164136A的(準分子燈)等?，F(xiàn)在國內外也有不少院校及科研機構、企業(yè)在研究新型準分子發(fā)光系統(tǒng)，如復旦 大學專利公告號為1713338A的(190nm、207nm準分子微波無極放電燈及應用)；電子科技 大學專利申請?zhí)枮?3117882.0的(一種微波紫外光源)；以及本人的專利號為ZL 2008102 1 6783. 1的(無極準分子燈)等。其中復旦大學專利公告號為1713338A的(190nm、207nm 準分子微波無極放電燈及應用)的技術在廢水廢氣的降解方面作了深入研究，已經可進入 實用階段，其它方面的應用則未見于報導。目前紫外線用于殺菌的都是波長為253. 7nm的紫外光，由于該波長的紫外燈均為 汞燈，眾所周知，汞是重污染金屬，所以如果能有一種綠色環(huán)保的光源替代，將是紫外燈行 業(yè)的一次革命。在本人的專利產品實際應用過程中，發(fā)現(xiàn)可以通過將諧振腔與工作腔合二為一來 提高燈的光照效率，并且通過實驗發(fā)現(xiàn)了 207nm波長的紫外光可有效殺滅微生物。

發(fā)明內容
因此，本發(fā)明是為了解決實際使用中的的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種光照 效率更高的微波激勵的無極準分子燈，及其采用可產生207nm紫外光的無極燈管時的應用。本發(fā)明的無極準分子燈，其包括有微波發(fā)生源，波導系統(tǒng)，諧振腔系統(tǒng)，無極燈管 等，通過微波的激勵作用激勵燈管內氣體放電發(fā)光，其特征在于諧振腔系統(tǒng)是封閉的，兩 端有通氣網，一端有進氣口，一端有排氣口。本發(fā)明的無極準分子燈，其特征在于所說的諧振腔系統(tǒng)內面采用鏡面設計。本發(fā)明的無極準分子燈，其特征在于所說的排氣口有壓力調節(jié)裝置。本發(fā)明的無極準分子燈，其特征在于所說的諧振腔系統(tǒng)，內部可以串聯(lián)或并聯(lián)多 支燈管。本發(fā)明的無極準分子燈，其特征在于所說的諧振腔系統(tǒng)可有多套微波發(fā)生源。本發(fā)明的無極準分子燈，采用可產生207nm紫外光的無極燈管時，可有效殺滅細 菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生動物及線蟲卵、藻類等常見微生物。我們常見的DNA和RNA的吸收光譜，都是只繪到^Onm部分的一個峰值，其實在紫外C波段，還有一個吸收峰值在205nm，該峰值比^Onm的還要高，也就意味著更強的殺菌 效果。因此我們用207nm的準分子紫外燈做了實驗來驗證，實驗結果證實了這一點，在IOM3 空間對白色葡萄球菌的15分鐘滅殺率檢測，滅殺效果達到99. 9%，詳細數(shù)據(jù)見附圖4。


圖1為本發(fā)明的結構圖。圖2為本發(fā)明的A向視圖。圖3為DNA的吸收光譜。1圖4為本發(fā)明的空氣消毒效果檢測報告。2符號說明10 諧振腔兼工作腔；11 無極燈管的固定架；12 耦合口的密封板；13 耦合口 ； 14 波導腔；15 壓力調節(jié)裝置；16 排氣口 ；17 諧振腔兩端的通氣網；18 無極燈管；19 諧振腔外殼；20 進氣口。具體實施案例參照附圖，其中圖1為本發(fā)明的結構圖，圖2為本發(fā)明的A向視圖，本發(fā)明是通過 如下方式進行實施的，微波源產生微波后，微波通過波導14的耦合口 13進入諧振腔10，激 勵準分子燈管18內的放電用氣體受激發(fā)生準分子紫外光，需要殺滅微生物的空氣從進氣 口 20進入，經過準分子紫外光殺滅微生物后從排氣口 16排出。諧振腔系統(tǒng)是由諧振腔外 殼19、波導腔14的底板共同構成，波導14的耦合口 13有密封板12密封。如圖1所示，諧振腔兩端有可防止微波泄漏的通氣網17，通氣網分別連接排氣口 16及進氣口 20，排氣口 16有壓力調節(jié)裝置15來調節(jié)氣體在工作腔內的停留時間。無極燈 管系統(tǒng)則由無極燈管18、無極燈管的固定架11構成，固定板的材質可以是TEFI0N、PE或其 它不吸收微波的材料。見附圖4，這是該款樣品的測試報告，報告中的數(shù)據(jù)結果證實，207匪波段的準分 子紫外光對微生物的滅殺效果是確實的，是完全具有實用價值的，一種新的波段的、環(huán)保 的、綠色的、低碳的紫外光源將發(fā)揮巨大的作用。雖然僅對本發(fā)明的一個實施例作了說明，但是，在不背離本發(fā)明的精神和范圍的 前提下，本發(fā)明顯然還具有許多變化和改變的形式，例如諧振腔的形狀也可以是方箱型，燈 管也可以是任意長度和直徑的燈管甚至燈泡。參考文獻1.張智淵。光譜法研究苯甲酸鈉與DNA的體外作用。北京大學政學者論文集(2001 年)2.廣州工業(yè)微生物檢測中心檢測報告。
權利要求
1.一種無極準分子燈，其包括有微波發(fā)生源，波導系統(tǒng)，諧振腔系統(tǒng)，無極燈管等，通過 微波的激勵作用激勵燈管內氣體放電發(fā)光，其特征在于諧振腔系統(tǒng)是封閉的，兩端有通氣 網，一端有進氣口，一端有排氣口。
2.根據(jù)權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于所說的諧振腔系統(tǒng)內面采用鏡 面設計。
3.根據(jù)權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于所說的排氣口有壓力調節(jié)裝置。
4.根據(jù)權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于所說的諧振腔系統(tǒng)，內部可以串 聯(lián)或并聯(lián)多支燈管。
5.根據(jù)權利要求1所述的無極準分子燈，其特征在于所說的諧振腔系統(tǒng)可有多套微 波發(fā)生源。
6.一種如權利要求1-5之一所述無極準分子燈，采用可產生207nm紫外光的無極燈管 時，在滅殺微生物中的應用。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種無極準分子燈及其采用可產生207nm紫外光的無極燈管時的應用，該種無極準分子燈采用微波激勵發(fā)光，無極方式。本發(fā)明主要改進諧振腔系統(tǒng)的設計，使諧振腔與工作腔合二為一，提高工作效率，整套產品光照效率大為提高。當該無極準分子燈采用可產生207nm紫外光的無極燈管時，可有效殺滅細菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生動物及線蟲卵、藻類等常見微生物。
文檔編號A61L9/20GK102097282SQ201010566990
公開日2011年6月15日 申請日期2010年11月30日 優(yōu)先權日2010年11月30日
發(fā)明者王頌 申請人:王頌