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圓形及多環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁敏感質(zhì)量微加速度計(jì)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5834619

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本發(fā)明涉及的是一種微機(jī)電的微型加速度計(jì),具體是一種圓形及多 環(huán)形軸向徑向充磁永磁反磁敏感質(zhì)量微加速度計(jì)。技術(shù)背景慣性導(dǎo)航系統(tǒng)是一種自主式導(dǎo)航技術(shù),根據(jù)牛頓慣性定律直接計(jì)算出載體的 位置、航向和姿態(tài)等導(dǎo)航參數(shù)。在工作過程中,既不向外界發(fā)射能量,也不從外 部獲取信息,具有不受干擾、可在任何地方使用、動態(tài)性能好、導(dǎo)航輸出信息豐 富等獨(dú)特優(yōu)點(diǎn),在航空、航天和航海等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,MEMS (Micro-electromechanical Systems,微機(jī)...
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