本發(fā)明涉及一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，更詳細而言，涉及一種用于防止水分被捕集到真空泵油中的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：醫(yī)療器械通常由高壓蒸氣滅菌方法或者由環(huán)氧乙烷氣體滅菌方法等來進行滅菌，其中，所述高壓蒸氣滅菌方法利用高壓下飽和的水蒸氣，所述環(huán)氧乙烷氣體滅菌方法利用不會對耐熱性弱的器械或材料帶來損傷的如環(huán)氧乙烷等化學物質(zhì)。但是，由于高壓蒸氣滅菌器在120℃以上的高溫下進行滅菌，因此近來開發(fā)中的用合成樹脂制成的醫(yī)療器械會產(chǎn)生變形，用鋼制成的醫(yī)療器械的鋒利刀刃鈍化，從而與現(xiàn)有壽命相比醫(yī)療器械的壽命大幅縮短。特別地，隨著最新手術(shù)技術(shù)的發(fā)展而增加的高價醫(yī)療設(shè)備、器械和裝置對熱和濕氣敏感，在滅菌再處理過程中有可能被損壞，因此高壓蒸氣滅菌方法有可能是不合適的滅菌方法。能夠使這種設(shè)備損傷最小化的環(huán)氧乙烷氣體滅菌器可在低溫下進行滅菌，但是由于在被滅菌物中殘留環(huán)氧乙烷或由此導致的反應生成物而有可能生成致癌物質(zhì)及毒性物質(zhì)，因此在滅菌之后需要約12小時以上的換氣時間。此外，根據(jù)有關(guān)報告，環(huán)氧乙烷氣體的自爆炸性較高，并且有可能作為能夠引起突變的遺傳毒性物質(zhì)發(fā)揮作用，從而環(huán)氧乙烷氣體被規(guī)定為致癌物質(zhì)，在使用該環(huán)氧乙烷氣體時需要格外小心。相反，使用過氧化氫蒸氣的滅菌方法在40～50℃的溫度下進行30～60分鐘內(nèi)的短時間滅菌，并且在滅菌后排放到大氣中的物質(zhì)為對人體或環(huán)境無害的水和氧氣，因此能夠彌補高壓蒸氣滅菌器和環(huán)氧乙烷氣體滅菌器的各種缺點。此時，利用這種液體過氧化氫蒸氣的滅菌法基本上存在水蒸氣，該水蒸氣在真空排氣過程中會經(jīng)過真空泵。一般而言，經(jīng)由真空泵的一部分水蒸氣被持續(xù)汽化或溶解到空氣中而排出，但無法完全排出該水蒸氣，該水蒸氣被捕集并積聚到真空泵油中。此外，當在滅菌周期中包括用于去除滅菌劑水溶液中的水分等過程時，水分被積聚到空泵油中的速度會更快。在這種情況下，即在因水蒸氣以水分形態(tài)持續(xù)積聚到真空泵油中而該水蒸氣量過多的情況下，會導致真空泵內(nèi)表面的腐蝕或真空排氣能力的下降。此外，當真空泵油中包含過多水分時，水分在排氣過程中無法被充分捕集到機油過濾器(油霧收集器，OilMistTrap)等中，從而限制能夠使用設(shè)備的空間。此外，捕集到真空泵油中的水蒸氣會加快水分被捕集并積聚到真空泵中，該水蒸氣不僅包括從過氧化氫水中蒸發(fā)的水蒸氣，而且包括從清洗后未充分干燥的滅菌對象物或高濕環(huán)境下在表面吸附有水分的滅菌對象物等流入的水蒸氣。另外，在無油干式真空泵的情況下，其真空排氣性能低于有油真空泵，在使用高價且具有高真空排氣性能的干式真空泵的情況下，由于排氣量不足而不適合作為對高容量容器進行真空排氣的用途而使用。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明是為了解決上述問題而開發(fā)的，其目的在于提供一種用于防止水分被捕集到真空泵油中的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)。本發(fā)明的目的并不限定于以上所提及的目的，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠從下面的記載中明確理解沒有提及的其它目的。為了解決上述所指出的問題，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其包括：滅菌室；第一真空泵，被連接到所述滅菌室的一側(cè)；機油過濾器部，用于使從所述滅菌室流入的蒸氣經(jīng)由所述第一真空泵排出；和第二真空泵，被連接到所述第一真空泵和所述機油過濾器部。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其進一步包括被連接到所述滅菌室的另一側(cè)的滅菌劑水溶液供給裝置。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一真空泵為有油真空泵。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第二真空泵為無油干式真空泵。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第二真空泵使所述第一真空泵的工作油暴露于規(guī)定壓力的真空度中，所述規(guī)定壓力為能夠使捕集到所述工作油中的水分為沸點以下的壓力。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其特征在于，包括：第一通路開閉閥部，位于所述第一真空泵與所述機油過濾器部之間，所述第二真空泵和所述第一通路開閉閥部在所述第一真空泵與所述機油過濾器部之間被并聯(lián)連接。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一通路開閉閥部為單向閥。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法，其包括以下步驟：開啟第一真空泵對真空室進行排氣；開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空；以及使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法，其在使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化的步驟之后，進一步包括以下步驟：關(guān)閉所述第一真空泵并維持所述第二真空泵的開啟狀態(tài)；以及關(guān)閉所述第二真空泵。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法，其在使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化的步驟之后，進一步包括以下步驟：關(guān)閉所述第二真空泵。此外，本發(fā)明提供一種滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法，其在開啟所述第一真空泵對真空室進行排氣的步驟之后，進一步包括以下步驟：關(guān)閉所述第一真空泵結(jié)束真空室的排氣。根據(jù)如上所述的本發(fā)明，包括被連接到所述第一真空泵和所述機油過濾器(OilMistTrap)部的第二真空泵，通過開啟所述第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空，從而向所述第一真空泵提供用于使液態(tài)水蒸發(fā)的規(guī)定壓力，由此能夠使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化。附圖說明圖1是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的示意性立體圖。圖2是用于說明本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法的流程圖。圖3是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例的滅菌方法的順序圖。圖5是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第二應用例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6是表示本發(fā)明第二實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的示意性立體圖。圖7是表示本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的示意性立體圖。具體實施方式參照附圖的同時參照詳細地后述的實施例，本發(fā)明的優(yōu)點及特性以及實現(xiàn)這些的方法將會明確。但是，本發(fā)明并不限定于以下所公開的實施例，而是可以以彼此不同的多種方式實現(xiàn)，本實施例僅僅用于完整地公開本發(fā)明，并且為了向本發(fā)明所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
的技術(shù)人員完整地告知本發(fā)明的范圍而提供的，本發(fā)明僅由權(quán)利要求的范圍定義。下面，參照附圖對用于實施本發(fā)明的具體內(nèi)容進行詳細說明。與附圖無關(guān)地，相同的附圖標記表示相同的結(jié)構(gòu)要素，“和/或”包括所提及的項目中的每一個和一個以上的所有組合。雖然第一、第二等用語用于描述多種結(jié)構(gòu)要素，但這些結(jié)構(gòu)要素并非由這些用語限定。所述用語僅僅為了將一個結(jié)構(gòu)要素與其它結(jié)構(gòu)要素相區(qū)別而使用。因此，當然以下所提及的第一結(jié)構(gòu)要素在本發(fā)明的技術(shù)思想范圍內(nèi)也可以是第二結(jié)構(gòu)要素。本說明書中所使用的用語用于說明實施例，并不限制本發(fā)明。在本說明書中，單數(shù)形式只要在句子中未特別提及就也包括復數(shù)形式。在說明書中使用的“包括(comprises)”和/或“包含(comprising)”并不排除所提及的結(jié)構(gòu)要素之外的一個以上的其它結(jié)構(gòu)要素的存在或附加。如果沒有其它定義，則在本說明書中所使用的所有用語(包括技術(shù)用語及科技用語)能夠以本發(fā)明所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
的技術(shù)人員共同理解的含義使用。另外，在通常使用的詞典中定義的用語只要沒有被明確地特別定義，就不被理想地或過度地解釋。如附圖所示，作為空間上相對的用語的“下面(below)”、“下方(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等用語為了易于描述一個結(jié)構(gòu)要素與其它結(jié)構(gòu)要素之間的相關(guān)關(guān)系而使用?？臻g上相對的用語應被理解為除附圖所示的方向以外，還包括使用時或動作時的結(jié)構(gòu)要素的彼此不同的方向的用語。例如，在將附圖所示的結(jié)構(gòu)要素翻轉(zhuǎn)時，被描述為處于其它結(jié)構(gòu)要素的“下面(below)”或“下方(beneath)”的結(jié)構(gòu)要素可位于其它結(jié)構(gòu)要素的“上方(above)”。因此，示意性用語“下方”均可包括上方和下方的方向。結(jié)構(gòu)要素也可以定向成其它方向，因此空間上相對的用語可根據(jù)定向來解釋。下面，參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施例進行詳細說明。圖1是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的示意性立體圖。參照圖1，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括滅菌室10。所述滅菌室10表示能夠容納如欲滅菌醫(yī)療器械或手術(shù)用工具等被滅菌物的容器。此時，在所述滅菌室10的一側(cè)可包括供所述被滅菌物出入的門。此外，可包括被連接到所述滅菌室10的一側(cè)的滅菌劑水溶液供給裝置40，可通過由所述滅菌劑水溶液供給裝置40供給的滅菌劑，在所述滅菌室10中對被滅菌物進行滅菌。此時，在所述滅菌劑水溶液供給裝置40與滅菌室10之間可包括滅菌劑水溶液供給調(diào)節(jié)閥41，從而供給適量的滅菌劑水溶液。另外，在本發(fā)明中所述滅菌劑可以是過氧化氫，所述滅菌劑水溶液可以是過氧化氫水。此外，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)可包括被連接到所述滅菌室10的另一側(cè)的第一真空泵20，所述第一真空泵20通過抽吸所述滅菌室10內(nèi)部的氣體而使其形成真空狀態(tài)。本發(fā)明的特征在于，所述第一真空泵20為有油真空泵。在無油干式真空泵的情況下，與有油真空泵相比真空排氣性能下降，在使用高價且具有高真空排氣性能的干式真空泵的情況下，由于排氣量不足而不適合作為對高容量容器進行真空排氣的用途來使用。因此，在本發(fā)明中優(yōu)選所述第一真空本20為有油真空泵。此時，在所述滅菌室10與所述第一真空泵20之間可連接有能夠控制所述第一真空泵20的操作的第一真空閥21。另外，在所述滅菌室10與所述第一真空泵20之間可包括催化劑反應部22。從所述滅菌室10排出并流入到所述第一真空泵20中的蒸氣包含以有害狀態(tài)排出的氣體，所述催化劑反應部22能夠使這種有害成分氧化而生成經(jīng)無害化處理的廢氣。但是，在本發(fā)明中并不限定所述催化劑反應部22的有無。繼續(xù)參照圖1，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括機油過濾器(OilMistTrap)部50。所述機油過濾器(OilMistTrap)部50為在經(jīng)由所述第一真空泵20最終排出從所述滅菌室10流入的蒸氣的過程中，用于捕集蒸氣中包含的油的部分，可通過所述機油過濾器(OilMistTrap)部50來捕集油，并使蒸氣通過及排出。上述第一真空泵20和機油過濾器(OilMistTrap)部50相當于在滅菌裝置中通常使用的結(jié)構(gòu)。此時，利用這種滅菌劑水溶液的滅菌法基本上存在水蒸氣，該水蒸氣在真空排氣過程中經(jīng)過真空泵。一般而言，經(jīng)由真空泵的一部分水蒸氣被持續(xù)汽化或溶解到空氣中而排出，但無法完全排出該水蒸氣，該水蒸氣被捕集并積聚到第一真空泵的油中。此外，將在后述的本發(fā)明的應用例中圖示那樣，當在滅菌周期中包括用于去除滅菌劑水溶液中的水分等過程時，水分被積聚到第一真空泵油中的速度會更快。在這種情況下，即在因水蒸氣以水分形態(tài)持續(xù)積聚到第一真空泵油中而該水蒸氣量過多的情況下，會導致第一真空部內(nèi)表面的腐蝕或第一真空排氣能力的下降。此外，當在第一真空泵油中包含過多水分時，水分在排氣過程中無法被充分捕集到機油過濾器(OilMistTrap)部50中，需要在允許油蒸氣存在的空間內(nèi)設(shè)置設(shè)備，從而限制能夠使用設(shè)備的空間。因此，在本發(fā)明中，為了防止將有油真空泵作為第一真空泵使用時一部分水蒸氣被捕集并積聚到油中，導入如下的第二真空泵。更具體而言，參照圖1，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括被連接到所述第一真空泵20和所述機油過濾器(OilMistTrap)部50的第二真空泵30。其特征在于，所述第二真空泵30為無油干式真空泵。在所述第二真空泵為有油真空泵的情況下，仍然會發(fā)生水蒸氣被捕集并積聚到第二真空泵的油中的問題，因此，在本發(fā)明中優(yōu)選所述第二真空泵為無油干式真空泵。所述第二真空泵30為使所述第一真空泵20的工作油暴露于規(guī)定壓力的真空度中的結(jié)構(gòu)，所述規(guī)定壓力是指能夠使捕集到所述工作油中的水分為沸點以下的壓力。即如上所述，經(jīng)由第一真空泵的一部分水蒸氣被持續(xù)汽化或溶解到空氣中而排出，但無法完全排出該水蒸氣，該一部分水蒸氣以液態(tài)被捕集并積聚到第一真空泵油中。因此，在本發(fā)明中為了使捕集到所述第一真空泵油中的液態(tài)水汽化，向所述第一真空泵20提供用于使所述液態(tài)水蒸發(fā)的規(guī)定真空度，向所述第二真空泵30提供用于使捕集到所述第一真空泵20的油中的液態(tài)水汽化的規(guī)定真空度。如上所述，所述規(guī)定壓力為能夠使捕集到工作油中的水分為沸點以下的壓力，更具體而言，所述規(guī)定壓力可以是50至150mb的壓力。因此，在本發(fā)明中所述第二真空泵30可以是能夠提供50至150mb壓力的干式真空泵。接著，對連接到所述第一真空泵20和所述機油過濾器(OilMistTrap)部50的第二真空泵30的連接關(guān)系進行說明則如下所示。參照圖1，所述第二真空泵30被串聯(lián)連接到所述第一真空泵20和所述機油過濾器(OilMistTrap)部50。此時，在所述第二真空泵30與所述第一真空泵20之間可包括第一通路開閉閥部31，即可借助所述第一通路開閉閥部31，從所述第一真空泵20流入的水蒸氣經(jīng)由第二真空泵30，最終通過所述機油過濾器部50。此外，在所述第一真空泵20與所述機油過濾器部50之間包括第二通路開閉閥部32，可借助所述第二通路開閉閥部32，從所述第一真空泵20流入的水蒸氣經(jīng)由或不經(jīng)由第二真空泵30，通過所述機油過濾器部50。即，可根據(jù)所述第一通路開閉閥部31和第二通路開閉閥部32的開閉與否，從第一真空泵20流入的水蒸氣經(jīng)由或不經(jīng)由第二真空泵30。另外，圖1中示出使用所述第一通路開閉閥部31和第二通路開閉閥部32這兩個閥部的情況，與此不同地，可通過單向閥這一個閥來控制所述第一通路和所述第二通路的開啟/關(guān)閉。對此，將通過后述的第三實施例進行更為具體的說明。下面，對本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法進行說明。圖2是用于說明本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法的流程圖。參照圖2，首先，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法包括以下步驟S11：開啟第一真空泵對真空室進行排氣。如后述，在滅菌過程中可反復進行所述第一真空泵的開啟/關(guān)閉，當所述第一真空泵處于開啟狀態(tài)時，相當于對真空室進行排氣的步驟。此時，所述第一真空泵的排氣部的真空度可以是大氣壓以上，滅菌室的真空度可以是10～150mb。另外，在S11步驟中，第一真空泵21可以是打開狀態(tài)，第一通路開閉閥部31可以是閉合狀態(tài)，第二通路開閉閥部32可以是打開狀態(tài)。接著，包括以下步驟S12：開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空。如上所述，經(jīng)由所述第一真空泵的一部分水蒸氣被持續(xù)汽化或溶解到空氣中而排出，但無法完全排出該水蒸氣，該一部分水蒸氣以液態(tài)被捕集并積聚到第一真空泵油中。因此，在本發(fā)明中為了使捕集到所述第一真空泵油中的液態(tài)水汽化，向所述第一真空泵20提供用于蒸發(fā)所述液態(tài)水的規(guī)定壓力，向所述第二真空泵30提供用于使捕集到所述第一真空泵20的油中的液態(tài)水汽化的規(guī)定壓力。此時，所述第一真空泵的排氣部的真空度可以是大氣壓～50mb，滅菌室的真空度可以是10～150mb。另外，在S12步驟中，第一真空閥21可以是打開狀態(tài)，第一通路開閉閥部31可以是打開狀態(tài)，第二通路開閉閥部32可以是閉合狀態(tài)。此時，在S12步驟、即開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空的步驟中，所述第一真空泵可以是開啟狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。即，在所述第一真空泵為開啟狀態(tài)、即通過第一真空泵對真空室進行排氣的狀態(tài)下，可進行S12步驟，即開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空。此外，在第一真空泵為關(guān)閉狀態(tài)、即結(jié)束通過第一真空泵對真空室進行排氣的狀態(tài)下，可進行S12步驟，即開啟第二真空泵向所述第一真空泵的工作油施加真空。因此，在本發(fā)明中，在進行S11步驟、即開啟所述第一真空泵對真空室進行排氣的步驟之后，進一步可包括以下步驟：關(guān)閉所述第一真空泵結(jié)束真空室的排氣。即在關(guān)閉所述第一真空泵結(jié)束真空室的排氣的步驟之后，可進行以下步驟：開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空。接著，包括以下步驟S13：使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化。該S13步驟可與上述S12步驟同時進行，即，通過開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空，向所述第一真空泵20提供用于使所述液態(tài)水蒸發(fā)的規(guī)定壓力，由此能夠使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化。即，通過使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化，液態(tài)水不會被捕集到所述工作油中，最終經(jīng)由機油過濾器部50排出到外部。此時，所述第一真空泵的排氣部的真空度可以是50～150mb，滅菌室的真空度可以是0.1～20mb。另外，在S13步驟中，第一真空閥21可以是打開狀態(tài)，第一通路開閉閥部31可以是打開狀態(tài)，第二通路開閉閥部32可以是閉合狀態(tài)。接著，包括以下步驟S14：關(guān)閉所述第一真空泵并維持所述第二真空泵的開啟狀態(tài)。即在S14步驟中，雖然關(guān)閉第一真空泵結(jié)束所述滅菌室的排氣，但可以是使捕集到所述第一真空泵的工作油中的液態(tài)水繼續(xù)汽化的步驟。在該情況下，所述第一真空泵的排氣部的真空度可以是50～150mb，滅菌室的真空度可以是0.5～1mb。此時，在S14步驟中，第一真空閥21可以是閉合狀態(tài)，第一通路開閉閥部31可以是打開狀態(tài)，第二通路開閉閥部32可以是閉合狀態(tài)。另外，當真空排氣時間充足，從而包含水蒸氣的氣體從滅菌室排出的速度較低時，一般可省略上述S14步驟。但是，在真空排氣時間短且第二真空泵的排氣速度低的情況下，進一步可進行S14步驟，因此在本發(fā)明中上述S14步驟并不是必需的步驟。接著，可通過關(guān)閉所述第二真空泵，完成本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣。如上所述，本發(fā)明包括被連接到所述第一真空泵20和所述機油過濾器(OilMistTrap)部50的第二真空泵30，通過開啟所述第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空，從而向所述第一真空泵提供用于使所述液態(tài)水蒸發(fā)的規(guī)定壓力，由此能夠使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化。下面，對本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的應用例進行說明。圖3是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例的結(jié)構(gòu)示意圖。另外，在本發(fā)明中，由于所述真空排氣系統(tǒng)與上述真空排氣系統(tǒng)相同，因此省略具體說明，以下對第一應用例的滅菌裝置進行具體說明。參照圖3，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例100包括滅菌室110。所述滅菌室110表示能夠容納如欲滅菌醫(yī)療器械或手術(shù)用工具等被滅菌物的容器。此時，在所述滅菌室110的一側(cè)可包括供所述被滅菌物出入的門。此外，可包括被連接到所述滅菌室110的一側(cè)的第一真空泵20，所述第一真空泵20通過抽吸所述滅菌室110內(nèi)部的氣體而使其形成真空狀態(tài)。此時，在所述滅菌室110與所述第一真空泵20之間連接有能夠控制所述第一真空泵20的操作的第一真空閥21。這與上述相同，因此以下省略具體說明。繼續(xù)參照圖3，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例100包括：汽化器130(或可稱為蒸發(fā)器)，被連接到所述滅菌室110的另一側(cè)，并向所述滅菌室110供給過氧化氫蒸氣；以及過氧化氫供給裝置150，用于向所述汽化器130供給過氧化氫。此時，在所述滅菌室110與所述汽化器130之間可包括汽化閥131。此外，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例100包括收集器140(或可稱為收集汽化器)，所述收集器140的一側(cè)與所述汽化器130連接，另一側(cè)與所述滅菌室110連接，用于濃縮供給到所述汽化器130中的過氧化氫。此時，在所述滅菌室110與所述收集器140之間可包括汽化閥131。此外，在所述滅菌室110與所述收集器140之間可包括收集閥141。即在所述滅菌室110與所述收集器140之間并聯(lián)連接有汽化閥131和收集閥141。另外如上述，在所述滅菌室110與所述汽化器130之間可包括汽化閥131，即所述汽化閥131的一側(cè)可與滅菌室110連接，另一側(cè)可與汽化器130和收集器140并聯(lián)連接。繼續(xù)參照圖3，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例100可包括：第一連接管道142，用于連接所述收集器140和所述汽化閥131；以及第二連接管道133，用于連接所述汽化閥131和所述滅菌室110。此外，可包括：第三連接管道143，用于連接所述收集器140和所述收集閥141；以及第四連接管道144，用于連接所述收集閥141和所述滅菌室110。此時，雖然圖中示出所述第四連接管道144與所述第二連接管道133連接，在滅菌室110與收集器140之間并聯(lián)連接有汽化閥131和收集閥141，但與此不同地，所述第四連接管道144可與所述滅菌室110直接連接，在滅菌室110與收集器140之間并聯(lián)連接有汽化閥131和收集閥141。此外，可包括用于連接所述汽化器130和所述汽化閥131的第五連接管道132，此時，雖然圖中示出所述第五連接管道132與所述第一連接管道142連接，汽化閥131與汽化器130和收集器140并聯(lián)連接，但與此不同地，所述第五連接管道132可與所述汽化閥131直接連接，汽化閥131可與汽化器130和收集器140并聯(lián)連接。此時，可通過所述汽化閥131和所述收集閥141的打開/閉合操作來控制所述第一連接管道142至所述第五連接管道132的流體流動，并且可通過另外的控制部來控制所述汽化閥131和所述收集閥141的打開/閉合操作。另外，如圖所示，用于連接收集器140和汽化閥131的第一連接管道142及用于連接汽化閥131和滅菌室110的第二連接管道133的內(nèi)徑可大于其它連接管道、即第三連接管道143至第五連接管道132的內(nèi)徑，例如在第三連接管道143至第五連接管道132為1/4英寸管道的情況下，所述第一連接管道142及第二連接管道133可以是1英寸管道。對此將在后面進行說明。另外，雖然未圖示，但可包括溫度控制機構(gòu)，所述溫度控制機構(gòu)用于控制所述滅菌室110、汽化器130和收集器140的溫度，所述溫度控制機構(gòu)可以是加熱器，這對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說顯而易見的，因此省略對該溫度控制機構(gòu)的具體說明。此外，在所述收集器140的情況下，作為溫度控制機構(gòu)進一步可包括冷卻機構(gòu)，所述冷卻機構(gòu)可使用利用冷卻水或熱電元件的直接冷卻或利用換熱器的送風進行的空冷式等適當?shù)臋C構(gòu)。下面，對利用本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例的滅菌方法進行說明。圖4是表示本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例的滅菌方法的順序圖。參照圖4，本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的第一應用例的滅菌方法包括以下步驟S110：對滅菌室110(或可稱為殺菌室)和汽化器130進行真空排氣。對所述滅菌室110和所述汽化器130進行真空排氣的步驟可通過使所述第一真空泵20運轉(zhuǎn)(開啟狀態(tài))，并打開所述第一真空閥21來進行真空排氣。另外，S110步驟、即對滅菌室和汽化器進行排氣的步驟可持續(xù)到后述的S160步驟，當滅菌室達到規(guī)定的設(shè)定壓力，并完成去除水分后的過氧化氫液體在收集器內(nèi)的收集時，可結(jié)束該步驟。此外，為了對所述汽化器130進行真空排氣，所述滅菌室110與所述汽化器130之間的汽化閥131或所述滅菌室110與所述收集器140之間的收集閥141為打開狀態(tài)，通過使所述汽化器130與真空排氣中的滅菌室連通而使所述汽化器130達到大氣壓以下的壓力，并在下一步驟中閉合汽化閥131或收集閥141。另外，可與對所述滅菌室110和所述汽化器130進行真空排氣的步驟一同，將所述滅菌室和所述汽化器維持在由所述溫度控制機構(gòu)設(shè)定的溫度。接著，包括以下步驟S120：向第一溫度及第一壓力的汽化器130加入第一濃度的過氧化氫水。所述過氧化氫水的加入可通過用于儲存第一濃度的過氧化氫水的過氧化氫供給裝置150來加入，并且雖然在圖3中未圖示，但在所述汽化器130與所述過氧化氫供給裝置150之間可包括過氧化氫水供給調(diào)節(jié)閥(未圖示)，從而供給適量的過氧化氫水。此時，所述過氧化氫水的第一濃度可以是60重量％以下。如上述，在處理過氧化氫溶液即過氧化氫水時，過氧化氫水的濃度限制在60重量％以下，從而事實上難以將60重量％以上的高濃度過氧化氫作為滅菌劑使用。即在本發(fā)明中，所述過氧化氫水的第一濃度表示能夠處理的過氧化氫水的濃度，在理解本發(fā)明的宗旨方面不具有重要意義。此外，所述第一溫度可以是60至70℃，所述第一壓力可以是800mb(毫巴)至大氣壓。此時，在S120步驟中，在第一濃度的過氧化氫水被加入到所述汽化器130中的期間，所述汽化閥131和所述收集閥141可處于閉合狀態(tài)，但根據(jù)供給裝置可以是打開狀態(tài)。另外，在S120步驟中，所述滅菌室110的壓力可以是600mb至大氣壓，溫度可以是45至55℃，并且所述收集器140的壓力可以是800mb至大氣壓，溫度可以是38至42℃。此時，本發(fā)明的特征在于，所述第一溫度高于所述滅菌室的溫度。在所述第一溫度的情況下，在從過氧化氫水中汽化更多水蒸氣的過程中所述第一溫度相當于汽化器的溫度，在水蒸氣的汽化過程中產(chǎn)生非常強的吸熱反應，從而非常強烈地抑制汽化速度。此時，如果欲提高汽化速度，則還具有通過降低汽化器的壓力而提高真空度的方法，但具有因過氧化氫的汽化比率也有可能上升而過氧化氫的消耗增加的缺點，并且由于在低溫狀態(tài)下難以順利地供給汽化所需的熱量，因此優(yōu)選為第一溫度至少高于滅菌室的溫度。接著，包括以下步驟S130：通過使所述第一濃度的過氧化氫水汽化而形成第二濃度過氧化氫水。即，加入到所述汽化器130中的第一濃度的過氧化氫水被汽化(即去除水分)而形成第二濃度的過氧化氫水。所述過氧化氫水的第二濃度可以是75重量％至85重量％，S130步驟可以是如下的過氧化氫水第一濃縮步驟：通過使60重量％以下的過氧化氫中的水分汽化而形成75重量％至85重量％濃度的過氧化氫水一般而言，在相同的溫度和壓力下，由于水的蒸氣壓高于過氧化氫的蒸氣壓，因此水能更迅速地蒸發(fā)，并且由于水的分子量低于過氧化氫的分子量，因此與過氧化氫相比水更能迅速擴散到氣相中。因此，在相同的溫度和壓力條件下，由于與過氧化氫相比水(即，水分)能更迅速蒸發(fā)并擴散，因此過氧化氫水中的水比過氧化氫先蒸發(fā)/擴散，能夠形成第二濃度的過氧化氫水。此時，蒸發(fā)的水經(jīng)由滅菌室110且通過第一真空泵真空排出，因此，在S130步驟中運轉(zhuǎn)(開啟狀態(tài))所述第一真空泵20，所述第一真空閥21和汽化閥131處于打開狀態(tài)。另外，在S130步驟中，因汽化過程中的吸熱反應而所述汽化器130的溫度暫時降低，所述汽化器130的溫度可以在55至65℃的范圍內(nèi)，壓力可以是30至800mb(毫巴)。此外，在蒸發(fā)的水經(jīng)由滅菌室110且通過第一真空泵真空排出的期間，所述滅菌室110的壓力可以在10至600mb的范圍內(nèi)，溫度可以是45至55℃，并且所述收集器140的壓力可以在20至500mb的范圍內(nèi)，溫度可以是35至40℃。雖然從進行S130步驟并滅菌室的真空度達到10mb～150mb的步驟起排氣量減少，但為所排出的氣體中的水蒸氣及過氧化氫蒸氣的比率高于氧氣、氮氣等一般大氣的步驟，從而為經(jīng)由真空泵的水蒸氣比率急劇上升的步驟，是水蒸氣被積聚到真空泵內(nèi)的速度提高的步驟。另外，在S130步驟中，可開始進行上述的真空排氣系統(tǒng)的真空排氣。即在S130步驟中，進行滅菌過程，并且處于真正需要去除真空泵油中含有的水分的時期，因此在該S130步驟中，可進行上述S12步驟，即開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空。但是，并不是通過S130步驟來限定S12步驟的起始點，可根據(jù)需要，將后述S140步驟至S160步驟作為S12步驟的起始點。接著，包括以下步驟S140：向第二溫度及第二壓力的收集器加入所述第二濃度的過氧化氫水。為了將所述第二濃度的過氧化氫水加入到第二溫度及第二壓力的收集器中，可將所述第一真空泵20控制為運轉(zhuǎn)(開啟)狀態(tài)，將所述第一真空閥21控制為打開狀態(tài)，將所述汽化閥131控制為閉合狀態(tài)，將所述收集閥141控制為開啟狀態(tài)。此時，所述第二溫度可以是35至42℃，所述第二壓力可以是8至50mb。此外，在所述第二濃度的過氧化氫水從汽化器130移動到收集器140中的期間，所述汽化器130的壓力可以是10至60mb，溫度可以是55至60℃，所述第二濃度的過氧化氫水可經(jīng)由第五連接管道132及第一連接管道142，從汽化器130移動到收集器140中。另外，在S140步驟中，也持續(xù)對所述滅菌室110進行真空排氣，所述滅菌室110的壓力可以是1至10mb，溫度可以是45至55℃。此時，本發(fā)明的特征在于，所述第二溫度低于所述滅菌室的溫度。在所述第二溫度的情況下，所述第二溫度相當于用于收集第二濃度過氧化氫水的收集器的溫度，在已飽和的過氧化氫蒸氣從汽化器經(jīng)由收集器的過程中，如果所述收集器的溫度高于滅菌室的溫度，則過氧化氫蒸氣無法冷凝到收集器中，均通過滅菌室被排出。雖然在壓力稍高的S140/S150步驟初期，過氧化氫蒸氣被部分冷凝，但如果在對待排氣的滅菌室內(nèi)持續(xù)施加真空壓力的步驟中收集器的溫度高于滅菌室的溫度，則因過氧化氫的蒸發(fā)熱低于水蒸氣的蒸發(fā)熱，過氧化氫容易被再汽化而無法殘留在收集器中，終究無法執(zhí)行后述S170步驟。因此優(yōu)選第二溫度至少低于滅菌室的溫度。從上述可知，本發(fā)明在經(jīng)過S130步驟、即通過使所述第一濃度的過氧化氫水汽化而形成第二濃度的過氧化氫水的步驟之后，執(zhí)行S140步驟、即向第二溫度及第二壓力的收集器加入所述第二濃度的過氧化氫水的步驟。例如，可以考慮不執(zhí)行S130步驟而執(zhí)行S140步驟以及將第一濃度的過氧化氫水直接加入到收集器中，但因如下原因而不優(yōu)選。下表1示出過氧化氫蒸氣在過氧化氫水的不同濃度下的汽化比率的示例。[表1]參照上表1，過氧化氫水的濃度越高且設(shè)定溫度越高，則與水蒸氣相比過氧化氫蒸氣的汽化比率相對逐漸提高。例如在50℃下，過氧化氫蒸氣在60重量％濃度的過氧化氫水中的汽化比率為13％，剩余87％表示水蒸氣，過氧化氫蒸氣在80重量％濃度的過氧化氫水中的汽化比率為40％，剩余60％表示水蒸氣。即，“不執(zhí)行S130步驟而執(zhí)行S140步驟”可以是例如將60重量％濃度的過氧化氫水加入到收集器中的含義，“執(zhí)行S130步驟后執(zhí)行S140步驟”可以是將80重量％濃度的過氧化氫水加入到收集器中的含義。此時，與執(zhí)行S130步驟后執(zhí)行S140步驟的情況相比，不執(zhí)行S130步驟而執(zhí)行S140步驟的情況在起始步驟中通過收集器的水蒸氣比率相對較高。如果在水蒸氣的比率比過氧化氫蒸氣相對高的狀態(tài)下，水蒸氣被加入到收集器中，則在收集器的壓力較高的狀態(tài)(由于在收集器的溫度為40℃時飽和水蒸氣壓力為75mb，因此在高于75mb的壓力)下水蒸氣進入到收集器中，因此水蒸氣也能被冷凝到收集器中?！八魵庖脖焕淠绞占髦小笔侵概c冷凝的水蒸氣量相應地，被濃縮的過氧化氫水的濃度受限。因此，在本發(fā)明中為了防止因水蒸氣先被冷凝到收集器中而待濃縮的過氧化氫水的濃度受限，在經(jīng)過S130步驟、即通過使所述第一濃度的過氧化氫水汽化而形成第二濃度的過氧化氫水的步驟之后，執(zhí)行S140步驟、即向第二溫度及第二壓力的收集器加入第二濃度過氧化氫水的步驟。接著，包括以下步驟S150：使所述第二濃度過氧化氫水中的過氧化氫蒸氣被冷凝到所述收集器中，并從所述收集器排出水蒸氣。如上述，由于水的蒸氣壓高于過氧化氫的蒸氣壓，因此水被迅速蒸發(fā)，并且由于水的分子量低于過氧化氫的分子量，因此與過氧化氫水相比水被迅速擴散到氣相中，由此，在相同的溫度和壓力條件下與過氧化氫相比水(即，水分)被迅速蒸發(fā)并擴散，在過氧化氫水中的水先于過氧化氫蒸發(fā)/擴散。因此過氧化氫蒸氣被冷凝到所述收集器中，水蒸氣從所述收集器排出，形成第三濃度的過氧化氫水。即，水具有與過氧化氫相比更高的蒸氣壓，因此在蒸氣狀態(tài)下過氧化氫比水更容易冷凝。因此，冷凝到所述收集器中的過氧化氫水可包含與所加入的第二濃度的過氧化氫水濃度相比更高濃度的過氧化氫。另外，在S140步驟中，過氧化氫蒸氣和水蒸氣所通過的管道按第五連接管道、第一連接管道、第三連接管道、第四連接管道的順序移動，此時，這些連接管道中的內(nèi)徑小的管道的溫度應高于收集器140的溫度。這是因為，如果過氧化氫蒸氣到達收集器前后步驟中的管道溫度低于收集器的溫度，則過氧化氫蒸氣有可能以先冷凝到管道中的狀態(tài)殘留，在冷凝到內(nèi)徑小的管道中的過氧化氫蒸氣暴露于比在S170步驟中汽化時更高的溫度中，從而在進入到滅菌室的步驟中，由分解帶來的水蒸氣含量有可能提高。此外，如上表1所示，在濃度一旦提高的狀態(tài)(小于85重量％)下水和過氧化氫的蒸氣比率差不多，由汽化比率帶來的冷凝則會降低冷凝效率。在相同的壓力下，能夠冷凝氣態(tài)過氧化氫蒸氣的溫度和能夠冷凝水蒸氣的溫度具有差異，例如在35℃的情況下，過氧化氫在5mb以上的壓力下冷凝，水蒸氣在55mb以上的壓力下冷凝。因此，由于這種差異，例如當由收集閥進行真空排氣中的收集器的溫度為35℃時，如果收集器的壓力在5mb至55mb范圍內(nèi)，則過氧化氫蒸氣能夠被冷凝，而水蒸氣從收集器排出。此時，所述過氧化氫水的第三濃度可以是90重量％至95重量％，S150步驟可以是如下的過氧化氫第二濃縮步驟：通過使75重量％至85重量％過氧化氫水中的水分汽化而形成90重量％至95重量％濃度的過氧化氫水。另外，雖然在上面說明了依次執(zhí)行S140步驟和S150步驟，其中，S140步驟為如下步驟：向第二溫度及第二壓力的收集器加入所述第二濃度的過氧化氫水，S150步驟為如下步驟：使所述第二濃度的過氧化氫水中的過氧化氫蒸氣冷凝到所述收集器中，并從所述收集器排出水蒸氣。但與此不同地，S140及S150步驟可以是同時進行的步驟。即，向第二溫度及第二壓力的收集器加入所述第二濃度的過氧化氫水的同時，使所述第二濃度過氧化氫水中的過氧化氫蒸氣冷凝到所述收集器中，并從所述收集器排出水蒸氣。此時，蒸發(fā)的水通過第一真空泵真空排出，因此在S150步驟中，通過運轉(zhuǎn)所述第一真空泵20(開啟狀態(tài))，并打開所述第一真空閥21，從而進行真空排氣，并且為了通過第一真空泵真空排出蒸發(fā)的水，使所述收集閥141處于打開狀態(tài)。接著，包括以下步驟S160：將所述滅菌室的壓力降低至規(guī)定壓力；以及將所述第三濃度的過氧化氫水濃縮成第四濃度的過氧化氫水。此時，所述規(guī)定壓力應為用于在滅菌室內(nèi)進行滅菌的設(shè)定壓力，并且，在滅菌劑為過氧化氫蒸氣的情況下，所述滅菌室應為過氧化氫蒸氣容易擴散的真空度。因此，所述設(shè)定壓力可以是0.5至1.3mb，并且所述滅菌室的溫度可以是45至55℃。此外，所述過氧化氫水的第四濃度可以是95重量％以上，S160步驟可以是如下的過氧化氫水第三濃縮步驟：通過使90重量％至95重量％濃度的過氧化氫水中的水分汽化而形成95重量％以上的過氧化氫水。此時，蒸發(fā)的水通過第一真空泵真空排出，因此在S160步驟中，可通過運轉(zhuǎn)所述第一真空泵20(開啟狀態(tài))，并打開所述第一真空閥21，從而進行真空排氣。另外，在S160步驟中，所述收集閥141可反復打開狀態(tài)及閉合狀態(tài)。即，在將所述第三濃度的過氧化氫水濃縮成第四濃度的過氧化氫水時，越是高濃度的過氧化氫水，能夠使液態(tài)過氧化氫水蒸發(fā)的壓力越低。例如，在45℃的相同溫度條件下，在80重量％濃度的過氧化氫水中，過氧化氫在約20mb以下的壓力下蒸發(fā)，而在90重量％濃度的過氧化氫水中，過氧化氫在達到1mb以下的壓力時才蒸發(fā)。這是因為，在將所述第三濃度的過氧化氫水濃縮成第四濃度的過氧化氫水時，不僅水分被汽化，而且過氧化氫也被汽化，因此難以將過氧化氫水濃縮到規(guī)定的濃度。即，高濃度過氧化氫可能會持續(xù)分解反應，并由分解過程生成的水分會降低過氧化氫的濃度。因此，當為了去除這些少量雜質(zhì)即水分，在0.1至2mb的變動范圍內(nèi)反復進行壓力的上升/下降時，能夠抑制待汽化的過氧化氫的去除，并且有效地去除水分。這種水分去除方法在濃度低的步驟中需要非常長的時間，但在濃度高的步驟中因去除少量水分而有效，可以說至少在維持高濃度方面是有效的。因此，為了防止通過將所述滅菌室的壓力降低至規(guī)定壓力的步驟，包含有第三濃度的過氧化氫水的所述收集器140的壓力持續(xù)下降而過氧化氫在更低的壓力下蒸發(fā)的問題，可通過使所述收集閥141反復打開狀態(tài)及閉合狀態(tài)，從而防止所述收集器140的壓力持續(xù)下降。此時，所述收集器140的壓力可以是5至10mb，溫度可以是35至40℃，所述汽化器130的壓力可以是7至10mb，溫度可以是60至70℃。另外，在上述S160步驟中，汽化器處于水溶液完全耗盡的狀態(tài)，因此在真空狀態(tài)下恢復汽化器的溫度，收集器通過收集高濃縮的過氧化氫而去除少量的水分，或維持適當壓力的同時使過氧化氫停留在收集器內(nèi)。此時，為了防止過氧化氫的過度耗盡，可通過溫度控制機構(gòu)使收集器的溫度下降至更低溫度。接著，包括以下步驟S170：將第四濃度的過氧化氫水中的過氧化氫蒸氣加入到滅菌室中并對被處理物進行滅菌處理。在S170步驟中，為了將位于收集器140中的第四濃度過氧化氫水中的過氧化氫蒸氣加入到滅菌室110中，汽化閥131處于打開狀態(tài)，收集閥處于打開狀態(tài)或閉合狀態(tài)。即，可通過第一連接管道142和第二連接管道133，來進行過氧化氫蒸氣從收集器140向滅菌室110的移動。此時，如上述，在本發(fā)明中連接收集器140和汽化閥131的第一連接管道142及連接汽化閥131和滅菌室110的第二連接管道133的內(nèi)徑可大于其它連接管道、即第三連接管道143至第五連接管道132的內(nèi)徑，例如，在第三連接管道143至第五連接管道132為1/4英寸管道的情況下，所述第一連接管道142及第二連接管道133可以是1英寸管道。其原因在于，在過氧化氫蒸氣通過第一連接管道142及第二連接管道133從收集器140向滅菌室110移動時，防止過氧化氫蒸氣流入到第五連接管道132中。因此過氧化氫蒸氣能夠流入到內(nèi)徑相對大的第一連接管道142中，而不會流入到內(nèi)徑相對小的第五連接管道132中。此外，在本發(fā)明中當過氧化氫蒸氣被加入到滅菌室中并對被處理物進行滅菌處理時，優(yōu)選在溫度不高的狀態(tài)下加入過氧化氫蒸氣。當過氧化氫蒸氣在滅菌室中被充分飽和之前，收集器內(nèi)汽化的過氧化氫蒸氣在溫度高于滅菌室的溫度的狀態(tài)下進入到滅菌室時，因在進入通路中過氧化氫蒸氣的密度處于過高的狀態(tài)，從而過氧化氫蒸氣容易被冷凝，會減少以氣態(tài)擴散到滅菌室中的絕對量，并對用于滅菌的擴散效果帶來不良影響。此時，在本發(fā)明中收集器140與滅菌室110之間的通路中的管道內(nèi)徑可以大于其它通路中的管道內(nèi)徑，管道內(nèi)徑大表示氣體移動量多，如管道內(nèi)徑大則氣體移動量增多，相應地，由真空度引起的汽化驅(qū)動力也增強，從而能防止氣態(tài)過氧化氫蒸氣的溫度上升。即，在氣體移動量少的情況下，過氧化氫蒸氣滯留在收集器中的時間也相應增加，在為了過氧化氫的汽化及移動而需要提升溫度的收集器內(nèi)，過氧化氫蒸氣的分解反應速度加快，從而作為分解副產(chǎn)物的水蒸氣和氧氣的濃度增高。這樣，在汽化步驟中喪失前述步驟的目的而減弱滅菌性能，其中，前述步驟的目的在于使妨礙過氧化氫擴散的因素即水蒸氣量最少化。因此，在本發(fā)明中通過使收集器140與滅菌室110之間的通路中的管道內(nèi)徑大于其它通路中的管道內(nèi)徑，能夠在過氧化蒸氣的溫度不高的狀態(tài)下將過氧化蒸氣加入到滅菌室中，并通過使由溫度引起的分解反應最小化并使過氧化蒸氣以氣態(tài)充分擴散，從而使過氧化蒸氣易于接近被滅菌物，因此能得到良好的滅菌效果。另外，在將第四濃度的過氧化氫水中的過氧化氫蒸氣加入到滅菌室中時，過氧化氫被汽化并擴散到滅菌室中，此時可控制所述收集器140的升溫速度，使得在所述收集器140的溫度達到所述滅菌室的溫度之前，過氧化氫的汽化大部分完成。即，為了促進過氧化氫的汽化，可通過溫度控制機構(gòu)來加熱所述收集器140，加熱所述收集器能夠控制升溫速度，使得在收集器的溫度達到所述滅菌室的溫度之前過氧化氫的汽化完成80％以上。此時，所述滅菌室110的壓力可以是0.5至15mb，溫度可以是45至55℃。此外，所述收集器140的壓力可以是0.5至15mb，溫度可以是30至70℃，所述汽化器130的壓力可以是0.5至15mb，溫度可以是60至70℃.另外，對S170步驟來說，在上述真空排氣系統(tǒng)的真空排氣步驟中，可進行S14步驟或S15步驟。歸納上述各步驟中的壓力及溫度條件，如下表2所示。[表2]此外，歸納各步驟中的第一真空泵及閥的狀態(tài)，如下表3所示。[表3]分類真空泵真空閥汽化閥收集閥S120開啟或關(guān)閉打開或閉合閉合閉合S130開啟打開打開打開或閉合S140、S150開啟打開閉合打開S160開啟打開閉合反復打開/閉合S170關(guān)閉閉合打開打開或閉合如上述，為了提高滅菌性能，優(yōu)選使用進一步濃縮的過氧化氫水，在使用進一步濃縮的過氧化氫溶液時，由于在處理過氧化氫溶液時，過氧化氫溶液的濃度被限制在60重量％以下，難以將高濃度的過氧化氫作為滅菌劑使用。但在本發(fā)明中，可通過按各步驟的濃縮過程，將95重量％以上的過氧化氫水作為滅菌劑使用，因此，能夠減少由水蒸氣引起的擴散妨礙因素，大幅提高滅菌效果。此外，在上述S130步驟、即通過從最初供給的第一濃度的過氧化氫水溶液中去除水分而準備第二濃度的過氧化氫水溶液的步驟之后，進行上述S140步驟及S150步驟，由此能減少水分與收集器接觸的可能性。此外，在將過氧化氫水加入到收集器中時，通過降低過氧化氫水在收集器的壓力和收集器的溫度下的水分飽和水蒸氣壓、即汽化/冷凝邊界壓力，從而能夠形成即使水分與收集器接觸也無法冷凝的條件。如上述，并不是僅在真空排氣過程中需要如下過程：即，該過程通過在真空過程中從過氧化氫水中去除水蒸氣而提高過氧化氫蒸氣的比率并提高滅菌劑的擴散能力。在利用過氧化氫蒸氣的多種滅菌方法中，如上述那樣，使用第二真空泵的真空排氣方法能夠?qū)⒄婵张艢饽芰Τ掷m(xù)地保持在同樣的水平。其理由在于，為了使用過氧化氫蒸氣，只能使用過氧化氫水溶液，并且由于過氧化氫蒸氣的蒸氣壓非常低，因此為了控制過氧化氫的汽化而需要高真空度，在以高真空度排氣的過程中，除滅菌劑將水蒸氣帶入滅菌室以外，滅菌對象物以及根據(jù)情況高濕度環(huán)境也會將水蒸氣帶入滅菌室，從而導致真空泵油只能持續(xù)捕集水分。如果捕集到水分，則真空排氣性能變差，促進泵油的改性，并且預計的排氣時間持續(xù)增加，其結(jié)果縮短真空泵的壽命。下面記載了本發(fā)明的優(yōu)選實驗例，但本發(fā)明并不限定于所述實驗例。[實驗例]在內(nèi)部容積為100L且維持50℃的滅菌室中，使用排氣性能為每分鐘600L的有油真空泵來測定排氣速度。在所述有油真空泵與機油過濾器之間并聯(lián)連接有單向閥和干式真空泵，在滅菌室的真空度達到10mb之后，運轉(zhuǎn)干式真空泵，直至滅菌室的真空度達到0.1mb為止同時運轉(zhuǎn)有油真空泵和干式真空泵。達到以測定為目標的真空度之后，關(guān)閉兩個真空泵，并利用大氣壓對滅菌室進行清潔。測定環(huán)境為27℃，相對濕度為50％，測定從大氣壓至0.1mb的真空排氣速度，加上利用大氣壓對滅菌室進行清潔的過程而視為一次，并反復實施100次的同時，確認真空排氣速度，測定捕集到機油過濾器中的油量。[比較例]在內(nèi)部容積為100L且維持50℃的滅菌室中，使用排氣性能為每分鐘600L的有油真空泵來測定排氣速度。測定環(huán)境為27℃，相對濕度為50％，測定從大氣壓至0.1mb的真空排氣速度，加上利用大氣壓對滅菌室進行清潔的過程而視為一次，并反復實施100次的同時，確認真空排氣速度，測定捕集到機油過濾器中的油量。下面示出所述實驗例和比較例的實驗結(jié)果。首先，所述實驗例的實驗結(jié)果如下所示。第一次真空排氣速度需要252秒，第10次真空排氣速度需要255秒，第100次真空排氣速度需要262秒。反復完成100次后，真空泵油的溫度為45℃至50℃，在機油過濾器中捕集到少于10cc的油。在真空泵油的溫度恢復到常溫之后，重新測定真空排氣速度，其結(jié)果需要253秒。接著，所述比較例的實驗結(jié)果如下所示。第一次真空排氣速度需要251秒，第10次真空排氣速度需要255秒，第100次真空排氣速度需要361秒。反復完成100次后，真空泵油的溫度為59℃至62℃，在機油過濾器中捕集到80cc左右的油。在將捕集到的油重新加入到真空泵中，并待真空泵油的溫度恢復到常溫之后，重新測定真空排氣速度，其結(jié)果真空排氣速度需要331秒。從上述實驗例和上述比較例的實驗結(jié)果可知，在實驗例的情況下，第一次、第10次及第100次真空排氣速度分別為252秒、255秒及262秒，并不存在太大差異，與此相反，在比較例的情況下，第一次、第10次及第100次的真空排氣速度分別為251秒、255秒及361秒，可知真空排氣速度逐漸大幅度上升。一般而言，捕集到有油真空泵油中的水蒸氣越多則真空排氣速度越慢。在本發(fā)明的實施例的情況下，可知雖然真空排氣速度有所上升，但第100次真空排氣速度與第一次真空排氣速度幾乎相近，而在比較例的情況下，與第一次真空排氣速度相比第100次真空排氣速度大幅上升，其結(jié)果，捕集到有油真空泵油中的水蒸氣增加，最終真空排氣速度變得非常慢。另外可知，在實驗例中，第100次真空泵油的溫度為45℃至50℃，與此相反，在比較例中，第100次真空泵油的溫度為59℃至62℃。一般而言，水蒸氣在汽化過程中進行吸熱反應，在實驗例的情況下，第100次真空泵油的溫度低于比較例的第100次真空泵油的溫度，這表示捕集到有油真空泵油中的水蒸氣在汽化過程中進行吸熱反應而抑制有油真空泵油的溫度上升。即表示與比較例的情況相比，在實驗例的情況下水蒸氣被汽化的量較多，其結(jié)果，捕集到有油真空泵油中的水蒸氣少于比較例。[應用例]下面，測定由圖3的本發(fā)明第一實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)帶來的效果。首先，使用排氣性能為每分鐘1000L的真空泵，在內(nèi)部容積為130L的滅菌室中加入55％過氧化氫水5.5cc，測定經(jīng)過由真空排氣過程從過氧化氫水中去除水分的過程并進行真空排氣以使滅菌室的真空度達到0.5mb時的所需時間，此時的所需時間為約七分鐘。接著，使過氧化氫蒸氣擴散到滅菌室中并維持規(guī)定時間，此時的所需時間為約六分鐘。接著，經(jīng)過如下的真空排氣步驟，此時的所需時間為約六分鐘，其中，該真空排氣步驟為重新進行真空排氣以完全去除過氧化氫蒸氣并在0.5mb以下的真空度中維持三分鐘。當將反復連續(xù)進行兩次上述過程定義為一個周期時，每次的總周期時間為約40分鐘，此時，有油真空泵的運轉(zhuǎn)時間為26分鐘，干式真空泵的運轉(zhuǎn)時間為22分鐘。此時，測定因真空排氣速度的延遲導致的一個周期所需時間的變化，并在下表4中示出該變化。[表4]參照表4，在根據(jù)本發(fā)明運轉(zhuǎn)干式真空泵的情況下，第100次即第50個周期的所需時間為40.2分鐘，相對于標準時間超出0.2分鐘，與此相反，在未使用干式真空泵的情況下，相對于標準時間超出1.5分鐘。此外可知，在第500次的情況下，比標準時間超出0.3分鐘和7.8分鐘，顯示出非常大的差異。即，如上所述，一般而言，捕集到有油真空泵油中的水蒸氣越多則真空排氣速度越慢，在本發(fā)明的情況下，由于不存在捕集到有油真空泵油中的水蒸氣，從而在因真空排氣速度的延遲導致的一個周期所需時間的變化方面不存在太大的差異，但在未使用干式真空泵的情況下，由于捕集到油中的水蒸氣而增加真空排氣速度延遲。特別可知，在未使用干式真空泵的一般情況下，當使用約600次左右時，因捕集到有油真空泵油中的水蒸氣而有油真空泵未達到目標真空度，無法發(fā)揮真空泵的作用，但在使用本發(fā)明的干式真空泵的情況下，也能使用到2000次。圖6是表示本發(fā)明第二實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的示意性立體圖。下面，本發(fā)明第二實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)可與上述圖1的第一實施例相同，以下僅對與第一實施例之間的區(qū)別進行說明。參照圖6，本發(fā)明第二實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括用于冷卻所述第一真空泵20的換熱器70。從上述應用例可知，在使用第一真空泵的運轉(zhuǎn)時間較高的滅菌過程的情況下，因第一真空泵的工作油被加熱而粘度降低或因劣化而壽命縮短。因此，在本發(fā)明中為了防止所述第一真空泵的工作油被加熱，優(yōu)選冷卻所述第一真空泵的工作油，可通過所述換熱器70冷卻所述第一真空泵的工作油。此時，如圖6所示，可包括用于使所述第一真空泵的工作油循環(huán)的工作油循環(huán)泵60。即，通過所述工作油循環(huán)泵60使所述工作油循環(huán)，在循環(huán)過程中，可通過所述換熱器70冷卻工作油。此時，如圖所示，所述“工作油循環(huán)”是指工作油從所述第一真空泵排出，并經(jīng)由換熱器再次流入到第一真空泵中。因此，在本發(fā)明中，在使所述第一真空泵的工作油循環(huán)的過程中通過換熱器冷卻工作油，從而能夠防止粘度降低或劣化。圖7是表示本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的示意性立體圖。下面，本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)可與上述第一實施例相同。參照圖7，本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括滅菌室310。此外，可包括被連接到所述滅菌室310的一側(cè)的滅菌劑水溶液供給裝置340，通過由所述滅菌劑水溶液供給裝置340供給的滅菌劑，可在所述滅菌室310對被滅菌物進行滅菌。此時，在所述滅菌劑水溶液供給裝置340與滅菌室310之間可包括滅菌劑水溶液供給調(diào)節(jié)閥341，從而供給適量的滅菌劑水溶液。此外，本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)可包括被連接到所述滅菌室310的另一側(cè)的第一真空泵320，所述第一真空泵320通過抽吸所述滅菌室310內(nèi)部的氣體而使其成為真空狀態(tài)。本發(fā)明的特征在于，所述第一真空泵320為有油真空泵。此時，在所述滅菌室310與所述第一真空泵320之間可連接有能夠控制所述第一真空泵320的操作的第一真空閥321，并且在所述滅菌室310與所述第一真空泵320之間可包括催化劑反應部322。繼續(xù)參照圖7，本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括機油過濾器(OilMistTrap)部350。所述機油過濾器(OilMistTrap)部350為在從所述滅菌室310流入的蒸氣經(jīng)過第一真空泵320最終排出時，用于捕集蒸氣中包含的油的部分，從而可通過所述機油過濾器(OilMistTrap)部50來捕集油，并使蒸氣通過及排出。繼續(xù)參照圖7，本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)包括被連接到所述第一真空泵320與所述機油過濾器(OilMistTrap)部350之間的第二真空泵330。其特征在于，所述第二真空泵330為無油干式真空泵。所述第二真空泵330為使所述第一真空泵320的工作油暴露于規(guī)定壓力的真空度中的結(jié)構(gòu)，所述規(guī)定壓力是指能夠使捕集到所述工作油中的水分為沸點以下的壓力。所述第二真空泵330的功能與所述第一實施例相同，因此以下省略具體說明。接著，對連接到所述第一真空泵320和所述機油過濾器(OilMistTrap)部350的第二真空泵330的連接關(guān)系進行說明則如下所示。參照圖7，所述第二真空泵330被串聯(lián)連接到所述第一真空泵320和所述機油過濾器(OilMistTrap)部350。此外，在所述第一真空泵320與所述機油過濾器部350之間包括第一通路開閉閥部332，此時，在本發(fā)明中優(yōu)選所述第一通路開閉閥部332為單向閥。另外，在所述第一真空泵320與所述機油過濾器350之間并聯(lián)連接有所述第二真空泵330及所述第一通路開閉閥部332。即，在本發(fā)明的第三實施例中，可通過所述第一通路開閉閥部332控制經(jīng)由所述第一真空泵320、所述第一通路開閉閥部332及所述機油過濾器部350的第一通路，并且可通過所述第二真空泵330、控制經(jīng)由第一真空泵320、所述第二真空泵330及所述機油過濾器部350的第二通路。一般而言，真空泵自身發(fā)揮閥的功能，因此在本發(fā)明的第三實施例中，如所述圖1所示，即使在第一真空泵與第二真空泵之間的通路上未設(shè)置開閉閥部，也能通過所述第一真空泵330使從所述第一真空泵330流入的水蒸氣經(jīng)由第二真空泵330通過所述機油過濾器部350。另外，如上所述，在本發(fā)明的第三實施例中，優(yōu)選所述第一通路開閉閥部332為單向閥，所述單向閥可通過施加到所述單向閥上的壓力來進行打開/閉合操作，而不是通過電氣信號來操作。即，在對所述單向閥施加規(guī)定壓力的情況下，通過機械原理所述單向閥成為打開狀態(tài)，此時，從所述第一真空泵流入的水蒸氣可經(jīng)由單向閥332通過所述機油過濾器部350。即，如對圖1的說明，在本發(fā)明的第一實施例中公開了使用兩個閥部來控制兩個通路，但在本發(fā)明的第三實施例中，可通過所述第一通路開閉閥部332控制經(jīng)由所述第一真空泵320、所述第一通路開閉閥部332及所述機油過濾器部350的第一通路，并且可通過所述第二真空泵330控制經(jīng)由第一真空泵320、所述第二真空泵330及所述機油過濾器部350的第二通路。下面，對本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法進行說明。本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法除后述內(nèi)容外可與上述第一實施例相同。首先，本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣方法包括以下步驟S311：開啟第一真空泵320對真空室進行排氣。另外，在S311步驟中，第一真空閥321可以是打開狀態(tài)，所述第二真空泵330可以是關(guān)閉狀態(tài)，所述第一通路開閉閥部332即單向閥可通過壓力差成為打開狀態(tài)。接著，包括以下步驟S312：開啟第二真空泵330對所述第一真空泵的工作油施加真空。如上所述，經(jīng)由所述第一真空泵的一部分水蒸氣被持續(xù)汽化或溶解到空氣中而排出，但無法完全排出該水蒸氣，該一部分水蒸氣以液態(tài)被捕集并積聚到第一真空泵油中。因此，在發(fā)明中為了使捕集到所述第一真空泵油中的液態(tài)水汽化，向所述第一真空泵320提供用于使所述液態(tài)水蒸發(fā)的規(guī)定壓力，向所述第二真空泵330提供用于使捕集到所述第一真空泵油中的液態(tài)水汽化的規(guī)定壓力。另外，在S312步驟中，第一真空閥321可以是打開狀態(tài)，第二真空泵330可以是開啟狀態(tài)，第一通路開閉閥部332可以是閉合狀態(tài)。接著，包括以下步驟S313：使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸氣汽化。該S313步驟可與上述S312步驟同時進行，即，可通過開啟第二真空泵對所述第一真空泵的工作油施加真空，從而向所述第一真空泵320提供用于使所述液態(tài)水蒸發(fā)的規(guī)定壓力，由此使捕集到所述工作油中的水蒸氣汽化。這與所述第一實施例相同，因此以下省略具體說明。另外，在S313步驟中，第一真空閥321可以是打開狀態(tài)，第二真空閥330可以是開啟狀態(tài)，第一通路開閉閥部332可以是閉合狀態(tài)。接著，包括以下步驟S314：關(guān)閉所述第一真空泵并維持所述第二真空泵的開啟狀態(tài)。即在S314步驟中，因關(guān)閉第一真空泵而結(jié)束所述滅菌室的排氣，但可以是能夠使捕集到所述第一真空泵的工作油中的液態(tài)水繼續(xù)汽化的步驟。此時，在S314步驟中，第一真空閥321可以是閉合狀態(tài)，第二真空泵330可以是開啟狀態(tài)，第一通路開閉閥部332可以是閉合狀態(tài)。接著，可通過關(guān)閉所述第二真空泵，結(jié)束本發(fā)明第三實施例的滅菌裝置真空排氣系統(tǒng)的真空排氣。以上參照附圖對本發(fā)明的實施例進行了說明，但本發(fā)明所屬
技術(shù)領(lǐng)域：
的技術(shù)人員應能理解，本發(fā)明可在不變更本發(fā)明的技術(shù)思想或必要特征的基礎(chǔ)上以其它具體方式實施。因此，應理解以上所述的實施例在所有方面為示例性的，而不是限定性的。當前第1頁1 2 3