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壓電元件、探測器以及超聲波測定裝置的制作方法

文檔序號:12801928閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了壓電元件、探測器以及超聲波測定裝置,壓電元件(50)包括:振動膜(56);壓電體(58),配置在所述振動膜(56)的一面?zhèn)?;以及水平電極構(gòu)造,在所述壓電體(58)上隔開規(guī)定間隔而配置有電極,所述振動膜(56)俯視時在與所述規(guī)定間隔相對應(yīng)的部分具有凹部(第一凹部(64))。

技術(shù)研發(fā)人員:宮澤弘;伊藤浩;中村友亮;山田昌佳;鶴野次郎;舩坂司
受保護的技術(shù)使用者:精工愛普生株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.27
技術(shù)公布日:2017.07.07
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