蓋、氣室、氣室的密封方法、蓋的制造方法及蓋陣列基板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及蓋、蓋陣列基板、蓋的制造方法、具有蓋的氣室以及利用蓋進行密封的氣室的密封方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為用作檢測從生物體的心臟等發(fā)出的磁場的生物體磁測定裝置等的器件，已知有光栗浦式的磁傳感器。在該磁傳感器中使用封入了堿金屬氣體的氣室。為了在氣室中封入堿金屬氣體，例如，需要在從設(shè)置于氣室的規(guī)定的開口部填充了堿金屬氣體后對開口部進行密封。密封有各種方法，在專利文獻1中記載有如下的方法，即、在由玻璃構(gòu)成的圓柱狀孔中穿過玻璃管，并在圓柱狀孔的端部以環(huán)狀涂敷了液態(tài)的玻璃料密封材料后進行熔融密封。在專利文獻2中記載有如下的方法，S卩、在由玻璃構(gòu)成的細管中穿過了電流供給體的狀態(tài)下，使固體的環(huán)狀玻璃料密封材料與細管端部接觸，并使環(huán)狀玻璃料密封材料加熱熔融，由此使其浸入至細管與電流供給體的間隙。另外，在專利文獻3中記載有用于在使用密封材料來密封氣室的工序中，減少由密封材料的收縮引起的裂縫的產(chǎn)生的方法。
[0003]專利文獻1:日本特開2000 - 203891號公報
[0004]專利文獻2:日本特開2007 - 329140號公報
[0005]專利文獻3:日本特開2013 — 172811號公報
[0006]然而，上述方法均是具有多個工序的方法，尋求一種更簡單的方法。例如，作為氣室的密封方法，有用蓋來密封設(shè)置于氣室的孔的方法。在密封該氣室的工序中，存在產(chǎn)生蓋相對于氣室主體的位置偏移的情況。在專利文獻1至3所記載的技術(shù)中，雖然裂縫的產(chǎn)生得到減少，但不能夠減少蓋的位置偏移的產(chǎn)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是為了解決上述的問題等的至少一個而完成的，例如能夠采取以下的應(yīng)用例。
[0008]應(yīng)用例1
[0009]本發(fā)明所涉及的一個蓋的特征在于，包括蓋基板和突起部，上述突起部被配置于上述蓋基板的第一面，在從上述突起部側(cè)俯視上述第一面時，在上述第一面的上述突起部的外側(cè)的區(qū)域設(shè)置有第一密封材料。
[0010]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在堵塞具有規(guī)定的開口部的構(gòu)造物的該開口部的情況下，通過將突起部插入至該規(guī)定的開口部來進行定位，并使用第一密封材料與該構(gòu)造物接合，從而能夠?qū)⑸w相對于該構(gòu)造物放置在準確的位置，能夠可靠地堵塞該規(guī)定的開口部。
[0011]應(yīng)用例2
[0012]優(yōu)選在上述的一個蓋中，上述突起部通過第二密封材料與上述第一面接合。
[0013]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，將突起部通過第二密封材料與第一面接合，從而能夠在分別準備了蓋基板和突起部之后接合而構(gòu)成。由此，能夠使突起部的形狀相對于使用該突起部的構(gòu)造物的開口部適當，或使用不同的材質(zhì)而構(gòu)成。
[0014]應(yīng)用例3
[0015]優(yōu)選在上述的一個蓋中，在從上述突起部側(cè)俯視上述第一面時，上述第一密封材料以包圍上述突起部的形狀被連續(xù)地設(shè)置。
[0016]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在俯視時第一密封材料被連續(xù)地設(shè)置于突起部的周圍，從而能夠更加可靠地堵塞開口部。
[0017]應(yīng)用例4
[0018]優(yōu)選在上述的一個蓋中，上述第一密封材料是玻璃料。
[0019]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過使用玻璃料，能夠使蓋基板的制造變得容易。另外，也容易使玻璃料的材質(zhì)與突起部的材質(zhì)等匹配。
[0020]應(yīng)用例5
[0021]優(yōu)選在上述的一個蓋中，上述第一面的設(shè)置上述第一密封材料的區(qū)域是梨皮面。
[0022]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過設(shè)為梨皮面，能夠使使用玻璃料的接合更加穩(wěn)固。
[0023]應(yīng)用例6
[0024]優(yōu)選在上述的一個蓋中，上述第二密封材料是玻璃料。
[0025]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過使用玻璃料，能夠使蓋基板的制造變得容易。另外，也容易使玻璃料的材質(zhì)與具有規(guī)定的開口部的構(gòu)造體的材質(zhì)等匹配。
[0026]應(yīng)用例7
[0027]優(yōu)選在上述的一個蓋中，上述第一面的設(shè)置上述第二密封材料的區(qū)域是梨皮面。
[0028]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過設(shè)為梨皮面，能夠使使用玻璃料的接合更加穩(wěn)固。
[0029]應(yīng)用例8
[0030]優(yōu)選在上述的一個蓋中，在從上述突起部側(cè)俯視上述第一面時，由與上述第一面和上述突起部的切面平行的面截取的上述突起部的剖面積在上述突起部的上述第一面的相反的一側(cè)的前端以外的部分為最大。
[0031]根據(jù)該構(gòu)造，突起部的剖面積在前端部分以外的部分為最大，從而容易地將突起部的前端插入至構(gòu)造物的規(guī)定的開口部。另外，能夠使前端部以外的突起部的剖面積為最大的位置任意，從而能夠?qū)⑼黄鸩康男螤钤O(shè)為適合于構(gòu)造物的形狀的形狀。
[0032]應(yīng)用例9
[0033]優(yōu)選在上述的一個蓋中，上述突起部是球體。
[0034]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于突起部為球體，由此在將突起部與第一面接合時無需考慮突起部的方向，容易處理。
[0035]應(yīng)用例10
[0036]本發(fā)明所涉及的一個氣室的特征在于，該氣室是開口部被密封的氣室，上述開口部被上述的一個蓋密封，上述突起部進入上述開口部內(nèi)，并通過上述第一密封材料將上述蓋基板固定于上述氣室。
[0037]根據(jù)該構(gòu)造，能夠以適當?shù)男问蕉氯麣馐业拈_口部。
[0038]應(yīng)用例11
[0039]本發(fā)明所涉及的一個氣室的密封方法的特征在于，氣室具有開口部，通過將上述的一個蓋基板的上述突起部插入至上述開口部的內(nèi)部來進行固定上述蓋的定位。
[0040]根據(jù)該方法，能夠使用該蓋適當?shù)孛芊鈿馐业拈_口部。
[0041]應(yīng)用例12
[0042]本發(fā)明所涉及的一個蓋的制造方法的特征在于，該蓋的制造方法是密封規(guī)定的開口部的蓋的制造方法，包括:在一個基板的多個區(qū)域的每一個與上述規(guī)定的開口部匹配地設(shè)置第一密封材料的第一密封材料設(shè)置工序；使用第二密封材料使突起部與上述多個區(qū)域的每一個接合的突起部接合工序；以及對上述基板分別分割上述多個區(qū)域的每一個的切割工序，在俯視上述多個區(qū)域的每一個時，設(shè)置上述第一密封材料的區(qū)域是在接合了上述突起部時與上述突起物重疊的區(qū)域的外側(cè)的區(qū)域。
[0043]根據(jù)該方法，能夠容易地制造具有突起部的多個蓋。
[0044]應(yīng)用例13
[0045]優(yōu)選在上述的一個蓋的制造方法中，上述第一密封材料以及上述第二密封材料分別是玻璃料。
[0046]根據(jù)該方法，能夠容易地構(gòu)成第一密封材料以及第二密封材料。
[0047]應(yīng)用例14
[0048]優(yōu)選在上述的一個蓋的制造方法中，還包括:將上述第一基板的表面的設(shè)置上述第一密封材料的區(qū)域加工成梨皮面的工序；以及將上述第一基板的表面的設(shè)置上述第二密封材料的區(qū)域加工成梨皮面的工序。
[0049]根據(jù)該方法，能夠使使用第一密封材料以及第二密封材料的針對規(guī)定的構(gòu)造物的密封更加可靠。
[0050]應(yīng)用例15
[0051]優(yōu)選在上述的一個蓋的制造方法中，上述突起部是球體。
[0052]根據(jù)該方法，由于突起部是球體，所以在制造工序中無需考慮突起部的方向，所以制造變得容易。
[0053]應(yīng)用例16
[0054]優(yōu)選在上述的一個蓋的制造方法中，在上述突起部接合工序之后進行上述切割工序。
[0055]根據(jù)該方法，能夠容易地進行多個突起部的設(shè)置。
[0056]應(yīng)用例17
[0057]本發(fā)明所涉及的一個蓋陣列基板的特征在于，該蓋陣列基板是在上述的一個蓋的制造方法中在上述突起部接合工序之后的上述一個基板。
[0058]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在突起部接合工序之后，成為具有突起部的功能的蓋陣列基板。
【附圖說明】
[0059]圖1是表示磁測定裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0060]圖2是氣室陣列的外觀圖。
[0061]圖3是氣室的剖視圖。
[0062]圖4是表不氣室的制造工序的流程圖。
[0063]圖5是玻璃球的定位夾具的俯視圖。
[0064]圖6是固定有玻璃球的蓋陣列基板的側(cè)視圖。
[0065]圖7是固定有玻璃球的蓋陣列基板的立體圖。
[0066]圖8是固定有玻璃球的蓋陣列基板的俯視圖。
[0067]圖9是切割后的蓋基板的外觀圖。
[0068]圖10是表示通過玻璃球微調(diào)蓋的位置的狀態(tài)的圖。
【具體實施方式】
[0069]以下，使用附圖對本發(fā)明所涉及的實施方式進行說明。另外，說明中所使用的圖是便于說明的圖，例如圖中所記載的構(gòu)成物的各個構(gòu)成要素的大小的比率并不限于圖中所示的比率。
[0070](第一實施方式)
[0071]本實施方式是將本發(fā)明所涉及的蓋用于磁測定裝置的密封的例子。
[0072]1.磁測定裝置的結(jié)構(gòu)
[0073]圖1是表示磁測定裝置1的結(jié)構(gòu)的簡要框圖。磁測定裝置1是測定從心臟產(chǎn)生的磁