專利名稱：一種利用微波清潔材料表面的方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于材料表面清潔方法及其裝置，尤其是一種利用微波產(chǎn)生紫外光，臭氧或氧等離子體，以清除材料表面污染的方法及其裝置。該方法和裝置特別適用于清除導(dǎo)電玻璃表面的各種污染。
本發(fā)明提出的材料表面清潔方法，是把需要清潔的材料置于微波輻射源和紫外光之間，由微波能量轉(zhuǎn)化為紫外光能量，同時(shí)由紫外光激勵(lì)產(chǎn)生臭氧或者由微波產(chǎn)生氧等離子體，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的高效清潔。
對(duì)應(yīng)于本發(fā)明的上述材料表面清潔方法，本發(fā)明還設(shè)計(jì)了相應(yīng)的清潔處理裝置。該裝置由微波輻射源、紫外燈、密封腔體構(gòu)成。其中，微波源設(shè)置于密封腔體上部，紫外燈設(shè)置于腔體底部，腔體下側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口，其結(jié)構(gòu)如

圖1所示。進(jìn)氣口可以接外配的氣體流量控制器后接高純氧氣，出氣口可以外接真空泵，這樣可以控制腔體內(nèi)的真空度。清潔處理時(shí)，將需要的清潔材料置于微波源和紫外燈之間。接上電源，微波輻射源產(chǎn)生微波，由紫外光激勵(lì)產(chǎn)生臭氧和/或氧等離子體。
上述清潔處理裝置可利用通常的微波爐改造而獲得。具體如下先制作一個(gè)具有進(jìn)氣口和出氣口的不銹鋼底盤(pán)，不帶電極的紫外燈置于不銹鋼底盤(pán)上，并把不銹鋼底盤(pán)安裝于微波爐的腔體中，通常是安裝在底部；把微波爐的配套器具玻璃盤(pán)(罩)倒扣在不銹鋼底盤(pán)上，玻璃盤(pán)(罩)下邊緣與底盤(pán)之間用橡膠密封圈密封。
這樣就在微波爐腔體中形成一個(gè)具有外接進(jìn)氣口和出氣口的腔體。微波能量可以透過(guò)玻璃罩深入該密封腔體中，并激發(fā)紫外燈產(chǎn)生紫外線，紫外線照射氧氣后產(chǎn)生臭氧。如果密封腔體中有一定真空度(1～10Pa)則能產(chǎn)生等離子體。把需要清潔的材料置于密封腔體內(nèi)。表面的有機(jī)污染被臭氧氧化后隨氣流帶走，或使有機(jī)污染和其它各種污染被氧等離子體轟擊而離開(kāi)材料表面，隨氣流被抽走，從而達(dá)到清潔材料表面的目的。
本發(fā)明清潔效果好，使用方便、安全，適用范圍廣，可適用于半導(dǎo)體材料和器件的表面清潔處理，尤其適用于ITO玻璃的表面清洗，可提高ITO玻璃的表面功函數(shù)，優(yōu)化電極性能，此外，本發(fā)明還可用于衛(wèi)生器具的消毒處理，或用于環(huán)保產(chǎn)品，消除有機(jī)異味等。
圖2為利用微波爐改造的本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)圖示。
圖中標(biāo)號(hào)1為密封外殼，2為微波輻射源，3為紫外燈，4為進(jìn)氣口，5為出氣口，6為ITO電極，7為電極基片，8為玻璃罩，9為不銹鋼底盤(pán)，10為橡膠密封圈，11為微波腔體。
權(quán)利要求
1.一種材料表面的清潔方法，其特征在于把需要清潔的材料置于微波輻射源和紫外光之間，由微波能量轉(zhuǎn)化為紫外光能量，同時(shí)由紫外光激勵(lì)產(chǎn)生臭氧或者由微波能量產(chǎn)生氧等離子體，實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的高效清潔。
2.一種如權(quán)利要求1所述方法的清潔裝置，其特征在于由微波輻射源，紫外燈、密封腔體構(gòu)成，微波輻射源設(shè)置于密封腔體上部，紫外燈設(shè)置于腔體底部，腔體下側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清潔裝置，其特征在于進(jìn)氣口接外配的氣體流量控制器后接高純氧氣，出氣口外接機(jī)械真空泵。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清潔裝置，其特征在于由微波爐改造而成，先制作一個(gè)具有進(jìn)氣口和出氣口的不銹鋼底盤(pán)，不帶電極的紫外燈設(shè)置于不銹鋼底盤(pán)上，并把不銹鋼底盤(pán)安裝于微波爐的腔體中，把微波爐的配套器具玻璃盤(pán)倒扣在不銹鋼底盤(pán)上，玻璃盤(pán)下邊緣與底盤(pán)之間用橡膠密封圈密封。
全文摘要
本發(fā)明是一種利用微波產(chǎn)生紫外線/臭氧或氧等離子體，用以清除材料表面有機(jī)物、塵埃和水氣污染的方法及其裝置。這種方法適用于清潔絕緣體和半導(dǎo)體等材料的表面，特別適用于清潔導(dǎo)電玻璃的表面。本發(fā)明可利用普通微波爐，經(jīng)改造得到微波臭氧/氧等離子體處理的裝置。該裝置還可以用于消毒、清除有機(jī)異味等。
文檔編號(hào)B08B11/00GK1449872SQ0311627
公開(kāi)日2003年10月22日 申請(qǐng)日期2003年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月10日
發(fā)明者侯曉遠(yuǎn), 鐘高余, 王曉軍, 熊祖洪, 史華忠, 張松濤, 何鈞, 丁訓(xùn)民 申請(qǐng)人:上海復(fù)旦辰光科技有限公司