專利名稱：清洗方法以及實(shí)施該方法的清洗液供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶板制造、PDP板制造、有機(jī)EL板制造、FED板制造、印刷電路襯底板制造、半導(dǎo)體制造、薄膜制造、版制造以及其它的電子設(shè)備部件等的制造步驟所使用的清洗方法和實(shí)施該方法的清洗液供給裝置，更具體地說，本發(fā)明涉及下述清洗方法和實(shí)施該方法的清洗液供給裝置，其特征在于向被清洗物連續(xù)地噴出高壓的清洗液的同時(shí)對(duì)該清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，以及向被清洗物連續(xù)地噴出高壓的清洗液的同時(shí)按照與該連續(xù)的清洗液的噴出平行的方式，將進(jìn)行了增強(qiáng)減弱的處理的清洗液噴向被清洗物。
背景技術(shù)：
近年的平板顯示器(液晶、PDP、EL、FED等)半導(dǎo)體、印刷電路襯底、薄膜、電子設(shè)備部件等的進(jìn)步的高精度化處理變得驚人，特別是，在平板顯示器的制造工藝、高集成半導(dǎo)體器件的制造工藝中，必須進(jìn)行更高程度的超精度清洗。
另外，目前的情況是，伴隨圖案的微細(xì)化，高集成化，所處理的液晶玻璃、PDP玻璃、硅晶片的整體尺寸增加，在液晶玻璃的場合，其尺寸為1870×2200mm，在PDP玻璃的場合，其尺寸為2150×2350mm，在硅晶片的場合，直徑接近300mm，但是，清洗占全部步驟的40～60％，在產(chǎn)品合格率的提高方面，承擔(dān)重要的作用。
在這里，對(duì)作為過去的清洗方法之一的將清洗液噴向被清洗物的方法(“灑水方式”)進(jìn)行描述，在該灑水方式的場合，采用通過高壓，按照噴淋式、噴射方式連續(xù)地向被清洗物噴出清洗液的方法，按照該方法，具有可通過清洗液的液壓，去除附著于被清洗物上的異物等的優(yōu)點(diǎn)。
但是，該方法具有下述的問題，即，由于連續(xù)地將清洗液沖擊被清洗物，故在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，而該覆蓋膜妨礙、吸收清洗液的沖突能量。
于是，作為解決這樣的問題的方法，人們提出間歇地，即，脈沖地向被清洗物噴出清洗液的方法(“脈沖清洗”)。
即，在該脈沖清洗中，采用通過進(jìn)行閥的開閉，噴向被清洗物的清洗液間歇的方法，按照該方法，可防止在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜。
專利文獻(xiàn)1JP第2942992號(hào)文獻(xiàn)發(fā)明內(nèi)容但是，在向被清洗物連續(xù)地吹清洗液的場合，為了在平時(shí)清洗液沖擊被清洗物，在平時(shí)將被清洗物上的清洗液從被清洗物上沖向外側(cè)，由此，通過清洗液的液壓，與被清洗物剝離的異物等伴隨清洗液流，從被清洗物上流走，但是，在間歇地吹清洗液的場合，存在清洗液不沖擊被清洗物的瞬間，此時(shí)，被認(rèn)為具有已被噴到被清洗物上的清洗液存在逆流的危險(xiǎn)。如果象這樣形成，則伴隨被清洗物上的清洗液的逆流，從被清洗物上暫時(shí)沖掉的異物等也逆流，在該狀態(tài)下被清洗物移向下一步驟的情況發(fā)生要予以充分地考慮。
于是，在前述的脈沖清洗中，雖然可防止在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，但是，另一方面，具有導(dǎo)致清洗液和異物的逆流的問題。
于是，本發(fā)明的課題在于針對(duì)向被清洗物噴出清洗液的清洗方法，提供可防止在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，并且還可防止清洗液和異物在被清洗物上的逆流的清洗方法和實(shí)施該方法用的清洗液供給裝置。
本發(fā)明的清洗方法涉及向被清洗物，連續(xù)地噴出高壓的清洗液的清洗方法，其特征在于對(duì)上述連續(xù)噴出的清洗液的穩(wěn)定連續(xù)流進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。
另外，用于實(shí)施上述清洗方法的本發(fā)明的清洗液供給裝置的特征在于該清洗液供給裝置包括噴嘴，該噴嘴用于向被清洗物噴出清洗液；泵，該泵與上述噴嘴連接，用于向上述噴嘴供給高壓的清洗液，在上述泵和噴嘴之間介設(shè)有缸體，該缸體對(duì)通過泵供給的清洗液進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
此外，本發(fā)明涉及向被清洗物連續(xù)地噴出高壓的清洗液的清洗方法，其特征在于按照與上述連續(xù)的清洗液噴出平行的方式，向被清洗物噴出進(jìn)行了增強(qiáng)減弱的處理的清洗液。
還有，用于實(shí)施該清洗方法的本發(fā)明的清洗液供給裝置的特征在于該清洗液供給裝置包括清洗液供給用泵；連續(xù)流噴嘴，該連續(xù)流噴嘴與上述清洗液供給用泵連接；波動(dòng)流噴嘴，該波動(dòng)流噴嘴通過缸體與上述清洗液供給用泵連接，該缸體用于對(duì)通過清洗液供給用泵供給的清洗液進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
本發(fā)明的清洗方法的特征在于一邊向被清洗物連續(xù)地噴出高壓的清洗液，一邊對(duì)該連續(xù)噴出的清洗液的穩(wěn)定連續(xù)流進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，或按照與連續(xù)的清洗液的噴出平行的方式，噴出進(jìn)行了增強(qiáng)減弱的處理的高壓的清洗液。
象這樣，按照本發(fā)明，由于對(duì)連續(xù)地噴向被清洗物的清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，或由于連續(xù)地向被清洗物噴出清洗液，并且按照與該動(dòng)作并行的方式向被清洗物噴出進(jìn)行了增強(qiáng)減弱的處理的清洗液，故可防止在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，并且可有效防止清洗液和異物等在被清洗物上逆流的情況。


圖1為用于說明本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例的曲線圖；圖2為用于說明本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例的另一形式的曲線圖；圖3為用于說明本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例的另一形式的曲線圖；圖4為用于說明本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例的另一形式的曲線圖；圖5為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例用的清洗液供給機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖；圖6為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例用的缸體的圖；圖7為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例用的缸體的圖；圖8為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例用的旋轉(zhuǎn)式供給槍的圖；圖9為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例用的清洗液供給裝置的作用的圖；圖10為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第1實(shí)施例用的清洗液供給裝置的作用的圖；
圖11為用于說明噴嘴的圖；圖12為用于說明實(shí)施本發(fā)明的清洗方法的第2實(shí)施例用的清洗液供給機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖；圖13為用于說明本發(fā)明的清洗方法的第2實(shí)施例用的曲線圖。
具體實(shí)施例方式
在本發(fā)明的清洗方法中，向被清洗物，按照14～17m/sec的流速連續(xù)地噴出8MPa～15MPa的高壓的清洗液，并且連續(xù)噴出的清洗液的穩(wěn)定連續(xù)流的流速按照20～50c/sec的周期，波動(dòng)地上升到100～120m/sec的流速。
另外，在用于實(shí)施該方法的本發(fā)明的清洗液供給裝置中，具有噴嘴，該噴嘴用于向被清洗物吹清洗液；泵，該泵與該噴嘴連接，用于向上述噴嘴供給高壓的清洗液，并且在上述泵與噴嘴之間介設(shè)有缸體，該缸體對(duì)通過泵供給的清洗液進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
在這里，上述缸體包括缸主體；活塞，該活塞以可往復(fù)移動(dòng)的方式插入該缸主體內(nèi)部，上述缸主體具有清洗液入口和清洗液排放口，上述活塞可采用下述的類型，其具有槽和間隙，該槽按照可與上述清洗液注入口和清洗液排放出口連通的配置，沿周向形成，該間隙按照與上述清洗液注入口和清洗液排放口連通的配置，與上述槽保持連續(xù)，其深度小于上述槽，另外，其它的缸體也可采用下述的類型，其具有形成有清洗液供給通路和清洗液排放通路的主體部；驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部以可旋轉(zhuǎn)的方式插入該主體部的內(nèi)部，在該驅(qū)動(dòng)部的內(nèi)部具有呈放射狀的清洗液運(yùn)送通路；形成于上述驅(qū)動(dòng)部的外周側(cè)和主體部的內(nèi)周側(cè)的間隙。
另外，在本發(fā)明的清洗方法的另一形式中，按照14～17m/sec的流速，將8MPa～15MPa的高壓的清洗液噴給被清洗物，并且按照與該連續(xù)的噴出并行的方式，以20～50c/sec的周期，按照100～120m/sec的流速，將8MPa～15MPa的高壓的清洗液噴出給被清洗物。
此外，在用于實(shí)施本方法的本發(fā)明的清洗液供給裝置中，具有清洗液供給用泵；與該清洗液供給用泵連接的連續(xù)流噴嘴；波動(dòng)流噴嘴，該波動(dòng)流噴嘴通過下述缸體與上述清洗液供給用泵連接，該缸體對(duì)通過上述清洗液供給用泵提供的清洗液進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
在這里，上述缸體包括缸主體；活塞，該活塞以可往復(fù)移動(dòng)的方式插入該缸主體內(nèi)部，上述缸主體具有清洗液入口和清洗液排放口，上述活塞可采用下述的類型，其具有槽，該槽按照可與上述清洗液注入口和清洗液排放口連通的配置、沿周向形成，其它的缸體也可采用下述的類型，其具有形成有清洗液供給通路和清洗液排放通路的主體部；驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部以可旋轉(zhuǎn)的方式插于該主體部的內(nèi)部，在該驅(qū)動(dòng)部的內(nèi)部，具有放射狀的清洗液運(yùn)送通路。
實(shí)施例1下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的清洗方法的實(shí)施例進(jìn)行描述，圖1為用于說明本實(shí)施例的清洗方法的曲線圖，在該圖中的橫向表示時(shí)間軸。另外，在圖的標(biāo)號(hào)A表示噴向被清洗物的清洗液的流速，于是，圖中的斜線所表示的部分指吹向被清洗物的清洗液的液量。
即，本實(shí)施例的清洗方法的特征在于，在平時(shí)連續(xù)地將規(guī)定量的清洗液噴向被清洗物，伴隨該情況，對(duì)連續(xù)噴出的清洗液的穩(wěn)定連續(xù)流，進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
另外，在本實(shí)施例中，按照14～17m/sec的流速，連續(xù)地將8MPa～15MPa的高壓的清洗液噴向被清洗物，并且按照20～50c/sec的周期，使連續(xù)噴出的清洗液的流速波動(dòng)地上升到100～120m/sec的最高流速。
于是，按照本實(shí)施例的清洗方法，為了連續(xù)地噴出清洗液，作為沖擊被清洗物的清洗液，在平時(shí)伴隨去除的異物等從被清洗物上流下，沒有在被清洗物上逆流的情況，并且周期性地對(duì)清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，由此，將噴到被清洗物上的清洗液噴飛，這樣，在被清洗物上不形成清洗液的覆蓋膜，由此，可有效地去除附著于被清洗物上的異物等。
此外，通過清洗液的連續(xù)流，可去除較小的異物等，同時(shí)可通過波動(dòng)流去除較大的異物等，可有效地實(shí)現(xiàn)異物的去除等處理。
另外，圖2～圖4為表示本實(shí)施例的另一形式的曲線圖。即，在圖1中，按照定期的周期，對(duì)連續(xù)噴出的清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，并且該強(qiáng)弱度相同，即，清洗液波形的波高、振幅、頻率相同，但是，在圖2所示的那樣，頻率一定，而波高不同。另外，在圖3所示的形式中，波高相同，但是頻率和振幅改變。另外，在圖4所示的形式中，頻率、波高和振幅均不同。另外，通過形成這些形式，可更加有效地進(jìn)行異物的去除等處理。即，按照本發(fā)明，可對(duì)連續(xù)流進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，而不必一定按照定期的周期，進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，另外，強(qiáng)弱的程度也不必一定。
下面對(duì)實(shí)施具有這樣的特征的本實(shí)施例的清洗方法用的本發(fā)明的清洗液供給機(jī)構(gòu)的實(shí)施例進(jìn)行描述，圖5為表示本實(shí)施例的清洗液供給機(jī)構(gòu)的一種形式的結(jié)構(gòu)的圖，在圖中，標(biāo)號(hào)1表示清洗液供給機(jī)構(gòu)。
另外，該清洗液供給機(jī)構(gòu)1包括噴嘴4和泵3，該噴嘴4用于向被清洗物噴出清洗液，該泵3用于向該噴嘴4供給高壓的清洗液，另外，在上述泵3和噴嘴4之間，設(shè)置有缸體2，該缸體2用于對(duì)通過噴嘴4噴出的清洗液進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理，由此，可周期性地對(duì)噴向被清洗物的清洗液的連續(xù)流進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。另外，圖中的13a，13b表示運(yùn)送清洗液的運(yùn)送用軟管。
在這里，參照?qǐng)D6，對(duì)上述缸體2進(jìn)行描述，該缸體2包括缸主體7與活塞8，該活塞8可在該缸主體7的內(nèi)部往復(fù)移動(dòng)。
此外，在上述活塞8中，象圖7所示的那樣，兩端部分的外徑增加，將該部分作為放大部801，另外，沿縱向在中間部附近，沿周向形成規(guī)定間距的寬度的槽802。另外，在周向整個(gè)區(qū)域形成間隙803，該間隙803與該槽802保持連續(xù)，其深度小于上述槽802。
另一方面，在上述缸主體7的內(nèi)部，形成移動(dòng)空間701，活塞8中的擴(kuò)大部810可在該移動(dòng)空間701中移動(dòng)規(guī)定范圍，按照與該移動(dòng)空間701連通的方式，分別在缸主體6的縱向的兩端壁形成驅(qū)動(dòng)空氣供給口702。另外，在使用時(shí)，壓縮機(jī)等的空氣供給機(jī)構(gòu)6與該驅(qū)動(dòng)空氣供給口702連接(參照?qǐng)D5)，由此，交替地通過驅(qū)動(dòng)空氣供給口702向缸主體7的驅(qū)動(dòng)空間701的內(nèi)部供給空氣，由此，通過空氣壓力，可沿縱向使活塞8往復(fù)移動(dòng)，并且該移動(dòng)限制在上述擴(kuò)大部801可在移動(dòng)空間701的內(nèi)部移動(dòng)的范圍內(nèi)。另外，圖6和圖9中的標(biāo)號(hào)9表示密封用的密封環(huán)。
還有，在上述缸主體7的側(cè)壁任意的部位，形成清洗液注入口703，并且在與該清洗液注入口703相對(duì)的配置中，在上述缸主體7的側(cè)壁形成通過運(yùn)送用軟管13b，與清洗液噴嘴4連接的清洗液排放口704。另外，與清洗液供給用泵3連接的運(yùn)送用軟管13a與清洗液注入口700連接，與噴嘴4連接的運(yùn)送用軟管13b與清洗液排放出口704連接。
于是，通過采用缸體2，在活塞8中的槽802未與清洗液注入口703和清洗液排放口704連通時(shí)，通過間隙803，在平時(shí)將少量的清洗液供給清洗液噴嘴4，并且在伴隨活塞8的移動(dòng)，上述活塞8中的槽802與清洗液注入口703和清洗液排放出口704連通時(shí)，供給噴嘴4的清洗液的量增加，由此，對(duì)通過該缸體2的清洗液周期性地進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
再有，清洗液注入口703和清洗液排放口704不必一定是一對(duì)的，也可分別形成于多個(gè)部位。另外，與缸體2連接的噴嘴4也不必一定為1個(gè)，也可具有多個(gè)噴嘴。
下面對(duì)采用象這樣構(gòu)成的清洗液供給裝置1的清洗方法的作用進(jìn)行描述。圖9和圖10中的標(biāo)號(hào)11表示被清洗物，另外，標(biāo)號(hào)12表示用于運(yùn)送被清洗物的傳送器等的運(yùn)送機(jī)構(gòu)。另外，該運(yùn)送機(jī)構(gòu)12包括外殼1201；多根運(yùn)送用輥1202，該多個(gè)輥1202以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置于該外殼1201上；用于旋轉(zhuǎn)該運(yùn)送用輥1202的電動(dòng)機(jī)等的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未示出)，通過驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使輥1202旋轉(zhuǎn)，由此，可運(yùn)送放置于輥1202上的被清洗物。
還有，在本實(shí)施例中，上述噴嘴4作為在內(nèi)部具有中空部401的長條狀件，象沿圖11中的縱向的剖視圖所示的那樣，在與縱向垂直的底端部具有噴射孔402，另外，在側(cè)壁具有連接有清洗液運(yùn)送用軟管13b的供給口403，該噴嘴設(shè)置于運(yùn)送機(jī)構(gòu)12的上方，可從噴射孔402向被清洗物11噴射清洗液。
再有，在本實(shí)施例的清洗方法中，事先調(diào)整活塞8的位置，使形成于活塞8的槽802為不與清洗液注入口703和清洗液排放出口704連通的狀態(tài)，首先，通過泵3以8MPa～15MPa的高壓供給清洗液，由此，通過間隙803借助噴嘴4向被運(yùn)送機(jī)構(gòu)12運(yùn)送的被清洗物11，噴出少量的清洗液。
接著，在該狀態(tài)，向形成于缸主體7上的驅(qū)動(dòng)空氣供給口702的雙方周期而交替地供給空氣，由此，使活塞8往復(fù)移動(dòng)。如果這樣，則在活塞8移動(dòng)的過程中，槽802與清洗液注入口703和清洗液排放出口704連通，并且供給噴嘴4的清洗液的量增加，槽802和清洗液注入口703與清洗液排放出口704在完全連通的場合形成頂點(diǎn)，通過噴嘴4波動(dòng)地對(duì)吹向被清洗物的清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。
于是，按照本實(shí)施例，可在平時(shí)，向被清洗物噴出清洗液，并且周期性地對(duì)該清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。另外，此時(shí)，通過改變活塞8的移動(dòng)速度，另外，通過改變槽802和清洗液注入口703與清洗液排放出口704的連通比例，即，通過設(shè)置槽802和清洗液注入口703和清洗液排放出口704完全不連通的場合，可容易改變清洗液波形的頻率、波高、振幅，由此，可容易實(shí)現(xiàn)圖2～圖4所示的那樣的清洗液的強(qiáng)弱處理。
另外，作為對(duì)連續(xù)噴出的清洗液波動(dòng)地進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理的方法，不必一定采用前述的缸體，此外，也可采用旋轉(zhuǎn)式的供給槍。即，圖8為用于說明該旋轉(zhuǎn)式供給槍31的結(jié)構(gòu)的剖視圖，在該旋轉(zhuǎn)式供給槍31中，在形成清洗液供給通路33和清洗液排放通路34的主體部32的內(nèi)部，以可旋轉(zhuǎn)的方式插裝驅(qū)動(dòng)部35，該驅(qū)動(dòng)部由清洗液運(yùn)送通路36呈放射狀形成。另外，在驅(qū)動(dòng)部35的外周側(cè)和主體部32的內(nèi)周側(cè)，形成規(guī)定間距的間隙37。這樣，通過該結(jié)構(gòu)，從清洗液供給通路33供給的清洗液在平時(shí)，通過上述間隙37，借助清洗液排放出路34供向噴嘴，由此，向被清洗物連續(xù)地噴出清洗液。
此外，在伴隨上述動(dòng)作，在驅(qū)動(dòng)部35旋轉(zhuǎn)的過程中，清洗液運(yùn)送通路36與清洗液供給通路33和清洗液排放通路34連通時(shí)，通過清洗液運(yùn)送通路36的清洗液與通過上述間隙37而供給噴嘴的清洗液重疊，并且該重疊的清洗液僅僅在清洗液運(yùn)送通路36完全與清洗液供給通路33和清洗液排放通路34連通時(shí)供給，由此，對(duì)從噴嘴吹向被清洗物11的清洗液波動(dòng)地進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。于是，即使在采用該旋轉(zhuǎn)式供給槍31的情況下，仍可獲得與采用上述缸的場合相同的效果。
還有，此時(shí)，通過改變驅(qū)動(dòng)部35的旋轉(zhuǎn)速度，以及形成于驅(qū)動(dòng)部35中的清洗液運(yùn)送通路36的直徑不按照同一值形成，故可容易改變清洗液波形的頻率、波高、振幅，這樣，即使在采用供給槍31的情況下，仍可容易實(shí)現(xiàn)圖2～圖4所示的那樣的清洗液的增強(qiáng)減弱的處理。
實(shí)施例2下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的清洗方法的另一實(shí)施例進(jìn)行描述，圖13為用于說明本實(shí)施例的清洗方法的曲線圖。在圖中，橫向?yàn)闀r(shí)間軸。
另外，在本實(shí)施例的清洗方法中，可在平時(shí)，連續(xù)地通過高壓將規(guī)定量的清洗液噴向被清洗物，并且按照與噴出并行的方式，采用另一系統(tǒng)的噴嘴，通過高壓將進(jìn)行了波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理的清洗液吹向被清洗物。
即，圖13中的符號(hào)B表示連續(xù)噴出的清洗液，符號(hào)A表示按照進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理的方式噴出的清洗液，在本實(shí)施例中，在平時(shí)，以8MPa～15MPa的高壓對(duì)被清洗物噴出流速在14～17m/sec的范圍內(nèi)的清洗液，與此動(dòng)作并行，按照20～50c/sec的周期，以8MPa～15MPa的高壓對(duì)被清洗物噴出流速在100～120m/sec的范圍內(nèi)的清洗液。
于是，按照本實(shí)施例的清洗方法，與前述的實(shí)施例相同，由于連續(xù)地噴出清洗液，故沖擊被清洗物的清洗液在平時(shí)伴隨去除的異物等，在被清洗物上流動(dòng)，不產(chǎn)生在被清洗物上逆流的情況，并且由于按照與該連續(xù)的清洗液的噴出并行的方式，噴出進(jìn)行了波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理的清洗液，故將噴向被清洗物的清洗液噴飛，由此，在被清洗物上不形成清洗液的覆蓋膜，這樣，可有效地去除附著于被清洗物上的異物等。
圖12為用于說明實(shí)施本實(shí)施例的清洗方法的本發(fā)明的清洗液供給機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖，本實(shí)施例的清洗液供給機(jī)構(gòu)包括連續(xù)地噴射清洗液的連續(xù)流噴嘴24a；波動(dòng)地噴射清洗液的波動(dòng)流噴嘴24b。另外，上述清洗液供給用泵23和連續(xù)流噴嘴24a通過清洗液運(yùn)送用軟管25連接，通過連續(xù)流噴嘴24a，可在平時(shí)連續(xù)地噴射清洗液，并且在介設(shè)缸體22的同時(shí)，通過運(yùn)送用軟管27a，27b連接波動(dòng)流噴嘴24b和清洗液供給用泵23，通過波動(dòng)流噴嘴24b，波動(dòng)地對(duì)清洗液進(jìn)行噴射，由此，可連續(xù)地吹清洗液，并且按照與該噴出并行的方式，對(duì)被清洗物噴出進(jìn)行了波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理的清洗液。
此外，本實(shí)施例的特征在于按照與連續(xù)的清洗液的噴出并行的方式，噴出進(jìn)行了波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理的清洗液，其它的效果等與前述實(shí)施例相同，故重復(fù)的描述省略。
還有，就所采用缸體22來說，可通過采用沒有前述缸體2或供給槍31的間隙803、37的結(jié)構(gòu)的類型而實(shí)現(xiàn)，故重復(fù)的描述省略。
再有，同樣在本實(shí)施例中，噴嘴24a、24b也可為多個(gè)。
本發(fā)明的特征在于在連續(xù)地以高壓，向被清洗物噴出清洗液時(shí)，對(duì)連續(xù)噴出的清洗液周期性地進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，或者按照與清洗液的連續(xù)的噴出并行的方式，噴出進(jìn)行了波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理的清洗液，由此，防止在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，并且防止清洗液在被清洗物上逆流的情況，這樣，本發(fā)明不僅可用于液晶器件制造、PDP板制造、有機(jī)EL板制造、FED板制造、印刷電路襯底制造、半導(dǎo)體制造、薄膜制造、版制造的其它的電子器件部件等的制造步驟，而且還可應(yīng)用于清洗步驟的全部步驟。
權(quán)利要求
1.一種清洗方法，該清洗方法向被清洗物連續(xù)地噴出高壓的清洗液，其特征在于對(duì)上述連續(xù)噴出的清洗液的穩(wěn)定連續(xù)流進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。
2.一種清洗液供給裝置，該清洗液供給裝置用于實(shí)施權(quán)利要求1所述的清洗方法，其特征在于該清洗液供給裝置包括噴嘴(4)，該噴嘴(4)用于向被清洗物，噴出清洗液；泵(3)，該泵(3)與上述噴嘴(4)連接，該泵(3)用于向上述噴嘴(4)供給高壓的清洗液，在上述泵(3)和噴嘴(4)之間介設(shè)有缸體(2)，該缸體(2)對(duì)通過泵(3)供給的清洗液進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗液供給裝置，其特征在于上述缸體(2)包括缸主體(7)和活塞(8)，該活塞(8)以往復(fù)移動(dòng)的方式插入缸主體(7)內(nèi)部，上述缸主體(7)包括清洗液注入口(703)和清洗液排放出口(704)，上述活塞(8)具有槽(802)，該槽(802)在可與上述清洗液注入口(703)和清洗液排放出口(704)連通的配置中沿周向形成；間隙(803)，該間隙(803)在可與上述清洗液注入口(703)和清洗液排放出口(704)連通的配置中與上述槽(802)保持連續(xù)，其深度小于上述槽(802)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗液供給裝置，其特征在于上述缸體(2)包括形成有清洗液供給通路(33)和清洗液排放通路(34)的主體部(32)；驅(qū)動(dòng)部(35)，該驅(qū)動(dòng)部(35)以可旋轉(zhuǎn)的方式插入該主體部(32)的內(nèi)部，在該驅(qū)動(dòng)部(35)的內(nèi)部，具有呈放射狀的清洗液運(yùn)送通路(36)；間隙(37)，該間隙(37)形成于上述驅(qū)動(dòng)部(35)的外周側(cè)和上述主體部(32)的內(nèi)周側(cè)。
5.一種清洗方法，該清洗方法向被清洗物連續(xù)地噴出高壓的清洗液，其特征在于按照與上述連續(xù)的清洗液噴出平行的方式，向被清洗物噴出進(jìn)行了增強(qiáng)減弱的處理的清洗液。
6.一種清洗液供給裝置，該清洗液供給裝置用于實(shí)施權(quán)利要求5所述的清洗方法，其特征在于該清洗液供給裝置包括清洗液供給用泵(23)；連續(xù)流噴嘴(24a)，該連續(xù)流噴嘴(24a)與上述清洗液供給用泵(23)連接；波動(dòng)流噴嘴(24b)，該波動(dòng)流噴嘴(24b)通過缸體(22)與上述清洗液供給用泵(23)連接，該缸體(22)對(duì)通過清洗液供給用泵(23)供給的清洗液，進(jìn)行波動(dòng)的增強(qiáng)減弱的處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的清洗液供給裝置，其特征在于上述缸體(22)包括缸主體與活塞，該活塞以可往復(fù)移動(dòng)的方式插入該缸主體內(nèi)部，上述缸主體具有清洗液入口與清洗液排放出口，上述活塞具有槽，該槽在可與上述清洗液入口與清洗液排放出口連通的配置中沿周向形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的清洗液供給裝置，其特征在于上述缸體(22)包括形成有清洗液供給通路和清洗液排放通路的主體部；驅(qū)動(dòng)部，該驅(qū)動(dòng)部以可旋轉(zhuǎn)的方式插入該主體部的內(nèi)部，在該驅(qū)動(dòng)部的內(nèi)部具有呈放射狀的清洗液運(yùn)送通路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種清洗方法以及實(shí)施該方法的清洗液供給裝置。該方法可防止在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，并且還可防止清洗液和異物在被清洗物上的逆流。該清洗方法向被清洗物連續(xù)地噴出清洗液，其中在14～17m/sec的流速下，連續(xù)對(duì)被清洗物噴出高壓的清洗液，并且按照20～50c/sec的周期，使該連續(xù)噴出的清洗液的流速上升到100～120m/sec，以對(duì)清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理。于是，按照本發(fā)明，由于通過對(duì)清洗液進(jìn)行增強(qiáng)減弱的處理，噴飛噴向被清洗物的清洗液，故不在被清洗物上形成清洗液的覆蓋膜，另外，因?qū)Ρ磺逑次镞B續(xù)噴出清洗液與被清洗物沖擊的清洗液與在平時(shí)去除的異物等一起，可從被清洗物上流動(dòng)，可防止向被清洗物上的逆流。
文檔編號(hào)B08B11/00GK1745911SQ200510102529
公開日2006年3月15日 申請(qǐng)日期2005年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月10日
發(fā)明者小林芳樹, 安川雅彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社杰維思