專利名稱：微粒清除裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型是關于一種微粒清除裝置，特別是關于一種適用于無塵布清潔的微粒清除裝置。
背景技術：
在半導體產業(yè)的無塵室中，通常必須使用特殊材質的無塵布進行清潔，因此無塵布的使用量非常大。
但是隨著芯片線寬越來越窄、液晶面板尺寸越來越大，對在無塵室、設備機臺或卡匣的潔凈度要求也越來越高，所使用的無塵布等級也必須提高至class 100或class 10等級，而潔凈度越高的無塵布價格昂貴，因此如何降低無塵布的使用量或使用成本，是個值得考慮的問題。

實用新型內容為了克服現(xiàn)有技術中無塵布使用量大的問題，有必要提供一種可有效清潔無塵布從而減少無塵布使用量的微粒清除裝置。
一種微粒清除裝置，其包括一具有一腔體的本體，一容置在腔體中的滾筒以及與腔體連接的進氣單元和排氣單元，該滾筒具有一入風口及相對于入風口的一底部，其中該微粒清除裝置還包括一用于驅動該滾筒沿一轉軸轉動的第一馬達及一攪拌棒，該攪拌棒由該滾筒底部伸出。
與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的微粒清除裝置設置有一用于驅動該滾筒沿一轉軸轉動的第一馬達及一攪拌棒，該攪拌棒由該滾筒底部伸出，該滾筒及攪拌棒同向或是反向旋轉，利用物理撞擊拍打，將附著在無塵布上的微粒清除，可有效清潔無塵布從而減少無塵布使用量。

圖1是本實用新型微粒清除裝置一較佳實施方式的示意圖。
圖2是無塵布在滾筒中進行微粒清除的示意圖。
具體實施方式
圖1是本實用新型微粒清除裝置一較佳實施方式的示意圖，微粒清除裝置包括進氣單元20、本體10以及排氣單元30。
微粒清除裝置的本體10具有一腔體11，一中空滾筒12以可沿著轉軸A轉動方式設置在腔體11中。滾筒12具有入風口123及相對于入風口123的底部124，滾筒底部124具有多個可供排氣的通孔125，而滾筒12的內壁設置有多個由滾筒底部124向入風口123延伸的第一扇葉121，其中第一扇葉121的厚度由滾筒12的入風口123端至滾筒底部124逐漸增加。
攪拌棒13由滾筒底部124伸出，也以可沿轉軸A轉動的方式設置在滾筒12中央。該攪拌棒13具有多個突出的第二扇葉131，而且第二扇葉131的厚度也由滾筒12的入風口123端至滾筒底部124逐漸增加。
微粒清除裝置的本體10部份還包括二用于驅動滾筒12及攪拌棒13的馬達14、15。馬達14通過皮帶141與滾筒12入風口123端的皮帶輪122連接，可驅動滾筒12沿既定的轉軸A轉動；馬達15通過皮帶151與攪拌棒13上的皮帶輪132連接，另可驅動攪拌捧13沿轉軸A轉動。上述馬達14、15可由一馬達驅動控制器所控制，以控制以不同的滾筒12及攪拌棒13具有不同的轉速或是轉動方向。此外馬達14、15亦可安裝具有不同轉速比的減速裝置，再由皮帶141、151與固定在滾輪12及攪拌棒13上的皮帶輪122、132連接，以達到調整轉速或是轉向的目的。
如圖1所示，本實用新型微粒清除裝置的進氣單元20包括一與本體10部份的腔體11連通的進氣信道21，一進氣風扇22設置在進氣信道21中，可將外界空氣抽入進氣信道21并送入滾筒12中。為了避免外面空氣中的微粒進入滾筒12中，在進氣風扇22的前后設置多個道濾網。在進氣風扇22前方的初級濾網23的密度較低，可過濾直徑較大的微粒，在進氣風扇22后方則可依不同潔凈度需求，設置多道高密度濾網24，如高效率空氣濾網(High Efficiency Particulate AirFilter，HEPA)，使進入腔體11中的空氣達到所需潔凈度。
微粒清除裝置的排氣單元30具有一與本體10部份的腔體11連通的錐形排氣信道31以及設置在其中的排氣風扇32，用于抽出本體10內的空氣。此外，為了監(jiān)控排出的空氣品質，可在排氣信道31內壁設置一微粒傳感器33，通過外部的控制器，可隨時讀出排出空氣的含塵量，判斷滾筒12中無塵布的微粒移除狀況。
圖2是無塵布在滾筒12中進行微粒清除的示意圖，本實用新型微粒清除裝置的滾筒12、攪拌棒13具有多個突出的第一及第二扇葉121，131，為簡化圖標第二圖各以三個扇葉代表，實際扇葉數(shù)量并不在此限。如圖2所示，滾筒12及攪拌棒13可依順時鐘方向或逆時鐘方向轉動，因此可依據(jù)需求讓滾筒12及攪拌棒13同向或是反向旋轉，利用物理撞擊拍打，將附著在無塵布5上的微粒清除，達到生產環(huán)境所需要的潔凈度等級。
權利要求1.一種微粒清除裝置，其包括一具有一腔體的本體，一容置在腔體中的滾筒以及與腔體連接的進氣單元和排氣單元，該滾筒具有一入風口及相對于入風口的一底部，其特征在于該微粒清除裝置還包括一用于驅動該滾筒沿一轉軸轉動的第一馬達及一攪拌棒，該攪拌棒由該滾筒底部伸出。
2.根據(jù)權利要求1所述的微粒清除裝置，其特征在于該第一馬達是通過一第一皮帶驅動該滾筒。
3.根據(jù)權利要求1所述的微粒清除裝置，其特征在于該微粒清除裝置進一步包括一第二馬達，通過一第二皮帶驅動攪拌棒沿既定轉軸轉動。
4.根據(jù)權利要求3所述的微粒清除裝置，其特征在于該滾筒與攪拌棒的轉動方向相同。
5.根據(jù)權利要求3所述的微粒清除裝置，其特征在于該滾筒與攪拌棒的轉動方向相反。
6.根據(jù)權利要求1所述的微粒清除裝置，其特征在于該滾筒具有多個扇葉，沿內壁由滾筒底部向入風口延伸設置。
7.根據(jù)權利要求6所述的微粒清除裝置，其特征在于該扇葉接近該底部的一端較接近入風口的一端厚。
8.根據(jù)權利要求7所述的微粒清除裝置，其特征在于該扇葉的厚度由入風口端至滾筒底部逐漸增加。
9.根據(jù)權利要求1所述的微粒清除裝置，其特征在于該攪拌棒具有多個突出的扇葉，且該扇葉接近滾筒底部的一端較接近滾筒入風口的一端厚。
10.根據(jù)權利要求9所述的微粒清除裝置，其特征在于該扇葉的厚度由入風口端至滾筒底部逐漸增加。
專利摘要本實用新型涉及一種微粒清除裝置，其包括一具有一腔體的本體，一容置在腔體中的滾筒以及與腔體連接的進氣單元和排氣單元，該滾筒具有一入風口及相對于入風口的一底部，其中該微粒清除裝置還包括一用于驅動該滾筒沿一轉軸轉動的第一馬達及一攪拌棒，該攪拌棒由該滾筒底部伸出。
文檔編號B08B13/00GK2887467SQ20052012094
公開日2007年4月11日 申請日期2005年12月20日 優(yōu)先權日2005年12月20日
發(fā)明者林杰明, 柯皓忠, 曾文能, 鄧建松, 楊弘文 申請人:群康科技(深圳)有限公司, 群創(chuàng)光電股份有限公司