專利名稱：用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置及過濾系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶圓代工廠的環(huán)境維護(hù)，涉及有毒有害粉塵的收聚和處理，具 體地說，是一種外接于真空系統(tǒng)的用于收聚和處理半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的有 毒有害粉塵的過濾裝置及過濾系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
晶圃代工廠在半導(dǎo)體制造過程中需要使用各種化學(xué)物質(zhì)和材料，并會產(chǎn)生很多的廢料和殘余物質(zhì)，其中不乏一些具有毒性的粉塵顆粒，如砷等。這些 有毒有害粉塵必須先由工作人員收聚起來，統(tǒng)一經(jīng)過特殊處理之后才能向外界 排放， 一旦處置不當(dāng)，不僅會對環(huán)境造成影響，也會對人體健康造成嚴(yán)重威脅。通常情況下，工作人員采用抹布將這些有毒有害粉塵收聚到一起，裝入垃 圾袋后丟棄。但是在擦抹的過程中，粉塵容易飛揚擴(kuò)散，揚起的粉塵或者被工 作人員吸入體內(nèi)，或者散落到工廠的其他角落，對人體健康和廠房環(huán)境均造成 不良影響。此外，使用過的抹布也很難處置，如果不當(dāng)心掉落抹布或者撒落抹 布上的粉塵，都會引起周圍環(huán)境的再次污染。除了采用抹布收聚有毒粉塵外，有些工作人員也采用晶圃代工廠(FAB)內(nèi)部 的真空系統(tǒng)來吸走粉塵。但是由于真空系統(tǒng)本身沒有凈化有毒有害物質(zhì)的能力， 并且真空系統(tǒng)在整個FAB范圍內(nèi)循環(huán)，因此采用此方法處理有毒粉塵會對FAB 的循環(huán)系統(tǒng)造成污染，從而降低FAB的潔凈度。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置及過 濾系統(tǒng)，它不僅能快速方便地將有毒有害粉塵吸入專用的過濾網(wǎng)中，便于后續(xù)的集中處理，而且避免了有毒有害粉塵對工廠環(huán)境;s^體健康造成的不良影響。本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的 一種用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝
置，它包括一主體、 一過濾網(wǎng)支架和一過濾頭，其實質(zhì)性特點在于所述的主 體具有一腔室，用于容置所述的過濾網(wǎng)支架，所述主體的兩端分別開口，且主 體前端與所述的過濾頭相連接，所述過濾網(wǎng)支架的底面設(shè)有穿孔，使所述的過 濾裝置內(nèi)部形成一空氣流通通道。在上述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置中，所述過濾網(wǎng)支架的 側(cè)壁上設(shè)有數(shù)個穿孔。在上述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置中，所述的過濾網(wǎng)支架 內(nèi)還套設(shè)有一過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔小于有毒有害粉塵顆粒的大小，用于 收聚吸入過濾網(wǎng)的有毒有害粉塵。在上述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置中，所述的過濾網(wǎng)內(nèi)還 裝有化學(xué)物質(zhì)，用于凈化有毒有害粉塵揮發(fā)出來的有毒氣體。本發(fā)明的另 一方案是提供一種用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾系統(tǒng)， 它包括一真空系統(tǒng)，其具有數(shù)個真空管；以及一過濾裝置，其實質(zhì)性特點在于 所述的過濾裝置包括一主體、 一過濾網(wǎng)支架和一過濾頭，所述的主體具有一腔 室，用于容置所述的過濾網(wǎng)支架，所述主體的兩端分別開口，其前端與所述的 過濾頭相連接，后端連接至所述真空系統(tǒng)的一真空管，所述過濾網(wǎng)支架的底面 設(shè)有穿孔，當(dāng)所述過濾裝置連接至真空管時，空氣從過濾頭進(jìn)入主體前端，流 經(jīng)過濾網(wǎng)支架及主體后端吸入真空管。本發(fā)明的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置及過濾系統(tǒng)利用晶圃代 工廠現(xiàn)有的真空系統(tǒng)連接至過濾裝置，可快速、方便地將有毒有害粉塵收聚于 專用的過濾網(wǎng)中，既避免了粉塵的飛揚擴(kuò)散，也保證了真空系統(tǒng)不受污染。通 過在過濾網(wǎng)中加入化學(xué)物質(zhì)，可對有毒有害粉塵所散發(fā)出的毒氣進(jìn)行初步凈化， 進(jìn)一步保護(hù)了人體健康及工廠環(huán)境不受侵害。使用后的過濾網(wǎng)只需封口、丟棄 即可，為后續(xù)的粉塵集中處理提供了方便。附困說明本發(fā)明的具體裝置及系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本發(fā)明第一實施例的分解狀態(tài)縱剖面圖； 圖2為圖1中過濾網(wǎng)支架的左浮見圖3為本發(fā)明的第二實施例的使用狀態(tài)縱剖面圖。
具體實施方式
以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置及過 濾系統(tǒng)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。圖1和圖2分別為本發(fā)明第一實施例的分解狀態(tài)縱剖面閨及過濾網(wǎng)支架的 左視圖。本發(fā)明的過濾裝置主要包括三個部分主體l、過濾網(wǎng)支架3和過濾頭 5。主體1的前后兩端分別開口，形成一中空殼體，其內(nèi)具有一腔室4，用于容 置過濾網(wǎng)支架3。過濾網(wǎng)支架3的側(cè)壁和底面上設(shè)有數(shù)個穿孔4，便于空氣的流 通，穿孔4的數(shù)量和大小可根據(jù)過濾裝置的使用要求進(jìn)行改變。過濾頭5直接 與主體1的前端連接，可通過螺紋或卡和等方式固定。過濾頭5的作用是吸入 空氣和粉塵，于本實施例中，采用斜口設(shè)計的過濾頭5以清理設(shè)備表面平坦處 的有毒有害粉塵。根據(jù)廠房內(nèi)各種設(shè)備、工件臺、工具的結(jié)構(gòu)形狀，可采用與 之相適應(yīng)的過濾頭進(jìn)行清理，例如采用狹長型開口的過濾頭來清理狹縫、凹 槽等不易伸入的地方；采用細(xì)長型的過濾頭來清理精密儀器上的粉塵以免碰壞 儀器上的元件。主體1的后端連接至真空系統(tǒng)的真空管，其開口大小與真空管 的尺寸相匹配。過濾裝置的三個部分可采用相同或不同的材料制成，主要選用 的材料有聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)、不銹鋼等。下面結(jié)合圖3詳細(xì)說明本發(fā)明的過濾裝置及過濾系統(tǒng)的工作方式。首先， 將過濾裝置各個部分組裝起來，即把過濾網(wǎng)支架3裝入主體1內(nèi)的腔室2中， 再將過濾頭5連接至主體的前端。于本發(fā)明第二實施例中，還需在過濾網(wǎng)支架3 內(nèi)套設(shè)過濾網(wǎng)6,并將過濾網(wǎng)6的開口邊緣卡固在主體1和過濾頭5之間，防止 過濾網(wǎng)6因吸力作用而從過濾網(wǎng)支架3的開口處滑脫。過濾網(wǎng)6的網(wǎng)孔小于粉 塵顆粒的大小，從而當(dāng)粉塵吸入過濾裝置內(nèi)時，可將粉塵留在過濾網(wǎng)中而不影 響空氣流過。過濾網(wǎng)6中還可放置一些化學(xué)物質(zhì)來凈化收聚在過濾網(wǎng)6中的有 毒有害粉塵及其揮發(fā)出來的有毒氣體。當(dāng)過濾裝置組裝完畢后，只需將真空系 統(tǒng)的真空管(圖未示)連接至主體1的后端即可開始工作。由于真空系統(tǒng)具有抽 真空功能，空氣連同有毒有害粉塵從過濾頭5被吸入主體1內(nèi)部，有毒有害粉 塵被收聚在過濾網(wǎng)6中，而空氣通過真空管流入真空系統(tǒng)。使用完畢后，只需 將過濾網(wǎng)封口并取出，直接丟入有毒有害物回收桶即可。由于吸引力的作用， 粉塵大都積聚在過濾網(wǎng)的底部，因此在對過濾網(wǎng)封口時，不會出現(xiàn)粉塵散逸的 情形。本發(fā)明的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置及過濾系統(tǒng)利用晶圃代 工廠現(xiàn)有的真空系統(tǒng)連接至過濾裝置，可快速、方便地將有毒有害粉塵收聚于 專用的過濾網(wǎng)中，既避免了粉塵的飛揚擴(kuò)散，也保證了真空系統(tǒng)不受污染。通 過在過濾網(wǎng)中加入化學(xué)物質(zhì)，可對有毒有害粉塵所散發(fā)出的毒氣進(jìn)行初步凈化， 進(jìn)一步保護(hù)了人體健康及工廠環(huán)境不受侵害。使用后的過濾網(wǎng)在封口時不會出 現(xiàn)粉塵散逸的情形，避免了二次污染，并為后續(xù)的粉塵集中處理提供了方便。
權(quán)利要求
1、一種用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置，它包括一主體、一過濾網(wǎng)支架和一過濾頭，其特征在于所述的主體具有一腔室，用于容置所述的過濾網(wǎng)支架，所述主體的兩端分別開口，且主體前端與所述的過濾頭相連接，所述過濾網(wǎng)支架的底面設(shè)有穿孔，使所述的過濾裝置內(nèi)部形成一空氣流通通道。
2、 如權(quán)利要求l所述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置，其特征 在于所述過濾網(wǎng)支架的側(cè)壁上設(shè)有數(shù)個穿孔。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置，其 特征在于所述的過濾網(wǎng)支架內(nèi)還套設(shè)有一過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔小于有 毒有害粉塵顆粒的大小，用于收聚吸入過濾網(wǎng)的有毒有害粉塵。
4、 如權(quán)利要求3所述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置，其特征 在于所述的過濾網(wǎng)內(nèi)還裝有化學(xué)物質(zhì)，用于凈化有毒有害粉塵揮發(fā)出來的有 毒氣體。
5、 一種用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾系統(tǒng)，它包括一真空系統(tǒng)，其 具有數(shù)條真空管；以及一過濾裝置，其特征在于所述的過濾裝置包括一主體、 一過濾網(wǎng)支架和一過濾頭，所述的主體具有一腔室，用于容置所述的過濾網(wǎng)支 架，所述主體的兩端分別開口，其前端與所述的過濾頭相連接，后端連接至所 述真空系統(tǒng)的一真空管，所迷過濾網(wǎng)支架的底面設(shè)有穿孔，當(dāng)所述過濾裝置連 接至真空管時，空氣從過濾頭進(jìn)入主體前端，流經(jīng)過濾網(wǎng)支架及主體后端吸入 真空管。
6、 如權(quán)利要求5所述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾系統(tǒng)，其特征 在于所述過濾網(wǎng)支架的側(cè)壁上設(shè)有數(shù)個穿孔。
7、 如權(quán)利要求5或6所述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾系統(tǒng)，其 特征在于所述的過濾網(wǎng)支架內(nèi)還套設(shè)有一過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)的網(wǎng)孔小于有 毒有害粉塵顆粒的大小，以收聚吸入過濾網(wǎng)的有毒有害粉塵。
8、 如權(quán)利要求7所述的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾系統(tǒng)，其特征 在于所述的過濾網(wǎng)內(nèi)還裝有化學(xué)物質(zhì)，用于凈化有毒有害粉塵揮發(fā)出來的有 毒氣體。
全文摘要
一種外接于真空系統(tǒng)的用于收聚和處理半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的有毒有害粉塵的過濾裝置及過濾系統(tǒng)?，F(xiàn)有的有毒粉塵收聚和處理方法容易對廠房環(huán)境造成污染，并對人體健康造成危害。本發(fā)明的用于收聚和處理有毒有害粉塵的過濾裝置，包括一主體、一過濾網(wǎng)支架和一過濾頭，其中，所述的主體具有一腔室，用于容置所述的過濾網(wǎng)支架，所述主體的兩端分別開口，且主體前端與所述的過濾頭相連接，所述過濾網(wǎng)支架的底面設(shè)有穿孔，使所述的過濾裝置內(nèi)部形成一空氣流通通道。利用本發(fā)明的過濾裝置及過濾系統(tǒng)，可快速、方便地將有毒有害粉塵收聚于專用的過濾網(wǎng)中，既避免了粉塵的飛揚擴(kuò)散，也保證了真空系統(tǒng)不受污染。
文檔編號B08B5/00GK101125272SQ20061003008
公開日2008年2月20日 申請日期2006年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月15日
發(fā)明者關(guān)業(yè)群, 吳根興, 龍 張, 李雨庭, 黃志良, 龔偉平 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司