專利名稱：基板清潔裝置、基板工藝設(shè)備及基板清潔裝置的清潔方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板清潔裝置、基板工藝設(shè)備及基板清潔裝置的清潔方法，尤其涉及一種可有效防止濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的蝕刻后的待加工材料表面的清潔裝置及其清潔方法。
背景技術(shù)：
由于現(xiàn)有技術(shù)的液晶顯示器工藝技術(shù)具有能夠與半導(dǎo)體工藝技術(shù)兼容等特性，因此于陣列(Array)液晶顯示器面板的制造流程中為了降低成本及提高產(chǎn)能，便利用具有工藝單純、設(shè)備簡單、低成本及產(chǎn)量速度(Throughput)快等優(yōu)點的濕式蝕刻技術(shù)以將紅、藍、綠三原色及黑色以微細的結(jié)構(gòu)建置于待加工材料表面，從而成為彩色濾光片。
其中，當蝕刻處理結(jié)束后，便通過多個滾輪逐步推送該蝕刻后的待加工材料前進至與蝕刻槽相鄰的一清潔裝置內(nèi)以進行清潔處理，接著再另通過多個滾輪逐步推送該經(jīng)過清潔處理的待加工材料前進至與該清潔裝置相鄰的一水洗槽內(nèi)以進行水洗工藝的步驟。其中，于該清潔裝置內(nèi)，通過一出氣裝置，即現(xiàn)有技術(shù)的風刀(Air Knife)徹底吹除該蝕刻后的待加工材料表面所殘留的液體以達到清潔處理的目的，但是，該清潔處理雖然可避免該經(jīng)過蝕刻的待加工材料表面殘留多余的液體，可是于清潔處理的同時卻會導(dǎo)致被吹除的液體產(chǎn)生一濺起的作用力。
現(xiàn)有技術(shù)的出氣裝置上方具有一擋板以用于防止濺起的液體噴濺至該出氣裝置上而造成損壞，但是，前述的該蝕刻槽與該清潔裝置之間并未具有任何如同擋板的裝置。因此，若該液體的濺起的作用力過大，則該液體便很容易越過該清潔裝置而噴濺至未經(jīng)清潔處理的蝕刻后的待加工材料表面，而造成白點云紋(White Dot Mura)的形成，進而導(dǎo)致最終液晶顯示器面板產(chǎn)生亮度不均勻的現(xiàn)象。然而，若將該出氣裝置的出風量調(diào)小雖可降低該液體產(chǎn)生濺起的機率，但卻無法徹底吹除該液體，此舉除了使得該經(jīng)清潔處理的待加工材料表面殘留多余的液體外，也降低該液體的回收率而造成浪費。
綜上所述，因此有必要提供一種基板清潔裝置及其清潔方法，除可有效地防止由該待加工材料表面濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面，從而達到提高液晶顯示器面板的良率外，也可提高該液體的回收率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種基板清潔裝置，其通過所包含的第一擋板以防止濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種含有上述基板清潔裝置的基板工藝設(shè)備。
本發(fā)明的另一目的在于提供上述基板清潔裝置的清潔方法，其可有效地防止濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面，從而達到提高液晶顯示器面板的良率。
為實現(xiàn)上述的發(fā)明目的，該基板清潔裝置包含一內(nèi)室、一出氣裝置、一氣體供應(yīng)裝置、一柵門以及一第一擋板，其中該內(nèi)室具有一輸入口與一輸出口，該輸入口用以輸入一待加工材料，該輸出口用以輸出該待加工材料。該出氣裝置具有一氣體出口，該氣體出口對該待加工材料吹送氣體，其中該出氣裝置設(shè)于該輸出口上方。該氣體供應(yīng)裝置用以供應(yīng)該氣體出口所吹送的氣體。該柵門設(shè)置于該輸入口處，當該待加工材料須由該輸入口輸入至該內(nèi)室時，該柵門開啟以供該待加工材料通過。該第一擋板設(shè)置于該柵門的上方，且還具有與該柵門間呈一第一角度的第一平面，該第一平面的第一側(cè)設(shè)有一溝槽用以接引自該待加工材料上濺起的液體。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的基板工藝設(shè)備，包含一工藝機臺，其包含一待加工材料座；一液體涂布裝置，其設(shè)置于待加工材料座的相對位置并與該待加工材料座保持一間距；以及一基板清潔裝置，其包含一內(nèi)室，其具有一輸入口與一輸出口；一出氣裝置，其設(shè)于該輸出口上方；一氣體供應(yīng)裝置，與該出氣裝置連結(jié)，并用以供應(yīng)該氣體出口所吹送的氣體；一柵門，其設(shè)置于該輸入口處；以及一第一擋板，其設(shè)置于該柵門的上方，該第一擋板具有一第一平面且與柵門間呈一第一角度，該第一平面的第一側(cè)設(shè)有一溝槽。
此外，根據(jù)上述基板清潔裝置的清潔方法，首先輸入一表面上具有一液體的待加工材料，接著利用一出氣裝置對該待加工材料表面吹送一高壓氣體，以用于清潔該待加工材料表面，同時利用一設(shè)有一溝槽的擋板來阻擋由該待加工材料表面濺起的液體，最后再將被擋下的液體由該溝槽接引排出以及輸出該待加工材料至一水洗槽進行水洗工藝。
綜上所述，本發(fā)明的基板清潔裝置及其清潔方法除可有效地防止由該待加工材料表面濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面，從而達到提高液晶顯示器面板的良率外，也可提高該液體的回收率。


圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例的基板清潔裝置的第一擋板側(cè)面示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明實施例的第一擋板另一實施例的側(cè)面示意圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例的基板清潔裝置的側(cè)面示意圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明實施例的基板清潔裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，附圖標記10基板清潔裝置11工藝機臺10a內(nèi)室 101第一擋板101a第一平面 101a1第一側(cè)101a2第二側(cè) 101b第二平面101c第三平面 101d第四平面101e第一角度 101f第二角度101g第三角度 101h第四角度101i溝槽 102柵門103出氣裝置 103a氣體出口103b氣體供應(yīng)裝置 104第二擋板105待加工材料 106出氣方向107液體噴濺方向 108待加工材料行進方向109液體 110液體涂布裝置111待加工材料座 201輸入口202輸出口 203滾輪
具體實施例方式
為讓本發(fā)明的上述目的能更明顯易懂，如下將配合所附的附圖以作詳細的說明。
請參閱圖1，為根據(jù)本發(fā)明實施例的基板清潔裝置的第一擋板101側(cè)面示意圖。如圖1所示，第一擋板101可由塑料材質(zhì)或其它材質(zhì)(諸如玻璃、石英等)所制成，且具有一第一平面101a，且位于第一平面101a的下、上兩側(cè)分別具有第一側(cè)101a1及第二側(cè)101a2，其中第一側(cè)101a1延伸出一第二平面101b。該第二平面101b與第一平面101a呈一第三角度101g向右延伸形成，該第三角度101g可為直角。第二平面101b上與第一平面101a相對的一端向上延伸出一第三平面101c，而第三平面101c與第二平面101b呈一第四角度101h向上延伸形成，該第四角度101h可為直角，其中第三平面101c的高度小于第一平面101a的高度。通過第一平面101a、第二平面101b以及第三平面101c形成一溝槽101i。另外，于第一平面101a上相對于第一側(cè)101a1的第二側(cè)101a2還延伸出一第四平面101d，該第四平面101d可與第二平面101b呈平行的延伸，且第四平面101d的寬度大致相等于第二平面101b。
上述實施例中第三角度101g及第四角度101h雖均為90度的直角，然而，其角度僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非為本發(fā)明的限制條件。只要第一平面101a、第二平面101b以及第三平面101c相互的延伸可形成溝槽101i，則第三角度101g及第四角度101h也可成其它角度，如圖2所示，其第三角度101g與第四角度101h都可為60度或80度等銳角的角度，除此之外，第三角度101g與第四角度101h也可為100度或120度等鈍角的角度。
參見圖3所示，闡示根據(jù)本發(fā)明實施例的基板清潔裝置的側(cè)面示意圖。對照于圖1，本發(fā)明的第一擋板101與待加工材料105的行進方向(箭頭108所示的方向)呈一第一角度101e設(shè)置于柵門102上方，其中所述的該待加工材料可為一玻璃基板且該第一角度101e可為直角，而柵門102主要用于區(qū)分基板清潔裝置10與工藝機臺11。于執(zhí)行清潔處理之前，先將待加工材料105放置于工藝機臺11中的待加工材料座111上并關(guān)閉柵門102，接著再通過液體涂布裝置110相對于待加工材料座111移動，以將液體109涂布于待加工材料105的表面，其中所述的待加工材料座可為一玻璃基板座。當完成該涂布處理之后，便開啟柵門102并利用位于待加工材料座111下方及上方的滾輪203以將待加工材料105如同箭頭108所示的方向推送至基板清潔裝置10的內(nèi)室10a中。
然而，于內(nèi)室10a的輸入口203接送到待加工材料105的同時，出氣裝置103同時通過相互連接的氣體供應(yīng)裝置103b產(chǎn)生一高壓氣體，并利用氣體出口103a以將該高壓氣體以一出氣方向(箭頭106所示的方向)吹送至待加工材料105的表面，其中氣體出口103a的出氣方向106與待加工材料105的行進方向108呈一銳角的第二角度101f。出氣裝置103與氣體供應(yīng)裝置103b可為一風刀裝置。此時待加工材料105表面的液體109由于受到高壓氣體的吹送而產(chǎn)生一濺起作用力，液體109的液體噴濺方向(箭頭107所示的方向)會產(chǎn)生往后(圖式的右邊)及往前(圖式的左邊)等不同方向，當液體109往后濺起時，由于出氣裝置103上方具有一第二擋板104，因此便可防止濺起的液體109噴濺至出氣裝置103上而造成出氣裝置103損壞，其中第二擋板104可由塑料材質(zhì)或其它材質(zhì)(諸如玻璃、石英等)所制成。然而，若當液體109往前濺起時，也可能噴濺至第一擋板101的第一平面101a上，并沿第一平面101a往下滑落至溝槽101i中以利用溝槽101i的兩側(cè)接引排出。若濺起的液體109過高時，則會噴濺至第一擋板101的第四平面101d上，并滴落至溝槽101i中同樣利用溝槽101i的兩側(cè)接引排出。借此可避免液體109越過該第一擋板101噴濺至工藝機臺11的區(qū)域。
上述的清潔處理完成后，通過滾輪205以由內(nèi)室10a的輸出口202將經(jīng)過清潔處理的待加工材料105推送至后續(xù)的水洗槽(未圖示)內(nèi)進行水洗工藝。該基板清潔裝置10內(nèi)的第一擋板101的高度可根據(jù)氣體出口103a的出氣量來決定，換言之，無論出氣量過大或過小，反濺的液體109均可被第一擋板101限制住，而不會越過柵門102并噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料105的表面，以避免白點云紋的產(chǎn)生，從而提高產(chǎn)率。
請參閱圖4，為根據(jù)本發(fā)明實施例的基板清潔裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，基板清潔裝置10及工藝機臺11之間利用柵門102及第一擋板101區(qū)隔開。柵門102上具有一可將經(jīng)過涂布處理的待加工材料送至基板清潔裝置10的輸入口201。于基板清潔裝置10及工藝機臺11內(nèi)均具有多個滾輪205，其分別用以于涂布處理完成后將該待加工材料推送至基板清潔裝置10內(nèi)進行清潔處理以及于清潔處理完成后將該待加工材料推送至水洗槽(未圖示)內(nèi)進行水洗工藝。而于基板清潔裝置10內(nèi)具有依第一擋板101以及一第二擋板104，其中第二擋板104設(shè)置于出氣裝置103上方以用于避免該待加工材料上所濺起的液體噴濺至出氣裝置103上。第一擋板101的高度可根據(jù)氣體出口103a的出氣量來決定，以用于避免該待加工材料上所濺起的液體越過柵門102而噴濺至仍位于工藝機臺11內(nèi)的未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面，并可通過溝槽101i的兩側(cè)將液體接引排出，以提高工藝液體的回收率并避免污染。
綜上所述，本發(fā)明的基板清潔裝置及其基板清潔方法除可有效地防止由該待加工材料表面濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面，從而達到提高液晶顯示器面板的良率外，也可提高該液體的回收率。
當然，本發(fā)明還可有其它多種實施例，在不背離本發(fā)明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員當可根據(jù)本發(fā)明做出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種基板清潔裝置，其特征在于，包含一內(nèi)室，其具有一輸入口與一輸出口；一出氣裝置，其具有一氣體出口設(shè)于該輸出口上方；一氣體供應(yīng)裝置，與該出氣裝置連結(jié)，并用以供應(yīng)該氣體出口所吹送的氣體；一柵門，其設(shè)置于該輸入口處；以及一第一擋板，其設(shè)置于該柵門的上方，該第一擋板具有一第一平面且與該柵門間呈一第一角度，該第一平面的第一側(cè)設(shè)有一溝槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板清潔裝置，其特征在于，該第一角度為直角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板清潔裝置，其特征在于，該出氣裝置的上方設(shè)有一第二擋板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1項所述的基板清潔裝置，其特征在于，該第一擋板的第一平面的第一側(cè)延伸出一第二平面，該第二平面與該第一平面呈一第三角度，該第二平面上與該第一平面相對的一端向上延伸出一第三平面，該第三平面與該第二平面呈一第四角度，該第三平面的高度小于該第一平面的高度，該第一平面、第二平面與第三平面之間形成該溝槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板清潔裝置，其特征在于，該第一擋板的第一平面上相對于該第一側(cè)的一第二側(cè)延伸出一第四平面，該第四平面大致與該第二平面平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板清潔裝置，其特征在于，該第四平面的寬度大致相等于該第二平面的寬度。
7.一種基板工藝設(shè)備，其特征在于，包含一工藝機臺，其包含一待加工材料座；一液體涂布裝置，其設(shè)置于待加工材料座的相對位置并與該待加工材料座保持一間距；以及一基板清潔裝置，其包含一內(nèi)室，其具有一輸入口與一輸出口；一出氣裝置，其設(shè)于該輸出口上方；一氣體供應(yīng)裝置，與該出氣裝置連結(jié)，并用以供應(yīng)該氣體出口所吹送的氣體；一柵門，其設(shè)置于該輸入口處；以及一第一擋板，其設(shè)置于該柵門的上方，該第一擋板具有一第一平面且與柵門間呈一第一角度，該第一平面的第一側(cè)設(shè)有一溝槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板工藝設(shè)備，其特征在于，該第一角度為直角。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板工藝設(shè)備，其特征在于，該出氣裝置的上方設(shè)有一第二擋板。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板工藝設(shè)備，其特征在于，該第一擋板的第一平面的第一側(cè)延伸出一第二平面，該第二平面與該第一平面呈一第三角度，該第二平面上與該第一平面相對的一端向上延伸出一第三平面，該第三平面與該第二平面呈一第四角度，該第三平面的高度小于該第一平面的高度，該第一平面、第二平面與第三平面之間形成該溝槽。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板工藝設(shè)備，其特征在于，該第一擋板的第一平面上相對于該第一側(cè)的一第二側(cè)延伸出一第四平面，該第四平面大致于該第二平面平行。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板工藝設(shè)備，其特征在于，該第四平面的寬度大致相等于該第二平面的寬度。
13.一種基板清潔裝置的清潔方法，其特征在于，該方法包含以下步驟輸入一待加工材料，該待加工材料表面上具有一液體；利用一出氣裝置對該待加工材料表面吹送一高壓氣體，以清潔該待加工材料板表面；通過設(shè)有一溝槽的第一擋板以阻擋由該待加工材料表面濺起的液體；將被阻擋的液體由該溝槽接引排出；以及輸出該待加工材料至一水洗槽內(nèi)進行水洗工藝。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的清潔方法，其特征在于，該待加工材料利用其下方設(shè)置的多個滾輪用以承載與輸入該待加工材料。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的清潔方法，其特征在于，該第一擋板的高度根據(jù)該氣體出口的出氣量來決定。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板清潔裝置、基板工藝設(shè)備及基板清潔裝置的清潔方法，該裝置包含一內(nèi)室、一出氣裝置、一氣體供應(yīng)裝置、一柵門以及一第一擋板，該內(nèi)室具有一輸入口與一輸出口，以分別用于輸入/輸出一待加工材料。該出氣裝置具有一用以對該待加工材料吹送氣體的氣體出口。該氣體供應(yīng)裝置用以供應(yīng)該氣體出口所吹送的氣體。該柵門可于該輸入口輸入該待加工材料時開啟。該第一擋板設(shè)置于該柵門的上方用以防止自該待加工材料上濺起的液體越過該柵門，且該第一擋板的第一側(cè)設(shè)有一用以接引該液體的溝槽。本發(fā)明可有效地防止由該待加工材料表面濺起的液體噴濺至未經(jīng)清潔處理的待加工材料表面，從而提高液晶顯示器面板的良率，也可提高該液體的回收率。
文檔編號B08B11/00GK101034223SQ20071010207
公開日2007年9月12日 申請日期2007年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月14日
發(fā)明者郭佳煌, 沈圣惠, 廖宏彬, 陳信達 申請人:友達光電股份有限公司