專利名稱：密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造基板的作業(yè)機(jī)臺(tái)，尤指一種能降低廠務(wù)端(fadlity) 氣體供給量，可節(jié)能的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù)：
圖1為現(xiàn)有作業(yè)機(jī)臺(tái)的示意圖。作業(yè)機(jī)臺(tái)IO例如為光致抗蝕劑涂布機(jī)， 設(shè)置于無塵室的高架地板上。無塵室為整體回風(fēng)的設(shè)計(jì)環(huán)境，為保持無塵室 潔凈度，潔凈氣流自上方供給，作業(yè)機(jī)臺(tái)10內(nèi)部的氣體均會(huì)被帶往高架地 板的下方，再通過回風(fēng)區(qū)20回送至作業(yè)機(jī)臺(tái)所在的作業(yè)區(qū)30的上方。對(duì)一 般的作業(yè)機(jī)臺(tái)10而言，工件(例如基板)經(jīng)由作業(yè)機(jī)臺(tái)10的工件傳輸口 102(如工件傳輸路徑A所示)送至其內(nèi)部的作業(yè)平臺(tái)110。作業(yè)完成后，可經(jīng) 由工件傳輸口 102送出，或者可經(jīng)由連動(dòng)閘門104(如工件傳輸路徑B所示) 傳送至其它作業(yè)機(jī)臺(tái)(圖未示)。如圖1所示，作業(yè)機(jī)臺(tái)10具有風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī) 組202(Fan Filter Unit; FFU)，其用以將無塵室的潔凈氣流導(dǎo)入作業(yè)機(jī)臺(tái)10的內(nèi)部。然而，由于作業(yè)機(jī)臺(tái)IO的內(nèi)部亦有潔凈度的要求，因此作業(yè)機(jī)臺(tái)10的 內(nèi)部氣壓相較于外部(無塵室)多設(shè)定為相對(duì)正壓，因此，在前述潔凈氣流的 設(shè)計(jì)下，作業(yè)機(jī)臺(tái)IO(例如光致抗蝕劑涂布機(jī))常會(huì)有其使用的有機(jī)溶劑、洗 劑所揮發(fā)的有機(jī)物質(zhì)(volatile organic compound; VOC)，逸散至作業(yè)機(jī)臺(tái)10 外，增加影響范圍；且因整體無塵室的回風(fēng)設(shè)計(jì)，使得該揮發(fā)性有機(jī)化合物 (VOCs)不易排除于無塵室整體的回風(fēng)外。因?yàn)橛３肿鳂I(yè)機(jī)臺(tái)10內(nèi)部及 無塵室的潔凈度，整體回風(fēng)的潔凈氣流量便需保持定量，若以增加現(xiàn)有排氣 設(shè)備的風(fēng)量，將增加末端的處理成本，亦會(huì)增加來自廠務(wù)端的供給氣體量， 而勢(shì)必增加廠務(wù)成本(facility cost)。再者，前述有機(jī)物質(zhì)會(huì)對(duì)在作業(yè)區(qū)30工作的工程師和作業(yè)人員等造成人體的傷害，因此對(duì)有機(jī)物質(zhì)逸散的控制也顯得日趨重要。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的之一在于提供一種密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，能減少需自密閉正 壓作業(yè)機(jī)臺(tái)外部供給的氣體，即降低廠務(wù)端氣體供給量，達(dá)到節(jié)能效果。本發(fā)明的另一目的在于提供一種密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，能有效控制有機(jī)物 質(zhì)的逸散。為達(dá)到本發(fā)明的前述目的，本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)包括供氣室、風(fēng) 機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組、第一氣罩裝置以及回風(fēng)管。供氣室容置循環(huán)氣流。風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng) 機(jī)組向供氣室的循環(huán)氣流提供動(dòng)力，而將循環(huán)氣流傳送至密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái) 內(nèi)部。第一氣罩裝置設(shè)置于工件傳輸口旁，控制循環(huán)氣流自工件傳輸口散逸。 回風(fēng)管用以將密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的循環(huán)氣流回流至供氣室，減少自該密 閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)外部的一供給氣體，并且利用風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組具有的HEPA(High Efficiency Particulate Air Filter)高效率空氣微粒子過濾網(wǎng)或 ULPA(Ultra Low Penetration Air Filter)超低穿透空氣過濾網(wǎng)來維持作業(yè)機(jī)臺(tái) 內(nèi)部的潔凈度，通過前述的循環(huán)，本發(fā)明不僅能減少需自廠務(wù)端供給的氣體， 同時(shí)亦能控制有機(jī)物質(zhì)自密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的逸散。機(jī)臺(tái)下方的集氣室(集氣設(shè)備或集氣罩(hood))利用密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi) 部本身的向下氣流特性，以及風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)組的動(dòng)能牽引，收集密閉正壓作業(yè)內(nèi) 部的有機(jī)氣體。此后可評(píng)估密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部所期望控制的有機(jī)氣體濃 度，進(jìn)行上述有機(jī)氣體收集后的分流。第一氣罩裝置及第二氣罩裝置可于密 閉作業(yè)機(jī)臺(tái)需維持內(nèi)部流場(chǎng)平衡時(shí)，作為補(bǔ)氣開口。本發(fā)明可于工件傳輸口設(shè)置連動(dòng)傳輸門配合工件(例如基板)傳輸。配合 第一氣罩裝置，無基板需傳輸時(shí)關(guān)閉工件傳輸口，欲傳輸基板時(shí)才打開工件 傳輸口，如此可控制作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部有機(jī)揮發(fā)物質(zhì)的逸散。本發(fā)明還可設(shè)置連動(dòng)閘門，該連動(dòng)閘門同樣地配合基板傳輸，無基板需 傳輸時(shí)關(guān)閉連動(dòng)閘門，欲傳輸基板時(shí)才打開連動(dòng)閘門，如此亦可控制作業(yè)機(jī) 臺(tái)內(nèi)部有機(jī)揮發(fā)物質(zhì)的逸散。本發(fā)明的有益技術(shù)效果在于，本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)不僅能減少需 要自密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)外部供給的氣體，達(dá)到節(jié)能效果，亦能達(dá)成對(duì)有機(jī)氣 體逸散的有效控制，避免對(duì)無塵室潔凈度或位于工作區(qū)的工作人員產(chǎn)生不良影響。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的示意圖。圖2為本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的第一實(shí)施例的示意圖。 圖3為本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的第二實(shí)施例的示意圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下10作業(yè)機(jī)臺(tái)20回風(fēng)區(qū)30作業(yè)區(qū)100密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)102工件傳輸口104連動(dòng)閘門110作業(yè)平臺(tái)200供氣室202風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組204回風(fēng)管206分流裝置208溫濕度調(diào)節(jié)器210動(dòng)力設(shè)備212集氣室、集氣設(shè)備或集氣罩214連動(dòng)傳輸門216第一氣罩裝置218第二氣罩裝置220揮發(fā)性有機(jī)化合物偵測(cè)器A、 B工件傳輸路徑具體實(shí)施方式
圖2為本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的第一實(shí)施例的示意圖。如圖2所示， 本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100包括供氣室200、風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組202(FFU)、 工件傳輸口 102以及回風(fēng)管204。供氣室200用以容置供給密閉正壓作業(yè)機(jī) 臺(tái)100內(nèi)部的循環(huán)氣體。風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組202具有驅(qū)動(dòng)氣體產(chǎn)生流動(dòng)的風(fēng)機(jī)以 及濾網(wǎng)(例如HEPA、 ULPA或具有相似功能的組件)，用以驅(qū)動(dòng)供氣室200 的循環(huán)氣流傳送至密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部，即作業(yè)平臺(tái)IIO所在的有機(jī) 溶劑使用區(qū)。第一氣罩裝置216設(shè)置于工件傳輸口 102旁，控制循環(huán)氣流自 工件傳輸口 102散逸，并且在回風(fēng)管204回送循環(huán)氣流前，第一氣罩裝置216 可更進(jìn)一步補(bǔ)充氣體至密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部，以維持密閉正壓作業(yè)機(jī) 臺(tái)100內(nèi)部的流場(chǎng)平衡。循環(huán)氣流經(jīng)過作業(yè)平臺(tái)IIO下方的集氣室(集氣設(shè)備 或集氣罩)212收集后，再經(jīng)由回風(fēng)管204回送至供氣室200，風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組202的濾網(wǎng)(例如HEPA或ULPA)可維持密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部的潔凈 度，使密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部形成大致封閉的循環(huán)。密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100具有分流裝置206，分流裝置206可設(shè)置于密閉 正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部與回風(fēng)管204的連結(jié)處，密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100還可 包括一設(shè)置于密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部的揮發(fā)性有機(jī)化合物偵測(cè)器220。 本發(fā)明可根據(jù)揮發(fā)性有機(jī)化合物偵測(cè)器對(duì)密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部的有機(jī) 物質(zhì)的監(jiān)控(例如機(jī)臺(tái)控制器根據(jù)揮發(fā)性有機(jī)化合物偵測(cè)器220對(duì)內(nèi)部有機(jī) 物質(zhì)濃度的檢測(cè)，設(shè)定對(duì)各部件的控制動(dòng)作)來控制分流裝置206，以維持循 環(huán)氣流的必要量。根據(jù)本發(fā)明，能適時(shí)地調(diào)整對(duì)循環(huán)氣流所進(jìn)行的分流，控 制內(nèi)部有機(jī)物質(zhì)的濃度，亦能避免密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部有機(jī)物質(zhì)濃度 過高的情形發(fā)生。再者，如圖2所示，若密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)IOO具有連動(dòng)閘門104，則可 在連動(dòng)閘門104旁設(shè)置第二氣罩裝置218，與第一氣罩裝置216相同地控制 循環(huán)氣流自工件傳輸口散逸。同樣地，本發(fā)明可于工件傳輸口 102設(shè)置連動(dòng) 傳輸門214，連動(dòng)傳輸門214可如同連動(dòng)閘門104同樣地配合工件(例如基 板)傳輸，無基板需傳輸時(shí)關(guān)閉工件傳輸口 102，欲傳輸基板時(shí)才打開，如此 亦可控制作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部有機(jī)揮發(fā)物質(zhì)的逸散。第一氣罩裝置216以及第二氣 罩裝置218即如前述連通至集氣室212，不僅控制循環(huán)氣流的散逸，亦可補(bǔ) 充氣體至密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100的內(nèi)部，以維持密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100的內(nèi) 部流場(chǎng)平衡。因此，本發(fā)明不僅能減少需要自密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)IOO外部(例如廠務(wù)端)的供給氣體，達(dá)到節(jié)能的效果，亦能有效控制在作業(yè)平臺(tái)iio中使用的有機(jī)溶劑、洗劑所揮發(fā)的有機(jī)物質(zhì)的逸散。圖3為本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的第二實(shí)施例的示意圖。與本發(fā)明的 第一實(shí)施例相同，第二實(shí)施例的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)IOO具有工件傳輸口 102、 連動(dòng)閘門104、作業(yè)平臺(tái)110、供氣室200、風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組202、回風(fēng)管204、 分流裝置206、第一氣罩裝置216以及第二氣罩裝置218等。各部件亦具有 類似或相同的功能。第二實(shí)施例的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)IOO可視工藝的需要， 另包括溫濕度調(diào)節(jié)器208，調(diào)節(jié)器208設(shè)置于回風(fēng)管204的適當(dāng)位置，以控 制密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100內(nèi)部的溫度或濕度。此外，亦可視機(jī)臺(tái)的大小，納入動(dòng)力設(shè)備210，并將其設(shè)置于回風(fēng)管204、風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組202或集氣室212， 以增加循環(huán)氣流的流速。一般而言，如圖2或圖3所示，供氣室200設(shè)置于密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100 的頂部，風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組202則設(shè)置于供氣室200的下側(cè)，即作業(yè)平臺(tái)110 的上方?；仫L(fēng)管204設(shè)置于密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100的外部。集氣室212多設(shè) 置于密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100高架地板下方或延伸至外部，并與回風(fēng)管204連 結(jié)，或者設(shè)置于密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)100與回風(fēng)管204的連結(jié)處(分流裝置206 前)，亦可設(shè)置在機(jī)臺(tái)的左右側(cè)邊或前后閑置的空間中，且可一并考慮回風(fēng)管 204設(shè)置位置的空間。因此，本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)不僅能減少需要自密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái) 外部供給的氣體，達(dá)到節(jié)能效果，亦能達(dá)成對(duì)有機(jī)氣體逸散的有效控制，避 免對(duì)無塵室潔凈度或位于工作區(qū)的工作人員產(chǎn)生不良影響。雖然本發(fā)明已以實(shí)施例披露如上，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何具 有本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的通常知識(shí)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍 內(nèi)，可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，并可思考其它不同的實(shí)施例，因此本發(fā)明的保護(hù) 范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，具有一工件傳輸口，該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)包括一供氣室，容置供給該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的循環(huán)氣流；一風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組，將該供氣室的該循環(huán)氣流傳送至該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部；一第一氣罩裝置，設(shè)置于該工件傳輸口旁，控制該循環(huán)氣流自該工件傳輸口散逸；以及一回風(fēng)管，回送該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的該循環(huán)氣流至該供氣室，減少自該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)外部的一供給氣體。
2. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該第一氣罩裝置在該回 風(fēng)管回送該循環(huán)氣流前，補(bǔ)充氣體至該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部，以維持該密 閉正壓作業(yè)內(nèi)部的流場(chǎng)平衡。
3. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)還 包括一連動(dòng)傳輸門，該連動(dòng)傳輸門設(shè)置于該工件傳輸口，配合該第一氣罩裝 置，控制該循環(huán)氣流的散逸。
4. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)還 包括一第二氣罩裝置，該第二氣罩裝置設(shè)置于該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)所具有的 --連動(dòng)閘門旁，控制該循環(huán)氣流自該連動(dòng)閘門散逸。
5. 如權(quán)利要求4所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該第二氣罩裝置在該回 風(fēng)管回送該循環(huán)氣流前，補(bǔ)充氣體至該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部，以維持該密 閉正壓作業(yè)內(nèi)部的流場(chǎng)平衡。
6. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)還 包括一分流裝置，該分流裝置設(shè)置于該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部與該回風(fēng)管的 連結(jié)處，對(duì)該循環(huán)氣流進(jìn)行分流。
7. 如權(quán)利要求6所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)還 包括一揮發(fā)性有機(jī)化合物偵測(cè)器，該揮發(fā)性有機(jī)化合物偵測(cè)器設(shè)置于該密閉 正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部，并與該分流裝置連動(dòng)，控制該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的 有機(jī)物質(zhì)濃度。
8. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)還 包括一溫濕度調(diào)節(jié)器，該溫濕度調(diào)節(jié)器設(shè)置于該回風(fēng)管，控制該密閉正壓作 業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的溫度或濕度。
9. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)還包括一動(dòng)力設(shè)備，該動(dòng)力設(shè)備設(shè)置于該回風(fēng)管，增加該循環(huán)氣流的流速。
10. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該供氣室設(shè)置于該密 閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的頂部。
11. 如權(quán)利要求l所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組設(shè)置 于該供氣室的下側(cè)。
12. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該回風(fēng)管設(shè)置于該密 閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的外部。
13. 如權(quán)利要求1所述的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，其中該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái) 還包括一集氣室，該集氣室設(shè)置于該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)的底部或延伸至外 部，并與回風(fēng)管連結(jié)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有工件傳輸口的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)，該密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)具有供氣室、風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組、第一氣罩裝置以及回風(fēng)管。供氣室容置供給密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的循環(huán)氣體。風(fēng)機(jī)-濾網(wǎng)機(jī)組將供氣室的循環(huán)氣流傳送至密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部。第一氣罩裝置設(shè)置于工件傳輸口旁，控制循環(huán)氣流自工件傳輸口散逸。回風(fēng)管可回送密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)內(nèi)部的循環(huán)氣流至供氣室。本發(fā)明的密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)不僅能減少需要自密閉正壓作業(yè)機(jī)臺(tái)外部供給的氣體，且能避免有機(jī)物質(zhì)自工件傳輸口逸散。
文檔編號(hào)B08B15/00GK101229546SQ20081008052
公開日2008年7月30日 申請(qǐng)日期2008年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月21日
發(fā)明者林立偉, 謝彩惠 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司