專利名稱：入口鎖系統(tǒng)、織網(wǎng)處理裝置及使用其的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于織網(wǎng)處理裝置中的入口鎖系統(tǒng)、織網(wǎng)處理裝置及用于 供應(yīng)織網(wǎng)處理裝置的方法。本發(fā)明具體涉及一種入口鎖系統(tǒng)，其允許用由 周圍環(huán)境空間提供的織網(wǎng)送入織網(wǎng)處理裝置，其中周圍環(huán)境空間比織網(wǎng)處 理裝置內(nèi)的壓力高得多。
背景技術(shù)：
在許多織網(wǎng)處理應(yīng)用中，例如織網(wǎng)涂層，在織網(wǎng)處理裝置內(nèi)的壓力比 周圍環(huán)境壓力低得多。然而，要在這些應(yīng)用中處理的織網(wǎng)通常從具有空氣 壓力的周圍環(huán)境送入到織網(wǎng)處理裝置。因此希望織網(wǎng)以不破壞織網(wǎng)處理裝 置內(nèi)真空環(huán)境的方式送入到織網(wǎng)處理裝置。
為此目的，現(xiàn)有技術(shù)已知的是在織網(wǎng)處理裝置入口提供密封，其既考 慮到織網(wǎng)移動進(jìn)織網(wǎng)處理裝置內(nèi)，又考慮到織網(wǎng)處理裝置相對于外界較高 壓力的密封。盡管這些密封在理論上可行，但它們沒有將織網(wǎng)處理裝置的 內(nèi)部空間與外界氣壓完全密封在實(shí)際所希望的程度。例如，密封不能緊靠 著移動織網(wǎng)的邊緣。因此，沿織網(wǎng)邊緣的微小的空余空間就會允許空氣從 外界進(jìn)入到織網(wǎng)處理裝置，并從而降低高真空度。
在這點(diǎn)上進(jìn)一步的進(jìn)展是所謂的空對空系統(tǒng)?？諏障到y(tǒng)是模塊化鎖
系統(tǒng)，其中通過串聯(lián)布置的幾個壓力平臺，即室，來減小壓力差。單個室
通過孔彼此相連。在這些系統(tǒng)中，織網(wǎng)穿過多個減小壓力的室。與布置在
織網(wǎng)處理裝置入口的單個密封相比，具有減小壓力的多室的布置一每一個
都相對于相鄰室密封一減少了進(jìn)入織網(wǎng)處理裝置的空氣量。這是由于這樣 的事實(shí)與周圍環(huán)境空氣和織網(wǎng)處理裝置之間的總壓力差相比，在相鄰室
之間的壓力差很小。然而，在織網(wǎng)處理裝置的入口提供以串聯(lián)方式布置的 多個室會占用大量空間。此外，空對空系統(tǒng)需要極大的泵送能力來提供壓 力級。而且，底層厚度被限制在較低限度，因?yàn)樵诘谝粔毫壷挟a(chǎn)生的強(qiáng)氣流和湍流會撕裂底層。

發(fā)明內(nèi)容
借助于根據(jù)權(quán)利要求1的入口鎖系統(tǒng)，根據(jù)權(quán)利要求13的織網(wǎng)處理 裝置和根據(jù)權(quán)利要求15的用于送入織網(wǎng)處理裝置的方法至少克服了一些 本領(lǐng)域中的問題。由從屬權(quán)利要求、說明和附圖，更多的方面、細(xì)節(jié)和優(yōu) 勢會變得顯而易見。
鑒于以上的，提供了用于從織網(wǎng)供應(yīng)向織網(wǎng)處理裝置送入織網(wǎng)的入口
鎖系統(tǒng)。入口鎖系統(tǒng)包括第一室，具有入口和出口；第二室，具有入口； 第一密封，位于第一室的入口；第二密封，位于第一室與第二室之間；第 一織網(wǎng)存儲單元，位于第一室中；及第二織網(wǎng)存儲單元，位于第二室中。 根據(jù)本發(fā)明的其它方面，提供了至少具有一個如在此所述的入口鎖系統(tǒng)的 織網(wǎng)處理裝置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種用織網(wǎng)送入織網(wǎng)處理裝置的方 法。該方法包括步驟
a) 將織網(wǎng)從周圍環(huán)境空間送入到具有第一壓力的第一室；
b) 將送入到第一室中的織網(wǎng)存儲在第一室中； C)密封第一室，并將第一室抽空到第二壓力；
d) 將存儲在第一室中的織網(wǎng)送入具有第三壓力的第二室；
e) 將送入第二室的織網(wǎng)存儲在第二室中；及
f) 將第二室相對于第一室密封。


以下相對于附圖更詳細(xì)的說明本發(fā)明的實(shí)施例。在此
圖1A、 1B和1C示出了根據(jù)本發(fā)明的、在不同處理級的入口鎖系統(tǒng)
的實(shí)施例。
圖2 、 3和4示出了根據(jù)本發(fā)明的織網(wǎng)處理裝置的各種實(shí)施例。 圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)的實(shí)施例，具有是織網(wǎng)處理裝置 組成部分的第二室。圖6a和6b示出了根據(jù)本發(fā)明的、在不同處理級的入口鎖系統(tǒng)的第一
或第二室的實(shí)施例。
圖7示出了根據(jù)本發(fā)明供應(yīng)織網(wǎng)處理裝置的方法的方法步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)參考本發(fā)明的各種實(shí)施例，在圖中示出了其一個或多個實(shí) 例。每一個實(shí)例都是為了解釋本發(fā)明而提供的，并不意圖作為本發(fā)明的限 制。例如，作為一個實(shí)施例的部分而示出或描述的特征可以用于其它實(shí)施 例或與其一起結(jié)合來產(chǎn)生更進(jìn)一步的實(shí)施例。其意圖是本發(fā)明包括這種修 改和變化。
本發(fā)明可以用于全部應(yīng)用，在此柔軟的底層必須連續(xù)的從巻筒傳送到 或通過具有不同壓力的室。具體的，本發(fā)明可以用于將織網(wǎng)從周圍環(huán)境空 氣送入真空。在本發(fā)明中，術(shù)語"織網(wǎng)"、"薄片"、"條帶"、"底層"等作為 同義詞來使用。
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)的實(shí)施例。入口鎖系統(tǒng)包括第一 室110和第二室210。密封205位于第一室的出口 170與第二室的入口 180 之間。另一密封105位于第一室的入口 190。第一室和第二室都為存儲特 定量的織網(wǎng)提供了空間。通常，根據(jù)本發(fā)明，可以存儲的織網(wǎng)長度在0.5m 到40m之間，在一些實(shí)施例中在5m到20m或在8m到12m之間。在一些 應(yīng)用中，在每個室中存儲了在lm到2m之間的織網(wǎng)長度?？椌W(wǎng)從巻筒120 通過第一密封105送入入口鎖系統(tǒng)到第一織網(wǎng)存儲單元。第一織網(wǎng)存儲單 元在第一室內(nèi)。在圖1A所示的實(shí)施例中，織網(wǎng)存儲單元包括5個輥和一 個托架。輥130具有固定軸，而輥140在第一室IIO中是可移動的。在所 示實(shí)施例中，它們的移動方向可以是在第一室中向上或向下的。輥140通 過托架150彼此相連。
通常，第一室和第二室彼此直接相連，即它們是直接相鄰的。它們也 可以具有共同的壁。通常，第二密封位于第一室的出口和/或第二室的入 □。
在本發(fā)明的典型實(shí)施例中，織網(wǎng)存儲單元包括具有固定軸的輥和可移動的輥。通常，固定軸輥布置在第一和/或第二室的上部。可移動輥通常在 第一/或第二室內(nèi)進(jìn)行一維平移運(yùn)動。就是說，可移動輥的軸通?？梢赃M(jìn)行 平移運(yùn)動。通常，織網(wǎng)存儲單元包括至少一個可移動輥和至少兩個固定軸 輥。通常，固定軸輥的數(shù)量等于可移動輥的數(shù)量加1。在織網(wǎng)存儲單元包 括兩個、三個或更多可移動輥的情況下，它們通常通過托架等彼此相連。 通常，固定軸輥和/或可移動輥的數(shù)量在第一和第二室中是相同的。通常， 可移動輥和/或連接可移動輥的托架的重量是這樣的當(dāng)織網(wǎng)從巻筒送入 時，輥向下移動。室可能包括導(dǎo)軌，用于輥和/或托架在其上下運(yùn)動時導(dǎo) 向。在其它實(shí)施例中，可移動輥可以由驅(qū)動系統(tǒng)例如電機(jī)等，從外部驅(qū)動 的移動。根據(jù)本發(fā)明，織網(wǎng)從織網(wǎng)供應(yīng)送入到第一室?？椌W(wǎng)供應(yīng)通常是具
有織網(wǎng)纏繞在其上的巻筒。巻筒上織網(wǎng)的通常長度在500m到15km之 間。在其它實(shí)施例中，織網(wǎng)供應(yīng)是處理室，具有織網(wǎng)離開處理室的出口， 以便將其送入根據(jù)本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)的第一室。
在第一室中沿輥130和140運(yùn)動之后，織網(wǎng)160在其出口 170離開第 一室，通過密封205在其入口 180進(jìn)入第二室210。在室210中，織網(wǎng)必 須通過第二織網(wǎng)存儲單元一在圖1A、 1B和1C的實(shí)施例中一其與第一室 中的織網(wǎng)存儲單元相同。之后，織網(wǎng)在出口 195離開第二室。通常，第二 室的出口 195是織網(wǎng)處理單元的室的入口，因?yàn)槔缈椌W(wǎng)被清潔了或涂層 了。在本發(fā)明的典型實(shí)施例中，在該室中的壓力，即在織網(wǎng)處理裝置內(nèi)的 壓力在10-3到10-5mbar之間，例如約10-4mbar。在本申請中術(shù)語"約"應(yīng) 理解為包括距所指定值+/-20%的偏差?？梢栽诘诙业某隹?195與織網(wǎng)處 理裝置的隨后室(未示出)的入口之間提供更多的密封(未示出)。
通常，第一和/或第二密封可以是柔軟的真空密封。由于其柔軟性，它 們可以很好的緊靠著織網(wǎng)，以便防止空氣進(jìn)入其間。它們可以被輕易的打 開和關(guān)閉?？蛇x的，可以使用開閉器密封和/或縫式閥。
在其它實(shí)施例中，第一和/或第二密封是膨脹密封。這些密封可以膨 脹，從而增大其體積，并將膨脹密封壓向織網(wǎng)。密封還可以是旋轉(zhuǎn)密封。 這些密封提供了旋轉(zhuǎn)的密封表面，其與織網(wǎng)一起從密封的低壓力側(cè)移動到 密封的高壓力側(cè)，或與此相反。因此，在密封和織網(wǎng)之間沒有摩擦力。這對于薄織網(wǎng)，例如具有l(wèi)微米到IO微米之間，例如8微米厚度的織網(wǎng)是尤 其有用的。此外，在本發(fā)明的另一個實(shí)施例中，可以使用如在國際申請
WO 2005/116501 Al中公開的鎖緊閥之類的密封，作為第一室入口、在第 一和第二室之間，或在第二室出口的密封。
以下，將相對于圖1A、 1B、 1C和7來解釋本發(fā)明入口鎖系統(tǒng)的實(shí)施 例的工作方式。如果織網(wǎng)處理裝置用完了一個織網(wǎng)巻筒，新巻筒120就必 須用于織網(wǎng)處理裝置?？椌W(wǎng)被安裝到第一和第二室，結(jié)果得到了如圖1A 所示的結(jié)構(gòu)。這個步驟通常人工進(jìn)行?？蛇x的，可以使用自動接頭(flying splice)。第二密封205被關(guān)閉，且第二室和織網(wǎng)處理單元連接到第二室的 一個或多個室被抽空。在此時，可以開始織網(wǎng)處理。
這樣來操作第一織網(wǎng)存儲單元130， 140， 150，以使得織網(wǎng)存儲在第 一室中。這在圖1B中示出，在此織網(wǎng)160已經(jīng)從巻筒120展開，并通過 開啟的密封105送入輥130、 140。由于在該送入期間第二密封205被關(guān) 閉，在織網(wǎng)存儲到第一室的過程中織網(wǎng)在第二室中不移動。在展開過程 中，織網(wǎng)進(jìn)被送入第一室中。由于其重量，可移動輥向著第一室底部向下 移動，從而在可移動輥和具有固定軸的輥之間存儲織網(wǎng)。
一旦第一室中的第一織網(wǎng)存儲單元被填滿，第一密封105就被關(guān)閉。 在圖1A到1C所示的實(shí)施例中，通過可移動輥向第一室底部的移動來填充 織網(wǎng)存儲單元。然后第一室被抽空。這可以通過例如布置在第一室的或以 允許從第一室排除空氣的方式連接到第一室的一個或多個真空泵來進(jìn)行。 通常在這個處理階段，第一室被抽空，直至壓力達(dá)到與第二腔內(nèi)的壓力相 應(yīng)的壓力。在第二室內(nèi)的壓力通常與在第二室之后的室的壓力相同或相近 似。在本文中的術(shù)語"近似"應(yīng)被理解為包括最大在量值的一個數(shù)量級的偏 差。如果使用了縫式閥，壓力差就會達(dá)到兩個數(shù)量級。如前所述，這個室 通常是織網(wǎng)處理室的一部分，例如清潔或涂層室。
通常，室常常在抽空步驟之前被密封。從而主要的是在室被完全密封 之前可以開始抽空。這取決于要被抽空的室的尺寸和要達(dá)到的真空度。只 要密封步驟被完成到一定程度，抽空就可以已經(jīng)有效的開始。
一旦在第一室內(nèi)達(dá)到足夠的真空度，在第一室與第二室之間的第二密封205就被開啟?？椌W(wǎng)160從第一室送入第二第二室的織網(wǎng)存儲單元。由 此，第二織網(wǎng)存儲單元被填充，例如直至其被完全填滿，如圖1C所示。 應(yīng)注意此時在包括第一和第二室的處理室內(nèi)的壓力通常相近似或相同。就 是說取決于應(yīng)用，通常無需在此時的處理中將第一室相對于第二室密封和/ 或?qū)⒌诙蚁鄬τ陔S后的室密封。在其它實(shí)施例中，在第一和第二室之間 的密封對于從第一到第二室的空氣流動來說基本上保持關(guān)閉，但仍允許在 室之間的織網(wǎng)移動。例如，可以使用包括與織網(wǎng)一起移動的旋轉(zhuǎn)表面的密 封。
通常，可以在第二室的出口 195提供密封。這個密封在第二室的第二 織網(wǎng)存儲單元中存儲織網(wǎng)時可以被關(guān)閉。在這些應(yīng)用中提供這樣的密封是
有用的第二室中的真空度是連續(xù)的或暫時小于隨后室中的真空度。然
而，在織網(wǎng)處理裝置的第二室與隨后室之間也可以沒有密封。如上所述對 于第一室與第二室之間的密封可以被用作在第二室出口的密封。
在第二室的第二織網(wǎng)存儲單元中存儲織網(wǎng)期間，通常可以停止或繼續(xù) 將織網(wǎng)送入布置在第二室下游的織網(wǎng)處理單元。對于一些應(yīng)用來說，不可 以停止在織網(wǎng)處理裝置內(nèi)的織網(wǎng)處理，來自第二室的織網(wǎng)送入通常被繼 續(xù)，直至整個巻筒被用完。于是，存儲容量會與織網(wǎng)的運(yùn)行速度相適應(yīng)。
取決于織網(wǎng)的運(yùn)行速度，在某些應(yīng)用中甚至可以在不停止處理的情況 下改變巻筒。換句話說，可以在無限織網(wǎng)供應(yīng)的情況下具有連續(xù)處理能 力。
一旦此處在第一室的第一織網(wǎng)存儲單元中的全部織網(wǎng)都被送入第二室
的第二織網(wǎng)存儲單元，第二密封205就被關(guān)閉?？椌W(wǎng)經(jīng)出口 195從第二存 儲單元送入織網(wǎng)處理裝置。通常同時，第一織網(wǎng)裝置被從織網(wǎng)巻筒120展 開的織網(wǎng)再次填充。為此，密封105被開啟，這通常會導(dǎo)致第一室的充 氣。取決于所用的密封，可以將重啟減小到最小程度。在第一腔內(nèi)的壓力 增加得越小，在填充第一室的第一織網(wǎng)存儲單元之后抽空第一室就越少。 通過再次填充第一織網(wǎng)存儲單元，如前段落所述的送入過程被重復(fù)。 根據(jù)本發(fā)明，可以連續(xù)將織網(wǎng)送入織網(wǎng)處理裝置。換句話說，織網(wǎng)在沒有 任何中斷的情況下被送入織網(wǎng)處理裝置。在連續(xù)送入織網(wǎng)處理裝置的情況下，在第二室的第二織網(wǎng)存儲單元被完全用完之前，第一織網(wǎng)存儲單元的 填充和第一室隨后的抽空都必須完成。通常用于填充第一織網(wǎng)存儲單元和
抽空第一室的時間間隔在0.5min到5min之間，例如約2min。這個時間間 隔具體取決于所需的真空度。被申請中的術(shù)語"真空"指的是低于10mbar的 壓力。通常的真空度是10-2mbar至lj 10-4mbar之間。通常重復(fù)所述的循 環(huán)，直至巻筒被完全用完或直至不再繼續(xù)織網(wǎng)處理。在本申請的通常應(yīng)用 中可以以l-25米/分鐘的速度將織網(wǎng)連續(xù)送入織網(wǎng)處理裝置，例如10米/分 鐘。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的織網(wǎng)處理裝置的實(shí)施例。至少一個織網(wǎng)處理 室300位于入口鎖系統(tǒng)100的下游。入口鎖系統(tǒng)IOO通常包括第一和第二 室。在本申請中的術(shù)語"下游"和"上游"應(yīng)相對于織網(wǎng)的運(yùn)行方向來理解。 通常，該至少一個織網(wǎng)處理室與入口鎖系統(tǒng)的第二室直接接觸。由此，存 儲在入口鎖系統(tǒng)的第二室的織網(wǎng)被直接送入織網(wǎng)處理裝置隨后的織網(wǎng)處理 室。
圖3是本發(fā)明實(shí)施例的示意圖。其顯示了可以將本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng) 布置在織網(wǎng)處理裝置內(nèi)。在此，入口鎖系統(tǒng)100通常再次包括第一和第二 室。例如，這樣的織網(wǎng)處理裝置也是可以的在其中材料從織網(wǎng)巻筒送入 除入口鎖系統(tǒng)的第一和第二室之外的室，然后送入入口鎖系統(tǒng)的第一室。 可選的同應(yīng)織網(wǎng)的方式是連續(xù)送入室300，在其中布置了入口鎖系統(tǒng)， 在室300內(nèi)提供巻筒，在更大的室內(nèi)使用入口鎖系統(tǒng)的功能等。重要的是 本發(fā)明中的大量布置可預(yù)知的，其允許有利的使用入口鎖系統(tǒng)的功能，以 在不破壞真空的情況下連續(xù)的將織網(wǎng)送入處理室。
在較大室300內(nèi)織網(wǎng)的一些處理和/或處理步驟可以在將織網(wǎng)送入入口 鎖系統(tǒng)來存儲之前發(fā)生。輥可以布置在室300內(nèi)，以將織網(wǎng)160從室300 的入口導(dǎo)向入口鎖系統(tǒng)100的入口。室300可以被再分為兩個室Cl和 C2。以這樣的方式設(shè)置位于其間的隔離壁w:入口鎖系統(tǒng)100的入口和出 口與C1或C2相通。這將提供可能的額外選擇在入口鎖系統(tǒng)前后具有兩 個不同的真空級。在室300之后布置一個額外的入口鎖系統(tǒng)是另外的技術(shù) 選項(xiàng)。在圖3中對于設(shè)置真空密封有幾個選擇。取決于技術(shù)要求，真空密封
可以設(shè)置在室300的入口 (未示出)和/或室300的出口 (未示出)。真空 密封顯示在入口鎖系統(tǒng)100的入口。除此之外(或可選的)，真空密封還 可以設(shè)置在入口鎖系統(tǒng)IOO的出口 (未示出)。
原則上，本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)可以用于織網(wǎng)處理裝置的任何級。具體 的，如圖4所示，還可以提供具有本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)的織網(wǎng)處理裝置的 出口 。這是為了防止織網(wǎng)處理裝置通過織網(wǎng)處理裝置的織網(wǎng)出口被充氣。 當(dāng)以連續(xù)模式操作位于織網(wǎng)處理裝置的入口鎖系統(tǒng)時，即在不停止接收到 第一室的織網(wǎng)的情況下，入口鎖系統(tǒng)的操作與以上相對于圖1A、 1B和2C 所述的相類似。具體的，步驟可以如下第一室的織網(wǎng)存儲單元可以被填 充。此時，第二室必須被抽空，在第一和第二室之間的第二密封205被開 啟。存儲在第一織網(wǎng)存儲單元中的織網(wǎng)被送入第二室中的第二織網(wǎng)存儲單 元。通常，當(dāng)其在織網(wǎng)處理裝置的下游操作時，在第二室的出口為第二室 提供了密封。當(dāng)織網(wǎng)從第一室送入第二室時，這個密封必須關(guān)閉。 一旦第 二織網(wǎng)存儲單元被填滿，在第一室與第二室之間密封就被關(guān)閉，而在第二 室出口的密封被打開，以將織網(wǎng)送出，通常用于纏繞它。在清空第二室中 的第二織網(wǎng)存儲單元期間，第一室中的第一織網(wǎng)存儲單元被再次填充織 網(wǎng)，其可以被連續(xù)送入第一室。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)的另一個實(shí)施例。如所示的，根 據(jù)本發(fā)明第二室可以是織網(wǎng)處理裝置的一部分。通常，第二織網(wǎng)存儲單元 位于織網(wǎng)處理應(yīng)用系統(tǒng)的上游。在圖5所示的實(shí)施例中，示出并以數(shù)字 600指示了示范性織網(wǎng)處理應(yīng)用系統(tǒng)。例如，織網(wǎng)處理應(yīng)用可以是清潔應(yīng) 用、噴濺涂覆應(yīng)用。涂層應(yīng)用等。根據(jù)本發(fā)明通常在入口鎖系統(tǒng)的第二室 與織網(wǎng)處理裝置隨后的織網(wǎng)處理應(yīng)用之間可以沒有密封和/或壁。此外，例 如如圖5所示，織網(wǎng)160可以離開織網(wǎng)處理裝置，并被纏繞在織網(wǎng)處理裝 置的外側(cè)(未示出)，或者織網(wǎng)被纏繞在織網(wǎng)處理裝置之內(nèi)。
圖6a和6b示出了根據(jù)本發(fā)明的具有織網(wǎng)存儲單元的室的另一個實(shí)施 例。圖6a和6b中所示的室可以用作根據(jù)本發(fā)明的入口鎖系統(tǒng)中的第一強(qiáng) 化思和/或第二室。室包括至少兩個巻筒630，其起到織網(wǎng)存儲單元的作用。巻筒在橫向上可移動。它們可以通過一個、兩個或多個托架相連。
圖6a和6b中所示的織網(wǎng)存儲單元如下工作織網(wǎng)如圖6a所示的被安 裝。為了存儲織網(wǎng)，部分巻筒移到左側(cè)，另一部分巻筒移到右側(cè)，直至它 們到達(dá)圖6b中所示的位置?？梢允褂美珉姍C(jī)驅(qū)動或液壓傳動之類的驅(qū) 動裝置，以便移動巻筒。通常，移動巻筒直至它們接近側(cè)壁，在此情況下 織網(wǎng)存儲單元被填滿。在本發(fā)明的典型實(shí)施例中，巻筒可以在導(dǎo)軌上移 動。
當(dāng)織網(wǎng)存儲單元被清空，巻筒移向相對的巻筒，直至到達(dá)圖6a所示的 位置。如前所述的準(zhǔn)確計(jì)時用于關(guān)閉第一和第二密封。
相對于圖6a和6b所述的存儲技術(shù)可以用于本發(fā)明全部的實(shí)施例。另 一個可選方案是使用可以在徑向上從存儲室的中心位置移向存儲室壁的巻 筒在這也允許在將其送入第二室之前，將織網(wǎng)材料存儲在一個室中。
這個書面說明使用了實(shí)例來公開本發(fā)明，包括最佳模式，并還使得本 領(lǐng)域任何技術(shù)人員能夠獲得并使用本發(fā)明。盡管依據(jù)各種特定實(shí)施例來說 明了本發(fā)明，但本領(lǐng)域技術(shù)人員會認(rèn)識到可以用在權(quán)利要求的精神和范圍 之內(nèi)的修改來實(shí)施本發(fā)明。尤其是上述實(shí)施例的非互排它特征可以彼此結(jié) 合。本發(fā)明的專利范圍由權(quán)利要求限定，并可以包括本領(lǐng)域技術(shù)人員會想 到的其它實(shí)例。這種其它實(shí)例意圖在權(quán)利要求的范圍內(nèi)，因?yàn)樗鼈兙哂信c 權(quán)利要求字面語言相同的結(jié)構(gòu)要素，或者它們包括等效的結(jié)構(gòu)要素，其與 權(quán)利要求的字面語言僅有非實(shí)質(zhì)性的區(qū)別。
權(quán)利要求
1. 一種入口鎖系統(tǒng)(100)，用于從織網(wǎng)供應(yīng)(120)向織網(wǎng)處理裝置(300)送入織網(wǎng)，該入口鎖系統(tǒng)包括a)第一室(110)，具有入口(190)和出口(170)；b)第二室(210)，具有入口(180)；c)第一密封(105)，位于第一室的入口處；d)第二密封(205)，位于第一室與第二室之間；e)第一織網(wǎng)存儲單元(130，140，150)，位于第一室中；及f)第二織網(wǎng)存儲單元(230，240，250)，位于第二室中。
2、 根據(jù)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第二室具有出口 (195)， 其連接到織網(wǎng)處理裝置(300)。
3、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一和/或第二室 包括至少一個真空泵。
4、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一和/或第二織 網(wǎng)存儲單元包括多個輥(130， 140; 230， 240)。
5、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一和/或第二密 封是柔性真空密封。
6、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一和/或第二密 封是膨脹密封。
7、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一和/或第二密 封是開閉器密封。
8、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一和/或第二織 網(wǎng)存儲單元包括至少一個可移動輥(140; 240)，用于在織網(wǎng)存儲單元內(nèi)移動。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8的入口鎖系統(tǒng)，其中移動是一維平移運(yùn)動。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8或9的入口鎖系統(tǒng)，具有至少兩個可移動輥，其 中該至少兩個可移動輥通過托架(150; 250)相連。
11、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第一室和第二室彼此直接接觸。
12、 根據(jù)任意一項(xiàng)前述權(quán)利要求的入口鎖系統(tǒng)，其中第二室是織網(wǎng)處 理裝置的一部分。
13、 一種織網(wǎng)處理裝置，至少具有一個根據(jù)權(quán)利要求1至13任意一項(xiàng)的入口鎖系統(tǒng)。
14、 根據(jù)權(quán)利要求13的織網(wǎng)處理裝置，具有一個布置在織網(wǎng)處理裝 置入口的入口鎖系統(tǒng)和/或一個布置在織網(wǎng)處理裝置出口的入口鎖系統(tǒng)。
15、 一種用于將織網(wǎng)送入織網(wǎng)處理裝置的方法，包括步驟a) 將織網(wǎng)從周圍環(huán)境空間送入到具有第一壓力的第一室；b) 將送入到第一室中的織網(wǎng)存儲在第一室中；c) 密封第一室，并將第一室抽空到第二壓力；d) 將存儲在第一室中的織網(wǎng)送入具有第三壓力的第二室；e) 將送入第二室的織網(wǎng)存儲在第二室中；及f) 將第二室相對于第一室密封。
16、 根據(jù)權(quán)利要求15的送入織網(wǎng)處理裝置的方法，還包括將存儲在第二室中的織網(wǎng)送入織網(wǎng)處理裝置的織網(wǎng)處理應(yīng)用裝置的步驟。
17、 根據(jù)權(quán)利要求15或16的送入織網(wǎng)處理裝置的方法，其中步驟a)-f)至少重復(fù)一次，通常至少10次。
18、 根據(jù)權(quán)利要求15至17任意一項(xiàng)的送入織網(wǎng)處理裝置的方法，其 中在步驟a)和b)之后進(jìn)行步驟c)，和/或在步驟d)和e)之后進(jìn)行步驟f)。
19、 根據(jù)權(quán)利要求15至18任意一項(xiàng)的送入織網(wǎng)處理裝置的方法，其 中送入織網(wǎng)處理裝置是連續(xù)的。
20、 根據(jù)權(quán)利要求15至19任意一項(xiàng)的送入織網(wǎng)處理裝置的方法，其 中第二壓力與第三壓力相同的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種入口鎖系統(tǒng)、織網(wǎng)處理裝置及使用其的一種方法。入口鎖系統(tǒng)用于從織網(wǎng)供應(yīng)向織網(wǎng)處理裝置送入織網(wǎng)，該入口鎖系統(tǒng)包括第一室，具有入口和出口，第二室，具有入口，第一密封，位于第一室的入口，第二密封，位于第一室與第二室之間，第一織網(wǎng)存儲單元，位于第一室中；及第二織網(wǎng)存儲單元，位于第二室中。
文檔編號B08B13/00GK101284608SQ20081010921
公開日2008年10月15日 申請日期2008年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月28日
發(fā)明者彼得·索爾, 斯特凡·海因 申請人:應(yīng)用材料公司