專利名稱：一種槽式清洗過程中硅片裝載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種槽式清洗過程中硅片裝載裝置。 技術(shù)背景在硅片清洗工藝中，槽式清洗機(jī)以其清洗效果良好，較大的產(chǎn)能優(yōu)勢，在硅片清洗 工藝中獲得了廣泛的應(yīng)用，槽式清洗機(jī)在設(shè)計(jì)的過程中，一直采用的是機(jī)械手夾持四氟花 籃直接浸入清洗槽的方式，此傳統(tǒng)方式存在幾個(gè)明顯的問題，首先是清洗機(jī)機(jī)械手的形變 和使用壽命問題，由于清洗機(jī)設(shè)計(jì)的機(jī)械手直接夾持8寸四氟花籃，左右對稱兩個(gè)，當(dāng)用于 清洗4、5、6寸硅片時(shí)候，是嵌套于8寸花籃內(nèi)的，這種內(nèi)外嵌套的復(fù)合花籃重量較大，長期 使用容易造成機(jī)械手的變形，并且在機(jī)械手運(yùn)動(dòng)過程中，由于晃動(dòng)還可能會(huì)造成四氟花籃 脫落，直接砸壞石英超聲槽。并且處在相同工藝時(shí)間下，不能提高產(chǎn)能。鑒于槽式清洗硅片運(yùn)輸過程采用8寸四氟花籃作為承載裝置的諸多缺點(diǎn)，因此有 必要提供一種新型的硅片承載裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種用于槽式清洗機(jī)的硅片承載裝置，該裝置重量較 輕，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，工作效率高，產(chǎn)能較大。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下設(shè)計(jì)方案這種用于槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，它由承載裝置與定位裝置組成，定位裝置 內(nèi)嵌于承載裝置，所述的承載裝置包括承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，側(cè)面方孔，底 面圓孔，底面方孔，為底端支腳；裝置前后側(cè)面為對稱結(jié)構(gòu)，側(cè)面除了保留必須的承重骨 架，其他位置為開方孔結(jié)構(gòu)；定位裝置包括花籃定位架，花籃隔板。前端梯形槽可為一個(gè)，后端梯形槽為3個(gè)，梯形槽開口寬為5 7cm。該裝置底端開方孔，其他底面位置開圓孔，圓孔直徑為1 2cm，圓孔數(shù)量為48 54個(gè).所述的底端支腳有4個(gè)，支腳長度為18 20cm，高度為3 5cm，寬度為1 1. 2cm0整個(gè)裝置選擇材料為聚偏氟乙烯材料。所述的承載裝置長度為45 50cm，寬度為20 25cm，高度為20 25cm。所述的定位裝置長度為45 50cm，寬度為20 25cm，高度為4 5cm。定位裝置的隔板上開圓孔，圓孔直徑2 3cm。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是在材質(zhì)選擇上，選取了聚偏氟乙烯(PVDF)材料代替了聚四氟乙 烯(PTFE)材料，同樣可以滿足清洗用裝置的耐腐蝕性和強(qiáng)度，而PVDF較之PTEF價(jià)格上便 宜很多，大大降低了該裝置的成本；PVDF較之PTEF重量較輕，即減輕了機(jī)械手的承重，有效 保護(hù)了機(jī)械手不會(huì)變形；另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明代替了兩個(gè)8寸四氟花籃作為裝載裝置，使得裝置在整個(gè)運(yùn)動(dòng)過程中更加平穩(wěn)，裝置的橫向?qū)挾容^大，不存在脫落的可能，有效保護(hù)了石英清洗槽；另 本裝置作為4，5，6寸花籃的通用承載裝置，內(nèi)部可以并排放置3個(gè)花籃，這樣可以直接提高 清洗機(jī)的產(chǎn)能50%，有效的釋放了硅片清洗產(chǎn)能的壓力。

[0016]圖1四氟花籃承載裝置[0017]圖2四氟花籃定位裝置[0018]圖3承載裝置主視圖[0019]圖4承載裝置俯視圖[0020]圖5承載裝置左視圖[0021]圖6定位裝置主視圖[0022]圖7定位裝置俯視圖[0023]圖8定位裝置左視圖
具體實(shí)施方式
如圖中所示，四氟花籃承載裝置中，1-1為承重骨架，1-2為前端梯形槽，1-3為后 端梯形槽，1-4為側(cè)面方孔，1-5為底面圓孔，1-6為底面方孔，1-7為底端支腳；關(guān)于四氟花 籃定位裝置中，II-1為花籃定位架，II-2為花籃隔板。由承載裝置(圖1)與定位裝置(圖2)可見裝置幾何設(shè)計(jì)上充分考慮了力學(xué)原 理，承載裝置除了承重處骨架外，全部采用開方孔或者圓孔的結(jié)構(gòu)，其目的是最大程度上的 減輕裝置的重量，并且開孔處在清洗過程中液體易于流入裝置，減小機(jī)械手受浮力沖擊的 同時(shí)，增強(qiáng)了清洗的時(shí)間和效果；裝置整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)基于前后左右均為幾何對稱，裝置頂端開口處，前端開一個(gè)凹 槽，后端開三個(gè)凹槽，裝置前后面均為半封閉結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，底面也為半封閉結(jié)構(gòu)且開圓形孔。 定位裝置內(nèi)嵌于承載裝置，將承載裝置分為三個(gè)單元，且定位裝置仍然在隔板上開了圓孔。硅片在清洗過程中首先裝載于4，5，6寸四氟花籃，然后將四氟花籃規(guī)則排列于定 位裝置內(nèi)，通過清洗機(jī)的機(jī)械手夾持承載裝置完成硅片清洗。定位裝置在尺寸上分別設(shè)計(jì)了對應(yīng)4，5，6寸硅片的不同尺寸，幾何結(jié)構(gòu)對稱，既 可以放置滿載的3籃硅片，還可以放置兩籃(置于兩邊單元)，一籃(置于中間單元)。
權(quán)利要求一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于它由承載裝置與定位裝置組成，定位裝置內(nèi)嵌于承載裝置，所述的承載裝置包括承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，側(cè)面方孔，底面圓孔，底面方孔，為底端支腳；裝置前后側(cè)面為對稱結(jié)構(gòu)，側(cè)面除了保留承重骨架，其他位置為開方孔結(jié)構(gòu)；定位裝置包括花籃定位架，花籃隔板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于前端梯形槽 為一個(gè)，后端梯形槽為3個(gè)，梯形槽開口寬為5 7cm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于該裝置 底端開方孔，其他底面位置開圓孔，圓孔直徑為1 2cm，圓孔數(shù)量為48 54個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于所述的 底端支腳有4個(gè)，支腳長度為18 20cm，高度為3 5cm，寬度為1 1. 2cm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于整個(gè)裝 置選擇材料為聚偏氟乙烯材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于所述的承載 裝置長度為45 50cm，寬度為20 25cm，高度為20 25cm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于所述的定位 裝置長度為45 50cm，寬度為20 25cm，高度為4 5cm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種槽式清洗機(jī)的硅片裝載裝置，其特征在于定位裝置的 隔板上開圓孔，圓孔直徑2 3cm。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種在槽式清洗過程中的硅片裝載裝置，它由承載裝置與定位裝置組成，定位裝置內(nèi)嵌于承載裝置，所述的承載裝置包括承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，側(cè)面方孔，底面圓孔，底面方孔，為底端支腳；定位裝置包括花籃定位架，花籃隔板。硅片在清洗過程中首先裝載于4，5，6寸四氟花籃，然后將四氟花籃規(guī)則排列于定位裝置內(nèi)，通過清洗機(jī)的機(jī)械手夾持承載裝置完成硅片清洗。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是裝置結(jié)構(gòu)簡單，重量較輕，工作效率較高，既有效延長清洗機(jī)的使用壽命，又增大了清洗產(chǎn)能。
文檔編號B08B13/00GK201625653SQ200920277909
公開日2010年11月10日 申請日期2009年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月11日
發(fā)明者孫洪波, 寧永鐸, 徐繼平, 籍小兵, 邊永智 申請人:北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司