專利名稱：一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于刻膜機(jī)加工非晶硅太陽能電池板工作過程中的吸塵技 術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置。
背景技術(shù)：
非晶硅太陽能電池板生產(chǎn)流程涉及到底層電極、中間光伏效應(yīng)層和表面歐姆接觸 電極層的薄膜沉積以及各層的刻劃。激光刻劃技術(shù)相比傳統(tǒng)的掩模法具有更高的生產(chǎn)效率 以及穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量，已經(jīng)較好地應(yīng)用于太陽能電池的制造工藝流程中。然而，在刻膜機(jī) 激光刻劃非晶硅電池的過程中，容易產(chǎn)生大量微小的粉塵，并且大部分的粉塵不能到達(dá)除 塵系統(tǒng)，除塵系統(tǒng)除塵效率低，使得產(chǎn)生的粉塵污染空氣，給操作人員帶來不便，也會污染 工作臺或者非晶硅電池，給設(shè)備維修或者電池的生產(chǎn)帶來不便。傳統(tǒng)的吸塵技術(shù)采用抽風(fēng) 直吸方式，能夠吸掉大部分塵粒，仍有部分塵粒不能被吸走；存在的缺陷為部分超輕塵粒 仍懸浮于空氣中，還有一部分超重塵粒會隨重力落到電池板上，導(dǎo)致吸塵不全面，效果不理 想；且非晶硅薄膜太陽能電池在激光加工過程中會產(chǎn)生大量粉塵，若清除不完全，粉塵就會 附著在電池板表面上，可能造成微斷路，影響電池板的電氣性能。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對現(xiàn)有非晶硅太陽能電池板生產(chǎn)存在的上述不足，提供一種用于刻 膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合 吸塵裝置，包括設(shè)置在刻膜機(jī)工作臺固定座上的固定吸塵箱，其特點(diǎn)在于，所述的固定吸塵 箱上部的刻膜機(jī)工作臺固定座上還設(shè)有隨動吸塵箱，固定吸塵箱下部設(shè)有固定吸塵箱吸塵 口，隨動吸塵箱上設(shè)有隨動吸塵箱吸塵口。所述的固定吸塵箱下部還設(shè)有離子棒，離子棒上設(shè)有電極針。所述的隨動吸塵箱 通過連接板與隨動吸塵運(yùn)動工作臺相連，隨動吸塵運(yùn)動工作臺通過隨動吸塵運(yùn)動固定座與 刻膜機(jī)工作臺固定座相連，隨動吸塵運(yùn)動固定座內(nèi)設(shè)有傳動絲杠和電機(jī)。所述的隨動吸塵箱吸塵口包括第一吸塵口和第二吸塵口。所述的第二吸塵口通過 固定塊安裝在連接板上，第二吸塵口對應(yīng)設(shè)在刻膜機(jī)工作臺上的激光光束正上方。所述的 第一吸塵口與刻膜機(jī)工作臺上的激光光束對應(yīng)設(shè)置，第一吸塵口和第二吸塵口的數(shù)量與刻 膜機(jī)工作臺上的激光光束數(shù)量相等。所述的固定吸塵箱吸塵口為長方形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的有益效果是所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其通過固定 吸塵箱和隨動吸塵箱的復(fù)合，實(shí)現(xiàn)了刻膜機(jī)在加工非晶硅太陽能電池生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的大 部分粉塵吸收，然后通過除塵系統(tǒng)集中處理，提高了除塵系統(tǒng)除塵的效率。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)原理示意圖；[0009]圖2為本實(shí)用新型圖1的中固定吸塵箱和隨動吸塵箱安裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型圖2的中固定吸塵箱的端面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用 新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。圖1、2、3所示，所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，包括設(shè)置在刻膜機(jī)工作 臺固定座1上的固定吸塵箱7，其特點(diǎn)在于，所述的固定吸塵箱7上部的刻膜機(jī)工作臺固定 座1上還設(shè)有隨動吸塵箱2，固定吸塵箱7下部設(shè)有固定吸塵箱吸塵口 15，隨動吸塵箱2上 設(shè)有隨動吸塵箱吸塵口。所述的固定吸塵箱7下部還設(shè)有離子棒14，離子棒14上設(shè)有電極針。所述的隨動 吸塵箱2通過連接板11與隨動吸塵運(yùn)動工作臺13相連，隨動吸塵運(yùn)動工作臺13通過隨動 吸塵運(yùn)動固定座10與刻膜機(jī)工作臺固定座1相連，隨動吸塵運(yùn)動固定座10內(nèi)設(shè)有傳動絲 杠9和電機(jī)8。所述的隨動吸塵箱吸塵口包括第一吸塵口 3和第二吸塵口 4。所述的第二吸塵口 4通過固定塊12安裝在連接板11上，第二吸塵口 4對應(yīng)設(shè)在刻膜機(jī)工作臺上的激光光束5 正上方。所述的第一吸塵口 3與刻膜機(jī)工作臺上的激光光束5對應(yīng)設(shè)置，第一吸塵口 3和 第二吸塵口 4的數(shù)量與刻膜機(jī)工作臺上的激光光束5數(shù)量相等。所述的固定吸塵箱吸塵口 15為長方形結(jié)構(gòu)。采用上述結(jié)構(gòu)，便可以實(shí)現(xiàn)刻膜機(jī)在加工工件6時產(chǎn)生的大部分粉塵吸收。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用 新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保 護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，包括設(shè)置在刻膜機(jī)工作臺固定座上的固定吸塵箱，其特征在于，所述的固定吸塵箱上部的刻膜機(jī)工作臺固定座上還設(shè)有隨動吸塵箱，固定吸塵箱下部設(shè)有固定吸塵箱吸塵口，隨動吸塵箱上設(shè)有隨動吸塵箱吸塵口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其特征在于，所述的固定 吸塵箱下部還設(shè)有離子棒，離子棒上設(shè)有電極針。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其特征在于，所述的隨動 吸塵箱通過連接板與隨動吸塵運(yùn)動工作臺相連，隨動吸塵運(yùn)動工作臺通過隨動吸塵運(yùn)動固 定座與刻膜機(jī)工作臺固定座相連，隨動吸塵運(yùn)動固定座內(nèi)設(shè)有傳動絲杠和電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其特征在于，所述的隨動 吸塵箱吸塵口包括第一吸塵口和第二吸塵口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其特征在于，所述的第二 吸塵口通過固定塊安裝在連接板上，第二吸塵口對應(yīng)設(shè)在刻膜機(jī)工作臺上的激光光束正上 方。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其特征在于，所述的第一 吸塵口與刻膜機(jī)工作臺上的激光光束對應(yīng)設(shè)置，第一吸塵口和第二吸塵口的數(shù)量與刻膜機(jī) 工作臺上的激光光束數(shù)量相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置，其特征在于，所述的固定 吸塵箱吸塵口為長方形結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于刻膜機(jī)加工非晶硅太陽能電池板工作過程中的吸塵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于刻膜機(jī)的復(fù)合吸塵裝置。包括設(shè)置在刻膜機(jī)工作臺固定座上的固定吸塵箱，其特點(diǎn)在于，所述的固定吸塵箱上部的刻膜機(jī)工作臺固定座上還設(shè)有隨動吸塵箱，固定吸塵箱下部設(shè)有固定吸塵箱吸塵口，隨動吸塵箱上設(shè)有隨動吸塵箱吸塵口。其通過固定吸塵箱和隨動吸塵箱的復(fù)合，實(shí)現(xiàn)了刻膜機(jī)在加工非晶硅太陽能電池生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的大部分粉塵吸收，然后通過除塵系統(tǒng)集中處理，提高了除塵系統(tǒng)除塵的效率。
文檔編號B08B5/04GK201558833SQ20092029321
公開日2010年8月25日 申請日期2009年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月11日
發(fā)明者何成鵬 申請人:武漢三工光電設(shè)備制造有限公司