專利名稱：晶片清潔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體專用設(shè)備晶片清潔裝置技術(shù)領(lǐng)域
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體專用設(shè)備在進(jìn)行晶片加工的過程中，需要用毛刷與晶片接觸進(jìn)行清潔，以 去除雜質(zhì)。常見的清潔裝置由電機(jī)通過滾珠絲杠帶動(dòng)毛刷上下移動(dòng)，這樣存在一些問題，如 結(jié)構(gòu)復(fù)雜、密封性不好、柔性差等，從而影響了加工質(zhì)量和效率的提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種晶片清潔裝置，不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防 止損傷晶片，可大大提高清潔質(zhì)量和效率，可靠性和穩(wěn)定性較高，而且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、 使用方便、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的一種晶片清潔裝置，包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，其特征在于驅(qū)動(dòng)電機(jī)通 過安裝座安裝在缸體裝置的活塞桿上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的軸線和活塞桿運(yùn)動(dòng)方向平行，電機(jī)軸和 轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)軸的端部通過彈性支架與毛刷連接。為使彈性更好，所述的彈性支架的較好結(jié)構(gòu)及連接關(guān)系為下圓片通過防松螺帽 固定在轉(zhuǎn)軸的端部，彈性支板的上端與下圓片固定聯(lián)接，下端與毛刷聯(lián)接。為使轉(zhuǎn)動(dòng)更穩(wěn)定精確，結(jié)構(gòu)更合理，所述的轉(zhuǎn)軸最上端可通過聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)電機(jī) 固定在安裝座上端的孔內(nèi)，轉(zhuǎn)軸為階梯軸，通過兩個(gè)角接觸球軸承安裝在在軸承套中，軸 承壓蓋和螺釘壓緊軸承外圈并與軸承套固定連接，軸承螺帽通過轉(zhuǎn)軸上的螺紋壓緊軸承內(nèi) 圈。所述的兩個(gè)角接觸球軸承之間安裝有內(nèi)外圈軸套，角接觸球軸承與軸承螺帽之間 安裝有內(nèi)圈軸套，較好。為使?jié)櫥?，轉(zhuǎn)動(dòng)精度高，所述的轉(zhuǎn)軸與軸承套之間，軸承壓蓋與軸承螺帽之間 均設(shè)有徑向迷宮密封。所述的缸體裝置可為氣缸或油缸裝置。本發(fā)明的積極效果是能有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，達(dá)到了發(fā)明目的；由 氣缸實(shí)現(xiàn)直線運(yùn)動(dòng)，使毛刷與晶片接觸時(shí)，彈性支板和下圓片也產(chǎn)生變形，可進(jìn)一步緩沖毛 刷與晶片之間的作用力；不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防止損傷晶片，可大大提高清 潔質(zhì)量和效率，可靠性和穩(wěn)定性較高，而且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、使用方便、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。尤 其適用于半導(dǎo)體專用設(shè)備上。


圖1是本發(fā)明裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-驅(qū)動(dòng)電機(jī)、2-安裝座、3-聯(lián)軸器、4-轉(zhuǎn)軸、5-擋板、6-角接觸球軸承、7-軸 承套、8-軸承壓蓋、9-軸承螺帽、10-下圓片、11-防松螺帽、12-彈性支板、13-毛刷、14-缸體裝置(氣缸或油缸)。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。參見圖1，該晶片清潔裝置，驅(qū)動(dòng)電機(jī)1通過安裝座2安裝在缸體裝置14的活塞桿 上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)1的軸線和活塞桿的運(yùn)動(dòng)方向相平行，電機(jī)軸和轉(zhuǎn)軸4連接，轉(zhuǎn)軸4的端部和 毛刷13連接。轉(zhuǎn)軸4的端部通過彈性支架和毛刷13連接。彈性支架的結(jié)構(gòu)及連接關(guān)系為 下圓片10通過防松螺帽11固定在轉(zhuǎn)軸4的端部，彈性支板12的上端與下圓片10固定聯(lián) 接，下端與毛刷13聯(lián)接。轉(zhuǎn)軸4最上端通過聯(lián)軸器3與驅(qū)動(dòng)電機(jī)1固定在安裝座2上端的 孔內(nèi)，轉(zhuǎn)軸4為階梯軸，通過兩個(gè)角接觸球軸承6安裝在在軸承套7中，軸承壓蓋8和螺釘 壓緊軸承外圈并與軸承套7固定連接，軸承螺帽9通過轉(zhuǎn)軸4上的螺紋壓緊軸承內(nèi)圈。兩 個(gè)角接觸球軸承6之間安裝有內(nèi)外圈軸套，角接觸球軸承6與軸承螺帽9之間安裝有內(nèi)圈 軸套。轉(zhuǎn)軸4與軸承套7之間，軸承壓蓋8與軸承螺帽9之間均設(shè)有徑向迷宮密封。安裝 座2與氣缸聯(lián)接，由其帶動(dòng)上下移動(dòng)，擋板5固定在安裝座2的外側(cè)。工作時(shí)，由氣缸帶動(dòng)安裝底座上下運(yùn)動(dòng)，使毛刷接觸晶片。驅(qū)動(dòng)電機(jī)1通過聯(lián)軸器 3帶動(dòng)毛刷9旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，毛刷的轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向可通過調(diào)節(jié)電機(jī)參數(shù)實(shí)現(xiàn)。氣缸輸入氣壓可通 過減壓閥控制，以控制毛刷與晶片的接觸程度，達(dá)到不同的清潔效果。下圓片10和彈性支 板12在毛刷與晶片接觸時(shí)產(chǎn)生變形，以緩沖其相互作用力。由氣缸實(shí)現(xiàn)直線運(yùn)動(dòng)，簡(jiǎn)化結(jié) 構(gòu)。毛刷與晶片柔性接觸，防止損傷晶片；提高清潔質(zhì)量；具有結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡(jiǎn)單、密封性 好、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。
權(quán)利要求
一種晶片清潔裝置，包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)，其特征在于驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)通過安裝座(2)安裝在缸體裝置(14)的活塞桿上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)的軸線和活塞桿的運(yùn)動(dòng)方向相平行，電機(jī)軸和轉(zhuǎn)軸(4)連接，轉(zhuǎn)軸(4)的端部通過彈性支架與毛刷(13)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片清潔裝置，其特征在于所述的彈性支架的結(jié)構(gòu)及連接關(guān) 系為下圓片(10)通過防松螺帽(11)固定在轉(zhuǎn)軸⑷的端部，彈性支板(12)的上端與下 圓片(10)固定聯(lián)接，下端與毛刷(13)聯(lián)接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片清潔裝置，其特征在于所述的缸體裝置(14)為氣缸裝置
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的晶片清潔裝置，其特征在于所述的轉(zhuǎn)軸(4)最上端通 過聯(lián)軸器(3)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(1)固定在安裝座(2)上端的圓孔內(nèi)，轉(zhuǎn)軸(4)為階梯軸，通過兩 個(gè)角接觸球軸承(6)安裝在在軸承套(7)中，軸承壓蓋(8)和螺釘壓緊軸承外圈并與軸承 套(7)固定連接，軸承螺帽(9)通過轉(zhuǎn)軸(4)上的螺紋壓緊軸承內(nèi)圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶片清潔裝置，其特征在于所述的兩個(gè)角接觸球軸承(6)之 間安裝有內(nèi)外圈軸套，角接觸球軸承(6)與軸承螺帽(9)之間安裝有內(nèi)圈軸套
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶片清潔裝置，其特征在于所述的轉(zhuǎn)軸(4)與軸承套(7)之 間，軸承壓蓋⑶與軸承螺帽(9)之間均設(shè)有徑向迷宮密封。
全文摘要
本發(fā)明提供一種晶片清潔裝置，涉及半導(dǎo)體專用設(shè)備晶片清潔裝置技術(shù)領(lǐng)域。驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過安裝座安裝在缸體裝置的活塞桿上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的軸線和活塞桿運(yùn)動(dòng)方向平行，電機(jī)軸和轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)軸的端部通過彈性支架與毛刷連接。本發(fā)明能有效解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防止損傷晶片，可大大提高清潔質(zhì)量和效率，可靠性和穩(wěn)定性較高，而且具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、使用方便、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)。尤其適用于半導(dǎo)體專用設(shè)備上。
文檔編號(hào)B08B1/04GK101884981SQ201010195939
公開日2010年11月17日 申請(qǐng)日期2010年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月10日
發(fā)明者王仲康, 衣忠波, 袁立偉 申請(qǐng)人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所