專利名稱：一種硅片脫膠機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片脫膠機(jī)。
背景技術(shù)：
在多線切割晶棒生產(chǎn)硅片的過程中，對切割好的硅片傳統(tǒng)采用手工進(jìn)行脫膠，因 脫膠過程中對力度、溫度掌握不均勻，且不穩(wěn)定，易出現(xiàn)硅片崩邊、毛邊、氧化等現(xiàn)象，產(chǎn)生 廢片。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供能減少硅片在脫膠過程中產(chǎn)生崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象的 一種硅片脫膠機(jī)。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種硅片脫膠機(jī)，它包括直立軌道、上滑動軌道、 下滑動軌道、導(dǎo)向輪、脫膠槽、硅片盒、提升機(jī)、加熱管、定滑輪、綱繩和偏心輪及組件，其特 征在于上滑動軌道、下滑動軌道通過導(dǎo)向輪活動設(shè)在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道 上，提升機(jī)通過綱繩和定滑輪與上滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內(nèi)，脫膠槽和硅片盒 固定設(shè)置在上滑動軌道上；脫膠槽內(nèi)安裝有加熱管；偏心輪及組件設(shè)置在脫膠槽的下部， 與下滑動軌道連接在一起。采用本實(shí)用新型，可以通過加熱管保持脫膠槽內(nèi)的水恒溫，而且采用機(jī)械化操作 方式，控制穩(wěn)定，減少硅片在脫膠過程中產(chǎn)生的崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象，提高成品率。

圖1是本實(shí)用新型的主視示意圖。圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體的實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。參照圖1、圖2，該硅片脫膠機(jī)，它包括直立軌道3、上滑動軌道6、下滑動軌道14、 導(dǎo)向輪7、脫膠槽9、脫膠支架4、分隔板11、硅片盒12、提升機(jī)5、加熱管13、定滑輪2、綱繩 1和偏心輪及組件8，上滑動軌道6通過導(dǎo)向輪7活動設(shè)在直立軌道3上；定滑輪2固定在 直立軌道3上，提升機(jī)5通過綱繩1和定滑輪2與上滑動軌道6相連接；硅片盒12位于脫 膠槽9內(nèi)，硅片盒12固定設(shè)置在上滑動軌道6上；脫膠槽9內(nèi)安裝有加熱管13 ；偏心輪及 組件8設(shè)置在脫膠槽9的下部，與下滑動軌道14連接在一起。使用時(shí)，啟動提升機(jī)5，收緊綱繩1，上滑動軌道6沿直立軌道3上升，將硅片盒12 提起即停止提升機(jī)，把脫膠支架4連同帶膠的硅片10 —同放入硅片盒12里，并采用分隔板 11隔開硅片10 ；然后，啟動提升機(jī)，放松綱繩1，把帶膠的硅片10連同硅片盒12 —起放入 脫膠槽9的水中，浸沒硅片10，開始通過加熱管13對脫膠槽9中的水加熱至60度，然后，擺動偏心輪及組件8，使下滑動軌道；,上下運(yùn)動，從而帶動上滑動軌道6上下運(yùn) ,‘使硅片 盒12在水中同步上下擺動，但不能使硅片10露出水面，擺動時(shí)間保持十分鐘左右，之后，升 起硅片盒12，取下脫膠支架4，取出硅片10即可。 按照上述，可以通過加熱管13保持脫膠槽9內(nèi)的水恒溫，而且采用機(jī)械化操作方 式，控制穩(wěn)定，減少硅片10在脫膠過程中產(chǎn)生的崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象，提高成品率。
權(quán)利要求一種硅片脫膠機(jī)，它包括直立軌道、滑動軌道、導(dǎo)向輪、脫膠槽、硅片盒、提升機(jī)、加熱管、定滑輪、綱繩和偏心輪及組件，其特征在于滑動軌道通過導(dǎo)向輪活動設(shè)在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道上，提升機(jī)通過綱繩和定滑輪與滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內(nèi)，脫膠槽和硅片盒固定設(shè)置在滑動軌道上；脫膠槽內(nèi)安裝有加熱管；偏心輪及組件設(shè)置在滑動軌道的下部。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅片脫膠機(jī)，該硅片脫膠機(jī)的滑動軌道通過導(dǎo)向輪活動設(shè)在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道上，提升機(jī)通過綱繩和定滑輪與滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內(nèi)，脫膠槽和硅片盒固定設(shè)置在滑動軌道上；脫膠槽內(nèi)安裝有加熱管；偏心輪及組件設(shè)置在滑動軌道的下部。采用本實(shí)用新型，可以通過加熱管保持脫膠槽內(nèi)的水恒溫，而且采用機(jī)械化操作方式，控制穩(wěn)定，減少硅片在脫膠過程中產(chǎn)生的崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象，提高成品率。
文檔編號B08B3/10GK201678767SQ20102015606
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月4日
發(fā)明者余城偉, 徐增宏, 王土軍 申請人:浙江硅宏電子科技有限公司