專利名稱：硅片沖洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種單晶硅生產(chǎn)中使用的硅片沖洗機(jī)。
背景技術(shù)：
在單晶硅生產(chǎn)中要對切割出的硅片進(jìn)行預(yù)沖洗，清除硅片間隙的砂漿?，F(xiàn)有的沖 洗方法采用自來水直接注入兩根沖洗管對硅片進(jìn)行沖洗。其存在以下問題1.由于自來 水的水壓不穩(wěn)定，不能提供強(qiáng)勁穩(wěn)定的水流，使硅片沖洗不徹底，導(dǎo)致出現(xiàn)花片和油污片； 2.在浪費大量水資源的同時，也無法保證產(chǎn)品的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型是要解決的技術(shù)問題是提供一種可自動供水，并可循環(huán)利用，確保水 壓高、穩(wěn)定，沖洗效率高，可保證產(chǎn)品質(zhì)量的硅片清洗機(jī)。本實用新型涉及的硅片沖洗機(jī)，一種硅片沖洗機(jī)，包括沖洗槽，在沖洗槽底部設(shè)有 沖洗槽排水閥門，其特殊之處是該硅片沖洗機(jī)還設(shè)有蓄水槽，在蓄水槽上部和底部分別 設(shè)有注水管和蓄水槽排水閥門，在蓄水槽內(nèi)對應(yīng)注水管處設(shè)有水位控制裝置，在蓄水槽底 部設(shè)有出水管，出水管經(jīng)過第一循環(huán)泵和第一閥門后通過分流管與兩組沖洗水管連接，每 組沖洗水管由二個水管組成，兩組沖洗水管呈一高一低分別由沖洗槽兩側(cè)穿入并橫貫沖洗 槽，在沖洗槽底部還設(shè)有循環(huán)水出口，循環(huán)水出口經(jīng)過過濾網(wǎng)、第二循環(huán)泵、第二閥門與分 流管入口相通。本實用新型的優(yōu)點是通過兩個循環(huán)泵的交替工作，使水可以循環(huán)利用，保證了沖 洗硅片的時間及水壓的穩(wěn)定，節(jié)省水資源的同時，使硅片沖洗的更徹底，更干凈，沖洗效率
高，可保證產(chǎn)品質(zhì)量。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中沖洗槽的俯視圖；圖3是圖1中沖洗槽的左視圖。圖中注水管1，水位控制裝置2，蓄水槽排水閥門3，蓄水槽4，出水管5，第一循環(huán) 泵6，第一閥門7，分流管8，第一路801，第二路802，第三路803，第四路804，第二閥門9，第 二循環(huán)泵10，過濾網(wǎng)11，沖洗水管12，沖洗槽排水閥門13，沖洗水管14，沖洗槽15，排水口 1501。
具體實施方式
如圖所示，該硅片沖洗機(jī)包括沖洗槽15和蓄水槽4，在沖洗槽15和蓄水槽4底部 分別設(shè)有沖洗槽排水閥門13、蓄水槽排水閥門3，在蓄水槽4上部設(shè)有注水管1，在蓄水槽4 內(nèi)對應(yīng)注水管1處設(shè)有水位控制裝置2，在蓄水槽4底部設(shè)有出水管5，出水管5經(jīng)過第一
3循環(huán)泵6和第一閥門7后通過分流管8與兩組沖洗水管12、14連接，每組沖洗水管可由二 個水管組成且在水管上設(shè)有多個噴水孔，相應(yīng)分流管8分為第一路801、第二路802、第三路 803和第四路804，其中第一組沖洗水管12的二個水管分別與分流管的第一路801、第二路 802連接，第二組沖洗水管14的二個水管分別與分流管8的第三路803、第四路804連接。 兩組沖洗水管12、14呈一高一低分別由沖洗槽15兩側(cè)穿入并橫貫沖洗槽15并且搭在沖洗 槽15兩側(cè)的安裝孔內(nèi)，在沖洗槽15底部還設(shè)有循環(huán)水出口 1501，在循環(huán)水出口 1501上設(shè) 有過濾網(wǎng)11，循環(huán)水出口 1501經(jīng)過過濾網(wǎng)11、第二循環(huán)泵10、第二閥門9與分流管8入口 相通。 工作時，經(jīng)注水管1往蓄水槽4里注水，此時第一閥門7開啟，第二閥門9關(guān)閉，當(dāng) 蓄水槽4注滿水后，在第一循環(huán)泵6的作用下，蓄水槽4里的水經(jīng)分流管8分為四路，再經(jīng) 兩組沖洗水管12、14分別注入沖洗槽15的兩側(cè)并沖洗硅片。沖洗約10分鐘后，打開沖洗 槽排水閥門13，若發(fā)現(xiàn)流出清水時關(guān)閉此閥門，同時關(guān)閉第一循環(huán)泵6、第一閥門7，開啟第 二閥門9、第二循環(huán)泵10，在第二循環(huán)泵10的作用下，沖洗槽15里的水再次經(jīng)過濾網(wǎng)11、分 流管8、沖洗水管12及14，形成兩組水流分別注入沖洗槽15的兩側(cè)并沖洗硅片，從而實現(xiàn) 沖洗槽15里水的內(nèi)循環(huán)。
權(quán)利要求一種硅片沖洗機(jī)，包括沖洗槽，在沖洗槽底部設(shè)有沖洗槽排水閥門，其特征是該硅片沖洗機(jī)還設(shè)有蓄水槽，在蓄水槽上部和底部分別設(shè)有注水管和蓄水槽排水閥門，在蓄水槽內(nèi)對應(yīng)注水管處設(shè)有水位控制裝置，在蓄水槽底部設(shè)有出水管，出水管經(jīng)過第一循環(huán)泵和第一閥門后通過分流管與兩組沖洗水管連接，每組沖洗水管由二個水管組成，兩組沖洗水管呈一高一低分別由沖洗槽兩側(cè)穿入并橫貫沖洗槽，在沖洗槽底部還設(shè)有循環(huán)水出口，循環(huán)水出口經(jīng)過過濾網(wǎng)、第二循環(huán)泵、第二閥門與分流管入口相通。
專利摘要一種可自動供水并可循環(huán)利用，確保水壓高、穩(wěn)定，沖洗效率高，可保證產(chǎn)品質(zhì)量的硅片清洗機(jī)，包括沖洗槽，其特殊之處是該硅片沖洗機(jī)還設(shè)有蓄水槽，在蓄水槽上部和底部分別設(shè)有注水管和蓄水槽排水閥門，在蓄水槽內(nèi)對應(yīng)注水管處設(shè)有水位控制裝置，在蓄水槽底部設(shè)有出水管，出水管經(jīng)過第一循環(huán)泵和第一閥門后通過分流管與兩組沖洗水管連接，兩組沖洗水管呈一高一低分別由沖洗槽兩側(cè)穿入并橫貫沖洗槽，在沖洗槽底部還設(shè)有循環(huán)水出口，循環(huán)水出口經(jīng)過過濾網(wǎng)、第二循環(huán)泵、第二閥門與分流管入口相通。通過兩個循環(huán)泵的交替工作，使水可以循環(huán)利用，保證了沖洗硅片的時間及水壓的穩(wěn)定，節(jié)省水資源的同時，使硅片沖洗的更徹底、更干凈。
文檔編號B08B3/02GK201676839SQ20102015929
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月11日
發(fā)明者劉哲, 張昱博, 陳立民, 陳鵬 申請人:錦州陽光能源有限公司