專利名稱：一種自動接液器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及濕法清洗設備的結構改進，尤其涉及一種用于濕法清洗設備的自 動接液器。
背景技術：
在半導體工藝中，幾乎每一道工序都要用到晶圓清洗的問題，晶圓清洗的好壞對 器件性能有重要的影響，如果處理不當，會嚴重影響晶圓的性能，影響晶圓的穩(wěn)定性和可靠 性，甚至會導致晶圓報廢。因此晶圓清洗對于半導體器件生產(chǎn)具有重要作用，濕法化學清洗 是一種常見的晶圓清洗技術，該技術利用各種化學試劑和有機溶劑與吸附在被清洗物體表 面上的雜質(zhì)和油污發(fā)生化學反應或溶解作用，或伴以超聲、加熱、抽真空等物理措施，使雜 質(zhì)從被清除物體的表面脫附(解吸)，然后用大量高純熱、冷去離子水沖洗，從而獲得晶圓 結晶表面。所以在濕法化學清洗時，用到多種化學試劑，多種液體化學物質(zhì)通過濕法清洗設 備的不同噴嘴管噴出，噴到晶圓表面進行清理。圖1為現(xiàn)有的一種濕法清洗設備的噴嘴管 示意圖。參考圖1，當用到其中一種化學試劑時，打開該化學試劑對應的噴嘴管10，對晶圓 進行化學處理，同時關閉其他噴嘴管。然而當關閉噴嘴管時，仍有一些化學試劑殘留物流到晶圓上。殘留的化學試劑會 污染晶圓，甚至影響晶圓的產(chǎn)量。所以很多濕法清洗設備廠商為解決這一問題，想出了很多 解決辦法，其中之一就是在噴嘴管上設置倒吸閥，就是在該噴嘴管關閉后啟動倒吸閥，將噴 嘴管內(nèi)殘留液體化學物質(zhì)吸出。這種倒吸閥不能完全吸出殘留液體化學物質(zhì)，容易出現(xiàn)故 障，且價格昂貴。

實用新型內(nèi)容為解決現(xiàn)有濕法清洗設備使用完后，噴嘴管內(nèi)殘留液體化學物質(zhì)滴落在晶圓上污 染晶圓的問題，本實用新型提供一種自動接液器，且該自動接液器符合結構簡單、操作方 便、不易損壞、成本低廉等要求。為解決上述問題，本實用新型提供一種自動接液器，所述自動接液器包括接液杯、 導液管、機械臂和控制裝置；所述導液管與所述接液杯的底部密封連接，所述機械臂的一端 設置有機械臂手，所述機械壁手支撐所述接液杯，所述機械臂的另一端與所述控制裝置電 性相連。較佳的，所述接液杯形狀為上大下小的圓臺狀。進一步的，所述自動接液器的材料為耐酸堿材料。進一步的，所述接液杯和所述導液管的材料為塑料。綜上所述，所述自動接液器解決了殘留化學物質(zhì)對晶圓的污染問題，在實際使用 中，有效提高了所述晶圓的產(chǎn)量且所述自動接液器的結構簡單。進一步的，所述自動接液器的取材方便、使用壽命長且成本較低。
圖1為現(xiàn)有的一種濕法清洗設備的噴嘴管示意圖。圖2為本實用新型一個實施例中自動接液器的結構示意圖。圖3為本實用新型實施例中所述自動接液器的使用示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結合說明書附圖，對本實用新型的內(nèi) 容作進一步說明。當然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領域內(nèi)的普通及說人員所 熟知的一般替換也涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細的表述，在詳述本實用新型實例時，為了 便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應以此作為對本實用新型的限定。圖2為本實用新型一個實施例中自動接液器的結構示意圖。圖3為本實用新型實 施例中所述自動接液器的使用示意圖。參考圖2所示，本實用新型提出一種自動接液器，在 濕法清洗設備中，所述自動接液器用于接噴嘴管10滴落的殘留化學液體，防止殘留化學液 體滴落在噴嘴管10下方的晶圓20上，所述自動接液器位于所述噴嘴管10和所述晶圓20 之間，參考圖2所示，所述自動接液器包括接液杯1、導液管2、機械臂3和控制裝置4 ；在本 實施例中所述接液杯1的形狀為能承接液體的杯狀即可，如圓柱、立方柱或上大下小的圓 臺狀，其中較佳的是上大下小的圓臺狀；所述導液管2與所述接液杯1底部密封連接，所述 導液管2另一端與廢液收集處(圖中未標示)相連，所述化學液體流入所述接液杯1后順 所述導液管2流到所述廢液收集處；所述機械臂3 —端設置有機械臂手3a，所述機械臂手 3a環(huán)繞所述接液杯1，緊抓使所述接液杯1固定在所述機械臂手3a上，所述機械臂3另一 端與所述控制裝置4電性相連，在本實施例中，所述控制裝置4與所述濕法清洗設備的控制 裝置相配合，所述機械臂3在所述控制裝置4的控制下可水平移動。進一步的，所述自動接液器的材料為耐酸堿材料。進一步的，所述接液杯1和所述導液管2的材料為塑料。在本實施例中，所述接液 杯1和所述導液管2的材料為PFA塑料，這種塑料取材方便，成本低，易于制作成型，且耐酸 堿腐蝕，使用壽命長。請參考圖2所示，濕法清洗設備使用中，要進行濕法清洗前，所述控制 裝置4控制機械臂3水平移動，使接液杯移開噴嘴管10和晶圓20之間，開啟所述噴嘴管 10，所述噴嘴管10對準晶圓20，噴出相應的液體化學物質(zhì)對晶圓20進行清洗，當濕法清洗 結束時，關閉噴嘴管10，控制裝置4隨即控制機械臂3反向水平移動，使接液杯移回至噴嘴 管10和晶圓20之間，接殘留的液體化學物質(zhì)。綜上所述，所述自動接液器解決了殘留化學物質(zhì)對晶圓20的污染問題，在實際使 用中，有效增加了所述晶圓20的產(chǎn)量，并且所述自動接液器的結構簡單、取材方便、使用壽 命長且成本較低。雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本實用新型，任何 所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，當可作些許的更 動與潤飾，因此本實用新型的保護范圍當視權利要求書所界定者為準。
權利要求一種自動接液器，其特征在于，包括接液杯、導液管、機械臂和控制裝置；所述導液管與所述接液杯的底部密封連接，所述機械臂的一端設置有機械臂手，所述機械壁手支撐所述接液杯，所述機械臂的另一端與所述控制裝置電性相連。
2.如權利要求1所述的自動接液器，其特征在于，所述接液杯形狀為上大下小的圓臺狀。
3.如權利要求1所述的自動接液器，其特征在于，所述自動接液器的材料為耐酸堿材料。
4.如權利要求1所述的自動接液器，其特征在于，所述接液杯和所述導液管的材料為塑料。
專利摘要本實用新型提供一種自動接液器，包括接液杯、導液管、機械臂和控制裝置；所述導液管與所述接液杯的底部密封連接，所述機械臂的一端設置有機械臂手，所述機械壁手支撐接液杯，所述機械臂的另一端與所述控制裝置電性相連。所述自動接液器有效解決了殘留化學物質(zhì)對晶圓的污染，在實際使用中，提高了晶圓的產(chǎn)量，并且所述自動接液器的結構簡單、取材方便、使用壽命長且成本低廉。
文檔編號B08B3/08GK201684764SQ20102021609
公開日2010年12月29日 申請日期2010年6月4日 優(yōu)先權日2010年6月4日
發(fā)明者丁士成, 沈憶華, 袁馨 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司