專利名稱：聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于清洗硅片的聚四氟乙烯花籃，尤其涉及一種可清洗多 片、多規(guī)格的硅片的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造技術(shù)中，清洗硅片是貫穿工藝制造流程中必不可少的關(guān)鍵步 驟。如果硅片表面的潔凈度質(zhì)量達(dá)不到要求，無論其它工藝步驟控制的多優(yōu)秀，也不可能獲 得高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件。清洗花籃是硅片清洗工藝的重要工具。眾所周知，聚四氟乙烯具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn) 定性，耐腐蝕性，高潤滑不粘性、電絕緣性、抗老化耐力以及耐高溫性，是制作清洗花籃的最 好材料之一。目前市面上的聚四氟乙烯清洗花籃一般用于大尺寸的硅片清洗，比如6寸、 8寸等。然而在實(shí)驗室探索新器件、新工藝流程的時候，為了節(jié)省材料，通常用2cmX2cm、 IcmX Icm，甚至更小的片子，有些還是不規(guī)則的，特別是使用砷化鎵，氮化鎵等價格昂貴的 材料，因此小片的清洗是不可避免的。而這種用于小片清洗的花籃在市面上很少看到。一般市場上的小片清洗用花籃往往存在這樣幾個問題第一，不宜同時洗幾個小 片。如果花籃只有一個凹槽的話，剛放幾個小片的時候不會重疊，一旦泡進(jìn)水里，小片滑動， 很容易接觸到別的片子。片子之間容易造成摩擦損傷。第二，無法使片子的兩面都得到充 分的清洗。小片放入花籃后，正面可以充分的接觸水，但是背面往往一直貼著花籃，無法得 到充分的清洗。第三，花籃長期使用容易導(dǎo)致把手和籃子的接觸部位脫落。一般為了機(jī)械 加工方便和節(jié)省聚四氟乙烯材料，把手和籃子都是分開制作，然后使用一種簡單的機(jī)械卡 槽將兩個部分固定在一起。雖然聚四氟乙烯材料雖然抗高溫抗酸堿能力很強(qiáng)，但是長時間 使用后接觸部分仍不可避免的發(fā)生形變，使把手和籃子的接觸部位松動，籃子較容易脫落。 目前發(fā)現(xiàn)市面上的產(chǎn)品用半年或一年就會產(chǎn)生籃子脫落的情況，無法繼續(xù)使用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其針對現(xiàn)有的小片 用清洗花籃的不足，著重解決了其清洗數(shù)量受限制，清洗效率低和使用壽命短的問題。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案—種聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，包括把手和一個以上花籃本體，其特征在于 所述把手上設(shè)置一個以上卡槽，所述花籃本體的一側(cè)部設(shè)置可與所述卡槽緊密插接配合的 突出部。進(jìn)一步地講所述卡槽為燕尾形卡槽或階梯式卡槽。所述卡槽采用T型卡槽。所述T型卡槽為三個以上，其沿軸向平行分布于所述把手上。所述花籃本體上端面上分布二個以上可以容置硅片的淺槽。[0013]所述花籃本體上端面上均勻分布九個矩形淺槽。所述花籃本體上端面為矩形面，所述矩形淺槽的長邊與矩形面的長邊平行。所述花籃本體上端面上均勻分布六個正方形淺槽。所述淺槽的槽底部設(shè)置復(fù)數(shù)個豎直通孔。所述花籃本體上端面為矩形面，所述突出部設(shè)置于所述矩形面長邊所在一側(cè)。由于采用了上述方案，使得本實(shí)用新型較之現(xiàn)有技術(shù)，具有如下積極效果(1)由于花籃的每個部分得到了充分的隔離，使得多片的清洗成為了可能；(2)花籃的底部有小孔，可以保證片子與水的充分接觸，提高了清洗的效果；(3)花籃與把手采用T型卡槽結(jié)構(gòu)配合的形式，既方便了安裝、拆卸和保存，也使 得花籃經(jīng)久耐用，不易脫落。

圖1是本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
中一種聚四氟乙烯清洗花籃的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中所示一種花籃本體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖1中所示另一種花籃本體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖1中所示把手的示意圖；圖5是另一種把手的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及一較佳實(shí)施例對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作詳細(xì)說明。如圖1所示，該較佳實(shí)施例所披露之聚四氟乙烯清洗花籃包括由聚四氟乙烯制成 的一把手1以及與把手固定連接的三個花籃本體2、2’、3。其中，第一、二花籃本體2、2’的結(jié)構(gòu)完全相同，如圖2所示，該兩個花籃本體均為 矩形體，其上端面上均勻分布有九個淺槽4，其可經(jīng)由該工藝制成，即對花籃首先沿短邊 方向分割成三部分，再在長邊方向用很淺的槽分別隔成三段。這樣的好處是把整個花籃分 割成互相隔開的九個部分，每個部分可以分別放小片(小規(guī)格的硅片)進(jìn)行清洗。小片可 以斜著靠在槽的邊上，以便充分地浸入水中。每個部分底下打10個小孔5，這樣也有助與水 和片子的充分接觸，改善清洗的效果。如圖3所示系為第三花籃本體3的結(jié)構(gòu)示意圖，該花籃本體亦為矩形體，但其上端 面上均勻分布六個淺槽6，其由如下工藝制成，S卩對花籃先沿短邊方向分割成兩部分，再 在長邊方向用淺槽隔成三段，這樣就能得到互相隔開的六個部分。然后再在底下打上9個 小孔7。除了具有以上第一、二花籃本體的優(yōu)點(diǎn)以外，該花籃本體分割后每個部分呈正方形， 面積稍大的花籃還有一個特殊的用途，就是可以把小片橫著整個放進(jìn)這一個個區(qū)域，而不 用斜著放。這主要是用來進(jìn)行工藝中的剝離，由于剝離的時候只需要溶液和片子的一個面 充分作用，經(jīng)實(shí)踐，橫著放片子比斜著放更有利于剝離的快速進(jìn)行。此外，片子的長邊方向 只用很淺的槽隔離，這主要是為了放大一點(diǎn)的片子，這樣設(shè)計，即使是1寸2寸片子也可以 放在槽中清洗。進(jìn)一步地，如果需要用這套設(shè)備經(jīng)常清洗2寸片的話，還可以在第三花籃本 體結(jié)構(gòu)設(shè)計的基礎(chǔ)上，在短邊方向上挖一個窄槽，就可以把二寸片卡進(jìn)槽中清洗。上述兩種花籃本體的一側(cè)部，尤其是矩形長邊所在一側(cè)部還設(shè)置有一突出部，與之相應(yīng)的，所述把手上可設(shè)有三個以上T型卡槽8、9、10，通過將上述兩種花籃本體的凸出 部分11、12、13分別插進(jìn)相應(yīng)的卡槽中，即可使花籃本體與把手緊固連接，而當(dāng)要拆卸花籃 時，只需將花籃本體從把手的卡槽中拔出即可。如此，清洗花籃可隨時安裝或者拆卸，方便 了移動和保管。且根據(jù)實(shí)際工作的需要，可隨時選擇增減連接在把手上的花籃本體的數(shù)量 和規(guī)格，這樣對清洗的容錯性和效率都有很大的提高。另外相對于簡單的機(jī)械卡住或者是 一個凸出部分套一個圓孔的辦法，這種方式卡的更緊，很難由于形變導(dǎo)致脫落，從而使得清 洗花籃更加經(jīng)久耐用。藉本較佳實(shí)施例的清洗花籃，操作人員每次至少可同時清洗M個片子，若統(tǒng)一采 用第一、二花籃本體，則每次最少可同時清洗27個片子，既增加了清洗的數(shù)量，也提高了清 洗的效率。需要說明的是，本實(shí)用新型中，花籃本體亦可采用除矩形體之外的其他形態(tài)，且花 籃本體上設(shè)置的淺槽也可根據(jù)實(shí)際需要采用圓形、菱形或其他任意不規(guī)則形態(tài)，此外，所述 把手1’上的卡槽亦可采用臺階形、燕尾形卡槽14(如圖5所示)或其他類似具有卡扣功能 之形態(tài)。因此，以上實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型的內(nèi)容，除此之外，本實(shí)用新型還有其他 實(shí)施方式，但凡本領(lǐng)域技術(shù)人員因本實(shí)用新型所涉及之技術(shù)啟示，而采用等同替換或等效 變形方式形成的技術(shù)方案均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，包括把手和一個以上花籃本體，其特征在于 所述把手上設(shè)置一個以上卡槽，所述花籃本體的一側(cè)部設(shè)置可與所述卡槽緊密插接配合的 突出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述卡槽為燕 尾形卡槽或階梯式卡槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述卡槽采用T 型卡槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述T型卡槽 為三個以上，其沿軸向平行分布于所述把手上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述花籃本體 上端面上分布二個以上可以容置硅片的淺槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述花籃 本體上端面上均勻分布九個矩形淺槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述花籃本體 上端面為矩形面，所述矩形淺槽的長邊與矩形面的長邊平行。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述花籃 本體上端面上均勻分布六個正方形淺槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述淺槽的槽 底部設(shè)置復(fù)數(shù)個豎直通孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其特征在于所述花籃本體 上端面為矩形面，所述突出部設(shè)置于所述矩形面長邊所在一側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗工藝中的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其包括把手和一個以上花籃本體，所述把手上設(shè)置一個以上卡槽，所述花籃本體的一側(cè)部設(shè)置可與所述卡槽緊密插接配合的突出部。所述卡槽優(yōu)選采用T型卡槽。所述花籃本體上端面上分布二個以上可以容置硅片的淺槽。所述淺槽的槽底部設(shè)置復(fù)數(shù)個豎直通孔。本實(shí)用新型在保有現(xiàn)有聚四氟乙烯清洗花籃各種優(yōu)點(diǎn)的同時，還可用于同時清洗多品種、多規(guī)格的多片小片，且其底部設(shè)置的通孔還提高了清洗的效率，再者，利用卡槽，尤其是T型卡槽固定花籃本體和把手，使得清洗花籃更加堅固耐用，且便于安裝拆卸，并使得清洗花籃還易于運(yùn)輸和收儲。
文檔編號B08B3/04GK201913087SQ20102054757
公開日2011年8月3日 申請日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者崔國新, 張宇翔, 張耀輝, 朱明皓, 李文, 殷志珍, 許家明, 黃寓洋 申請人:中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所