專(zhuān)利名稱(chēng)：一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種沖洗機(jī)構(gòu)，特別涉及一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，屬于硅片加工的技術(shù) 領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
由于硅片體積小，厚度薄，因此，硅片之間極易產(chǎn)生靜電。將硅片從盒子內(nèi)倒出時(shí)， 由于靜電作用，常常有硅片粘貼在盒子內(nèi)，造成硅片的浪費(fèi)。傳統(tǒng)的方法是采用吹風(fēng)機(jī)將這 些貼在盒子內(nèi)的硅片吹出，該方法雖可取出硅片，但操作不方便，且硅片吹出后容易到處亂 飛。不易收集。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，近來(lái)，出現(xiàn)了一種硅片氣流沖洗裝置，包括盒體、封閉空 腔、氣流通道及氣源，盒體與氣流通道相對(duì)的設(shè)置在封閉空腔上，所述盒體的開(kāi)口端與所述 氣流通道的出氣口相對(duì)，所述氣流通道的進(jìn)氣口與氣源通。盒體的開(kāi)口端連接與封閉空腔 的通道相通，通常通過(guò)盒體的外周面與封閉空腔通道的內(nèi)周面緊密配合來(lái)實(shí)現(xiàn)盒體與封閉 空腔的連接。該結(jié)構(gòu)的硅片沖洗裝置，由于是通過(guò)盒體的外周面與封閉空腔的通道的內(nèi)周 面緊密配合實(shí)現(xiàn)連接的，使用時(shí)間了以后，封閉空腔通道的內(nèi)周面容易出現(xiàn)磨損，從而，導(dǎo) 致封閉空腔與盒體的連接不牢。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種連接方便，使用壽命長(zhǎng)且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的硅片 的沖洗機(jī)構(gòu)。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，包括盒體、封閉空腔，所述 盒體與所述封閉空腔通過(guò)連接裝置連接成一體，所述連接裝置包括設(shè)置在封閉空腔上的通 孔，所述通孔內(nèi)周面上通過(guò)連接座均勻設(shè)有若干滾珠，連接時(shí)，所述盒體外周面與所述滾珠 相配合。上述一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，其中，所述連接座為管狀構(gòu)件，所述管狀構(gòu)件的內(nèi)周面 上均勻設(shè)有若干橫向凹槽，所述滾珠均勻嵌入相應(yīng)的凹槽內(nèi)，并與所述凹槽活動(dòng)連接。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)以下益效果1、由于本發(fā)明包括設(shè)置在封閉空腔上的通孔，所述通孔內(nèi)周面上通過(guò)連接座均勻 設(shè)有若干滾珠；盒體與封閉空腔連接時(shí)，盒體的外周面與封閉空腔通孔的內(nèi)周面之間的配 合為滾動(dòng)摩擦，摩擦力小，可避免封閉空腔由于長(zhǎng)時(shí)間摩擦而損壞，從而，延長(zhǎng)了沖洗裝置 的使用時(shí)間，且使盒體與封閉空腔的連接更加方便，且本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。2、由于所述連接座為管狀構(gòu)件，所述管狀構(gòu)件的內(nèi)周面上均勻設(shè)有若干橫向凹槽， 所述滾珠均勻嵌入相應(yīng)的凹槽內(nèi)，并與所述凹槽活動(dòng)連接，可使?jié)L珠的連接更加方便、可靠。
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]圖2是本發(fā)明連接座的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，包括盒體5、封閉 空腔1、氣源6及氣流通道7，所述盒體5與所述封閉空腔1通過(guò)連接裝置連接成一體，所述 連接裝置包括設(shè)置在封閉空腔1上的通孔，所述通孔內(nèi)周面上通過(guò)連接座3均勻設(shè)有若干 滾珠4，盒體5與封閉空腔1連接時(shí)，盒體的外周面與封閉空腔通孔內(nèi)周面之間的配合為滾 動(dòng)摩擦，摩擦力小，可避免封閉空腔1由于長(zhǎng)時(shí)間摩擦而損壞，從而，延長(zhǎng)了沖洗裝置的使 用時(shí)間，且使盒體與封閉空腔1的連接更加方便，且本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。連接座3不受限制，連接座3可以為均勻設(shè)置在通孔內(nèi)周面上的凹槽，也可為其他 構(gòu)件；本發(fā)明為了使?jié)L珠的安裝更加方便，將連接座設(shè)計(jì)為管狀構(gòu)件，所述管狀構(gòu)件的內(nèi)周 面上均勻設(shè)有若干橫向凹槽31，所述滾珠4均勻嵌入相應(yīng)的凹槽31內(nèi)，并與所述凹槽31活 動(dòng)連接，凹槽31為倒T形槽，由于所述連接座3為管狀構(gòu)件，所述管狀構(gòu)件的內(nèi)周面上均勻 設(shè)有若干橫向凹槽31，所述滾珠4均勻嵌入相應(yīng)的凹槽31內(nèi)，并與所述凹槽31活動(dòng)連接， 可使?jié)L珠4的安裝更加方便、連接更加可靠。綜上所述，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、結(jié)實(shí)耐用、成本低廉且連接可 靠的優(yōu)點(diǎn)。這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說(shuō)明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實(shí)施例 中，因此，本發(fā)明不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護(hù) 的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，包括盒體、封閉空腔，所述盒體與所述封閉空腔通過(guò)連接裝置 連接成一體，其特征在于，所述連接裝置包括設(shè)置在封閉空腔上的通孔，所述通孔內(nèi)周面上 通過(guò)連接座均勻設(shè)有若干滾珠，連接時(shí)，所述盒體外周面與所述滾珠相配合。
2.如權(quán)利要求1所述一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連接座為管狀構(gòu)件，所述 管狀構(gòu)件的內(nèi)周面上均勻設(shè)有若干橫向凹槽，所述滾珠均勻嵌入相應(yīng)的凹槽內(nèi)，并與所述 凹槽活動(dòng)連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片的沖洗機(jī)構(gòu)，包括盒體、封閉空腔，所述盒體與所述封閉空腔通過(guò)連接裝置連接成一體，所述連接裝置包括設(shè)置在封閉空腔上的通孔，所述通孔內(nèi)周面上通過(guò)連接座均勻設(shè)有若干滾珠，由于本實(shí)用新型包括設(shè)置在封閉空腔上的通孔，所述通孔內(nèi)周面上通過(guò)連接座均勻設(shè)有若干滾珠；盒體與封閉空腔連接時(shí)，盒體的外周面與封閉空腔通孔的內(nèi)周面之間的配合為滾動(dòng)摩擦，摩擦力小，可避免封閉空腔由于長(zhǎng)時(shí)間摩擦而損壞，從而，延長(zhǎng)了沖洗裝置的使用時(shí)間，且使盒體與封閉空腔的連接更加方便，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)B08B5/02GK201832810SQ20102057951
公開(kāi)日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2010年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者聶金根 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司