專(zhuān)利名稱(chēng)：石英坩堝清洗機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型特別涉及一種石英坩堝清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，石英坩堝是用高純石英砂經(jīng)過(guò)高溫融化形成的一種玻璃態(tài)器皿，經(jīng)過(guò)切磨、 檢驗(yàn)、浸泡、清洗、烘干等工藝直接投入生產(chǎn)是國(guó)內(nèi)外坩堝生產(chǎn)廠(chǎng)家的普遍做法。這種做法制成的坩堝在熔制成型后，在切磨和檢驗(yàn)過(guò)程中表面容易粘有油或手印，雖然要通過(guò)手工浸泡、清洗，但難以清洗干凈，在投入生產(chǎn)時(shí)會(huì)影響拉單晶硅的質(zhì)量和合格率，而且手工清洗勞動(dòng)強(qiáng)度大，工作效率低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題，提供一種可對(duì)石英坩堝內(nèi)、 外表面進(jìn)行高壓清洗，清洗干凈徹底，能夠提高石英坩堝的質(zhì)量，最終提高拉單晶硅的質(zhì)量和合格率，并可降低勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率的石英坩堝清洗機(jī)。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的它有一個(gè)機(jī)架，在機(jī)架內(nèi)下部設(shè)有支撐座，在支撐座上通過(guò)軸承座安裝有可旋轉(zhuǎn)的空心軸，在空心軸上端固接有轉(zhuǎn)盤(pán)，在轉(zhuǎn)盤(pán)上表面均布有卡盤(pán)爪，在空心軸內(nèi)貫穿有上水管，在上水管上端連接有U形內(nèi)噴淋管，在機(jī)架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與空心軸下端連接傳動(dòng)，在機(jī)架上位于轉(zhuǎn)盤(pán)一側(cè)設(shè)有弧形外噴淋管，在U形內(nèi)噴淋管和外噴淋管上分別均布有噴嘴，上水管和外噴淋管下端分別與進(jìn)水管路連通，在機(jī)架下部圍設(shè)有水槽。上述的石英坩堝清洗機(jī)，所述的支撐座、軸承座和空心軸下部位于水槽內(nèi)。上述的石英坩堝清洗機(jī)，所述的驅(qū)動(dòng)裝置是由固定在機(jī)架上端的電機(jī)和減速機(jī)連接而成。上述的石英坩堝清洗機(jī)，在空心軸上端固接有一個(gè)法蘭盤(pán)，所述的轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)法蘭盤(pán)與主軸相連接。上述的石英坩堝清洗機(jī)，所述的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是由垂直安裝在機(jī)架內(nèi)一側(cè)的傳動(dòng)軸和連接傳動(dòng)軸與空心軸的皮帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，所述的傳動(dòng)軸上端與驅(qū)動(dòng)裝置輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)該石英坩堝清洗機(jī)能夠?qū)κ③釄鍍?nèi)、外表面進(jìn)行高壓清洗，清洗干凈徹底，能夠徹底清洗掉坩堝表面的油污或手印，可提高石英坩堝的質(zhì)量， 最終提高拉單晶硅的質(zhì)量和合格率；同時(shí)能夠降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的左視圖。圖中機(jī)架1，支撐座2，皮帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3，軸承座4，法蘭盤(pán)5，轉(zhuǎn)盤(pán)6，卡盤(pán)爪7，上水管8，內(nèi)噴淋管9，軸座10，傳動(dòng)軸11，電機(jī)12，減速機(jī)13，支架14，外噴淋管15，石英坩堝 16，噴嘴17，進(jìn)水管路18，水槽19，空心軸20。
具體實(shí)施方式
如圖所示，本實(shí)用新型有一個(gè)機(jī)架1，在機(jī)架1下部圍設(shè)有水槽19，在水槽19內(nèi)中部固設(shè)有支撐座2，在支撐座2上通過(guò)軸承座4和軸承安裝有可旋轉(zhuǎn)的空心軸20，在空心軸 20上端固接有一個(gè)法蘭盤(pán)5并通過(guò)法蘭盤(pán)5連接有一個(gè)轉(zhuǎn)盤(pán)6，在轉(zhuǎn)盤(pán)6上表面均布有卡盤(pán)爪7。在空心軸20內(nèi)貫穿有上水管8，在上水管8上端連接有U形內(nèi)噴淋管9。在機(jī)架1 上設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置是由固定在機(jī)架1上端的電機(jī)12和減速機(jī)13連接而成。驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與空心軸20下端連接傳動(dòng)，所述的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是由通過(guò)軸座10垂直安裝在機(jī)架1內(nèi)一側(cè)的傳動(dòng)軸11和連接傳動(dòng)軸11與空心軸20的皮帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)3構(gòu)成，所述的傳動(dòng)軸11上端與減速機(jī)13輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器連接。在機(jī)架1上位于轉(zhuǎn)盤(pán)6—側(cè)固定有弧形支架14，在弧形支架14上固定有弧形外噴淋管15，在U形內(nèi)噴淋管9和外噴淋管15上分別均布有噴嘴17，上水管8和外噴淋管15 下端分別管路與進(jìn)水管路18連通。使用時(shí)，將進(jìn)水管路18與高壓泵連接，將石英坩堝16放入機(jī)架1內(nèi)并且口朝下倒置于卡盤(pán)爪7對(duì)應(yīng)的階梯上，啟動(dòng)電機(jī)12，通過(guò)減速機(jī)13和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)空心軸20和轉(zhuǎn)盤(pán) 6低速旋轉(zhuǎn)，放置在轉(zhuǎn)盤(pán)6上的石英坩堝16隨之旋轉(zhuǎn)，高純水通過(guò)高壓泵經(jīng)內(nèi)噴淋管9和外噴淋管15對(duì)坩堝內(nèi)、外表面進(jìn)行清洗。
權(quán)利要求1.一種石英坩堝清洗機(jī)，其特征是它有一個(gè)機(jī)架，在機(jī)架內(nèi)下部設(shè)有支撐座，在支撐座上通過(guò)軸承座安裝有可旋轉(zhuǎn)的空心軸，在空心軸上端固接有轉(zhuǎn)盤(pán)，在轉(zhuǎn)盤(pán)上表面均布有卡盤(pán)爪，在空心軸內(nèi)貫穿有上水管，在上水管上端連接有U形內(nèi)噴淋管，在機(jī)架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與空心軸下端連接傳動(dòng)，在機(jī)架上位于轉(zhuǎn)盤(pán)一側(cè)設(shè)有弧形外噴淋管，在U形內(nèi)噴淋管和外噴淋管上分別均布有噴嘴，上水管和外噴淋管下端分別與進(jìn)水管路連通，在機(jī)架下部圍設(shè)有水槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝清洗機(jī)，其特征是所述的支撐座、軸承座和空心軸下部位于水槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝清洗機(jī)，其特征是所述的驅(qū)動(dòng)裝置是由固定在機(jī)架上端的電機(jī)和減速機(jī)連接而成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝清洗機(jī)，其特征是在空心軸上端固接有一個(gè)法蘭盤(pán)，所述的轉(zhuǎn)盤(pán)通過(guò)法蘭盤(pán)與主軸相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英坩堝清洗機(jī)，其特征是所述的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)是由垂直安裝在機(jī)架內(nèi)一側(cè)的傳動(dòng)軸和連接傳動(dòng)軸與空心軸的皮帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，所述的傳動(dòng)軸上端與驅(qū)動(dòng)裝置輸出軸通過(guò)聯(lián)軸器連接。
專(zhuān)利摘要一種石英坩堝清洗機(jī)，它有一個(gè)機(jī)架，在機(jī)架內(nèi)下部設(shè)有支撐座，在支撐座上安裝有可旋轉(zhuǎn)的空心軸，在空心軸上端固接有轉(zhuǎn)盤(pán)，在轉(zhuǎn)盤(pán)上表面均布有卡盤(pán)爪，在空心軸內(nèi)貫穿有上水管，在上水管上端連接有U形內(nèi)噴淋管，在機(jī)架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與空心軸下端連接傳動(dòng)，在機(jī)架上位于轉(zhuǎn)盤(pán)一側(cè)設(shè)有弧形外噴淋管，上水管和外噴淋管下端分別與進(jìn)水管路連通，在機(jī)架下部圍設(shè)有水槽。優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)該石英坩堝清洗機(jī)能夠?qū)κ③釄鍍?nèi)、外表面進(jìn)行高壓清洗，清洗干凈徹底，能夠徹底清洗掉坩堝表面的油污或手印，可提高石英坩堝的質(zhì)量，最終提高拉單晶硅的質(zhì)量和合格率；同時(shí)能夠降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。
文檔編號(hào)B08B9/28GK202123090SQ20112021529
公開(kāi)日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月23日
發(fā)明者侯建, 王震 申請(qǐng)人:錦州佑鑫電子材料有限公司