專利名稱：半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備，尤其涉及一種利用過濾器實(shí)現(xiàn)自身超純水系統(tǒng)循環(huán)利用的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工行業(yè)中，Spindle Accel半導(dǎo)體清洗機(jī)是一種常用的有機(jī)清洗設(shè)備。 而隨著節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)要求日漸深入人心，此類清洗機(jī)設(shè)備的零排放系統(tǒng)超純水循環(huán)利用便成為該清洗機(jī)的重要技術(shù)關(guān)鍵之一。由于清洗產(chǎn)品本身的特性，清洗的結(jié)果必然導(dǎo)致清洗機(jī)自身的過濾器需要經(jīng)常更換。然而即使是對(duì)于相對(duì)清潔度較高的半導(dǎo)體產(chǎn)品的清洗， 在國(guó)外原廠使用基本一個(gè)月更換一次過濾器，而在國(guó)內(nèi)使用后，在同等生產(chǎn)條件和產(chǎn)量下過濾器的更換頻率提升了數(shù)倍，給半導(dǎo)體加工帶來了巨大的成本消耗。如圖1所示，是傳統(tǒng)Spindle Accel內(nèi)部超純水循環(huán)管路示意圖。從圖示可見在傳統(tǒng)的超純水循環(huán)利用系統(tǒng)中，需要經(jīng)過三個(gè)過濾器(消電離過濾11、活性炭過濾12、微粒過濾13)，然后再經(jīng)過電阻率測(cè)量(Resistivity measurement)后，再進(jìn)入半導(dǎo)體產(chǎn)品的清洗腔室，清洗后的廢水再回收至超純水儲(chǔ)水箱。
發(fā)明內(nèi)容鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提出一種半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)。為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的上述目的，其技術(shù)方案為半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)， 其特征在于所述供水系統(tǒng)的組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱，與加熱水箱排放管相連的清洗泵，以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路，其中所述加熱水箱中設(shè)有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統(tǒng)，且所述加熱水箱中設(shè)有測(cè)量范圍高于60°C的水溫采集裝置。優(yōu)選的，所述電磁加熱系統(tǒng)具有自動(dòng)階梯式的溫度加熱單元，所述溫度加熱單元包括加熱器自動(dòng)切換控制器和兩個(gè)以上級(jí)別的有源電熱絲，并且水溫采集裝置的輸出端連至加熱器自動(dòng)切換控制器之中，不同級(jí)別的有源電熱絲在不同溫度區(qū)間內(nèi)為部分連通、全部連通或全部關(guān)閉。優(yōu)選的，所述電磁加熱系統(tǒng)具有防干燒控制單元，且加熱水箱設(shè)有水位測(cè)量裝置， 且水位測(cè)量結(jié)果輸出至防干燒控制單元，開啟或關(guān)閉所述電磁加熱系統(tǒng)。其中水位測(cè)量裝置包含加熱水箱中的浮球及其信號(hào)電路，且所述信號(hào)電路中設(shè)有延時(shí)繼電器。優(yōu)選的，所述加熱水箱排放管連接兩臺(tái)或兩臺(tái)以上的清洗泵，分別連通至兩套以上工藝腔。優(yōu)選的，該加熱水箱排放管與各清洗泵之間設(shè)有自動(dòng)供水切換控制單元。應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，可以在滿足半導(dǎo)體清洗所用超純水要求下，省卻傳統(tǒng)系統(tǒng)的多個(gè)過濾器及電阻率測(cè)量裝置，從而節(jié)省了可觀的加工成本，大大增加了設(shè)備正常運(yùn)行的時(shí)間。

圖1是傳統(tǒng)Spindle Accel內(nèi)部超純水循的供水管路循環(huán)示意圖。圖2是本發(fā)明改進(jìn)后一較佳實(shí)施例的供水系統(tǒng)框圖。圖3是圖2所示實(shí)施例中一條供水管路的循環(huán)示意圖。圖4是本實(shí)用新型防干燒控制單元和自動(dòng)供水切換控制單元的電路圖。圖5是本實(shí)用新型浮球及其信號(hào)電路示意圖。圖6是加熱器自動(dòng)切換控制的電路示意圖。
具體實(shí)施方式
以下便結(jié)合實(shí)施例附圖，對(duì)本實(shí)用新型改進(jìn)后的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)進(jìn)行說明，目的是為了公眾更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，而不是對(duì)該項(xiàng)技術(shù)內(nèi)容的限制。事實(shí)上，在本實(shí)用新型所述創(chuàng)造精神實(shí)質(zhì)內(nèi)，進(jìn)行的任意技術(shù)增減或等效替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型所要求保護(hù)的技術(shù)范圍之內(nèi)。如圖2和圖3所示的較佳實(shí)施例附圖，本實(shí)用新型提供的一種半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱(即超純水儲(chǔ)水箱)，與加熱水箱排放管相連的清洗泵，以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路，其中加熱水箱中設(shè)有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統(tǒng)，且該加熱水箱中設(shè)有測(cè)量范圍高于60°C的水溫采集裝置， 系統(tǒng)框圖中未明確圖示，以下詳細(xì)說明該加熱水箱中的結(jié)構(gòu)特征該電磁加熱系統(tǒng)具有自動(dòng)階梯式的溫度加熱單元，其包括加熱器自動(dòng)切換控制器和兩個(gè)以上級(jí)別的有源電熱絲，并且水溫采集裝置的輸出端連至加熱器自動(dòng)切換控制器之中，不同級(jí)別的有源電熱絲在不同溫度區(qū)間內(nèi)為部分連通、全部連通或全部關(guān)閉。例如當(dāng)其中水溫時(shí)，四條阻值分別為MK Ω，12ΚΩ，4ΚΩ，2ΚΩ全部有源電熱絲工作；當(dāng)水溫上升到40°C時(shí)，24ΚΩ受加熱器自動(dòng)切換控制器的控制而關(guān)閉；當(dāng)45°C時(shí)，1ΙΩ受控關(guān)閉； 50°C時(shí)，4ΚΩ受控關(guān)閉；溫度超過57°C范圍時(shí)，ΙΩ受控關(guān)閉；反之溫度下降時(shí)工作也成立。在加熱過程中，電磁加熱系統(tǒng)與水接觸，從而有效改善水質(zhì)，使其保持超純水的基本化學(xué)性能。通常情況下，只需加熱5分鐘或使水溫加熱至50士2°C，即可符合半導(dǎo)體清洗加工所需的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，因而可以省卻耗損量巨大的各種過濾器部分。作為以上實(shí)施例技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，如圖4至圖6所示，該電磁加熱系統(tǒng)具有防干燒控制單元，且加熱水箱設(shè)有水位測(cè)量裝置，且水位測(cè)量結(jié)果輸出至防干燒控制單元。 當(dāng)加熱水箱中的水位低于警戒閥值時(shí)，便控制電磁加熱系統(tǒng)停止工作，以防止干燒。而當(dāng)水位高于警戒閥值或即將注滿時(shí)，則控制電磁加熱系統(tǒng)繼續(xù)工作。其中水位測(cè)量裝置包含加熱水箱中的浮球及其信號(hào)電路，且信號(hào)電路中設(shè)有延時(shí)繼電器。這樣做的好處是避免當(dāng)加熱水箱中的水在臨界滿點(diǎn)時(shí)因浮球波動(dòng)而導(dǎo)致的信號(hào)不穩(wěn)，清洗泵等設(shè)備頻繁開關(guān)，甚至導(dǎo)致意外設(shè)備停機(jī)的現(xiàn)象發(fā)生。再者，從高效應(yīng)用的角度來看，本實(shí)用新型該供水系統(tǒng)的加熱水箱排放管可以連接兩臺(tái)或兩臺(tái)以上的清洗泵，分別連通至兩套以上工藝腔進(jìn)行清洗加工作業(yè)?；诖?，該加熱水箱排放管與各清洗泵之間還設(shè)有自動(dòng)供水切換控制單元，以方便控制加熱水箱向工藝腔之一供水還是向兩者都供水。[0022] 綜上來看應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，可以在滿足半導(dǎo)體清洗所用超純水要求下，省卻傳統(tǒng)系統(tǒng)的多個(gè)過濾器及電阻率測(cè)量裝置，從而節(jié)省了可觀的加工成本，大大增加了設(shè)備正常運(yùn)行的時(shí)間。
權(quán)利要求1.半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其特征在于所述供水系統(tǒng)的組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱，與加熱水箱排放管相連的清洗泵，以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路，其中所述加熱水箱中設(shè)有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統(tǒng)，且所述加熱水箱中設(shè)有測(cè)量范圍高于60°C的水溫采集裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其特征在于所述電磁加熱系統(tǒng)具有自動(dòng)階梯式的溫度加熱單元，所述溫度加熱單元包括加熱器自動(dòng)切換控制器和兩個(gè)以上級(jí)別的有源電熱絲，并且水溫采集裝置的輸出端連至加熱器自動(dòng)切換控制器之中，不同級(jí)別的有源電熱絲在不同溫度區(qū)間內(nèi)為部分連通、全部連通或全部關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其特征在于所述電磁加熱系統(tǒng)具有防干燒控制單元，且加熱水箱設(shè)有水位測(cè)量裝置，且水位測(cè)量結(jié)果輸出至防干燒控制單元，開啟或關(guān)閉所述電磁加熱系統(tǒng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其特征在于所述水位測(cè)量裝置包含加熱水箱中的浮球及其信號(hào)電路，且所述信號(hào)電路中設(shè)有延時(shí)繼電器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其特征在于所述加熱水箱排放管連接兩臺(tái)或兩臺(tái)以上的清洗泵，分別連通至兩套以上工藝腔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，其特征在于所述加熱水箱排放管與各清洗泵之間設(shè)有自動(dòng)供水切換控制單元。
專利摘要本實(shí)用新型揭示了一種半導(dǎo)體有機(jī)清洗設(shè)備的供水系統(tǒng)，該供水系統(tǒng)的組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱，與加熱水箱排放管相連的清洗泵，以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路，其中加熱水箱中設(shè)有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統(tǒng)，且加熱水箱中設(shè)有測(cè)量范圍高于60℃的水溫采集裝置。通過自動(dòng)階梯式的電磁加熱保持水質(zhì)，并且該加熱水箱還一個(gè)多套系統(tǒng)共用。應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，可以在滿足半導(dǎo)體清洗所用超純水要求下，省卻傳統(tǒng)系統(tǒng)的多個(gè)過濾器及電阻率測(cè)量裝置，從而節(jié)省了可觀的加工成本，大大增加了設(shè)備正常運(yùn)行的時(shí)間。
文檔編號(hào)B08B3/00GK202238722SQ201120384348
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月11日
發(fā)明者劉明, 徐國(guó)軍 申請(qǐng)人:康可電子(無(wú)錫)有限公司