專利名稱：超聲波清潔機(jī)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種超聲波清潔機(jī)裝置，特別是一種用于清潔面板的超聲波清潔機(jī) 裝置。
背景技術(shù)：
在制作面板的過程中，常常會(huì)有些瑕疵，如污潰、刮傷及氣泡。這些瑕疵會(huì)影響光阻涂布的均勻性，導(dǎo)致所制造出來的線路圖案缺陷，因此通常會(huì)利用自動(dòng)光學(xué)檢測儀器來檢測出這些瑕疵。而為了避免在制造過程中產(chǎn)生的殘膠或油脂擾亂檢測的結(jié)果，通常會(huì)在檢測前進(jìn)行殘膠清除步驟。公知的殘膠清除步驟，經(jīng)常利用清潔劑對面板制造過程中產(chǎn)生的殘膠或油污加以清除，這種方法是人工進(jìn)行，效率不佳。然而臺(tái)灣發(fā)明專利第1317694號(hào)公開了一種浸泡機(jī)，包括有機(jī)座、旋轉(zhuǎn)輸送機(jī)構(gòu)、出料機(jī)構(gòu)、入料機(jī)構(gòu)及料夾等等，其中機(jī)座上具有圓筒狀的浸泡槽，而旋轉(zhuǎn)輸送機(jī)構(gòu)設(shè)于浸泡槽內(nèi)，且旋轉(zhuǎn)輸送浸泡機(jī)構(gòu)上設(shè)置若干料夾。另外，出料機(jī)構(gòu)與入料機(jī)構(gòu)相鄰設(shè)置，并位于浸泡槽的一側(cè)，且出料機(jī)構(gòu)及入料機(jī)構(gòu)均與旋轉(zhuǎn)輸送機(jī)構(gòu)連結(jié)，可控制料件在料夾間進(jìn)行輸出與輸入，并經(jīng)過旋轉(zhuǎn)輸送機(jī)構(gòu)的傳輸，可使已進(jìn)入料夾的物料在浸泡槽內(nèi)一邊進(jìn)行長時(shí)間(30 60分鐘)的加熱浸泡，同時(shí)緩慢旋轉(zhuǎn)前進(jìn)。料件上殘留的余膠通過浸泡槽中的藥液，經(jīng)過足夠的溫度及時(shí)間反應(yīng)，可將殘膠去除。這種旋轉(zhuǎn)式的浸泡輸送方式，除了可以以連續(xù)式的一邊進(jìn)料另一邊同時(shí)出料作業(yè)以外，也大幅縮小了浸泡機(jī)的體積，以達(dá)到用最小空間處理相當(dāng)大量的料件殘膠去除作業(yè)。公知的清除殘膠方法，有時(shí)也會(huì)造成面板的損傷。因此，為了能在自動(dòng)光學(xué)檢測前清除面板上的殘膠，期待更為有效且經(jīng)濟(jì)的解決方案出現(xiàn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型是一種超聲波清潔機(jī)裝置，其包括一溶劑超聲波槽以及一界面活性劑超聲波槽。本實(shí)用新型主要是要達(dá)到快速有效且自動(dòng)化地將基板的殘膠及油污清除，并且不會(huì)使基材遭到損傷。本實(shí)用新型提供了一種超聲波清潔機(jī)裝置，其包括一溶劑超聲波槽，其中裝有可溶解殘膠的溶劑；以及一界面活性劑超聲波槽，其沿一動(dòng)線方向連接設(shè)置在溶劑超聲波槽的下游側(cè)，且其中裝有去除油污的界面活性劑。采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案，至少可達(dá)到下列有益效果一、自動(dòng)化地將基板的殘膠及油污清除。二、快速有效地將基板的殘膠及油污清除。三、有效地節(jié)省溶劑及界面活性劑成本。四、可以減少基板因?yàn)榍宄龤埬z動(dòng)作受到損傷的機(jī)率。為了使本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員了解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容并予以實(shí)施，且根據(jù)本說明書所公開的內(nèi)容、權(quán)利要求及說明書附圖，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員可輕易地理解本實(shí)用新型相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)，因此將在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本實(shí)用新型的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)。

圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的側(cè)視圖。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作一的示意圖。圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作二的示意圖。圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作三的示意圖。圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作四的示意圖。附圖標(biāo)號(hào)說明100 :超聲波清潔機(jī)裝置；10 :溶劑超聲波槽；20 :界面活性劑超聲波槽；30 :水超聲波槽；40 :熱風(fēng)干槽；50:轉(zhuǎn)向單元；60 :料片架；70 :夾送單元；71 :動(dòng)線方向；80 :傳送單元；90 自動(dòng)光學(xué)檢測裝置。
具體實(shí)施方式
圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的側(cè)視圖。圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作一的示意圖。圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作二的示意圖。圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作三的示意圖。圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種超聲波清潔機(jī)裝置的動(dòng)作四的示意圖。如圖I所示，本實(shí)施例為一種超聲波清潔機(jī)裝置100，其包括一溶劑超聲波槽10以及一界面活性劑超聲波槽20，另外還可進(jìn)一步包括至少一個(gè)水超聲波槽30 ;至少一個(gè)熱風(fēng)干槽40 ;—轉(zhuǎn)向單元50 ;至少一個(gè)料片架60 ;—夾送單元70 ;—傳送單元80以及一自動(dòng)光學(xué)檢測裝置90。基板可以大批量地放置于各個(gè)槽體中以進(jìn)行除膠、清洗、烘干等處理。溶劑超聲波槽10，其中裝有可溶解殘膠的溶劑，以利用超聲波震蕩溶劑以產(chǎn)生真空氣泡內(nèi)爆，而內(nèi)爆產(chǎn)生的沖擊，可以將浸沒在可溶解殘膠的溶劑中的基板表面的殘膠及污物震落剝離下來，如此一來可以將基板 上的細(xì)微殘膠及污物清洗干凈且不傷及基板的表面，尤其是用于制作面板的基板。界面活性劑超聲波槽20，其沿一動(dòng)線方向71連接設(shè)置在溶劑超聲波槽10的下游偵U。當(dāng)基板的殘膠清除完畢后，為了方便清除基板表面上的油污(例如油脂)，因此可在界面活性劑超聲波槽20中裝有去除油污的界面活性劑，以利用超聲波的震蕩空穴原理，將浸沒在可去除油污的界面活性劑中的基板表面上的油脂震落剝離下來。[0034]本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括至少一個(gè)水超聲波槽30，用以清除基板表面上殘余的溶劑、界面活性劑或未沖洗凈的污潰。為了使作業(yè)連貫，至少一個(gè)水超聲波槽30是沿動(dòng)線方向71連接設(shè)置在界面活性劑超聲波槽20的下游側(cè)，并且在水超聲波槽30中裝有純水或離子水等，以利用超聲波的震蕩空穴原理，將經(jīng)過溶劑超聲波槽10及界面活性劑超聲波槽20清除殘膠或油污后的基板浸沒在水中，以進(jìn)一步清除基板表面上殘余的溶劑、界面活性劑或未沖洗凈的污潰。本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括至少一個(gè)熱風(fēng)干槽40，熱風(fēng)干槽40沿動(dòng)線方向71連接設(shè)置在水超聲波槽30的下游側(cè)，以利于基板以水清潔的后，再經(jīng)由熱風(fēng)干槽40的風(fēng)刀切水以去除水珠，如此一來，熱風(fēng)干后的基板可以自動(dòng)化地直接進(jìn)行其它程序。本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括一轉(zhuǎn)向單元50，為了將已完成去殘膠、去油污、水洗凈及烘干的基板能自動(dòng)化地直接進(jìn)行其它程序，例如自動(dòng)光學(xué)檢測(Automated Optical Inspection, AOI),通常需要將原本是垂直的基板轉(zhuǎn)向成能水平放置在機(jī)臺(tái)上，因此轉(zhuǎn)向單元50沿動(dòng)線方向71連接設(shè)置在熱風(fēng)干槽40的下游側(cè)，以便將基板轉(zhuǎn)成水平的方向，使其能進(jìn)行后續(xù)的平臺(tái)上的處理。本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括至少一個(gè)料片架60，料片架60可以大量地運(yùn)送多個(gè)待清洗基板，例如可將多片面板垂直插入于料片架60上，因此有利于大量且自動(dòng)化的清洗程序。此外，料片架60可以沿動(dòng)線方向71以可抽換的方式輪流放置于溶劑超聲波槽10、界面活性劑超聲波槽20、水超聲波槽30、熱風(fēng)干槽40并由轉(zhuǎn)向單元50使料片架60轉(zhuǎn)向。如圖2至圖5所示，本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括夾送單元70，夾送單元70設(shè)置在溶劑超聲波槽10、界面活性劑超聲波槽20、水超聲波槽30及熱風(fēng)干槽40及轉(zhuǎn)向單元50的上方，夾送單元70可用以夾持料片架60，并在夾持料片架60后沿動(dòng)線方向71移動(dòng)。例如當(dāng)要從溶劑超聲波槽10將料片架60移至界面活性劑超聲波槽20時(shí)，夾送單元70需要將料片架60夾持并提起，接著往界面活性劑超聲波槽20移動(dòng)，之后再將料片架60放置在界面活性劑超聲波槽20的界面活性劑中。料片夾60以此方式沿著動(dòng)線方向71移動(dòng)直到進(jìn)入轉(zhuǎn)向單元50，轉(zhuǎn)向單元50將料片夾60旋轉(zhuǎn)90度以使基板平行于AOI裝置的機(jī)臺(tái)，以利于后續(xù)的自動(dòng)化檢測作業(yè)。本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括一傳送單元80。在接下來的處理中，需要使基板能自動(dòng)化地進(jìn)行如AOI的類的檢測處理，因此將傳送單元80沿動(dòng)線方向71連接設(shè)置在轉(zhuǎn)向單元50的下游側(cè)，利用傳送單元80將基板往下輸送并接受檢測。本實(shí)施例的超聲波清潔機(jī)裝置100可以進(jìn)一步包括一個(gè)自動(dòng)光學(xué)檢測裝置90，自動(dòng)光學(xué)檢測裝置90可以檢測出基板的非常微小的缺陷，在檢測時(shí)光學(xué)檢測裝置可以設(shè)置在傳送單元80的上方及下方，以檢測經(jīng)傳送單元80傳送的基板的正反兩面。上述各實(shí)施例是用以說明本實(shí)用新型的特點(diǎn)，其目的在使本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人 員能了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并予以實(shí)施，而非限定本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍，因此凡其它未脫離本實(shí)用新型所公開的內(nèi)容而完成的等效修飾或修改，仍應(yīng)包含在以下所述的專利保護(hù)范圍中。
權(quán)利要求1.一種超聲波清潔機(jī)裝置，其包括 一溶劑超聲波槽，其中裝有可溶解殘膠的溶劑；以及 一界面活性劑超聲波槽，其沿一動(dòng)線方向連接設(shè)置在所述溶劑超聲波槽的下游側(cè)，且其中裝有去除油污的界面活性劑。
2.如權(quán)利要求I所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括至少一個(gè)水超聲波槽，其沿所述動(dòng)線方向連接設(shè)置在所述界面活性劑超聲波槽的下游側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括至少一個(gè)熱風(fēng)干槽，其沿所述動(dòng)線方向連接設(shè)置在所述水超聲波槽的下游側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括一轉(zhuǎn)向單元，其沿所述動(dòng)線方向連接設(shè)置在所述熱風(fēng)干槽的下游側(cè)。
5.如權(quán)利要求I至4中的任意一項(xiàng)所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括至少一個(gè)料片架，所述料片架是以可抽換的方式輪流放置在所述溶劑超聲波槽、所述界面活性劑超聲波槽、水超聲波槽或熱風(fēng)干槽，并由轉(zhuǎn)向單元使所述料片架轉(zhuǎn)向。
6.如權(quán)利要求5所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其中還包括一夾送單元，用以夾持所述料片架，所述夾送單元設(shè)置在所述溶劑超聲波槽、界面活性劑超聲波槽、水超聲波槽、熱風(fēng)干槽及轉(zhuǎn)向單元的上方且沿所述動(dòng)線方向移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求4所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括一傳送單元，其沿所述動(dòng)線方向連接設(shè)置在所述轉(zhuǎn)向單元的下游側(cè)。
8.如權(quán)利要求7所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括至少一個(gè)料片架，所述料片架是以可抽換的方式輪流放置在所述溶劑超聲波槽、界面活性劑超聲波槽、水超聲波槽或熱風(fēng)干槽，并由轉(zhuǎn)向單元使所述料片架轉(zhuǎn)向。
9.如權(quán)利要求8所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其中還包括一夾送單元，用以夾持所述料片架，所述夾送單元設(shè)置在所述溶劑超聲波槽、界面活性劑超聲波槽、水超聲波槽及熱風(fēng)干槽及轉(zhuǎn)向單元的上方且沿所述動(dòng)線方向移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求7至9中的任意一項(xiàng)所述的超聲波清潔機(jī)裝置，其還包括一個(gè)自動(dòng)光學(xué)檢測裝置，其位于所述傳送單元的上方及下方，以檢測被所述傳送單元傳送的基板的正反兩面。
專利摘要本實(shí)用新型是一種超聲波清潔機(jī)裝置，其包括一溶劑超聲波槽以及一界面活性劑超聲波槽。溶劑超聲波槽的填充溶劑可以用以清除殘膠，而界面活性劑槽是沿動(dòng)線方向連接設(shè)置在溶劑超聲波槽的下游側(cè)，其填充的界面活性劑可以用以清除油污。采用本實(shí)用新型的技術(shù)方案可以快速有效且自動(dòng)化地將基板的殘膠及油污清除，并且不會(huì)使基材遭到損傷。
文檔編號(hào)B08B3/12GK202356355SQ201120471079
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月23日
發(fā)明者蔡鴻儒 申請人:由田信息技術(shù)(上海)有限公司