專(zhuān)利名稱(chēng)：一種半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體晶圓片清洗工藝，并且尤其涉及半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成
>J-U裝直。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體晶圓片清洗旨在去除半導(dǎo)體晶圓片制造過(guò)程中引入的各種污染物質(zhì)。半導(dǎo)體晶圓片清洗質(zhì)量的優(yōu)劣對(duì)晶圓片的成品率以及可靠性有非常大的影響。在清洗的過(guò)程中，使用加熱后的清洗液在清洗槽中對(duì)晶圓片進(jìn)行清洗。晶圓片清洗液一般由兩種清洗液生成試劑和去離子水按照預(yù)定的體積比配置而成，通過(guò)配置在各試劑桶處的液位傳感器來(lái)控制上述試劑的體積而達(dá)到上述預(yù)定的體積比配置。然而，當(dāng)任一個(gè)液位傳感器發(fā)送故障、或位置發(fā)生變化時(shí)，將造成上述試劑的配比不符合工藝要求。若不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)，晶圓片的清洗效果將得不到保證，嚴(yán)重時(shí)晶圓片可能會(huì)被具有強(qiáng)堿性的試劑腐蝕，造成經(jīng)濟(jì)損失。因此，存在使清洗液的清洗效果更加穩(wěn)定的需要。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，其特征在于，包括多個(gè)試劑桶和混合桶，所述多個(gè)試劑桶和所述混合桶流體連通，其中，所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)配備有液位傳感器，所述液位傳感器用于檢測(cè)試劑桶的液位以控制所述試劑桶中的試劑的體積，所述混合桶接收來(lái)自所述多個(gè)試劑桶的試劑的注入，所述被注入的試劑在所述混合桶中按照預(yù)定的體積比生成半導(dǎo)體晶圓片清洗液，其中，所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)還配置有可視液位標(biāo)識(shí)物，所述可視液位標(biāo)識(shí)物用于從視覺(jué)上反映試劑桶的液位。優(yōu)選地，所述可視液位標(biāo)識(shí)物是帶有刻度的監(jiān)控專(zhuān)用紙。優(yōu)選地，所述監(jiān)控專(zhuān)用紙被貼在試劑桶上。優(yōu)選地，所述監(jiān)控專(zhuān)用紙被固化在試劑桶上。根據(jù)本實(shí)用新型半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，通過(guò)在清洗過(guò)程中為試劑桶的配置有可視液位標(biāo)識(shí)物來(lái)反映試劑的用量，能夠在晶圓片清洗過(guò)程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)液位傳感器發(fā)生故障，使得清洗液的配比能夠符合工藝要求，穩(wěn)定清洗液的清洗效果。

在參照附圖閱讀了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
以后，本領(lǐng)域技術(shù)人員將會(huì)更清楚地了解本實(shí)用新型的各個(gè)方面。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解的是附圖僅僅用于配合具體實(shí)施方式
說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而并非意在對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍構(gòu)成限制。其中，圖I是根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖闡述本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。[0012]在半導(dǎo)體晶圓片清洗工藝中，通常由清洗設(shè)備分別將所需要的試劑抽到對(duì)應(yīng)的試劑桶中，通過(guò)響應(yīng)的試劑桶的液位傳感器控制試劑桶中試劑的體積，然后試劑通過(guò)輸送管道被諸如到混合桶中，混合桶中的按比例配置好的清洗液被加熱，然后放到清洗槽用于清洗晶圓片。如圖I所示，半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置包括多個(gè)試劑桶和混合桶，所述多個(gè)試劑桶和所述混合桶流體連通，從而能夠向所述混合桶輸送試劑，其中，所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)配備有液位傳感器。本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解，該液位傳感器可用于檢測(cè)試劑桶的液位以控制所述試劑桶中的試劑的體積，即控制所 述試劑桶向所述混合桶輸送試劑的量?；旌贤敖邮諄?lái)自所述多個(gè)試劑桶的試劑的注入，所述被注入的試劑在所述混合桶中按照預(yù)定的體積比生成半導(dǎo)體晶圓片清洗液。其中，所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)還配置有可視液位標(biāo)識(shí)物，所述可視液位標(biāo)識(shí)物用于從視覺(jué)上反映試劑桶的液位。通過(guò)從視覺(jué)上直觀地反映試劑桶的液位便于對(duì)試劑桶中試劑體積的監(jiān)控，當(dāng)發(fā)現(xiàn)試劑桶中的試劑體積不正確時(shí)能夠及時(shí)地判斷液位傳感器發(fā)生了故障，從而能夠避免清洗液配比不符合工藝要求。優(yōu)選地，所述可視液位標(biāo)識(shí)物是帶有刻度的監(jiān)控專(zhuān)用紙。優(yōu)選地，所述監(jiān)控專(zhuān)用紙被貼在試劑桶上。優(yōu)選地，所述監(jiān)控專(zhuān)用紙被固化在試劑桶上。上文中，參照附圖描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。但是，本領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員能夠理解，在不偏離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，還可以對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作各種變更和替換。這些變更和替換都落在本實(shí)用新型權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，其特征在于，包括 多個(gè)試劑桶和混合桶，所述多個(gè)試劑桶和所述混合桶流體連通，其中， 所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)配備有液位傳感器， 所述液位傳感器用于檢測(cè)試劑桶的液位以控制所述試劑桶中的試劑的體積， 所述混合桶接收來(lái)自所述多個(gè)試劑桶的試劑的注入，所述被注入的試劑在所述混合桶中按照預(yù)定的體積比生成半導(dǎo)體晶圓片清洗液， 其中， 所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)還配置有可視液位標(biāo)識(shí)物，所述可視液位標(biāo)識(shí)物用于從視覺(jué)上反映試劑桶的液位。
2.如權(quán)利要求I所述的半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，其特征在于，所述可視液位標(biāo)識(shí)物是帶有刻度的監(jiān)控專(zhuān)用紙。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，其特征在于，所述監(jiān)控專(zhuān)用紙被貼在試劑桶上。
4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，其特征在于，所述監(jiān)控專(zhuān)用紙被固化在試劑桶上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體晶圓片清洗液生成裝置，其特征在于，包括多個(gè)試劑桶和混合桶，所述多個(gè)試劑桶和所述混合桶流體連通，其中，所述多個(gè)試劑桶的每一個(gè)配備有液位傳感器，所述液位傳感器用于檢測(cè)試劑桶的液位以控制所述試劑桶中的試劑的體積，所述混合桶接收來(lái)自所述多個(gè)試劑桶的試劑的注入，所述被注入的試劑在所述混合桶中按照預(yù)定的體積比生成半導(dǎo)體晶圓片清洗液。
文檔編號(hào)B08B3/10GK202460570SQ201120550148
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者劉群, 吳學(xué)成, 徐雪舟 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)華晶微電子有限公司