專利名稱：管式pecvd設備用太陽能晶片碎片清理器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及晶體硅太陽能電池制作設備領域，具體涉及一種管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器。
技術背景 太陽能晶片在PECVD工序為晶體硅太陽能生產線中等離子體增強化學氣相沉積工序，是以石墨舟為載體將去磷硅玻璃后的硅片放入石英爐管中，在400°C 450°C下進行沉積一層氮化硅的過程。目前，生產線一般使用管式設備，管式PECVD設備中的石英管為臥式爐管，長度約I. 8m 2. 2m,內有長約20mm的熱電偶探測儀。太陽能晶片在石英爐管中易產生碎片，碎片不易清理。若不及時清理，碎片易壓在石英爐管內熱電偶探頭上導致熱電偶測溫不準確，碎片還容易與石英管中的石墨舟接觸，導致石墨舟短路。目前清洗石英爐管內碎片的辦法只有停產降溫，用普通吸塵器清理石英爐管內碎片，該辦法既耽誤生產進程和產量，又存在污染石英爐管的風險。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、使用方便、清理效果好的管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，該碎片清理器無需停產即可清理石英爐管內碎片，從而有效提聞了太陽能晶片的生廣效率。為解決上述問題，本實用新型提供一種管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，該管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器包括空心石英管和石英擋板。所述空心石英管的內徑為20mm 25mm,外徑為30mm 40mm,長度為I. 6m 2. Om0所述石英擋板的底邊為弧形邊且沿底邊向上開有一個供熱電偶穿過的缺口。該缺口的設置主要是為了在使用過程中避免損壞石英爐管中的熱電偶，所以缺口的大小只要能滿足供20_的熱電偶穿過即可。所述空心石英管的一端與石英擋板通過熔融焊接進行固定連接且空心石英管垂直于石英擋板。采用以上結構后，本實用新型與現有技術相比，具有以下優(yōu)點本實用新型管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器在使用過程中，手握空心石英管部分，石英擋板的圓弧形底邊用于在石英爐管中掏碎片。整個碎片清理器僅有空心石英管和石英擋板兩部分組成，結構非常簡單。石英擋板底邊設置的缺口有效避免了在使用過程中損壞石英爐管中的熱電偶，而弧形底邊又使得碎片清理效果良好。由于空心石英管和石英擋板都由石英材料制成，所以該碎片清理器耐高溫效果好，可在高溫下直接作業(yè)，無需停產即可清理石英爐管內碎片，使用非常方便，大大提高了生產效率。作為優(yōu)選，所述空心石英管的內徑為20mm，外徑為30mm，長度為2. Om0該尺寸的空心石英管能更好地實現該碎片清理器在石英爐管內的碎片清理工作。所述石英擋板為底邊弧形邊、其余三邊為直角邊的四邊形，其中底邊弧長為直徑310mm 338mm、圓心角為60°對應的弧長(即直徑為310mm 338mm的圓的圓周的1/6所呈的弧長)162mm 177mm，底邊相對的直角邊長度為95mm 129mm，底邊相鄰的兩直角邊長度為40mm 60mm,進一步優(yōu)選為底邊弧長為直徑310mm、圓心角為60°對應的弧長162mm,底邊相對的直角邊長度為105mm，底邊相鄰的兩直角邊長度為50mm。石英擋板的底邊弧長主要根據石英爐管內徑來決定，因石英爐管內徑大小在310mm 338mm之間，所以以上尺寸的石英擋板能更好地在石英爐管內進行清理碎片。作為優(yōu)選，所述缺口的形狀為圓形或扇形或四邊形或拱形。這些形狀的缺口能更好地實現供20_的熱電偶穿過，從而避免在使用過程中損壞石英爐管中的熱電偶。

圖I所示的是本實用新型管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器的結構示意 圖；圖2所示的是本實用新型管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器的石英擋板的放大結構示意圖。其中1、空心石英管；2、石英擋板；2_1、底邊；2_2、鄰邊；2_3、頂邊；2_4、缺口。
具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳述。如圖I、圖2所示，本實用新型管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器包括空心石英管I和石英擋板2。所述空心石英管I的內徑為20mm，外徑為30mm，長度為2. 0m。所述石英擋板2的底邊2-1為弧形邊且沿底邊2-1向上開有一個供電熱偶穿過的缺口 2-4。所述石英擋板2為底邊2-1弧形邊、其余三邊(即一頂邊2-3、兩鄰邊2-2)為直角邊的四邊形，其中底邊2-1弧長為直徑310mm、圓心角為60°對應的弧長162mm，底邊2_1相對的直角邊即頂邊2-3長度為105mm，底邊2-1相鄰的兩直角邊即鄰邊2-2長度為50mm。所述缺口2-4的形狀為拱形。所述空心石英管I的一端與石英擋板2通過熔融焊接進行固定連接且空心石英管I垂直于石英擋板2。當然，空心石英管I的尺寸、石英擋板2的形狀和尺寸、缺口 2-4的形狀也可以為符合要求的其他，只要能實現其相應功能即可。以上實施例是對本實用新型的說明和進一步解釋，而不是對本實用新型的限制，在本實用新型的權利范圍內所作的任何修改，都落入本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，其特征在于包括空心石英管(I)和石英擋板(2),所述空心石英管(I)的內徑為20mm 25mm,外徑為30mm 40mm,長度為I.6m 2. 0m，所述石英擋板(2)的底邊(2_1)為弧形邊且沿底邊(2_1)向上開有一個供電熱偶穿過的缺口(2-4)，所述空心石英管(I)的一端與石英擋板(2)通過熔融焊接進行固定連接且空心石英管(I)垂直于石英擋板(2 )。
2.根據權利要求I所述的管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，其特征在于所述空心石英管(I)的內徑為20mm,外徑為30mm,長度為2. 0m。
3.根據權利要求I所述的管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，其特征在于所述石英擋板(2)為底邊(2-1)弧形邊、其余三邊為直角邊的四邊形，其中底邊(2-1)弧長為直徑310mm 338mm、圓心角為60°對應的弧長162mm 177mm,底邊(2-1)相對的直角邊長度為95mm 129mm,底邊(2-1)相鄰的兩直角邊長度為40mm 60mm。
4.根據權利要求3所述的管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，其特征在于所述石英擋板的底邊(2)弧長為直徑310mm、圓心角為60°對應的弧長162mm，底邊(2-1)相對的直角邊長度為105mm，底邊(2-1)相鄰的兩直角邊長度為50mm。
5.根據權利要求I所述的管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，其特征在于所述缺口(2-4)的形狀為圓形或扇形或四邊形或拱形。
專利摘要本實用新型提供一種管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器，它包括空心石英管(1)和石英擋板(2)，所述空心石英管(1)的內徑為20mm～25mm，外徑為30mm～40mm，長度為1.6m～2.0m，所述石英擋板(2)的底邊(2-1)為弧形邊且沿底邊(2-1)向上開有一個供電熱偶穿過的缺口(2-4)，所述空心石英管(1)的一端與石英擋板(2)通過熔融焊接進行固定連接且空心石英管(1)垂直于石英擋板(2)。該管式PECVD設備用太陽能晶片碎片清理器結構簡單、使用方便、清理效果好，無需停產即可清理石英爐管內碎片。
文檔編號B08B1/00GK202667172SQ20122038033
公開日2013年1月16日 申請日期2012年8月2日 優(yōu)先權日2012年8月2日
發(fā)明者余濤, 吳艷芬, 蔡二輝, 詹國平, 陳筑, 劉曉巍 申請人:寧波尤利卡太陽能科技發(fā)展有限公司