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一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):1335379閱讀:359來源:國知局
專利名稱:一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及集成電路制造設(shè)備內(nèi)部微環(huán)境排風(fēng)領(lǐng)域,尤其涉及一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)。
背景技術(shù)
隨著集成電路制造技術(shù)的高速發(fā)展,當(dāng)前主流工藝已從90nm過渡到65nm、45nm甚至以下的超精細(xì)集成電路生產(chǎn)制造。這意味著集成電路芯片的特征尺寸已進(jìn)入到深亞微米階段,而造成芯片上超微細(xì)電路失效或損壞的關(guān)鍵顆粒的特征尺寸也隨之大為減小,因而對集成電路制造設(shè)備內(nèi)部,特別是工藝腔室內(nèi)部微環(huán)境中的氣流場提出了更為嚴(yán)格的要求,以避免工藝過程中的液滴及產(chǎn)生的顆粒等對處理晶片造成二次污染。通常在工藝腔室頂部安裝風(fēng)機(jī)過濾單元FFU (Fan Filter Unit)以形成自上而下經(jīng)高效過濾的垂直層流風(fēng),同時(shí)在工藝腔室的底部設(shè)置排風(fēng)裝置,并與廠務(wù)的主排風(fēng)管道相連,從而建立工藝腔室內(nèi)部的氣流場。但現(xiàn)有的集成電路制造設(shè)備對工藝腔室底部的排風(fēng)裝置均采用手動(dòng)調(diào)節(jié),排風(fēng)裝置中閥的開度固定,因此不能根據(jù)不同的工藝步驟對排風(fēng)量進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),不能靈活地改變工藝腔室內(nèi)部的氣流場。

實(shí)用新型內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題本實(shí)用新型的目的在于提供一種能根據(jù)不同的工藝步驟對排風(fēng)量進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),進(jìn)而靈活地改變工藝腔室內(nèi)部氣流場的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)。(二)技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),該排風(fēng)系統(tǒng)包括至少一套排風(fēng)單元、主排風(fēng)管道和控制器;所述排風(fēng)單元包括工藝腔室、排風(fēng)支管、調(diào)節(jié)閥、電機(jī)和差壓計(jì);所述調(diào)節(jié)閥安裝在排風(fēng)支管內(nèi);所述控制器與差壓計(jì)、電機(jī)相連接,電機(jī)與調(diào)節(jié)閥相連接;排風(fēng)支管的入口與工藝腔室相連,排風(fēng)支管的出口與主排風(fēng)管道相連。其中,所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)、伺服電機(jī)和舵機(jī)中的一種。其中,所述調(diào)節(jié)閥為蝶閥。其中,所述控制器為嵌入式控制器。其中,所述嵌入式控制器包括驅(qū)動(dòng)模塊,所述驅(qū)動(dòng)模塊與電機(jī)之間采用電氣連接。其中,所述嵌入式控制器包括模擬量輸入模塊,所述模擬量輸入模塊與差壓計(jì)之間采用電氣連接。其中,所述排風(fēng)單元為8套。其中,所述差壓計(jì)的一端通入排風(fēng)支管內(nèi)部,另一端通向外部環(huán)境。(三)有益效果本實(shí)用新型提供的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)能夠靈活地改變工藝腔室內(nèi)部的氣流場,減少工藝過程中的液滴及產(chǎn)生的顆粒等對處理晶片造成二次污染,使得晶片的工藝處理效果得到顯著提高。

圖1為本實(shí)用新型工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中,1:工藝腔室;2 :主排風(fēng)管道;3 :排風(fēng)支管;4 :蝶閥;5 :差壓計(jì);6 :步進(jìn)電機(jī);7 :嵌入式控制器;8 :卡盤結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)說明。這些實(shí)施方式僅用于說明本實(shí)用新型,而并非對本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中,需要說明的是,術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外,術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實(shí)用新型的描述中,需要說明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。此外,在本實(shí)用新型的描述中,除非另有說明,“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。如圖1所示,一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),該工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)包括至少一套排風(fēng)單元、主排風(fēng)管道2和控制器;所述排風(fēng)單元包括工藝腔室1、排風(fēng)支管3、調(diào)節(jié)閥、電機(jī)和差壓計(jì)5 ;所述工藝腔室I內(nèi)設(shè)置卡盤結(jié)構(gòu)8 ;所述控制器與差壓計(jì)5、電機(jī)相連接,電機(jī)與調(diào)節(jié)閥相連接;所述調(diào)節(jié)閥為蝶閥4 ;所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)6、伺服電機(jī)和舵機(jī)中的一種;所述控制器為嵌入式控制器7 ;所述工藝腔室的卡盤結(jié)構(gòu)8用于夾持晶片,實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)和上升下降運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型提供的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),在每個(gè)排風(fēng)單元的排風(fēng)支管3內(nèi)均裝有蝶閥4 ;所述差壓計(jì)5的一端通入排風(fēng)支管3內(nèi)部,另一端通向外部環(huán)境;排風(fēng)支管3的入口與工藝腔室I相連,排風(fēng)支管3的出口與主排風(fēng)管道2相連。所述嵌入式控制器7包括驅(qū)動(dòng)模塊、模擬量輸入模塊,其中驅(qū)動(dòng)模塊與電機(jī)之間采用電氣連接,模擬量輸入模塊與差壓計(jì)5之間也采用電氣連接。本實(shí)用新型提供的一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng)至少有一套排風(fēng)單元。本實(shí)施例采用具有八套排風(fēng)單元的排風(fēng)系統(tǒng)。具體排風(fēng)方法如下將主排風(fēng)管道的壓力值設(shè)為恒定,采用一臺(tái)嵌入式控制器7分別采集八套排風(fēng)單元中差壓計(jì)5的讀數(shù)作為反饋值,并根據(jù)不同工藝腔室所處的工藝步驟設(shè)定排風(fēng)支管3與外部環(huán)境的差壓值,把這個(gè)差壓值作為目標(biāo)值,通過計(jì)算目標(biāo)值與反饋值的差值,采用帶死區(qū)的PID壓力控制算法,計(jì)算出調(diào)節(jié)閥的開度,從而計(jì)算出電機(jī)需要轉(zhuǎn)動(dòng)的角度,通過電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)閥,進(jìn)而控制調(diào)節(jié)閥的開度大小。上述帶死區(qū)的PID壓力控制算法具體如下所述:定義Pd為當(dāng)前工藝步驟排風(fēng)支管3與外部環(huán)境差壓值的目標(biāo)值,PiQ=1...!!)為第i個(gè)工藝腔室中排風(fēng)單元通過差壓計(jì)5采集的實(shí)際差壓值,定義當(dāng)前腔室當(dāng)前工藝步驟的差壓誤差值為:
權(quán)利要求1.一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),該排風(fēng)系統(tǒng)包括,至少一套排風(fēng)單元、主排風(fēng)管道(2),其特征在于,該排風(fēng)系統(tǒng)還包括控制器;所述排風(fēng)單元包括工藝腔室(I)、排風(fēng)支管(3)、調(diào)節(jié)閥、電機(jī)和差壓計(jì)(5);所述調(diào)節(jié)閥安裝在排風(fēng)支管(3)內(nèi);所述控制器與差壓計(jì)(5)、電機(jī)相連接,電機(jī)與調(diào)節(jié)閥相連接;排風(fēng)支管(3)的入口與工藝腔室相連,排風(fēng)支管(3)的出口與主排風(fēng)管道(2)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)(6)、伺服電機(jī)和舵機(jī)中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述調(diào)節(jié)閥為蝶閥(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述控制器為嵌入式控制器(7)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述嵌入式控制器(7)包括驅(qū)動(dòng)模塊,所述驅(qū)動(dòng)模塊與 電機(jī)之間采用電氣連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述嵌入式控制器(7)包括模擬量輸入模塊,所述模擬量輸入模塊與差壓計(jì)(5)之間采用電氣連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述排風(fēng)單元為8套。
8.根據(jù)權(quán)利要求1一 7任一項(xiàng)所述的工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),其特征在于,所述差壓計(jì)(5)的一端通入排風(fēng)支管(3)內(nèi)部,另一端通向外部環(huán)境。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種工藝腔室排風(fēng)系統(tǒng),該排風(fēng)系統(tǒng)包括,至少一套排風(fēng)單元、主排風(fēng)管道和控制器;所述排風(fēng)單元包括工藝腔室、排風(fēng)支管、調(diào)節(jié)閥、電機(jī)和差壓計(jì);所述調(diào)節(jié)閥安裝在排風(fēng)支管內(nèi);所述控制器與差壓計(jì)、電機(jī)相連接,電機(jī)與調(diào)節(jié)閥相連接;排風(fēng)支管的入口與工藝腔室相連,排風(fēng)支管的出口與主排風(fēng)管道相連。采用上述排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行排風(fēng),能夠靈活地改變工藝腔室內(nèi)部的氣流場,減少工藝過程中的液滴及產(chǎn)生的顆粒等對處理晶片造成二次污染,使得晶片的工藝處理效果得到顯著提高。
文檔編號(hào)B08B17/00GK202910056SQ20122049965
公開日2013年5月1日 申請日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者馬嘉, 吳儀, 王超, 李文杰 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
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