水洗腔室的排液方法及裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種水洗腔室的排液方法及裝置，所述方法包括如下步驟：步驟1、提供水洗腔室；步驟2、設(shè)置與水洗腔室連接的廢水排放管道及廢液排放管道，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通；步驟3、在水洗腔室內(nèi)設(shè)置探測(cè)器用于探測(cè)水洗腔室內(nèi)預(yù)定成份的濃度；步驟4、根據(jù)探測(cè)器的探測(cè)結(jié)果，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道或廢液排放管道，從而排放水洗腔室內(nèi)的液體。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了根據(jù)水洗腔室的液體中有害物質(zhì)濃度的不同，對(duì)廢水和廢液進(jìn)行分類(lèi)回收，大幅度降低了廢液排放量與廢液處理費(fèi)用；節(jié)約了制造成本，提高了產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。
【專(zhuān)利說(shuō)明】水洗腔室的排液方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種液晶顯示面板制造領(lǐng)域，尤其涉及一種水洗腔室的排液方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]平面顯示器件具有機(jī)身薄、省電、無(wú)輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(LiquidCrystal Display,IXD)及有機(jī)電致發(fā)光顯示器件(Organic Light Emitting Display, OLED)。
[0003]現(xiàn)有的液晶顯不器件一般為背光型液晶顯不器件,其包括:殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶顯示面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，并在兩玻璃基板上施加驅(qū)動(dòng)電壓來(lái)控制液晶分子的旋轉(zhuǎn)，從而將背光模組的光線折射出來(lái)產(chǎn)生畫(huà)面。
[0004]通常液晶顯示面板由彩色濾光膜(Color Filter, CF)基板、薄膜晶體管(ThinFilm Transistor, TFT)基板、夾于彩色濾光膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(LiquidCrystal,LC)材料及密封膠框(Sealant)組成,其成型工藝一般包括:前段陣列(Array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(薄膜晶體管基板與彩色濾光膜基板貼合)及后段模組組裝制程(驅(qū)動(dòng)電路(IC)與印刷電路板壓合)。
[0005]在液晶顯示面板的前段陣列(Array)制程中，有許多濕制程需要使用藥液，在完成藥液處理制程后一般都需要進(jìn)行水洗處理，以洗去殘留的藥液，由于現(xiàn)有的水洗腔室的排液裝置無(wú)法對(duì)有害物質(zhì)濃度低的廢水和有害物質(zhì)濃度高的廢液進(jìn)行區(qū)分以及分類(lèi)排放，最終造成排放的廢液量很大，由于廢液需要委托到處理站進(jìn)行清理，成本較高，而廢水則可以排放到公司廢水站處理，節(jié)約費(fèi)用，因此廢液的大量排放會(huì)產(chǎn)生大量的費(fèi)用。
[0006]請(qǐng)參閱圖1，為現(xiàn)有的水洗腔室的排液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括水洗腔室2及排水管4。工作時(shí)，水洗腔室2中的液體經(jīng)排水管4直接排出，這種方法排出的廢液量大，處理廢液的成本高。因此如何降低廢液的排放量，以節(jié)省制造成本，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需研究的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種水洗腔室的排液方法，可以根據(jù)水洗腔室的液體中有害物質(zhì)濃度的不同，實(shí)現(xiàn)對(duì)廢水和廢液的分類(lèi)回收，降低了廢液排放量以及廢液處理費(fèi)用。
[0008]本發(fā)明的又一目的在于提供一種水洗腔室的排液裝置，通過(guò)在水洗腔室的排液口安裝一探測(cè)器，其與控制單元電性連接，根據(jù)探測(cè)器偵測(cè)到有害物質(zhì)濃度的不同分別控制廢水排放管道或廢液排放管道的閥門(mén)開(kāi)啟，實(shí)現(xiàn)對(duì)廢水和廢液的分類(lèi)回收，降低了廢液排放量以及廢液處理費(fèi)用。
[0009]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明供一種水洗腔室的排液方法，包括如下步驟:
[0010]步驟1、提供水洗腔室；[0011]步驟2、設(shè)置與水洗腔室連接的廢水排放管道及廢液排放管道，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通；
[0012]步驟3、在水洗腔室內(nèi)設(shè)置探測(cè)器用于探測(cè)水洗腔室內(nèi)預(yù)定成份的濃度；
[0013]步驟4、根據(jù)探測(cè)器的探測(cè)結(jié)果，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道或廢液排放管道，從而排放水洗腔室內(nèi)的液體。
[0014]所述水洗腔室用于TFT-1XD的濕制程。
[0015]所述閥門(mén)為自動(dòng)閥。
[0016]所述探測(cè)器連接一控制單元，該控制單元電性連接所述閥門(mén)，該探測(cè)器將探測(cè)結(jié)果傳送給控制單元，控制單元根據(jù)該探測(cè)結(jié)果決定開(kāi)啟廢水排放管道或廢液排放管道的閥門(mén)。
[0017]所述水洗腔室設(shè)有排液口，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)閥門(mén)連接于該排液口，所述探測(cè)器安裝于排液口。
[0018]所述步驟5中，當(dāng)所述預(yù)定成份的濃度等于或大于預(yù)定值時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢液排放管道；當(dāng)所述預(yù)定成份的濃度低于預(yù)定值時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道。
[0019]本發(fā)明還提供一種水洗腔室的排液裝置，包括水洗腔室、分別與水洗腔室連接的廢水排放管道與廢液排放管道、探測(cè)器及控制單元，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通，所述閥門(mén)為自動(dòng)閥，所述探測(cè)器與控制單元電性連接，所述閥門(mén)分別與控制單元電性連接。
[0020]所述水洗腔室用于TFT-1XD的濕制程。
[0021 ] 所述水洗腔室設(shè)有排液口，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)閥門(mén)連接于該排液口。
[0022]所述探測(cè)器安裝于排液口。
[0023]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供的一種水洗腔室的排液方法及裝置，通過(guò)設(shè)置與水洗腔室連接的廢水排放管道及廢液排放管道，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通；在水洗腔室內(nèi)設(shè)置探測(cè)器用于探測(cè)水洗腔室內(nèi)預(yù)定成份的濃度；根據(jù)探測(cè)器的探測(cè)結(jié)果，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道或廢液排放管道，從而排放水洗腔室內(nèi)的液體。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了根據(jù)水洗腔室的液體中有害物質(zhì)濃度的不同，對(duì)廢水和廢液進(jìn)行分類(lèi)回收，大幅度降低了廢液排放量與廢液處理費(fèi)用；節(jié)約了制造成本，提高了產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。
[0024]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0026]圖1為現(xiàn)有水洗腔室的排液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2為本發(fā)明水洗腔室的排液方法的流程圖；
[0028]圖3為本發(fā)明水洗腔室的排液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖4為本發(fā)明水洗腔室的排液裝置的控制部分的電性連接圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0030]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0031]請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明提供一種水洗腔室的排液方法，包括如下步驟:
[0032]步驟1、提供水洗腔室。
[0033]所述水洗腔室用于TFT-1XD的濕制程。
[0034]步驟2、設(shè)置與水洗腔室連接的廢水排放管道及廢液排放管道，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通。
[0035]所述閥門(mén)為自動(dòng)閥。
[0036]所述水洗腔室設(shè)有排液口，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)所述閥門(mén)連接于該排液口。
[0037]步驟3、在水洗腔室內(nèi)設(shè)置探測(cè)器用于探測(cè)水洗腔室內(nèi)預(yù)定成份的濃度。
[0038]所述探測(cè)器安裝于排液口，且連接一控制單元，該控制單元電性連接所述閥門(mén)，該探測(cè)器將探測(cè)結(jié)果傳送給控制單元，控制單元根據(jù)該探測(cè)結(jié)果決定開(kāi)啟廢水排放管道或廢液排放管道的閥門(mén)。
[0039]步驟4、根據(jù)探測(cè)器的探測(cè)結(jié)果，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道或廢液排放管道，從而排放水洗腔室內(nèi)的液體。
[0040]當(dāng)所述預(yù)定成份的濃度等于或大于預(yù)定值時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢液排放管道；當(dāng)所述預(yù)定成份的濃度低于預(yù)定值時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道。
[0041]例如，所述預(yù)定成分為氟離子，所述探測(cè)器為氟離子探測(cè)器，當(dāng)氟離子濃度大于15ppm時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢液排放管道，所述水洗腔室內(nèi)的液體作為廢液排放，并委托到處理站進(jìn)行清理；當(dāng)氟離子濃度小于15ppm時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道，所述水洗腔室內(nèi)的液體作為廢水直接排放到公司廢水站回收處理。
[0042]請(qǐng)參閱圖3-4，本發(fā)明還提供一種水洗腔室的排液裝置，包括水洗腔室21、分別與水洗腔室連接的廢水排放管道31與廢液排放管道32、探測(cè)器51及控制單元61，所述廢水排放管道31與廢液排放管道32分別通過(guò)閥門(mén)41和42與水洗腔室21連通，所述閥門(mén)41和42為自動(dòng)閥，所述探測(cè)器51與控制單元61電性連接，所述閥門(mén)41和42分別與控制單元61電性連接。
[0043]所述水洗腔室21用于TFT-1XD的濕制程。
[0044]所述水洗腔室21設(shè)有排液口 71，所述廢水排放管道31與廢液排放管道32分別通過(guò)閥門(mén)41和42連接于該排液口 71。
[0045]所述探測(cè)器51安裝于排液口 71。所述探測(cè)器51用于探測(cè)水洗腔室21內(nèi)預(yù)定成份的濃度。
[0046]綜上所述，本發(fā)明提供的一種水洗腔室的排液方法及裝置，通過(guò)設(shè)置與水洗腔室連接的廢水排放管道及廢液排放管道，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通；在水洗腔室內(nèi)設(shè)置探測(cè)器以探測(cè)水洗腔室內(nèi)預(yù)定成份的濃度；根據(jù)探測(cè)器的探測(cè)結(jié)果，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道或廢液排放管道，從而排放水洗腔室內(nèi)的液體。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了根據(jù)水洗腔室的液體中有害物質(zhì)濃度的不同，對(duì)廢水和廢液進(jìn)行分類(lèi)回收，大幅度降低了廢液排放量與廢液處理費(fèi)用；節(jié)約了制造成本，提高了產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。[0047]以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種水洗腔室的排液方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟1、提供水洗腔室； 步驟2、設(shè)置與水洗腔室連接的廢水排放管道及廢液排放管道，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通； 步驟3、在水洗腔室內(nèi)設(shè)置探測(cè)器用于探測(cè)水洗腔室內(nèi)預(yù)定成份的濃度； 步驟4、根據(jù)探測(cè)器的探測(cè)結(jié)果，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道或廢液排放管道，從而排放水洗腔室內(nèi)的液體。
2.如權(quán)利要求1所述的水洗腔室的排液方法，其特征在于，所述水洗腔室用于TFT-LCD的濕制程。
3.如權(quán)利要求1所述的水洗腔室的排液方法，其特征在于，所述閥門(mén)為自動(dòng)閥。
4.如權(quán)利要求3所述的水洗腔室的排液方法，其特征在于，所述探測(cè)器連接一控制單元，該控制單元電性連接所述閥門(mén)，該探測(cè)器將探測(cè)結(jié)果傳送給控制單元，控制單元根據(jù)該探測(cè)結(jié)果決定開(kāi)啟廢水排放管道或廢液排放管道的閥門(mén)。
5.如權(quán)利要求1所述的水洗腔室的排液方法，其特征在于，所述水洗腔室設(shè)有排液口，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)閥門(mén)連接于該排液口，所述探測(cè)器安裝于排液□。
6.如權(quán)利要求1所述的水洗腔室的排液方法，其特征在于，所述步驟5中，當(dāng)所述預(yù)定成份的濃度等于或大于預(yù)定值時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢液排放管道；當(dāng)所述預(yù)定成份的濃度低于預(yù)定值時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)連通廢水排放管道。
7.一種水洗腔室的排液裝置,其特征在于,包括水洗腔室、分別與水洗腔室連接的廢水排放管道與廢液排放管道、探測(cè)器及控制單元，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)一閥門(mén)與水洗腔室連通，所述閥門(mén)為自動(dòng)閥，所述探測(cè)器與控制單元電性連接，所述閥門(mén)分別與控制單元電性連接。
8.如權(quán)利要求7所述的水洗腔室的排液裝置，其特征在于，所述水洗腔室用于TFT-LCD的濕制程。
9.如權(quán)利要求7所述的水洗腔室的排液裝置，其特征在于，所述水洗腔室設(shè)有排液口，所述廢水排放管道及廢液排放管道分別通過(guò)閥門(mén)連接于該排液口。
10.如權(quán)利要求9所述的水洗腔室的排液裝置，其特征在于，所述探測(cè)器安裝于排液□。
【文檔編號(hào)】B08B3/00GK104014496SQ201410245704
【公開(kāi)日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年6月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月4日
【發(fā)明者】李嘉 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司