一種勻膠機(jī)的cup外殼清洗裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，包括密封罐、供氣單元、第一管道、第二管道、環(huán)形管道；所述密封罐通過(guò)第一管道與供氣單元相連，密封罐通過(guò)第二管道與環(huán)形管道相連；所述第一管道包括出氣口，第二管道包括清洗液入口；所述密封罐內(nèi)裝有清洗液；所述供氣單元能夠向密封罐提供壓力氣體，清洗液能夠在所述壓力氣體的作用下由密封罐進(jìn)入到環(huán)形管道；所述環(huán)形管道上開(kāi)有多個(gè)孔，環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁上；所述第一管道和第二管道上均設(shè)置有控制閥。本實(shí)用新型提供了一種便于對(duì)勻膠機(jī)的CPU外殼進(jìn)行清洗的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，該裝置節(jié)省了清洗的時(shí)間、提高了機(jī)器的產(chǎn)能。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于LED外延襯底圖形制造領(lǐng)域，特別是涉及一種勻膠機(jī)的CUP外殼
清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前LED外延襯底圖形制造最重要的一環(huán)為光刻工藝,光刻工藝用以定義圖形，光刻工藝的步驟為涂膠，曝光，顯影；其中涂膠就是在干凈的晶圓表面涂一層厚度均勻的光刻膠薄膜，為后段的曝光、顯影等工藝準(zhǔn)備。具體過(guò)程是將晶圓裝在片盒中放入涂膠機(jī)中，經(jīng)過(guò)機(jī)械手臂的傳送將晶圓送入CUP(涂膠)裝置中的吸盤(pán)上，晶圓位于吸盤(pán)的中間位置，打開(kāi)真空，電機(jī)帶動(dòng)吸盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，膠臂帶動(dòng)滴膠管過(guò)來(lái)在晶圓中心滴膠，為了保證晶圓表面的膠薄厚均勻，所以在滴膠后晶圓要高速旋轉(zhuǎn)，由于晶圓的旋轉(zhuǎn)多于的光刻膠會(huì)被甩出粘在CUP外殼的內(nèi)壁上污染CUP，所以我們要定期對(duì)CUP外殼進(jìn)行清洗。
[0003]目前勻膠機(jī)CUP外殼的清洗需要將其全部拆除，拿出來(lái)用丙酮進(jìn)行清洗，而拆除麻煩，清洗完畢后安裝時(shí)要重新調(diào)整精度，這樣就需要很長(zhǎng)的時(shí)間，嚴(yán)重降低了機(jī)臺(tái)產(chǎn)能，而且直接接觸丙酮會(huì)對(duì)人身體造成影響。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]為了解決現(xiàn)有的CUP外殼不便于清洗的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案如下:
[0006]一種勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特殊之處在于:
[0007]包括密封罐、供氣單元、第一管道、第二管道、環(huán)形管道；
[0008]所述密封罐通過(guò)第一管道與供氣單元相連，密封罐通過(guò)第二管道與環(huán)形管道相連；
[0009]所述第一管道包括出氣口，第二管道包括清洗液入口 ；
[0010]所述密封罐內(nèi)裝有清洗液；所述供氣單元能夠向密封罐提供壓力氣體，清洗液能夠在所述壓力氣體的作用下由密封罐進(jìn)入到環(huán)形管道；
[0011]所述環(huán)形管道上開(kāi)有多個(gè)孔，環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁上；
[0012]所述第一管道和第二管道上均設(shè)置有控制閥。
[0013]基于上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型還做出以下優(yōu)化和限定:
[0014]上述第一管道上的控制閥為兩位三通閥。
[0015]上述環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼內(nèi)壁的上部。
[0016]上述環(huán)形管道上的孔與待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁相對(duì)。
[0017]上述孔的直徑為0.3-0.5mm,間距為3_4mm。
[0018]上述孔均勻開(kāi)在環(huán)形管道上。
[0019]上述出氣口位于密封罐上部，清洗液入口位于密封罐底部。[0020]上述待清洗的CUP外殼底部設(shè)有排液機(jī)構(gòu)。
[0021]上述清洗液為丙酮，壓力氣體為壓力氮?dú)饣驂毫諝狻?br> [0022]上述第二管道和環(huán)形管道的材質(zhì)均為PFA,構(gòu)成所述環(huán)形管道的管道直徑為4mm。
[0023]本實(shí)用新型具有以下技術(shù)效果:
[0024]1、經(jīng)過(guò)改造后，CUP外殼的清洗變得簡(jiǎn)單容易，節(jié)省了清洗的時(shí)間，提高了機(jī)器的產(chǎn)能。
[0025]2、當(dāng)清洗液采用丙酮時(shí)，通過(guò)本實(shí)用新型對(duì)CPU外殼進(jìn)行清洗，避免了工作人員直接接觸丙酮，減少了對(duì)身體的危害。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2是安裝有環(huán)形管道的CUP外殼的俯視圖。
[0028]附圖標(biāo)記:1-供氣單元；2_兩位三通閥；3_密封罐；4_通斷閥；5_環(huán)形管道?！揪唧w實(shí)施方式】
[0029]本實(shí)用新型提供了一種勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，包括密封罐、供氣單元、第一管道、第二管道、環(huán)形管道；密封罐通過(guò)第一管道與供氣單元相連，密封罐通過(guò)第二管道與環(huán)形管道相連；第一管道包括出氣口，第二管道包括清洗液入口 ；密封罐內(nèi)裝有清洗液；所述供氣單元能夠向密封罐提供壓力氣體，清洗液能夠在所述壓力氣體的作用下由密封罐進(jìn)入到環(huán)形管道。
[0030]第一管道和第二管道上均設(shè)置有控制閥，第一管道上的控制閥用于控制供氣單元與密封罐的連通或斷開(kāi)，第二管道上的控制閥用于控制密封罐與環(huán)形管道連通或斷開(kāi)，第一管道上的控制閥可以采用兩位三通閥。
[0031]環(huán)形管道上開(kāi)有多個(gè)孔，環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁上。為了保證清洗效果，可以將環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼內(nèi)壁的上部，將環(huán)形管道上的孔設(shè)置在與待清洗的CUP外殼內(nèi)壁相對(duì)的位置，孔的直徑可以為0.3-0.5mm,間距可以為3_4_，還可以將孔均勻開(kāi)在環(huán)形管道上。
[0032]本實(shí)用新型的第一管道包括出氣口，第二管道包括清洗液入口，可以將出氣口設(shè)置在密封罐上部，清洗液入口設(shè)置在密封罐底部。
[0033]清洗液可以采用丙酮，壓力氣體可以為壓力氮?dú)饣驂毫諝?。?dāng)清洗液為丙酮時(shí)，第二管道和環(huán)形管道的材質(zhì)可以均采用PFA，構(gòu)成所述環(huán)形管道的管道直徑可以為4_。
[0034]當(dāng)需要清洗勻膠機(jī)的CUP外殼時(shí)，將第二管道跟固定在CUP外殼內(nèi)壁上的環(huán)形管道相連，打開(kāi)供氣單元，并控制通斷閥將密封罐與環(huán)形管道連通，清洗液將在壓力氣體的作用下由密封罐進(jìn)入到環(huán)形管道，由環(huán)形管道上的孔噴到待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁上，然后會(huì)沿著CUP外殼的內(nèi)壁從上至下而流動(dòng)，帶走所清洗的內(nèi)壁上黏附物(比如光刻膠)，從而達(dá)到清洗CUP外殼的目的，待清洗的CUP外殼底部設(shè)有排液機(jī)構(gòu)，清洗后的液體可以由排液機(jī)構(gòu)排出。
[0035]在使用本實(shí)用新型清洗的過(guò)程中，密封罐內(nèi)會(huì)保持一定的壓力，當(dāng)需要向密封罐內(nèi)增加清洗液時(shí)或者密封罐內(nèi)的壓力過(guò)大時(shí)，可以通過(guò)第一管道上的兩位三通閥對(duì)密封罐排壓。
【權(quán)利要求】
1.一種勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于: 包括密封罐、供氣單元、第一管道、第二管道、環(huán)形管道； 所述密封罐通過(guò)第一管道與供氣單元相連，密封罐通過(guò)第二管道與環(huán)形管道相連； 所述第一管道包括出氣口，第二管道包括清洗液入口 ； 所述密封罐內(nèi)裝有清洗液；所述供氣單元能夠向密封罐提供壓力氣體，清洗液能夠在所述壓力氣體的作用下由密封罐進(jìn)入到環(huán)形管道； 所述環(huán)形管道上開(kāi)有多個(gè)孔，環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁上； 所述第一管道和第二管道上均設(shè)置有控制閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述第一管道上的控制閥為兩位三通閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述環(huán)形管道固定在待清洗的CUP外殼內(nèi)壁的上部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述環(huán)形管道上的孔與待清洗的CUP外殼的內(nèi)壁相對(duì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述孔的直徑為0.3-0.5mm,間距為 3_4mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述孔均勻開(kāi)在環(huán)形管道上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一權(quán)利要求所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述出氣口位于密封罐上部，清洗液入口位于密封罐底部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述待清洗的CUP外殼底部設(shè)有排液機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述清洗液為丙酮,壓力氣體為壓力氮?dú)饣驂毫諝狻?br> 10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的勻膠機(jī)的CUP外殼清洗裝置，其特征在于:所述第二管道和環(huán)形管道的材質(zhì)均為PFA，構(gòu)成所述環(huán)形管道的管道直徑為4mm。
【文檔編號(hào)】B08B3/08GK203678745SQ201420009801
【公開(kāi)日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2014年1月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月7日
【發(fā)明者】郭鵬, 羅建華, 陳起偉, 張亞鵬 申請(qǐng)人:西安神光安瑞光電科技有限公司