一種手動(dòng)片盒清洗裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型創(chuàng)造提供一種手動(dòng)片盒清洗裝置，包括沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU設(shè)備、水槽排放液系統(tǒng)、注水系統(tǒng)、箱體和工作臺，刷洗槽和沖洗槽分別位于浸泡槽的兩側(cè)，F(xiàn)FU設(shè)備位于箱體上方，水槽排放液系統(tǒng)和注水系統(tǒng)分別與沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽連接，工作臺由孔板組成。一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其水槽供水、溢流及排水均由氣動(dòng)閥控制，每個(gè)水槽有注水開關(guān)，排水開關(guān)，溢流開關(guān)和溢流量調(diào)節(jié)閥，裝置操作簡便、安全性高，不需要買免洗片盒，能同時(shí)對多個(gè)不同規(guī)格硅片片盒進(jìn)行清洗，不僅降低了生產(chǎn)成本，而且大大節(jié)省了片盒清洗的時(shí)間，提高了片盒清洗的產(chǎn)能。除此之外，操作臺上方配置FFU設(shè)備，為硅片片盒清洗工作提供了一個(gè)潔凈的微環(huán)境。
【專利說明】一種手動(dòng)片盒清洗裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造屬于清洗裝置領(lǐng)域，尤其是涉及一種手動(dòng)片盒清洗裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體硅片行業(yè)競爭的日益加大，產(chǎn)能的提升已成為必然的趨勢。而目前對硅片片盒進(jìn)行清洗主要采用自動(dòng)清洗機(jī)。自動(dòng)清洗機(jī)雖然實(shí)現(xiàn)了部分自動(dòng)化控制，解脫了人工操作，但是自動(dòng)清洗機(jī)只能同時(shí)針對三種規(guī)格硅片片盒進(jìn)行清洗，單批次清洗片盒數(shù)量較小，工作效率低，整個(gè)清洗時(shí)間長，能源消耗大，同一規(guī)格自動(dòng)清洗機(jī)對片盒的尺寸有比較多的限制，其兼容性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足硅片產(chǎn)能需要。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明創(chuàng)造要解決以上技術(shù)問題，提供一種手動(dòng)片盒清洗裝置。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:一種手動(dòng)片盒清洗裝置，包括沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU設(shè)備、水槽排放液系統(tǒng)、注水系統(tǒng)、箱體和內(nèi)嵌于所述箱體內(nèi)的工作臺，所述沖洗槽、刷洗槽和浸泡槽均位于所述工作臺上，所述刷洗槽和所述沖洗槽分別位于所述浸泡槽的兩側(cè)，所述FFU設(shè)備位于所述箱體上方，所述水槽排放液系統(tǒng)和所述注水系統(tǒng)分別與所述沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽連接，所述工作臺由孔板組成。
[0005]進(jìn)一步，所述水槽排放液系統(tǒng)包括沖洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路，所述沖洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路結(jié)構(gòu)相同，均包括排水管路和設(shè)于所述排水管路上的排水開關(guān)，所述沖洗槽排放支路的所述排水管路與所述沖洗槽相連，所述刷洗槽排放支路的所述排水管路與所述刷洗槽相連，所述浸泡槽排放支路的所述排水管路與所述浸泡槽相連。
[0006]進(jìn)一步，所述注水系統(tǒng)包括沖洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路，所述沖洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路結(jié)構(gòu)相同，均包括注水管路和設(shè)于所述注水管路上的注水開關(guān)，所述沖洗槽注水支路的所述注水管路與所述沖洗槽相連，所述刷洗槽注水支路的所述注水管路與所述刷洗槽相連，所述浸泡槽注水支路的所述注水管路與所述浸泡槽相連。
[0007]進(jìn)一步，還包括溢流系統(tǒng)，所述溢流系統(tǒng)包括沖洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路，所述沖洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路結(jié)構(gòu)相同，均包括溢流管路、設(shè)于所述溢流管路上的溢流開關(guān)、溢流調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)，所述沖洗槽溢流支路的所述溢流管路與所述沖洗槽相連，所述刷洗槽溢流支路的所述溢流管路與所述刷洗槽相連，所述浸泡槽溢流支路的所述溢流管路與所述浸泡槽相連。
[0008]進(jìn)一步，還包括水槍，所述水槍與所述注水管路相連。
[0009]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其水槽供水、溢流及排水均由氣動(dòng)閥控制，每個(gè)水槽有注水開關(guān)，排水開關(guān)，溢流開關(guān)和溢流量調(diào)節(jié)閥，裝置操作簡便、安全性高，不需要買免洗片盒，能同時(shí)對多個(gè)不同規(guī)格硅片片盒進(jìn)行清洗，不僅降低了生產(chǎn)成本，而且大大節(jié)省了片盒清洗的時(shí)間，提高了片盒清洗的產(chǎn)能。除此之外，操作臺上方配置FFU設(shè)備，為硅片片盒清洗工作提供了一個(gè)潔凈的微環(huán)境。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011 ]圖2是水槽排放液系統(tǒng)和注水系統(tǒng)連接示意圖。
[0012]圖中:1、沖洗槽；2、刷洗槽；3、浸泡槽；4、FFU設(shè)備；
[0013]5、箱體；6、工作臺；7、排水開關(guān)；8、排水管路；
[0014]9、注水管；10、注水開關(guān)；11、溢流管路；12、溢流開關(guān)；
[0015]13、溢流調(diào)節(jié)閥；14、流量計(jì)；15、水槍。

【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明創(chuàng)造的具體實(shí)施例做詳細(xì)說明。
[0017]如圖1、2所示，一種手動(dòng)片盒清洗裝置，包括沖洗槽1、刷洗槽2、浸泡槽3、FFU設(shè)備4、水槽排放液系統(tǒng)、注水系統(tǒng)、箱體5和內(nèi)嵌于所述箱體5內(nèi)的工作臺6，所述沖洗槽1、刷洗槽2和浸泡槽3均位于所述工作臺6上，所述刷洗槽2和所述沖洗槽I分別位于所述浸泡槽3的兩側(cè)，所述FFU設(shè)備4位于所述箱體5上方，所述水槽排放液系統(tǒng)和所述注水系統(tǒng)分別與所述沖洗槽1、刷洗槽2、浸泡槽3連接，所述工作臺6由孔板組成。
[0018]所述水槽排放液系統(tǒng)包括沖洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路，所述沖洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路結(jié)構(gòu)相同，均包括排水管路8和設(shè)于所述排水管路8上的排水開關(guān)7，所述沖洗槽排放支路的所述排水管路8與所述沖洗槽I相連，所述刷洗槽排放支路的所述排水管路8與所述刷洗槽2相連，所述浸泡槽排放支路的所述排水管路8與所述浸泡槽3相連。
[0019]所述注水系統(tǒng)包括沖洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路，所述沖洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路結(jié)構(gòu)相同，均包括注水管路9和設(shè)于所述注水管路9上的注水開關(guān)10，所述沖洗槽注水支路的所述注水管路9與所述沖洗槽I相連，所述刷洗槽注水支路的所述注水管路9與所述刷洗槽2相連，所述浸泡槽注水支路的所述注水管路9與所述浸泡槽3相連。
[0020]還包括溢流系統(tǒng)，所述溢流系統(tǒng)包括沖洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路，所述沖洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路結(jié)構(gòu)相同，均包括溢流管路11、設(shè)于所述溢流管路11上的溢流開關(guān)12、溢流調(diào)節(jié)閥13和流量計(jì)14，所述沖洗槽溢流支路的所述溢流管路11與所述沖洗槽I相連，所述刷洗槽溢流支路的所述溢流管路11與所述刷洗槽2相連，所述浸泡槽溢流支路的所述溢流管路11與所述浸泡槽3相連。
[0021]還包括水槍15，所述水槍15與所述注水管路9相連。
[0022]一種最佳實(shí)施例為，沖洗槽I和刷洗槽2各為兩個(gè)，浸泡槽3為一個(gè)，沖洗槽I和刷洗槽2分別位于浸泡槽3兩側(cè)。沖洗槽I可以將刷洗后片盒表面殘留的顆粒通過水流沖掉；刷洗槽2可用清洗毛刷將盒蓋、盒芯、盒底各個(gè)表面上的顆粒及沾污物質(zhì)刷洗干凈；浸泡槽3用來浸濕片盒，帶走片盒表面的沾污物質(zhì)。沖洗槽I和刷洗槽2的槽尺寸為600*355*300，材質(zhì)為PE，第5號槽尺寸為600*355*300，材質(zhì)為PVC。一種手動(dòng)片盒清洗裝置供水、溢流及排水由氣動(dòng)閥控制，每個(gè)水槽有供水開關(guān)，排水開關(guān)，溢流開關(guān)和溢流量調(diào)節(jié)閥，片盒清洗機(jī)工具為片盒清洗毛刷，毛刷粒徑為0.1mm。同時(shí)為了確保刷洗出來的片盒不被沾污，需要一個(gè)超潔凈的環(huán)境，因此在設(shè)備的頂部設(shè)計(jì)裝有FFU設(shè)備4，使得工作臺6形成一個(gè)潔凈的微環(huán)境。本發(fā)明創(chuàng)造中5個(gè)水槽分別對應(yīng)一路注水開關(guān)10、排水開關(guān)7和一路溢流開關(guān)12，在水槽為空時(shí)打開注水開關(guān)10，待水槽水滿后關(guān)閉注水開關(guān)10，將溢流開關(guān)12和排水開關(guān)7打開，由于水槽周圍都是由孔板構(gòu)成，所以不會造成水槽周圍有積水，清洗片盒后，將溢流開關(guān)12關(guān)閉，將水槽內(nèi)水排凈。具體使用時(shí)，首先將注水開關(guān)10打開，將排水開關(guān)7關(guān)閉，將5個(gè)水槽注滿水后，將溢流開關(guān)12打開，根據(jù)工藝需求，調(diào)節(jié)溢流量大小，將片盒分為盒芯、盒蓋、盒底分開浸泡，刷洗片盒時(shí)應(yīng)按照浸泡槽3 —刷洗槽2，浸泡槽3 —沖洗槽I，交替清洗片盒。
[0023]以上對本發(fā)明創(chuàng)造的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造申請范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明創(chuàng)造的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其特征在于:包括沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU設(shè)備、水槽排放液系統(tǒng)、注水系統(tǒng)、箱體和內(nèi)嵌于所述箱體內(nèi)的工作臺，所述沖洗槽、刷洗槽和浸泡槽均位于所述工作臺上，所述刷洗槽和所述沖洗槽分別位于所述浸泡槽的兩側(cè)，所述FFU設(shè)備位于所述箱體上方，所述水槽排放液系統(tǒng)和所述注水系統(tǒng)分別與所述沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽連接，所述工作臺由孔板組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其特征在于:所述水槽排放液系統(tǒng)包括沖洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路，所述沖洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路結(jié)構(gòu)相同，均包括排水管路和設(shè)于所述排水管路上的排水開關(guān)，所述沖洗槽排放支路的所述排水管路與所述沖洗槽相連，所述刷洗槽排放支路的所述排水管路與所述刷洗槽相連，所述浸泡槽排放支路的所述排水管路與所述浸泡槽相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其特征在于:所述注水系統(tǒng)包括沖洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路，所述沖洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路結(jié)構(gòu)相同，均包括注水管路和設(shè)于所述注水管路上的注水開關(guān)，所述沖洗槽注水支路的所述注水管路與所述沖洗槽相連，所述刷洗槽注水支路的所述注水管路與所述刷洗槽相連，所述浸泡槽注水支路的所述注水管路與所述浸泡槽相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其特征在于:還包括溢流系統(tǒng)，所述溢流系統(tǒng)包括沖洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路，所述沖洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路結(jié)構(gòu)相同，均包括溢流管路、設(shè)于所述溢流管路上的溢流開關(guān)、溢流調(diào)節(jié)閥和流量計(jì)，所述沖洗槽溢流支路的所述溢流管路與所述沖洗槽相連，所述刷洗槽溢流支路的所述溢流管路與所述刷洗槽相連，所述浸泡槽溢流支路的所述溢流管路與所述浸泡槽相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種手動(dòng)片盒清洗裝置，其特征在于:還包括水槍，所述水槍與所述注水管路相連。
【文檔編號】B08B3/00GK204247561SQ201420694636
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月18日
【發(fā)明者】劉振福, 張晉英, 劉伯云, 劉園, 尼志超 申請人:天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司