專利名稱：結(jié)晶化玻璃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于作為主要結(jié)晶的析出β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體的結(jié)晶化玻璃的發(fā)明，特別是關(guān)于適用于光通信領(lǐng)域的波導(dǎo)設(shè)備的波導(dǎo)層材料及各種設(shè)備的溫度補償用基板材料的結(jié)晶化玻璃。
背景技術(shù)：
眾所周知，過去，作為主結(jié)晶的析出β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體、膨脹系數(shù)接近零的結(jié)晶化玻璃，被用于爐窗用玻璃或建筑用防火玻璃等的各個領(lǐng)域。
但是，近年來，伴隨著光通信技術(shù)的發(fā)展，使用光纖的網(wǎng)絡(luò)逐漸完備。在這樣的網(wǎng)絡(luò)中，逐漸使用將復(fù)數(shù)波長的光一次傳送的多重技術(shù)，濾波片、聯(lián)結(jié)器逐漸成為了重要的設(shè)備。
由于這些光通信設(shè)備存在隨著溫度變化，特性會發(fā)生變化、在室外使用會出現(xiàn)故障的問題，所以需要發(fā)明一種在一定程度上保證這些光通信設(shè)備不隨溫度變化的技術(shù)，即溫度補償技術(shù)。
需要溫度補償?shù)木哂写硇缘脑O(shè)備有陣列光波導(dǎo)向器(以下稱為AWG)、平面光電路(以下稱為PLC)等波導(dǎo)設(shè)備以及碳纖維光柵(以下稱為FBG)。
如圖1所示，AWG與PLC等的波導(dǎo)設(shè)備1是一種在平面基板2上具有波導(dǎo)層3，于此波導(dǎo)層3中形成了波導(dǎo)部位(Core)4，可以進行光的分支、切換等處理的設(shè)備，它存在的問題為當周圍溫度產(chǎn)生變化時，會如式1所示，折射率和熱膨脹系數(shù)產(chǎn)生變化，而導(dǎo)致光程長度產(chǎn)生變化。
dS/dT＝(dn/dT)+nα此處，S表示光程長度，n表示核心部分的折射率，a表示熱膨脹系數(shù)。
而且，一般來說，由于在玻璃、結(jié)晶等透光材料中，表示熱膨脹系數(shù)的負數(shù)越大，折射率對溫度的依賴性就越大，所以在波導(dǎo)層上使用玻璃時，單純通過增大表示熱膨脹系數(shù)的負數(shù)，不能降低設(shè)備對溫度的依賴性。即，在AWG與PLC等的波導(dǎo)層材料中，設(shè)備特性的變化是通過折射率的溫度變化引起的光程變化來實現(xiàn)的。
另一方面，F(xiàn)BG是在光纖核心部分中形成持有格子狀的折射率變化部分，即光柵的設(shè)備，其特征為反射特定波長的光，存在著以下問題如果周圍溫度變化，如式2的公式所示，折射率與格子間隔的變化會引起反射波長的變化。
λ/T＝2{(n+T)Λ+n(Λ/T)}＝2Λ{(n/T)+n(A/T)/A)此處，λ表示反射波長，n表示核心部分的實際折射率，Λ表示設(shè)置格子狀的折射率變化部分的格子間隔。
作為防止這些設(shè)備的特性產(chǎn)生變化的手段，有以下方法通過在設(shè)備上施加適合溫度的應(yīng)力，抵消造成折射率變化的變動要素，調(diào)節(jié)折射率。
作為AWG、PLC等波導(dǎo)設(shè)備方面的具體實例，例如，可以按照2000信學(xué)電子設(shè)備團體會議C-13-21、C-3-13中所述，通過在設(shè)備內(nèi)設(shè)置應(yīng)力施加用銷、使用分割的鋁制基板，對設(shè)備施加相應(yīng)的應(yīng)力，來調(diào)整波導(dǎo)部位的折射率的方法。
而且，作為FBG方面的具體實例，例如；可以使用在由熱膨脹系數(shù)小的合金、石英玻璃的材料與膨脹系數(shù)大的鋁等金屬組合使用的溫度補償用材料上固定FBG的方法。即，如圖3所示，在熱膨脹系數(shù)小的殷鋼(商標)棒10的兩端分別安裝熱膨脹系數(shù)相對較小的鋁制托架11a、11b，在這些鋁制的托架11a、11b上，使用壓塊12a、12b，以一定的張力把FBG13在拉伸狀態(tài)下固定。此時，F(xiàn)BG13的光柵部分13a正好處于2個壓塊12a、12b的中間。
如果在此狀態(tài)下提高周圍溫度，鋁制托架11a、11b會伸長，從而縮短與2個壓塊12a、12b之間的距離，所以施加在FBG13的光柵部分13a上的張力就會減小。另一方面，如果降低周圍溫度，鋁制托架11a、12b就會收縮，從而加大了與2個壓塊12a、12b的距離，所以施加在FBG13的光柵部分13a上的張力就會增大。因此，通過溫度變化來變化施加在FBG上的張力的方法可以調(diào)節(jié)光柵部分的格子的間隔，可以降低反射中心波長對溫度的依賴性。
但是，這種溫度補償裝置由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，存在著制作困難、使用困難的問題。
所以，在WO97/28480中提出了作為解決FBG存在的上述問題的方法，即如圖2所示，通過對于預(yù)先成型成板狀的原玻璃體進行熱處理，制作出內(nèi)部析出β-石英固溶體的負膨脹的結(jié)晶化玻璃14，在用砝碼15施加張力的狀態(tài)下，將FBG16用粘著劑固定在這種結(jié)晶化玻璃14上，通過結(jié)晶化玻璃14的膨脹收縮，來控制這種張力。這種方法也可以適用于波導(dǎo)設(shè)備。而且，在圖1中，16a表示的是光柵部分。
由于在WO97/28480中揭示的結(jié)晶化玻璃可以增大負數(shù)的熱膨脹系數(shù)，使用單一材料來進行溫度補償，所以可以制作出結(jié)構(gòu)簡單的設(shè)備，但是，由于在此種使用意圖方面的結(jié)晶化玻璃的晶粒邊界中經(jīng)常會發(fā)生空隙、龜裂現(xiàn)象，存在著熱膨脹的磁滯問題。
熱膨脹的磁滯是指由于溫度變化導(dǎo)致材料膨脹、收縮時，升溫過程的膨脹情況與降溫過程的膨脹情況不一致的現(xiàn)象。即使將熱膨脹的磁滯現(xiàn)象大的材料作為溫度補償用材料使用，也不能正確地補償設(shè)備對溫度的依賴性。
雖然在WO97/28480中說明了以降低結(jié)晶化玻璃的熱膨脹磁滯為目的，在400～800℃的溫度范圍內(nèi)重復(fù)進行加熱處理的方法，但是，這樣的熱處理會導(dǎo)致大幅降低生產(chǎn)性、提高成本問題的發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是適應(yīng)上述情況的物質(zhì)，其目的在于提供具有在溫度補償技術(shù)方面所需的負的熱膨脹系數(shù)，且熱膨脹的磁滯小、可以以很低的成本進行生產(chǎn)的結(jié)晶化玻璃。
本發(fā)明中的結(jié)晶化玻璃可以析出作為主要結(jié)晶的β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體，結(jié)晶化程度達到70質(zhì)量％以上，結(jié)晶顆粒直徑達到0.5μm以下，在晶粒邊界中不存在實質(zhì)的空隙和龜裂，在-40℃～100℃的溫度范圍內(nèi)的負的熱膨脹系數(shù)小于-10×10-7/℃，而且在此溫度范圍內(nèi)的熱膨脹磁滯在10ppm以下，折射率的溫度依賴性dn/dT在13×10-6/℃以下。
為了明確本發(fā)明的特征，首先對于析出β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體得到具有很小的負的熱膨脹系數(shù)的結(jié)晶化玻璃的一般原理進行說明。
此原理大體上分為兩個原理，第一原理為通過析出與熱膨脹有各向異性的結(jié)晶，在晶粒邊界生成多數(shù)的空隙和龜裂，利用減少對正數(shù)熱膨脹成分的依存，來增大其對負的熱膨脹成分的依存，從整體方面發(fā)現(xiàn)負的熱膨脹。此時，由于晶粒邊界中的熱應(yīng)力作用下形成了空隙和龜裂，如果結(jié)晶顆粒直徑不能達到一定的程度，就不會產(chǎn)生充分的熱應(yīng)力，所以就不會產(chǎn)生空隙和龜裂，也不能得到很小的負的熱膨脹系數(shù)。在第一原理中，得到充分的負的熱膨脹系數(shù)，就需要結(jié)晶顆粒的直徑達到1μm以上。根據(jù)此原理，在溫度上升及溫度下降的過程中，微小的空隙和龜裂會再次結(jié)合、再次離解，必然會在熱膨脹過程中顯現(xiàn)出磁滯現(xiàn)象。因此，WO97/28480中揭示的結(jié)晶化玻璃是根據(jù)此原理制作出來的。
第二個原理是使玻璃基體大量析出具有負的熱膨脹系數(shù)的結(jié)晶，將結(jié)晶所具有的熱膨脹現(xiàn)象在材料整體中反映出來。由于這種結(jié)晶化玻璃不需要在晶粒邊界中形成空隙和龜裂，所以具有熱膨脹的磁滯極小的優(yōu)點。但是，由于對于玻璃基體部分的正的熱膨脹會產(chǎn)生沖突，為了達成作為全體的負的熱膨脹，所以需要提高結(jié)晶的含有比例，即結(jié)晶化程度。為了提高結(jié)晶化玻璃的結(jié)晶化程度，提高結(jié)晶化時的熱處理溫度(結(jié)晶化溫度)是一種有效的方法。但是，超過一定的溫度時，β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體開始向具有正的熱膨脹系數(shù)的β-鋰輝石固溶體等物質(zhì)轉(zhuǎn)化，所以即使為了達到提高結(jié)晶化程度的為目的而在高溫下使其結(jié)晶化，也不會得到具有很小的負的熱膨脹系數(shù)的結(jié)晶化玻璃。
本發(fā)明的發(fā)明者以上述的第二原理為基礎(chǔ)，對于結(jié)晶化玻璃的結(jié)晶化程度以及結(jié)晶的轉(zhuǎn)化溫度問題進行了種種研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過嚴密調(diào)整玻璃的組成、結(jié)晶化溫度或者結(jié)晶化時的壓力，將結(jié)晶顆粒的直徑控制在一定數(shù)值以下，可以防止β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體向β-鋰輝石固溶體轉(zhuǎn)化，從而提出了本發(fā)明的方案。
即，本發(fā)明的發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)，為了進行各種光通信設(shè)備的溫度補償，需要具有小于-10×10-7/℃的負的熱膨脹系數(shù)的材料，為了將這種材料制作成結(jié)晶化玻璃，需要析出作為主體結(jié)晶的β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體，使其結(jié)晶化程度達到70質(zhì)量％(推薦為75質(zhì)量％，達到80質(zhì)量％更好)。同時發(fā)現(xiàn)，如果將結(jié)晶化玻璃中的結(jié)晶顆粒直徑控制在0.5μm以下(推薦達到0.2μm以下)，可以提高向β-鋰輝石固溶體的轉(zhuǎn)化溫度，即使在高結(jié)晶化溫度下進行熱處理，也可以在保持β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體的結(jié)晶構(gòu)造的同時，達到70質(zhì)量％以上的結(jié)晶化程度。此外，雖然結(jié)晶顆粒直徑達到0.5μm以下，向β-鋰輝石固溶體的轉(zhuǎn)化溫度會提高的理由不確定，但是，推測可能是因為結(jié)晶顆粒的直徑變小，晶粒邊界的結(jié)晶組成原子將很難進行再排列。
而且，本發(fā)明中的結(jié)晶化玻璃中，由于結(jié)晶顆粒的直徑在0.5μm以下，晶粒邊界中的熱應(yīng)力變小，在晶粒邊界中不會產(chǎn)生實質(zhì)性的空隙和龜裂，可以將在-40℃～100℃的溫度范圍內(nèi)的熱膨脹的磁滯控制在10ppm以下。
由于在本發(fā)明的結(jié)晶化玻璃中，結(jié)晶顆粒的直徑在0.5μm以下，所以具有透光性，具體來說，在400～1700nm中，厚度為3mm的結(jié)晶化玻璃的光的透過率在20％以上，使用粘著樹脂組裝設(shè)備時，可以確認粘著狀態(tài)，所以推薦使用。而且，由于光的透過率高，紫外線的透過率也會變高，所以可以使用紫外線硬化性樹脂組裝設(shè)備。因此，光的透過率越高越好，希望達到30％以上。
在本發(fā)明的結(jié)晶化玻璃中，由于在波長為400～1700nm的，厚度為3mm的結(jié)晶化玻璃的光的透過率在20％以上，也可以用于利用其光學(xué)特性的AWG與PLC等的波導(dǎo)層材料。此時，推薦結(jié)晶化玻璃的光程長度的溫度依賴性dS/dT在10×10-6/℃，達到5×10-6/℃以下更好。即，近年來，光程為一定的光學(xué)設(shè)備的重要性逐漸提高，需要光程的溫度依賴性dS/dT小的透光性材料。這是因為材料的dS/dT達到10×10-6/℃以下，即使在溫度變化的環(huán)境中，設(shè)備的特性也是穩(wěn)定的。
以下對于光程長度的溫度依賴性進行詳細地說明。
以前，在激光振蕩器的儀器中，其構(gòu)造上的透光特性以外的部分的光程長度也與設(shè)備特性相關(guān)，設(shè)備的光程長度的溫度依賴性如式3的公式所示。
dS/dT＝(dn/dT)+(n-1)α在公式中，n表示折射率，dn/dT表示折射率的溫度依賴性，a表示熱膨脹系數(shù)。在此公式中，由于熱膨脹系數(shù)的作用很小，利用熱膨脹系數(shù)的正數(shù)很大、dn/dT為負數(shù)的性質(zhì)的非晶質(zhì)玻璃，可以減小dS/dT。
另一方面，在本發(fā)明中作為對象的光學(xué)設(shè)備中，其結(jié)構(gòu)上，只在具有透光性的波導(dǎo)層材料中的光程長度成為問題，設(shè)備的光程長度的溫度依賴性如上所述，利用式1的公式表示。式1的公式，與式3的公式相比，由于熱膨脹系數(shù)對于dS/dT的影響很大，在以前的非晶質(zhì)玻璃等熱膨脹系數(shù)的正數(shù)大的材料中，減小dS/dT是很困難的。
但是，本發(fā)明中的結(jié)晶化玻璃具有負的熱膨脹系數(shù)，由于dn/dT在3×10-6/℃以下，dS/dT很容易達到10×10-6/℃以下。
本發(fā)明中的結(jié)晶化玻璃的質(zhì)量％推薦為SiO260～72％、Al2O318～26％、Li2O 3.8～6.5％、ZrO21.5～4.1％、P2O50～10％，其理由如下所示。
首先，SiO2為構(gòu)成玻璃網(wǎng)孔的主要成分，同時是構(gòu)成析出結(jié)晶的成分。如果SiO2少于60％，玻璃會不穩(wěn)定，同時，很難析出作為主要結(jié)晶的具有希望的結(jié)晶顆粒直徑的β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體。相反，如果多于72％，玻璃將很難達到熔融狀態(tài)。SiO2的推薦范圍為62～70％，達到63～69％更好。
Al2O3同樣為構(gòu)成玻璃網(wǎng)孔的主要成分，同時是構(gòu)成析出結(jié)晶的成分。如果Al2O3少于18％，很難析出所希望的結(jié)晶。相反，如果多于26％，容易造成玻璃的不透明現(xiàn)象。Al2O3的推薦范圍為20～24％，達到20.5～23％更好。
Li2O是構(gòu)成β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體結(jié)晶的成分。如果Li2O少于3.8％，結(jié)晶化程度很難達到70％以上；相反，如果多于6.5％，容易造成玻璃的不透明現(xiàn)象，同時很難將結(jié)晶顆粒的直徑控制在0.5μm以下。Li2O的推薦范圍為4～6％，達到4.2～5.7％更好。
ZrO2是具有形成玻璃中的結(jié)晶成核作用的成分。如果ZrO2少于1.5％，成核作用不充分，不能均一地析出具有所希望顆粒直徑的結(jié)晶。相反，如果多于4.1％，玻璃很難達到熔融狀態(tài)，容易導(dǎo)致不透明現(xiàn)象的發(fā)生，所以不推薦使用。ZrO2的推薦范圍為1.8～3.8％，達到2～3.5％更好。
P2O5促進成核的同時，還具有減小折射率的溫度依賴性dn/Dt的效果，其可以減小光程長度的溫度依賴性dS/dT。如果多于10％，玻璃的粘度會提高，熔融困難。P2O5的推薦范圍為0～4.5％，達到0～3.5％更好。
而且，在本發(fā)明中，可以根據(jù)需要添加例如TiO2、As2O3、B2O3、SnO2、MgO、Na2O、K2O、BaO、ZnO、Sb2O3、CaO、SrO等其他成分。例如，為了提高玻璃的熔融性，可以將B2O3添加至8％。
但是，添加TiO2與As2O3時，要分別將添加量控制在1％以下。
即，TiO2一般被用作成核的成分，具有促進β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體向β-鋰輝石固溶體轉(zhuǎn)化的作用。因此，如果TiO2多于1％，容易析出β-鋰輝石固溶體，很難得到-10×10-7/℃以下的負的膨脹系數(shù)。而且，短波長域的透光性會降低。所以，推薦將TiO2控制在0.8％以下，達到0.7％以下更好。
As2O3一般用作玻璃的凈化劑，與TiO2一樣，具有促進結(jié)晶轉(zhuǎn)化的作用。因此，如果As2O3多于1％，容易析出β-鋰輝石固溶體，結(jié)晶化程度很難達到70質(zhì)量％以上，很難得到-10×10-7/℃以下的負的膨脹系數(shù)。所以，推薦將As2O3控制在0.8％以下，達到0.6％以下更好。
如上所述，在本發(fā)明中，As2O3的使用量應(yīng)該盡量控制，但是，為了達到補充潔凈度的目的，可以將SnO2添加至5％。即，雖然SnO2與As2O3一樣，具有凈化玻璃的作用，但是幾乎沒有發(fā)現(xiàn)其具有促進結(jié)晶轉(zhuǎn)化的作用。而且，SnO2也具有成核能力。
在本發(fā)明中，希望在820～1000℃的結(jié)晶化溫度下對結(jié)晶化玻璃進行熱處理。即，結(jié)晶化溫度不足820℃時，使其析出作為主要結(jié)晶的β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體，且結(jié)晶化程度達到70質(zhì)量％是很困難的。如果超過1000℃，則容易轉(zhuǎn)化為β-鋰輝石固溶體。
結(jié)晶化程度也依存于結(jié)晶化時的環(huán)境壓力，由于提高壓力，可以提高結(jié)晶化程度，所以在提高壓力的情況下，在低溫中也可以達到所規(guī)定的結(jié)晶化程度。為了達到此效果，需要至少5×107Pa(500氣壓)以上的壓力。


圖1為表示波導(dǎo)設(shè)備的斜視圖。
圖2為表示具有在表面固定FGB的負的熱膨脹系數(shù)的結(jié)晶化玻璃的斜視圖。
圖3位表示防止相對于以前的FBG的反射波長的溫度變化產(chǎn)生的變動的裝置的正面圖。
具體實施例方式
以下，以實施實例為基礎(chǔ)，詳細地說明本發(fā)明的結(jié)晶化玻璃。
表1、2中表示的是本發(fā)明的結(jié)晶化玻璃(試驗材料No.1～9)與比較實例的結(jié)晶化玻璃(試驗材料NO.10～12)。
表1

※β-spdβ-鋰輝石固溶體表2


※β-spdβ-鋰輝石固溶體表1、2中的各種結(jié)晶化玻璃是按照以下方法調(diào)配的。
首先，為了得到表中的各種組成部分，要調(diào)配好原料后，放入白金坩堝中，進行1580℃20小時的熔融。然后，將熔融后的玻璃倒在碳板上，通過輥筒成型，成型出厚度為4mm的玻璃板，慢慢地冷卻至室溫。
接下來，對于各個玻璃板進行780℃2小時的成核處理后，按照表中的結(jié)晶化溫度進行1小時的結(jié)晶化處理，冷卻至室溫。此外，對于實施實例2及5的玻璃板，要在等方向上施加1500×105Pa的壓力的同時，進行780℃2小時的成核處理后，按照表中的結(jié)晶化溫度實施熱處理，冷卻至室溫。
對于按照此方法調(diào)制的各種試驗材料，進行有無向β-鋰輝石固溶體的轉(zhuǎn)化、結(jié)晶顆粒直徑、有無晶粒邊界的空隙以及龜裂、結(jié)晶化程度、熱膨脹系數(shù)、熱膨脹的磁滯、400nm的光透過率、折射率的溫度依賴性以及光程長度的溫度依賴性的評定。
如表中所示，實施實例中No.1～9中的各種試驗材料都析出了作為主要結(jié)晶的β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體，結(jié)晶顆粒直徑在0.15μm以下，沒有晶粒邊界的空隙和龜裂，結(jié)晶化程度在72質(zhì)量％以上。而且，熱膨脹系數(shù)也低于-10×10-7/℃，熱膨脹的磁滯也在3ppm以下。光透過率在35％以上，折射率的溫度依賴性(dn/dt)在12×10-6/℃以下，光程長度的溫度依賴性(dS/dT)在9×10-6/℃以下。
另一方面，比較實例的No.10和11中的各種試驗材料方面，結(jié)晶顆粒直徑都達到1.0μm以上，主要結(jié)晶向β-鋰輝石固溶體轉(zhuǎn)化，熱膨脹系數(shù)顯現(xiàn)出正值。在No.12的試驗材料方面，由于顯示出負數(shù)很大的熱膨脹系數(shù)，且產(chǎn)生了晶粒邊界空隙，所以磁滯很大，而且光的透過率為0％。而且，No.10～12的各種試驗材料都為不透明，且不能測定折射率及光程長度的溫度依賴性。
表中的向β-鋰輝石固溶體的轉(zhuǎn)化與結(jié)晶化程度是使用眾所周知的X線衍射法求得的；結(jié)晶顆粒直徑與晶粒邊界空隙、龜裂的有無是使用掃描型電子顯微鏡檢查的；熱膨脹系數(shù)與磁滯是使用膨脹計測定的。光的透過率是把各種試驗材料切割成3mm的厚度，使用分光光度計測定400nm的光的透光率；折射率的溫度依賴性是通過改變試驗材料的溫度，測定折射率的方法評定的；關(guān)于光程長度的溫度依賴性，是使用將試驗材料配置在使用波長在1100～1700nm范圍內(nèi)的光的干擾光學(xué)系中的一個光路中，從改變試驗材料的溫度時觀察得到的干擾條紋的變化求得光程長度的溫度依賴性中最大值的方法評定的。
如上所述，由于本發(fā)明的結(jié)晶化玻璃具有小于-10×10-7/℃的負的熱膨脹系數(shù)，且熱膨脹的磁滯在10ppm以下，特別適用于在光通信領(lǐng)域使用的FBG及波導(dǎo)設(shè)備的溫度補償用基板材料。
而且，由于可以在折射率的溫度依賴性dS/dT控制在13×10-6/℃以下，將光程長度的溫度依賴性dS/dT控制在10×10-6/℃以下，也適用于需要保持一定光程長度的AWG和PLC等波導(dǎo)設(shè)備的波導(dǎo)層材料。
權(quán)利要求
1.一種結(jié)晶化玻璃，其特征在于，析出作為主要結(jié)晶的β-石英固溶體或者β-鋰霞石固溶體、結(jié)晶化程度在70質(zhì)量％以上、結(jié)晶顆粒直徑在0.5μm以下、結(jié)晶晶粒邊界中不存在實質(zhì)的空隙、龜裂、在-40℃～100℃的溫度范圍內(nèi)負的熱膨脹系數(shù)小于-10×10-7/℃、且在此溫度范圍內(nèi)的熱膨脹的磁滯在10ppm以下、折射率的溫度依賴性dn/dT在13×10-6/℃以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶化玻璃，其特征在于，含有質(zhì)量％為計的60～72％SiO2、18～26％Al2O3、3.8～6.5％Li2O、1.5～4.1％ZrO2、0～10％P2O5。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶化玻璃，其特征在于，在波長為400～1700nm中，厚度為3mm的光線透過率為20％以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶化玻璃，其特征在于，光程長度的溫度依賴性dS/dT在10×10-6/℃以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)晶化玻璃，其特征在于，光程長度的溫度依賴性dS/dT在5×10-6/℃以下。
6.一種光學(xué)設(shè)備，包含權(quán)利要求1～5中的任何一項中記載的結(jié)晶化玻璃作為組成材料中的一部分。
全文摘要
本發(fā)明的結(jié)晶化玻璃為析出作為主要結(jié)晶的β－石英固溶體或者β－鋰霞石固溶體的、結(jié)晶化程度在70質(zhì)量％以上的、結(jié)晶顆粒直徑在0.5μm以下的、結(jié)晶晶粒邊界中不存在實質(zhì)的空隙、龜裂的、在－40℃～100℃的溫度范圍內(nèi)，負的熱膨脹系數(shù)小于－10×10
文檔編號C03C10/14GK1871179SQ02813398
公開日2006年11月29日 申請日期2002年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月4日
發(fā)明者北村直之, 俁野高宏, 坂本明彥 申請人:日本電氣硝子株式會社, 獨立行政法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)總合研究所