專利名稱：劃線裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在大張脆性材料底板上形成劃線輪廓的劃線裝置。
在截斷脆性材料底板的場合下所進行的劃線工序中，所用的公知方法是用超硬合金制造或用燒結(jié)金剛石制造的輪狀刻刀形成劃線輪廓的方法。但是在使用上述輪狀刻刀的方法中，在形成劃線輪廓時所產(chǎn)生的碎玻璃會附著在脆性材料底板的表面上，在將脆性材料底板使用到顯示裝置等場合下，將成為顯示缺陷的原因。而且在進行將脆性材料底板截斷的斷開工序時，也會在脆性材料底板的斷面等部分產(chǎn)生不希望有的缺損，因此就有使截斷后的脆性材料底板的質(zhì)量降低的問題。
針對這種情況，在最近幾年，使用激光束流形成劃線輪廓的方法已被實用化了。這種使用激光束流形成劃線輪廓的方法如圖6所示，它是把激光振蕩裝置61輸出的激光束流LB照射到構(gòu)成劃線對象的脆性材料底板S上。由激光振蕩裝置61照射的激光束流LB在脆性材料底板S上沿著劃線用預(yù)定的輪廓形成激光光點LS。將激光振蕩裝置61照射的激光束流LB設(shè)定成沿著劃線用預(yù)定的輪廓SL在脆性材料底板S上相對地移動。
還從冷卻噴嘴62噴射冷卻水等冷卻劑，使脆性材料底板S表面的激光束流LB照射區(qū)域附近形成劃線輪廓。被照射激光束流LB的脆性材料底板S的表面經(jīng)激光束流LB加熱而產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，通過冷卻劑的噴射而產(chǎn)生拉伸應(yīng)力。這樣，由于與產(chǎn)生壓縮應(yīng)力的區(qū)域相接近的區(qū)域產(chǎn)生了拉伸應(yīng)力，因而在兩個區(qū)域之間產(chǎn)生了基于各個應(yīng)力的應(yīng)力梯度，在脆性材料底板S上生成一個垂直裂縫(盲裂縫)，它是從脆性材料底板S的端部、用輪狀刻刀等工具預(yù)先形成的切縫TR開始、沿著劃線用預(yù)定輪廓而連續(xù)形成的。
由于使用如上所述的激光束流而形成劃線輪廓的方法極少產(chǎn)生碎玻璃，在劃線輪廓的形成過程中利用了熱應(yīng)變應(yīng)力，因而在進行斷開工序時、脆性材料端部的端面上不容易發(fā)生缺損。
雖然上述的用激光束流照射的劃線輪廓形成方法主要是適用于對液晶顯示裝置所用的小型玻璃底板等進行劃線的場合，但是在對大型玻璃底板進行劃線的場合下也可以用同樣的原理進行劃線。
對大張的玻璃底板進行劃線用的激光劃線裝置是設(shè)計成這樣的，即、使規(guī)定波長的激光束流進行振蕩的激光振蕩器被設(shè)置在與構(gòu)成劃線對象的大張玻璃底板離開的位置上，借助反射鏡等傳送系統(tǒng)將束流的能量傳送到設(shè)置在大張玻璃底板的劃線輪廓形成面上的光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部。在這光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部的附近位置上設(shè)置著噴射冷卻劑的冷卻噴嘴。而且，采用這種劃線裝置在大張玻璃底板上形成劃線輪廓的場合下，光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部和冷卻噴嘴沿著所希望的劃線用預(yù)定輪廓的方向相對于被固定的大張玻璃底板進行掃描，借助由激光束流照射形成的加熱和由冷卻噴嘴噴出的冷卻劑所形成的冷卻，使垂直裂縫(盲裂縫)從預(yù)先在端部形成的切縫開始發(fā)展，以形成所希望的劃線輪廓。
但是，這種裝置結(jié)構(gòu)中，為了在大張玻璃底板上形成劃線輪廓，必需使光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部和冷卻噴嘴在大張玻璃底板上移動，因此隨著這光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部和冷卻噴嘴的移動就會使激光束流相對于玻璃底板面的光路發(fā)生變動，從而使玻璃底板面上形成的束流形狀發(fā)生變動，還會使冷卻噴嘴噴出冷卻劑的噴射位置發(fā)生變動。因此，由于發(fā)生了這些變動，因而就很難保持穩(wěn)定的劃線輪廓的形成，這樣，存在沿著劃線輪廓將玻璃底板斷開之后，很難確保穩(wěn)定的玻璃底板截斷面質(zhì)量的問題。
此外，由于用上述的劃線裝置，要在同一個大張玻璃底板面上設(shè)置多個光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部，這在結(jié)構(gòu)上也是困難的，因而還存在很難將加工處理時間(生產(chǎn)節(jié)拍)縮短的問題。
本發(fā)明是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題而作出，其目的是提供一個能適用于對大張脆性材料底板進行劃線的劃線裝置，在使用激光束流照射和由冷卻劑進行冷卻而形成劃線輪廓的場合下，能夠消除相對于脆性材料底板的劃線輪廓形成面的光路變動，而且由于能夠設(shè)置多個光學(xué)系統(tǒng)鏡頭部，因而可將加工處理時間縮短。
在上述本發(fā)明的劃線裝置中，最好是上述加熱機構(gòu)具有發(fā)生振蕩的激光束流的激光振蕩器、將上述激光振蕩器發(fā)生的激光整形成規(guī)定形狀之后照射到上述脆性材料底板上的光學(xué)組件、配置在上述激光振蕩器和光學(xué)組件之間并將上述激光振蕩器照射的激光束流傳送到上述光學(xué)系統(tǒng)組件上的傳送機構(gòu)；由上述固定機構(gòu)將上述激光振蕩器、光學(xué)系統(tǒng)組件和傳送機構(gòu)固定成一體。
在上述本發(fā)明的劃線裝置中，最好是上述冷卻機構(gòu)和切縫形成機構(gòu)隔著上述加熱機構(gòu)分別設(shè)置在上述脆性材料底板的移動方向的兩側(cè)，上述固定機構(gòu)相對于上述脆性材料底板、無論朝前進和后退的任何一個方向移動都能進行劃線。
在上述本發(fā)明的劃線裝置中，最好是設(shè)有多個上述固定機構(gòu)，在上述脆性材料底板的多個部位同時地形成劃線輪廓。
上述本發(fā)明的劃線裝置，其特征在于，設(shè)有固定機構(gòu)，它是把在脆性材料底板上形成加熱區(qū)域的加熱機構(gòu)、在接近這個加熱區(qū)域的位置上形成冷卻區(qū)域的冷卻機構(gòu)、以及形成作為劃線輪廓開始點的切縫的切縫形成機構(gòu)固定成一體，由上述固定機構(gòu)將上述加熱機構(gòu)、冷卻機構(gòu)和切縫機構(gòu)相對于脆性材料底板保持成一定的位置關(guān)系的同時，使它們移動的。用本發(fā)明的劃線裝置，即使使形成劃線輪廓所必需的各個構(gòu)件相對于脆性材料底板而移動，也能防止加熱區(qū)域和冷卻區(qū)域的形成位置發(fā)生變動。因此能維持穩(wěn)定的劃線輪廓的形成，能確保經(jīng)形成劃線輪廓之后所實施的斷開工序而截斷的脆性材料底板S的穩(wěn)定的截斷面的質(zhì)量。
本發(fā)明的另一個劃線裝置是冷卻機構(gòu)和切縫形成機構(gòu)隔著上述加熱機構(gòu)分別設(shè)置在上述脆性材料底板的行進方向的兩側(cè)，即使上述固定機構(gòu)相對于該脆性材料底板、朝前進方向或后退方向的任意一個方向移動，都能在脆性材料底板上進行劃線。因此能縮短加工處理時間、能適于大張脆性材料底板的劃線形成。
本發(fā)明的再一個劃線裝置是設(shè)有多個將加熱機構(gòu)、冷卻機構(gòu)和切縫機構(gòu)固定成一體的固定機構(gòu)，設(shè)有能使各個固定機構(gòu)向同一個方向移動的移動機構(gòu)，通過該移動機構(gòu)的移動使各個固定機構(gòu)向同一方向移動，就能同時在脆性材料底板的表面的多個部位上同時形成劃線輪廓。由此、相對于一個脆性材料底板、用1次劃線就能形成多個劃線輪廓，能縮短加工處理時間，能適于大張脆性材料底板的劃線形成。
圖2是表示本發(fā)明實施方式2的劃線裝置的側(cè)視圖。
圖3是表示本發(fā)明實施方式3的劃線裝置的側(cè)視圖。
圖4是表示本發(fā)明實施方式3的劃線裝置的俯視圖。
圖5是表示本發(fā)明實施方式3的劃線裝置的正視圖。
圖6是用于說明用激光束流照射的脆性材料底板截斷方法的模式圖。
(實施方式1)

圖1表示本發(fā)明實施方式1的劃線裝置的概略結(jié)構(gòu)，圖1(a)是側(cè)視圖、圖1(b)是俯視圖、圖1(c)是正視圖。下面，參照圖1(a)～(c)，說明本實施方式1的劃線裝置1。
這種劃線裝置1具有形成平板狀的支持臺2。在支持臺2的上面、相對于支持臺2成一體地安裝著激光振蕩器3，用于產(chǎn)生有規(guī)定照射能量的振蕩的激光束流。在支持臺2上、在激光振蕩器3的激光束流射出側(cè)形成開口部2a，在開口部2a的下面，相對于支持臺2成一體地安裝著光學(xué)系統(tǒng)組件4，它將激光振蕩器3照射的激光束流入射并整形成規(guī)定的形狀之后，入射到構(gòu)成劃線對象的脆性材料底板S的表面上。在支持臺2的開口部2a上方位置、還相對于支持臺2成一體地設(shè)置著2個彎曲反射鏡5，它將激光振蕩器3照射的激光束流反射到設(shè)置在開口部2a下面的光學(xué)系統(tǒng)組件4的方向。
在支持臺2的下面、在光學(xué)系統(tǒng)組件4的附近位置上、相對于支持臺2成一體地設(shè)置著冷卻噴頭6，它將冷卻劑噴射到脆性材料底板S的表面上。在冷卻噴頭6的相反側(cè)、將光學(xué)系統(tǒng)組件4夾在中間地設(shè)置著起動機構(gòu)7，用于在脆性材料底板S的端部等部位形成作為劃線輪廓的開始點(起動)的切縫。
冷卻噴頭6、光學(xué)系統(tǒng)組件4、起動機構(gòu)7等構(gòu)件是按照這個順序分別配設(shè)成沿著劃線用預(yù)定輪廓的同一直線上。為了使脆性材料底板S上的由冷卻劑噴射而形成的冷卻區(qū)域和由激光束流照射而形成的加熱區(qū)域構(gòu)成相互接近的位置關(guān)系，將冷卻噴頭6和光學(xué)系統(tǒng)組件4相互接近地配置。而起動機構(gòu)7只要配設(shè)成能形成作為劃線輪廓開始點的切縫就可以，相對于由激光系統(tǒng)組件4的激光束流照射而形成的加熱區(qū)域可以接近、也可以離開一些，因此可以將其設(shè)置在任意位置。
成一體地安裝著激光振蕩器3、彎曲反射鏡5、光學(xué)系統(tǒng)組件4、冷卻噴頭6的支持臺2由圖中沒有表示的驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動，能沿著劃線用預(yù)定輪廓移動，在形成劃線輪廓時，支持臺2相對于脆性材料底板S、以起動機構(gòu)7側(cè)為前頭的方向而移動。而且由該移動機構(gòu)將支持臺2的移動速度調(diào)整成較好地適用于形成劃線輪廓。
為了防止由激光振蕩器3產(chǎn)生的振蕩激光束流在脆性材料底板S上形成的加熱區(qū)域的加熱溫度使脆性材料底板S的表面熔融，使用那種比脆性材料底板S熔融溫度還低的，即、能量比脆性材料底板S的軟化點還低的激光振蕩器結(jié)構(gòu)。這時，由于構(gòu)成劃線對象的脆性材料底板S種類的不同、軟化點也不同，因而由激光振蕩器3輸出的振蕩激光束流的照射能量最好設(shè)定成能根據(jù)脆性材料底板S的種類而變動的。
用光學(xué)系統(tǒng)組件4將由激光振蕩器3射出的、借助2個彎曲反射鏡5而入射的激光束流整形成適于形成劃線輪廓所要求的形狀，例如整形成沿著劃線用預(yù)定輪廓方向的長的橢圓形狀。
作為從冷卻噴頭6噴出的冷卻劑，為了便于使用，具有代表性的是水，但也可以變更成冷卻用的CO2氣體、N2氣、He氣等氣體狀冷卻劑或冷卻用的有機溶劑等液體狀冷卻劑。
起動機構(gòu)7是設(shè)有輪狀刻刀等的機械式機構(gòu)，例如借助將輪狀刻刀按壓到脆性材料底板S的表面上，在脆性材料底板S的所希望的位置、例如接近脆性材料底板S的表面的端部形成作為劃線輪廓的開始點的切縫。這個機械式機構(gòu)必需對脆性材料底板S上的所希望位置以外的脆性材料底板S不進行按壓，在起動機構(gòu)7上設(shè)置著使這個機械式機構(gòu)進行上下移動的上下移動機構(gòu)(圖中沒有表示)。作為在脆性材料底板S表面上形成切縫的機構(gòu)，除了采用機械式的機構(gòu)以外，還可以采用YAG激光等光學(xué)式的機構(gòu)。這時，由于這個光學(xué)式的機構(gòu)相對于脆性材料底板S的表面是不接觸的，因而就不必設(shè)置上下移動機構(gòu)。
下面，對使用上述結(jié)構(gòu)的劃線裝置的劃線方法進行說明。
先將作為劃線對象的脆性材料底板S放置在處于劃線裝置1的光學(xué)系統(tǒng)組件4、冷卻噴頭6和起動結(jié)構(gòu)7的下方位置的工作臺上。在放置時，對脆性材料底板S進行位置對準(zhǔn)，使脆性材料底板S表面的劃線用預(yù)定輪廓的方向與劃線裝置1的劃線方向一致。
接著，借助移動機構(gòu)的驅(qū)動，使成一體地安裝著光學(xué)系統(tǒng)組件4、冷卻噴頭6和起動機構(gòu)7的支持臺2相對于脆性材料底板S移動。當(dāng)使支持臺2移動時，起動機構(gòu)7先達到脆性材料底板S的端部。在該端部位置、使安裝在起動機構(gòu)7前端上的輪狀刻刀等機械式機構(gòu)按壓在脆性材料底板S的表面上，由此在這位置上形成切縫，以作為劃線輪廓的開始點。
在脆性材料底板S的表面上形成切縫之后，將起動機構(gòu)7前端的機械式機構(gòu)處于相對于脆性材料底板S表面的非接觸狀態(tài)，在使脆性材料底板S的表面不發(fā)生無意的損傷等狀況下，再繼續(xù)使支持臺2移動。而當(dāng)支持臺2下面的光學(xué)系統(tǒng)組件4、冷卻噴頭6達到脆性材料底板S表面的切縫位置時，開始將激光振蕩器3驅(qū)動，還開始從冷卻噴頭6噴射冷卻水等冷卻劑。
在將激光振蕩器3驅(qū)動時，發(fā)出具有規(guī)定能量的振蕩的激光束流。由2個彎曲反射鏡5將振蕩的激光束流反射到形成在支持臺2上的開口部2a的方向，通過開口部2a的激光束流入射到光學(xué)系統(tǒng)組件4。由入射了上述激光束流的光學(xué)系統(tǒng)組件4將激光束流形成橢圓形狀等所希望的形狀之后，向脆性材料底板S的表面照射。在脆性材料底板S的表面上形成加熱區(qū)域，該加熱區(qū)域是與被照射的激光束流的激光點相對應(yīng)的。
從冷卻噴頭6將冷卻水等冷卻劑噴射到脆性材料底板S的表面上，在由激光束流照射而形成的加熱區(qū)域附近位置上形成冷卻區(qū)域。
在脆性材料底板S的表面上形成的加熱區(qū)域產(chǎn)生壓縮應(yīng)力，在冷卻劑噴射的冷卻區(qū)域產(chǎn)生拉伸應(yīng)力。使脆性材料底板S上的劃線用預(yù)定輪廓上形成由激光束流照射而形成的壓縮應(yīng)力和在其后側(cè)形成的、由冷卻劑產(chǎn)生的冷卻區(qū)域的拉伸應(yīng)力，借助使這些加熱區(qū)域和冷卻區(qū)域在劃線用預(yù)定輪廓上的依次移動，就能從脆性材料底板S的端部所形成的切縫開始、連續(xù)地生成垂直方向的垂直裂縫(盲裂縫)，形成所希望的劃線輪廓。
在本實施方式1的劃線裝置1中、激光振蕩器3、彎曲反射鏡5、光學(xué)系統(tǒng)組件4、冷卻噴頭6和起動機構(gòu)7等形成劃線輪廓所必需的全部結(jié)構(gòu)都是相對于支持臺2成一體地安裝的。因此，即使使各個結(jié)構(gòu)相對于脆性材料底板S的表面而移動，也能防止發(fā)生激光束流相對于脆性材料底板S表面的光路變動，能消除照射到脆性材料底板S表面上的激光束流的束流形狀變動。還能消除從冷卻噴頭6噴射的冷卻劑的噴射位置變動、能使其保持一定。這樣，就能保持穩(wěn)定的劃線輪廓的形成，能確保經(jīng)過形成劃線輪廓之后實施的斷開工序所截斷的脆性材料底板S的穩(wěn)定的斷面質(zhì)量。
本實施方式1說明了使支持臺2移動的例子，本實施方式也可以是使脆性材料底板S相對于支持臺2進行移動的結(jié)構(gòu)。
(實施方式2)圖2是表示本發(fā)明實施方式2的劃線裝置10的側(cè)視圖。
這種劃線裝置10具有與上述圖1所示的實施方式1的劃線裝置1大致相同的結(jié)構(gòu)，在上述實施方式1的劃線裝置1的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上、在相對于光學(xué)系統(tǒng)4的前后兩側(cè)都分別設(shè)置著起動機構(gòu)7和冷卻噴頭6，而且將用于使支持臺2移動的移動機構(gòu)作成能向前后兩個方向移動的結(jié)構(gòu)。在這種劃線裝置10中，對那些與上述劃線裝置1相同的結(jié)構(gòu)都用相同的參照符號。
在本實施方式2的劃線裝置10上，如上所述，由于在光學(xué)系統(tǒng)組件4的前后兩側(cè)都分別設(shè)置著起動機構(gòu)7和冷卻噴頭6，因而在對脆性材料底板S進行1次劃線結(jié)束之后，借助使脆性材料底板S的位置移動、使支持臺2朝著與第1次劃線的相反方向移動，就能繼續(xù)形成劃線輪廓。
這樣，用本實施方式2的劃線裝置10不但能得到由實施方式1的劃線裝置1所能得到的效果，而且能進行往復(fù)切斷，因此能使加工處理時間縮短，能適用于大張的脆性材料底板的劃線輪廓的形成。
本實施方式2說明了使支持臺2移動的例子，本實施方式也可以是使脆性材料底板S相對于支持臺2進行移動的結(jié)構(gòu)。
(實施方式3)圖3～圖5表示了實施方式3的劃線裝置20的概略結(jié)構(gòu)，圖3是側(cè)視圖、圖4是俯視圖、圖5是正視圖。下面參照著圖3～圖5來說明本實施方式3的劃線裝置20。
這種劃線裝置20具有形成平板狀的支持臺21。在該支持臺21的上面、相對于支持臺21成一體地安裝著激光振蕩器22，用于產(chǎn)生有規(guī)定照射能量的振蕩的激光束流。在該支持臺21上、在激光振蕩器22的激光束流射出側(cè)形成開口部21a，在這開口部21a的下面，相對于支持臺21成一體地安裝著光學(xué)系統(tǒng)組件23，它將激光振蕩器22照射的激光束流入射并整形成規(guī)定的形狀之后，入射到構(gòu)成劃線對象的脆性材料底板S的表面上。在支持臺21的開口部21a上方位置、還相對于支持臺21成一體地設(shè)置著2個彎曲反射鏡24，它將激光振蕩器22照射的激光束流反射到設(shè)置在開口部21a下面的光學(xué)系統(tǒng)組件23的方向。
在支持臺21的下面、在光學(xué)系統(tǒng)組件23的附近位置上、相對于支持臺21成一體地設(shè)置著冷卻噴頭25，它將冷卻劑噴射到脆性材料底板S的表面上。在冷卻噴頭25的相反側(cè)設(shè)置著起動機構(gòu)26，將光學(xué)系統(tǒng)組件23夾在它們的中間，上述的起動機構(gòu)26是用于在脆性材料底板S的端部等部位形成作為劃線輪廓的開始點(起動)的切縫。
本實施方式3有多個支持臺21，在這些支持臺上、將上述激光振蕩器22、彎曲反射鏡24、光學(xué)系統(tǒng)組件23、冷卻噴頭25和起動機構(gòu)26等作為一個構(gòu)件成一體地安裝著，因此、相對于一個脆性材料底板S、用1次劃線就能同時在多個部位形成劃線輪廓。
即、在本實施方式3的劃線裝置20中，在一個移動機構(gòu)27上設(shè)置著多個支持臺21。移動機構(gòu)27具有設(shè)置著各個支持臺21的移動臺部28。而且在這種劃線裝置20上、在移動機構(gòu)27的移動臺部28的兩側(cè)形成與劃線用預(yù)定輪廓相平行的一對導(dǎo)軌29，移動臺部28騎在該導(dǎo)軌29上，并且能在劃線用預(yù)定輪廓上移動。這種移動臺部28通過圖中沒有表示的驅(qū)動機構(gòu)而沿著導(dǎo)軌29移動。
可以將設(shè)有各個支持臺21的移動臺部28固定、由圖中沒有表示的移動機構(gòu)使脆性材料底板S移動而進行劃線。
設(shè)置在移動臺部28上的各個支持臺21如圖4的虛線所示，能沿著與劃線用預(yù)定輪廓相垂直的方向在移動臺部28上進行位置調(diào)整，能在脆性材料底板S表面上的所希望位置上形成劃線輪廓。
由于激光振蕩器22等構(gòu)件的詳細(xì)結(jié)構(gòu)是與實施方式1的激光振蕩器1等構(gòu)件相同的，因而將這些構(gòu)件的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的說明省略了。
由于用這種劃線裝置20的劃線方法也是與用實施方式1的劃線裝置1的劃線方法相同的，因而將詳細(xì)的說明也省略了。但是，由于本實施方式3具有多個支持臺21，這些支持臺是將激光振蕩器22等形成劃線輪廓所必需的構(gòu)件作為1個組件而設(shè)置的，因而相對于一個脆性材料底板S、用1次劃線就能同時形成多個劃線輪廓。
這樣，由于用本實施方式3的劃線裝置20，進行1次劃線就能同時形成多個劃線輪廓，因而與實施方式1的劃線裝置1相比較、能進一步縮短加工處理的時間。
由于本實施方式3的劃線裝置20設(shè)有多個支持臺21，而且這些支持臺是將劃線所必需的激光振蕩器22等構(gòu)件作成1個組件而一體構(gòu)成地加以簡化，因而相對于一個脆性材料底板S，能同時形成多個劃線輪廓，能適用于在大張脆性材料底板形成多個劃線輪廓。
本實施方式3中各個支持臺21與實施方式1的劃線裝置的支持臺2是同樣的結(jié)構(gòu)，只能向一個方向劃線，但也可以作成與實施方式2所說的劃線裝置10的支持臺2同樣地、在相對于光學(xué)系統(tǒng)組件4的兩側(cè)都分別設(shè)置起動機構(gòu)7和冷卻噴頭6，而且使支持臺能向前后兩個方向移動地構(gòu)成。如果采用這樣的結(jié)構(gòu)，則能沿著兩個方向進行劃線，能使加工處理時間進一步縮短。
權(quán)利要求
1.一種劃線裝置，包括在脆性材料底板上形成加熱區(qū)域的加熱機構(gòu)、在接近這個加熱區(qū)域的位置上形成冷卻區(qū)域的冷卻機構(gòu)和形成作為劃線輪廓開始點的切縫的切縫形成機構(gòu)，通過該加熱區(qū)域和冷卻區(qū)域之間發(fā)生的應(yīng)力梯度形成從上述切縫進展的垂直裂縫連續(xù)的劃線輪廓，其特征在于，設(shè)有將上述加熱機構(gòu)、冷卻機構(gòu)和切縫形成機構(gòu)固定成一體的固定機構(gòu)；由上述固定機構(gòu)固定的加熱機構(gòu)、冷卻機構(gòu)和切縫形成機構(gòu)與上述脆性材料底板是相互以規(guī)定的相對速度、相對地保持一定位置關(guān)系而移動的。
2.如權(quán)利要求1所述的劃線裝置，其特征在于，上述加熱機構(gòu)具有發(fā)生振蕩的激光束流的激光振蕩器、將上述激光振蕩器發(fā)生的激光整形成規(guī)定形狀之后照射到上述脆性材料底板上的光學(xué)組件、配置在上述激光振蕩器和光學(xué)組件之間并將上述激光振蕩器照射的激光束流傳送到上述光學(xué)組件上的傳送機構(gòu)；由上述固定機構(gòu)將上述激光振蕩器、光學(xué)組件和傳送機構(gòu)固定成一體。
3.如權(quán)利要求1或2所述的劃線裝置，其特征在于，上述冷卻機構(gòu)和切縫形成機構(gòu)隔著上述加熱機構(gòu)分別設(shè)置在上述脆性材料底板的移動方向的兩側(cè)，上述固定機構(gòu)相對于上述脆性材料底板無論朝前進和后退的任何一個方向移動都能進行劃線。
4.如權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的劃線裝置，其特征在于，設(shè)有多個上述固定機構(gòu)，在上述脆性材料底板的多個部位同時地形成劃線輪廓。
全文摘要
本發(fā)明提供一種適用于對大張脆性材料底板進行劃線的劃線裝置。將激光振蕩器(3)、光學(xué)系統(tǒng)組件(4)、彎曲反射鏡(5)、冷卻噴頭(6)和起動機構(gòu)(7)等在脆性材料底板上形成劃線輪廓所必需的全部結(jié)構(gòu)成一體地安裝在支持臺(2)上。由此，在劃線裝置(1)中，在使劃線輪廓的形成中所必需的各個構(gòu)件相對于脆性材料底板(S)的表面移動時，也能防止加熱區(qū)域和和冷卻區(qū)域的形成位置發(fā)生變動。因此能保持穩(wěn)定的劃線輪廓的形成，能確保經(jīng)形成劃線輪廓之后所實施的斷開工序而截斷的脆性材料底板S的穩(wěn)定的截斷面質(zhì)量。
文檔編號C03B33/09GK1472032SQ0314591
公開日2004年2月4日 申請日期2003年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2002年7月11日
發(fā)明者松本真人 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司