專利名稱：一種無塵潔凈室防靜電壁板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工廠無塵潔凈室的壁板，尤其是涉及一種半導(dǎo)體工廠無塵潔凈室的防靜電壁板。
背景技術(shù)：
無塵潔凈室壁板，又稱“庫板”，結(jié)構(gòu)為兩層彩鋼板內(nèi)夾蜂巢狀碳酸鈣化的物質(zhì)或巖面、石膏板，彩鋼板外表面為防靜電涂層。
無塵潔凈室長期運(yùn)行使用中，所使用的壁板表面會因各種原因隨機(jī)出現(xiàn)刮痕，即表面防靜電涂層被破壞。刮痕一旦產(chǎn)生，此部位便不再具有防靜電特性，通過與無塵潔凈室內(nèi)層流空氣的不斷摩擦，會產(chǎn)生靜電并積聚，從而吸附空氣中的各種塵埃顆粒，影響無塵潔凈室的自凈能力。
無塵潔凈室運(yùn)行中，因生產(chǎn)流程安排、產(chǎn)品搬送路徑等因素，有些壁板的某些特定部位會特別頻繁地受到碰撞，造成明顯的壁板涂層劃傷，以及壁板表面內(nèi)陷。如果不及時處理，內(nèi)陷繼續(xù)加劇，直至最終彩鋼板損壞，壁板內(nèi)部的蜂巢紙或巖面直接暴露在空氣中，這對無塵潔凈室環(huán)境將造成極大的破壞。另外，對于正在進(jìn)行生產(chǎn)運(yùn)行的無塵潔凈室，也無法象傳統(tǒng)手段一樣使用會揮發(fā)出有機(jī)溶劑氣味的油漆進(jìn)行修補(bǔ)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種無塵潔凈室防靜電壁板，其能夠防止壁板上靜電涂層被破壞，且能夠保持防塵防靜電特性。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的無塵潔凈室防靜電壁板，包括彩鋼板，在彩鋼板表面具有防靜電涂層，其在彩鋼板上容易受傷的部位的防靜電涂層外設(shè)置有經(jīng)過表面陽極處理的金屬板。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是由于在容易擦碰的部位加上金屬板，可以保護(hù)其下的防靜電涂層，而且經(jīng)過表面陽極處理的金屬板可以繼續(xù)保持防塵防靜電的特性。


附圖為本發(fā)明一種無塵潔凈室防靜電壁板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。
請參閱附圖所示，本發(fā)明無塵潔凈室防靜電壁板包括兩層彩鋼板1，在兩層彩鋼板1之間具有蜂巢狀碳酸鈣化的紙或巖面、石膏板層2，彩鋼板外表面為防靜電涂層3，用以防止靜電的干擾。無塵潔凈室在長期運(yùn)作過程中，所以使用的壁板表面會因各種原因隨機(jī)出現(xiàn)刮痕4，使表面防靜電涂層3受到破壞，影響壁板的防靜電性能。且，因為生產(chǎn)流程安排、產(chǎn)品搬運(yùn)路徑等因素，有些壁板的某些特定部位會特別頻繁地受到碰撞，造成明顯的壁板防靜電涂層3劃傷，以及壁板表面內(nèi)陷，形成凹陷5。為了防止上述情況影響無塵潔凈室的工作，因此在壁板上容易受到擦碰的部位覆蓋經(jīng)過表面陽極處理后的鋁板6，用以保護(hù)內(nèi)部的防靜電涂層3不受破壞。鋁板6的具體尺寸視壁板表面損壞的實際情況和美觀要求而定，一般寬度為100～120mm左右，長度為6000mm以內(nèi)，厚度為3mm左右，對壁板表面損壞處進(jìn)行覆蓋安裝，鋁板6之間的接縫使用無塵潔凈室專用密封硅膠7封邊。另外，為了防止鋁板6在邊緣處部分不牢固，所以在鋁板6和壁板的接縫處使用無塵潔凈室專用密封硅膠7形成三角形收邊。鋁板6與彩鋼板1之間使用粘接或自攻螺絲等各種方法，將鋁板6固定于壁板上。鋁板6具有可拆卸、易再次安裝的特性，當(dāng)長時間運(yùn)行后，可使用同型號鋁板6方便快捷地替換被再次損壞的鋁板6。
綜上所述，本發(fā)明完成了發(fā)明人的發(fā)明目的，由于在容易擦碰的部位加上鋁板，可以保護(hù)其下的防靜電涂層，而且經(jīng)過表面陽極處理的鋁板可以繼續(xù)保持防塵防靜電的特性。
權(quán)利要求
1.一種無塵潔凈室防靜電壁板，包括彩鋼板，在彩鋼板表面具有防靜電涂層，其特征在于在彩鋼板上容易受傷的部位的防靜電涂層外設(shè)置有經(jīng)過表面陽極處理的金屬板。
2.如權(quán)利要求1所述的無塵潔凈室防靜電壁板，其特征在于所述金屬板為鋁板。
3.如權(quán)利要求1或2所述的無塵潔凈室防靜電壁板，其特征在于所述金屬板與彩鋼板之間通過粘接連接。
4.如權(quán)利要求1或2所述的無塵潔凈室防靜電壁板，其特征在于所述金屬板與彩鋼板之間通過自攻螺絲連接。
5.如權(quán)利要求1所述的無塵潔凈室防靜電壁板，其特征在于所述金屬板之間及金屬板與彩鋼板之間的接縫均通過密封硅膠密封。
6.如權(quán)利要求1所述的無塵潔凈室防靜電壁板，其特征在于所述彩鋼板為兩片，內(nèi)夾蜂巢狀碳酸鈣化的物質(zhì)或巖面、石膏板。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)一種無塵潔凈室防靜電壁板，包括彩鋼板，在彩鋼板表面具有防靜電涂層，其中在彩鋼板上容易受傷的部位的防靜電涂層外設(shè)置有經(jīng)過表面陽極處理的金屬板。由于在容易擦碰的部位加上金屬板，可以保護(hù)其下的防靜電涂層，而且經(jīng)過表面陽極處理的金屬板可以繼續(xù)保持防塵防靜電的特性。
文檔編號E04B1/92GK1789640SQ200410093190
公開日2006年6月21日 申請日期2004年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月17日
發(fā)明者張悅 申請人:上海華虹Nec電子有限公司