專利名稱：利用激光束的處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用激光束的處理裝置，更具體地，涉及一種包括保持工件的保持裝置和激光束施加裝置的處理裝置，其中激光束施加裝置利用能夠通過工件的脈沖激光束照射由保持裝置保持的工件，由此損蝕工件。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件的制造中，例如，己知許多半導(dǎo)體電路形成在包括適當(dāng)基底的晶片表面上，這些基底如硅基底、藍(lán)寶石基底、碳化硅基底、鉭酸鋰基底、玻璃基底、或石英基底，然后將晶片劃分以制造單獨(dú)的半導(dǎo)體電路，即半導(dǎo)體器件。已經(jīng)提出利用激光束的多種模式作為劃分晶片的方法。
美國(guó)專利US6,211,488和日本專利申請(qǐng)公開號(hào)2001-277163各自公開了一種晶片劃分方法，該方法將脈沖激光束聚焦到晶片沿厚度方向的中間部分上，沿分隔線相對(duì)于彼此移動(dòng)脈沖激光束和晶片以產(chǎn)生沿分隔線的損蝕區(qū)域，該分隔線位于晶片沿厚度方向的中間部分上，然后將外力施加到晶片上以使晶片沿著損蝕區(qū)域斷開。
可以了解不僅損蝕區(qū)域在晶片沿厚度方向的中間部分上產(chǎn)生，而且損蝕區(qū)域沿著分隔線在從晶片背面到預(yù)定深度的該范圍的部分中產(chǎn)生、或者從晶片表面到預(yù)定深度的該范圍的部分中產(chǎn)生，代替了沿晶片厚度方向的中間部分形成損蝕區(qū)域、或作為沿晶片厚度方向的中間部分形成損蝕區(qū)域的補(bǔ)充。在每一種情況中，為了將外力施加到晶片上以使晶片沿著分隔線足夠精確地?cái)嚅_，有必要對(duì)損蝕區(qū)域提供相對(duì)大的厚度，即對(duì)損蝕區(qū)域在晶片的厚度方向上提供相對(duì)大的尺寸。為了增加損蝕區(qū)域的厚度，需要移動(dòng)脈沖激光束在晶片厚度方向上的焦點(diǎn)位置，并且沿著分隔線相對(duì)于彼此重復(fù)地移動(dòng)脈沖激光束和晶片，因?yàn)閾p蝕區(qū)域在脈沖激光束的焦點(diǎn)附近產(chǎn)生。因此，如果晶片的厚度相對(duì)較大，那么它需要相對(duì)長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)產(chǎn)生必要厚度的損蝕區(qū)域以使晶片足夠精確地?cái)嚅_。
在解決上述問題的嘗試中，本申請(qǐng)的申請(qǐng)人(受讓人)提交的日本專利申請(qǐng)?zhí)?003-273341的說(shuō)明書和附圖中公開了一種適合于將脈沖激光束聚焦到至少兩個(gè)沿光軸方向移動(dòng)的焦點(diǎn)上的處理裝置。根據(jù)這種處理裝置，損蝕區(qū)域可以同時(shí)在至少兩個(gè)沿工件即晶片的厚度方向移動(dòng)的位置處產(chǎn)生。然而，這種處理裝置仍然不夠滿意，而是提出了將要解決的下述問題在兩個(gè)焦點(diǎn)之一處的損蝕，更具體地，離脈沖激光束振蕩裝置較短距離的焦點(diǎn)的損蝕阻礙了脈沖激光束施加到另一個(gè)焦點(diǎn)上，更具體地，阻礙了離脈沖激光束振蕩裝置較遠(yuǎn)距離的焦點(diǎn)的損蝕，由此阻礙了所需損蝕的產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的主要目的是提供一種新型且改進(jìn)的利用激光束的處理裝置，該處理裝置可以在所需的至少兩個(gè)沿工件厚度方向移動(dòng)的焦點(diǎn)處產(chǎn)生損蝕，同時(shí)巧妙地避免了兩個(gè)焦點(diǎn)之一的損蝕阻礙脈沖激光束施加到另一個(gè)焦點(diǎn)上的情況，由此在工件中產(chǎn)生所需厚度的損蝕區(qū)域。
發(fā)明者經(jīng)過勤奮地研究和實(shí)驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)了以下事實(shí)利用提供的某些時(shí)間差，將脈沖激光束聚焦到沿脈沖激光束光軸方向移動(dòng)，相應(yīng)地，沿工件厚度方向移動(dòng)的至少兩個(gè)焦點(diǎn)上。因此，可以避免兩個(gè)焦點(diǎn)之一的損蝕阻礙了脈沖激光束施加到另一個(gè)焦點(diǎn)上的情況。這樣，上述主要目的可以實(shí)現(xiàn)。
作為根據(jù)本發(fā)明實(shí)現(xiàn)上述主要目的的利用激光束的處理裝置，提供一種利用激光束的處理裝置，其包括保持工件的保持裝置；和激光束施加裝置，利用能夠通過工件的脈沖激光束照射由保持裝置保持的工件，由此損蝕該工件，該激光束施加裝置包括脈沖激光束振蕩裝置和發(fā)送與聚焦由脈沖激光束振蕩裝置振蕩的脈沖激光束的發(fā)送/聚焦裝置，其中發(fā)送/聚焦裝置利用提供的時(shí)間差將脈沖激光束聚焦到沿脈沖激光束光軸方向移動(dòng)的至少兩個(gè)焦點(diǎn)上。
優(yōu)選地，發(fā)送/聚焦裝置將激光束先聚焦到離脈沖激光束振蕩裝置距離較遠(yuǎn)的焦點(diǎn)上，再將其聚焦到離脈沖激光束振蕩裝置距離較近的焦點(diǎn)上。在光軸方向上相鄰的焦點(diǎn)之間聚焦期間的時(shí)間差優(yōu)選不小于脈沖激光束的一個(gè)脈沖持續(xù)時(shí)間，但不大于脈沖激光束相繼脈沖之間的時(shí)間間隔。在一優(yōu)選的實(shí)施例中，發(fā)送/聚焦裝置包括分束器，用于將來(lái)自脈沖激光束振蕩裝置的脈沖激光束劃分為第一脈沖激光束和第二激光束；多個(gè)反射鏡，用于將第二脈沖激光束的光軸和第一脈沖激光束的光軸對(duì)準(zhǔn)；直徑改變裝置，用于改變第一脈沖激光束和第二脈沖激光束之一的直徑；和公共聚焦透鏡。優(yōu)選地，發(fā)送/聚焦裝置包括光路長(zhǎng)度增加裝置，用于增加第一脈沖激光束和第二脈沖激光束之一的光路長(zhǎng)度。光路長(zhǎng)度增加裝置優(yōu)選包括光纖或多個(gè)反射鏡。
在根據(jù)本發(fā)明的利用激光束的處理裝置中，時(shí)間差存在于脈沖激光束在至少兩個(gè)焦點(diǎn)中的每一個(gè)上的聚焦期間。因此，避免了焦點(diǎn)之一處產(chǎn)生的損蝕阻礙脈沖激光束施加到另一個(gè)焦點(diǎn)上的情況。因此，如所需的，損蝕可以在至少兩個(gè)焦點(diǎn)上產(chǎn)生。


圖1是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的處理裝置的優(yōu)選實(shí)施例的示意圖。
圖2是示出在圖1的處理裝置中第一脈沖激光束和第二脈沖激光束之間的聚焦期間的時(shí)間差。
圖3是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的處理裝置的另一實(shí)施例的示意圖。
圖4是示出在圖3的處理裝置中第一脈沖激光束、第二脈沖激光束、和第三脈沖激光束之間的聚焦期間的時(shí)間差。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參考所附附圖對(duì)根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的利用激光束的處理裝置的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的描述。
附圖1示意地示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的處理裝置的優(yōu)選實(shí)施例。說(shuō)明的處理裝置包括用于保持工件2的保持裝置4，和整體用數(shù)字6表示的激光束施加裝置。
保持裝置4由保持部件8和附加到保持部件8的吸收裝置(沒有示出)構(gòu)成，其中保持部件例如由多孔部件形成或者形成為其中形成有多個(gè)吸收孔或槽。保持裝置4可以為工件2，例如晶片，通過吸收吸引在保持部件8的表面的形式。
激光束施加裝置6包括脈沖激光束振蕩裝置10，和發(fā)送/聚焦裝置12，用于發(fā)送和聚焦由脈沖激光束振蕩裝置10振蕩產(chǎn)生的脈沖激光束。重要地，脈沖激光束振蕩裝置10振蕩產(chǎn)生可以通過工件2的脈沖激光束14。如果工件2是包括硅基底、藍(lán)寶石基底、碳化硅基底、鉭酸鋰基底、玻璃基底、或石英基底的晶片，那么脈沖激光束振蕩裝置10可以有利地由YVO4脈沖激光振蕩器或YAG脈沖激光振蕩器構(gòu)成，其振蕩產(chǎn)生例如波長(zhǎng)為1064nm的脈沖激光束14。
參考圖1，激光束施加裝置6中的發(fā)送/聚焦裝置12插入在脈沖激光束振蕩裝置10和保持在保持裝置4上的工件2之間。在圖示實(shí)施例中的發(fā)送/聚焦裝置12包括起分束器作用的半反射鏡16，反射鏡18，反射鏡20，半反射鏡22，布置在半反射鏡16和半反射鏡22之間的直徑改變裝置24，和布置在反射鏡18和反射鏡20之間的光路長(zhǎng)度增加裝置26。直徑改變裝置24由具有兩個(gè)凸透鏡28和30的擴(kuò)展器構(gòu)成。用于將反射鏡18和反射鏡20之間的光路增加例如幾米的光路增加裝置26可以由延伸例如幾米以上的光纖構(gòu)成。作為選擇，光路長(zhǎng)度增加裝置26可以由多個(gè)反射鏡代替光纖構(gòu)成，或由除光纖之外的多個(gè)反射鏡構(gòu)成。發(fā)送/聚焦裝置12進(jìn)一步包括用于聚焦脈沖激光束14的聚焦透鏡32。
在上述的處理裝置中，半反射鏡16將由脈沖激光束振蕩裝置10振蕩產(chǎn)生的脈沖激光束14分成兩束脈沖激光束14a和14b，即通過半反射鏡16且直線前進(jìn)的第一脈沖激光束14a，和由半反射鏡16反射且方向改變成基本垂直方向的第二脈沖激光束14b。第一脈沖激光束14a通過直徑改變裝置24，由此其直徑改變，更具體地，轉(zhuǎn)換成隨著第一脈沖激光束14a遠(yuǎn)離直徑改變裝置24其直徑逐漸增加的形式。然后，第一脈沖激光束14a通過半反射鏡22，并由聚焦透鏡32聚焦到工件2中的焦點(diǎn)34a上。另一方面，第二脈沖激光束14b由反射鏡18、反射鏡20、和半反射鏡22反射，每一次方向改變成基本上垂直的方向，最后的狀態(tài)為其光軸與第一脈沖激光束14a的光軸對(duì)準(zhǔn)。然后，第二脈沖激光束14b由聚焦透鏡32聚焦到工件2中的焦點(diǎn)34b上。如圖1清楚所示，焦點(diǎn)34a和焦點(diǎn)34b在第一和第二脈沖激光束14a和14b的光軸上移動(dòng)，并且焦點(diǎn)34a的位置比焦點(diǎn)34b的位置離脈沖激光束振蕩裝置10更遠(yuǎn)。通過沿光軸方向移動(dòng)構(gòu)成直徑改變裝置24的擴(kuò)展器，或者通過沿光軸方向移動(dòng)擴(kuò)展器的凸透鏡28或30，焦點(diǎn)34a的位置可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。
在圖示的實(shí)施例中，第二脈沖激光束14b的光路經(jīng)由半反射鏡16、反射鏡18、光路長(zhǎng)度增加裝置26、和反射鏡20延伸至半反射鏡22，因此第二脈沖激光束14b的光路長(zhǎng)度與第一脈沖激光束14a的光路長(zhǎng)度相比增加了例如幾米。因此，當(dāng)?shù)谝幻}沖激光束14a到達(dá)焦點(diǎn)34a時(shí)，第二脈沖激光束14b到達(dá)焦點(diǎn)34b的時(shí)間稍晚，因?yàn)榈诙}沖激光束14b需要通過所增加的光路長(zhǎng)度的時(shí)間。如圖2所示，優(yōu)選第一脈沖激光束14a到達(dá)焦點(diǎn)34a的時(shí)間點(diǎn)與第二脈沖激光束14b到達(dá)焦點(diǎn)34b的時(shí)間點(diǎn)之間的時(shí)間差dt不小于脈沖激光束14a(或14b)的一個(gè)脈沖持續(xù)時(shí)間(脈沖寬度)Δt，但不大于脈沖激光束14a(或14b)相繼脈沖之間的時(shí)間間隔gt，并且第二脈沖激光束14b的每個(gè)脈沖位于第一脈沖激光束14a的各個(gè)脈沖之間。例如，假設(shè)脈沖激光束14a和14b的每個(gè)脈沖持續(xù)時(shí)間為Δt(秒)，脈沖激光束14a和14b的重復(fù)頻率為W(Hz)，第一脈沖激光束14a的光路長(zhǎng)度(L1)與第二脈沖激光束14b的光路長(zhǎng)度(L2)之間的差為DL。由于光速為c(＝3×108m/秒)，因此上述時(shí)間差dt為(L2-L1)÷c。這樣，第二光路長(zhǎng)度L2可以增加以滿足Δt×c≤(L2-L1)≤(1/W-Δt)×c。例如，如果脈沖持續(xù)時(shí)間Δt為10ns，脈沖重復(fù)頻率W為100k(Hz)，那么可推薦第二脈沖激光束14b的光路長(zhǎng)度L2與第一脈沖激光束14a的光路長(zhǎng)度L1相比增加大約3m。
當(dāng)?shù)谝幻}沖激光束14a聚焦到焦點(diǎn)34a時(shí)，由于聚焦，損蝕因此在工件2中的焦點(diǎn)34a附近產(chǎn)生，并且通常在從焦點(diǎn)34a向上寬度為W1的區(qū)域中。當(dāng)?shù)诙}沖激光束14b聚焦到焦點(diǎn)34b時(shí)，損蝕在工件2中的焦點(diǎn)34b附近產(chǎn)生，并且通常在從焦點(diǎn)34b向上寬度為W2的區(qū)域中。如果第一脈沖激光束14a到達(dá)焦點(diǎn)34a的時(shí)間與第二脈沖激光束14b到達(dá)焦點(diǎn)34b的時(shí)間基本相同，則存在的傾向?yàn)榫劢沟浇裹c(diǎn)34a的第一脈沖激光束14a受到焦點(diǎn)34b處產(chǎn)生的損蝕的不利影響，從而阻礙了所需損蝕在焦點(diǎn)34a附近產(chǎn)生。通過對(duì)比，假定第一脈沖激光束14a聚焦到焦點(diǎn)34a以開始在焦點(diǎn)34a附近產(chǎn)生損蝕，然后，利用提供的時(shí)間差，第二脈沖激光束14b聚焦到焦點(diǎn)34b以開始在焦點(diǎn)34b附近產(chǎn)生損蝕。在這種情況下，完全避免了第二脈沖激光束14b在焦點(diǎn)34b附近產(chǎn)生的損蝕阻礙第一脈沖激光束14a聚焦到焦點(diǎn)34a的情況，并且所需損蝕可以在焦點(diǎn)34a附近和焦點(diǎn)34b附近產(chǎn)生。工件2中的上述損蝕以熔融和再凝固的形式出現(xiàn)(即當(dāng)激光束14a和14b聚焦時(shí)熔融，在脈沖激光束14a和14b的聚焦完成之后凝固)，并且出現(xiàn)空隙或裂縫，盡管這取決于工件2的材料或脈沖激光束14a和14b的聚焦強(qiáng)度。當(dāng)激光束施加裝置6和保持裝置4沿分隔線相對(duì)移動(dòng)時(shí)，該分隔線例如沿圖1的右和左方向延伸，沿分隔線連續(xù)延伸、寬度為W1和W2的兩個(gè)損蝕部分形成在工件2中(如果激光束14a和14b在焦點(diǎn)34a和34b處的點(diǎn)部分重疊，這些點(diǎn)沿相對(duì)移動(dòng)方向相鄰)，或者沿分隔線間隔設(shè)置、寬度為W1和W2的許多損蝕部分形成在工件2中(如果激光束14a和14b在焦點(diǎn)34a和34b處的點(diǎn)間隔設(shè)置，這些點(diǎn)沿相對(duì)移動(dòng)方向相鄰)。如此處所注意的，根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的處理裝置的第一實(shí)施例，通過單個(gè)激光束施加裝置6在工件2的兩個(gè)區(qū)域中沿工件2的厚度方向移動(dòng)，寬度為W1和W2的損蝕部分可以如所需的同時(shí)形成。
如果寬度為W1和W2的損蝕部分不足以沿分隔線足夠精確地劃分工件2，則可推薦下述步驟激光束施加裝置6和保持裝置4沿光軸方向在預(yù)定距離上相對(duì)于彼此移動(dòng)，即沿圖1中的上下方向，由此焦點(diǎn)14a和14b沿光軸方向，相應(yīng)地沿工件2的厚度方向移動(dòng)。進(jìn)一步，激光束施加裝置6和保持裝置4沿分隔線相對(duì)于彼此移動(dòng)。以這種方式，除了上述形成的先前的損蝕部分之外，沿分隔線連續(xù)延伸、寬度為W1和W2的兩個(gè)損蝕部分，或者沿分隔線間隔設(shè)置、寬度為W1和W2的許多損蝕部分形成在工件2中沿工件2厚度方向移動(dòng)的位置處。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的處理裝置的另一個(gè)實(shí)施例。圖3所示的處理裝置包括保持工件102的保持裝置104，和激光束施加裝置106。保持裝置104可以與圖1所示實(shí)施例中的保持裝置4的結(jié)構(gòu)相同。
圖3所示實(shí)施例中的激光束施加裝置106包括脈沖激光束振蕩裝置110，發(fā)送和聚焦由脈沖激光束振蕩裝置110振蕩產(chǎn)生的脈沖激光束114的發(fā)送/聚焦裝置112。脈沖激光束振蕩裝置110基本上可以與圖1所示的脈沖激光束振蕩裝置10相同。圖3所示實(shí)施例中的發(fā)送/聚焦裝置112包括起第一分束器作用的半反射鏡116、起第二分束器作用的半反射鏡117、反射鏡118、反射鏡119、反射鏡120、反射鏡121、半反射鏡122、半反射鏡123、第一直徑改變裝置124、第二直徑改變裝置125、第一光路長(zhǎng)度增加裝置126、第二光路長(zhǎng)度增加裝置127、和公共聚焦透鏡132。第一直徑改變裝置124和第二直徑改變裝置125中的每一個(gè)基本上可以與圖1所示的直徑改變裝置24相同，并且第一光路長(zhǎng)度增加裝置126和第二光路長(zhǎng)度增加裝置127中的每一個(gè)的結(jié)構(gòu)基本上可以與圖1所示的光路長(zhǎng)度增加裝置26的結(jié)構(gòu)相同。(然而，如隨后將進(jìn)一步提及的，由第一光路長(zhǎng)度增加裝置126增加的光路長(zhǎng)度和由第二光路長(zhǎng)度增加裝置127增加的光路長(zhǎng)度需要的要求長(zhǎng)度不同。)在圖3所示的實(shí)施例中，來(lái)自脈沖激光束振蕩裝置110的脈沖激光束114被分成通過半反射鏡116并直線前進(jìn)的第一脈沖激光束114a，和經(jīng)由半反射鏡116反射且方向改變成基本垂直方向的第二脈沖激光束114b。第一脈沖激光束114a通過半反射鏡117并向前傳播。在該運(yùn)動(dòng)期間，由半反射鏡117基本垂直反射的第三脈沖激光束114c從第一脈沖激光束114a中分離。第一脈沖激光束114a通過直徑改變裝置124，由此其直徑改變，更具體地，轉(zhuǎn)換成隨著第一脈沖激光束114a遠(yuǎn)離直徑改變裝置124其直徑逐漸增加的形式。然后，第一脈沖激光束114a通過半反射鏡122和123，并由聚焦透鏡132聚焦到工件102中的焦點(diǎn)134a上。第二脈沖激光束114b由反射鏡118和反射鏡119反射，每一次方向改變成基本上垂直的方向，然后通過直徑改變裝置125，由此改變直徑，更具體地，轉(zhuǎn)換成隨著第二脈沖激光束114b遠(yuǎn)離直徑改變裝置125其直徑逐漸增加的形式。然后，第二脈沖激光束114b由半反射鏡123反射且方向變?yōu)榛敬怪钡姆较?，由此達(dá)到其光軸與第一脈沖激光束114a的光軸對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。然后，第二脈沖激光束114b由聚焦透鏡132聚焦到工件2中的焦點(diǎn)134b上。第三脈沖激光束114c由反射鏡120、反射鏡121和半反射鏡122反射，每一次方向改變成基本上垂直的方向，由此達(dá)到其光軸與第一脈沖激光束114a的光軸對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。然后，第三脈沖激光束114c通過半反射鏡123，由聚焦透鏡132聚焦到工件2中的焦點(diǎn)134c上。焦點(diǎn)134a、焦點(diǎn)134b和焦點(diǎn)134c沿第一脈沖激光束114a、第二脈沖激光束114b和第三脈沖激光束114c的光軸方向移動(dòng)。此外，第二脈沖激光束114b通過第一光路增加裝置126，由此聚焦到焦點(diǎn)134b的時(shí)間比第一脈沖激光束114a聚焦到焦點(diǎn)134a的時(shí)間晚了所需時(shí)間差dt1。第三脈沖激光束114c通過第二光路增加裝置127，由此聚焦到焦點(diǎn)134c的時(shí)間比第二脈沖激光束114b聚焦到焦點(diǎn)134b的時(shí)間晚了所需時(shí)間差dt2。如圖4所示，這些時(shí)間差dt1和dt2優(yōu)選布置成聚焦到焦點(diǎn)134a的第一脈沖激光束114a、聚焦到焦點(diǎn)134b的第二脈沖激光束114b、和聚焦到焦點(diǎn)134c的第三脈沖激光束114c相繼聚焦，在時(shí)間上彼此不重疊。
在圖3所示的處理裝置中，如所要求的，損蝕部分形成在工件102中的焦點(diǎn)134a、134b和134c的附近，并且通常在從焦點(diǎn)134a、134b和134c向上寬度為W1、W2和W3的區(qū)域中。在第一脈沖激光束114a聚焦到焦點(diǎn)134a之后，第二脈沖激光束114b聚焦到焦點(diǎn)134b上。因此，寬度為W2的區(qū)域中的損蝕不阻礙第一脈沖激光束114a的聚焦。在第二脈沖激光束114b聚焦到焦點(diǎn)134b之后，第三脈沖激光束114c聚焦到焦點(diǎn)134c上。因此，寬度為W3的區(qū)域中的損蝕不阻礙第二脈沖激光束114b的聚焦。因此，所需損蝕可以在寬度為W1、W2和W3的各個(gè)區(qū)域中產(chǎn)生。當(dāng)激光束施加裝置106和保持裝置104沿分隔線相對(duì)移動(dòng)時(shí)，該分隔線例如沿圖3的右和左方向延伸，沿分隔線連續(xù)延伸、寬度為W1、W2和W3的三個(gè)損蝕部分，或者沿分隔線間隔設(shè)置、寬度為W1、W2和W3的許多損蝕部分形成在工件102中。如果寬度為W1、W2和W3的損蝕部分不足以沿分隔線足夠精確地劃分工件102，則可推薦下述步驟激光束施加裝置106和保持裝置104沿光軸方向在預(yù)定距離上相對(duì)于彼此移動(dòng)，即沿圖3中的上下方向，由此焦點(diǎn)134a、134b和134c沿光軸方向，相應(yīng)地沿工件102的厚度方向移動(dòng)。進(jìn)一步，激光束施加裝置106和保持裝置104沿分隔線相對(duì)于彼此移動(dòng)。以這種方式，除了上述形成的先前的損蝕部分之外，沿分隔線連續(xù)延伸、寬度為W1、W2和W3的三個(gè)損蝕部分，或者沿分隔線間隔設(shè)置、寬度為W1、W2和W3的許多損蝕部分形成在工件102中沿工件102厚度方向移動(dòng)的位置處。
權(quán)利要求
1.一種利用激光束的處理裝置，其包括保持工件的保持裝置；和激光束施加裝置，利用能夠通過所述工件的脈沖激光束照射由所述保持裝置保持的所述工件，由此損蝕所述工件，所述激光束施加裝置包括脈沖激光束振蕩裝置、和發(fā)送與聚焦由所述脈沖激光束振蕩裝置振蕩產(chǎn)生的脈沖激光束的發(fā)送/聚焦裝置，其中所述發(fā)送/聚焦裝置利用提供的時(shí)間差將脈沖激光束聚焦到沿脈沖激光束光軸方向移動(dòng)的至少兩個(gè)焦點(diǎn)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的利用激光束的處理裝置，其中所述發(fā)送/聚焦裝置將激光束先聚焦到離所述脈沖激光束振蕩裝置距離較遠(yuǎn)的焦點(diǎn)上，再將其聚焦到離所述脈沖激光束振蕩裝置距離較近的焦點(diǎn)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的利用激光束的處理裝置，其中在光軸方向上相鄰的焦點(diǎn)之間聚焦期間的時(shí)間差不小于脈沖激光束的一個(gè)脈沖持續(xù)時(shí)間，但不大于脈沖激光束相繼脈沖之間的時(shí)間間隔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的利用激光束的處理裝置，其中所述發(fā)送/聚焦裝置包括分束器，用于將來(lái)自所述脈沖激光束振蕩裝置的脈沖激光束劃分為第一脈沖激光束和第二脈沖激光束；多個(gè)反射鏡，用于將所述第二脈沖激光束的光軸和所述第一脈沖激光束的光軸對(duì)準(zhǔn)；直徑改變裝置，用于改變所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束之一的直徑；和公共聚焦透鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的利用激光束的處理裝置，其中所述發(fā)送/聚焦裝置包括光路長(zhǎng)度增加裝置，用于增加所述第一脈沖激光束和所述第二脈沖激光束之一的光路長(zhǎng)度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的利用激光束的處理裝置，其中所述光路長(zhǎng)度增加裝置包括光纖。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的利用激光束的處理裝置，其中所述光路長(zhǎng)度增加裝置包括多個(gè)反射鏡。
全文摘要
一種利用激光束的處理裝置，其包括保持工件的保持裝置；和激光束施加裝置，利用能夠通過工件的脈沖激光束照射由保持裝置保持的工件，由此損蝕工件。激光束施加裝置包括脈沖激光束振蕩裝置、和發(fā)送與聚焦由脈沖激光束振蕩裝置振蕩產(chǎn)生的脈沖激光束的發(fā)送/聚焦裝置。發(fā)送/聚焦裝置利用提供的時(shí)間差將脈沖激光束聚焦到沿光軸方向移動(dòng)的至少兩個(gè)焦點(diǎn)上。
文檔編號(hào)B28D5/00GK1619778SQ20041010387
公開日2005年5月25日 申請(qǐng)日期2004年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月6日
發(fā)明者小林賢史, 森重幸雄 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪斯科