專利名稱：光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置。
背景技術(shù)：
光學(xué)鍍膜制程中通常使用間接監(jiān)控法監(jiān)控所鍍膜層的厚度，即在鍍膜制程中，提供一監(jiān)控片，其可為玻璃片或石英元件，將該監(jiān)控片置于與待鍍工件相同的鍍膜環(huán)境中，通過測試該監(jiān)控片的鍍層厚度以間接確定該待鍍工件的鍍層厚度。
現(xiàn)有技術(shù)中，承載該監(jiān)控片的機構(gòu)通常為單盤多片式或單盤單片式。單盤多片式承載裝置即采用單個承載基盤，基盤上容置有多片監(jiān)控片；單盤單片式承載裝置即采用單個承載基盤，基盤上容置單個監(jiān)控片，該監(jiān)控片上設(shè)有多個監(jiān)控點。但采用單盤多片式或單盤單片式承載裝置的光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)中，當(dāng)工件所需鍍膜層數(shù)較多或膜層厚度精確度要求較高時，所需監(jiān)控片數(shù)較多，且每一膜層鍍制完成后需更換監(jiān)控片，因此使得監(jiān)控片更換次數(shù)多，不利于生產(chǎn)工藝的便利性及連續(xù)性。

發(fā)明內(nèi)容鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種減少監(jiān)控片更換次數(shù)的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置。
一種光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其包括一固持支架、多個承載基座、一第一驅(qū)動裝置及一第二驅(qū)動裝置；該承載基座與該固持支架連接，且可相對于該固持支架旋轉(zhuǎn)；該第一驅(qū)動裝置用于驅(qū)動該固持支架旋轉(zhuǎn)，該第二驅(qū)動裝置用于驅(qū)動該承載基座旋轉(zhuǎn)。
相較現(xiàn)有技術(shù)，所述光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置采用多個承載基座以容置監(jiān)控片，且以驅(qū)動機構(gòu)控制所述承載基座定位及監(jiān)控點選取，因而使得該承載裝置可容置的監(jiān)控片大大增加，在鍍膜制程中監(jiān)控片更換次數(shù)減少，以此提升生產(chǎn)工藝的便利性及連續(xù)性，且可在鍍膜制程中同時使用多個監(jiān)控點從而提升監(jiān)控的精確度。

圖1是本發(fā)明較佳實施方式的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1沿II-II線的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明較佳實施方式的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置的應(yīng)用示例圖。
具體實施方式請同時參照圖1及圖2所示，本發(fā)明較佳實施方式所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置10包括一固持支架1、多個承載基座3、一第一驅(qū)動裝置4及一第二驅(qū)動裝置5。
固持支架1包括一軸座11及沿軸座11的邊緣呈輻射狀伸出的多個支臂12。軸座11包括一輪齒部112及一軸體部114，該輪齒部112外緣具有齒紋。該輪齒部112及軸體部114以同軸的方式固定連接，其可為一體成型體，使得輪齒部112及軸體部114可繞軸體部114的軸心作一體的轉(zhuǎn)動。該軸座11還具有一貫穿輪齒部112及軸體部114中心的軸孔。支臂12一端固接于軸體部114邊緣，另一端呈輻射狀伸出。
承載基座3包括基盤31、旋轉(zhuǎn)軸33及軸承組件35?；P31為圓形盤體，其周緣具有齒紋。旋轉(zhuǎn)軸33一端固定于基盤31中心，另一端通過軸承組件35固接于支臂12從軸座11伸出的一端，使得基盤31可繞旋轉(zhuǎn)軸33的軸心自轉(zhuǎn)。此外，基盤31上還開設(shè)有多個容置孔(圖未示)以容置監(jiān)控片6。
第一驅(qū)動裝置4為馬達驅(qū)動機構(gòu)，其包括一第一馬達41及變速齒輪43。第一馬達41具有一傳動軸42，傳動軸42連接于變速齒輪43軸心。變速齒輪43與固持支架1的輪齒部112嚙合。
第二驅(qū)動裝置5包括一第二馬達51、一傳動齒盤52及一軸芯53。其中，傳動齒盤52為一圓形盤體，其外緣具有齒紋，傳動齒盤52置于多個基盤31之間，且使得傳動齒盤52與多個基盤31相嚙合。軸芯53的一端固連于傳動齒盤52的中心，其與傳動齒盤52也可為一體成型體，使得傳動齒盤52及軸芯53可繞軸芯53的軸心作一體的轉(zhuǎn)動。軸芯53的另一端貫穿于軸體部114中心的軸孔后，連接于第二馬達51的轉(zhuǎn)軸，且使得軸芯53可相對于軸體部114旋轉(zhuǎn)。
所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置10作動過程說明如下開啟第一馬達41，其輸出動力使變速齒輪43旋轉(zhuǎn)，變速齒輪43通過其與輪齒部112的嚙合帶動軸座11及支臂12繞軸座11的軸心旋轉(zhuǎn)，進而帶動承載基座3繞軸座11作公轉(zhuǎn)，基盤31隨之繞軸座11作公轉(zhuǎn)。因此，可通過對第一馬達41的控制而將多個基盤31之一者調(diào)整至適當(dāng)位置。開啟第二馬達51時，其驅(qū)動傳動齒盤52旋轉(zhuǎn)，傳動齒盤52通過其與基盤31的嚙合而帶動基盤31繞其軸心自轉(zhuǎn)，從而將基盤31上用于容置監(jiān)控片6的容置孔(圖未示)調(diào)整至適當(dāng)位置。
所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置10適用于工件表面鍍覆多層薄膜的制程，其應(yīng)用示例如圖3所示，承載裝置10固設(shè)于一鍍膜設(shè)備中，該鍍膜設(shè)備包括一鍍膜室71、一工件承載置具72、鍍膜源73，該鍍膜設(shè)備還包括由光源81、監(jiān)控遮板82、承載裝置10、光偵測器83、透明窗口84構(gòu)成的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備。
請同時參照圖1及圖3，工件承載置具72及承載裝置10相對于鍍膜源73設(shè)置于鍍膜室71內(nèi)，工件9容置于工件承載置具72上。承載裝置10的基盤31上容置有多個監(jiān)控片6，承載裝置10可以設(shè)置于多個工件承載置具72中心，也可設(shè)置于工件承載置具72周邊，且使得承載裝置10的監(jiān)控片6與鍍膜源73的相對位置近似于工件承載置具72與鍍膜源73的相對位置。監(jiān)控遮板82為一薄板，其上設(shè)有一開口821，該開口821的尺寸與監(jiān)控片6的尺寸近似。監(jiān)控遮板82設(shè)于承載裝置10與鍍膜源73之間，當(dāng)多個監(jiān)控片6中之一者與開口821對準(zhǔn)時，監(jiān)控遮板82使得鍍膜粒子恰可通過開口821到達該監(jiān)控片6，且同時使得承載裝置10的其它部分免受鍍膜粒子污染。
鍍膜時，鍍膜源73的鍍膜粒子會鍍覆于工件9表面，同時也可透過開口821鍍覆于監(jiān)控片6表面。光源81的光線可經(jīng)由開口821到達監(jiān)控片6表面時一部分發(fā)生反射，經(jīng)過透明窗口84后由光偵測器83接收，通過光偵測器83所偵測的監(jiān)控片6的反射率差異變化，可測算出監(jiān)控片6的膜厚，從而間接監(jiān)測工件9表面的膜厚。
可以理解地，光源81的光線到達監(jiān)控片6表面時也可發(fā)生透射，因此也可將光偵測器83置于該光線的透射光路中，以偵測監(jiān)控片6的透射率差異變化，從而監(jiān)測監(jiān)控片6的膜厚，以此間接監(jiān)測工件9表面的膜厚。
承載裝置10工作時，開啟第一馬達41，其輸出動力使變速齒輪43旋轉(zhuǎn)，變速齒輪43通過其與輪齒部112的嚙合帶動軸座11及支臂12繞軸座11的軸心旋轉(zhuǎn)，進而帶動承載基座3繞軸座11作公轉(zhuǎn)，基盤31隨的繞軸座11作公轉(zhuǎn)。因此，通過對第一馬達41的控制將多個基盤31之一者調(diào)整至適當(dāng)位置，關(guān)閉第一馬達41，使該基盤31為測試基盤。
開啟第二馬達51時，其驅(qū)動傳動齒盤52旋轉(zhuǎn)，傳動齒盤52通過其與基盤31的嚙合而帶動基盤31繞其軸心自轉(zhuǎn)，使得基盤31上的一個監(jiān)控片6對準(zhǔn)開口821，關(guān)閉第二馬達51，從而使該監(jiān)控片6作為測試目標(biāo)。
當(dāng)一個鍍層完成后，再次開啟第二馬達51調(diào)控基盤31自轉(zhuǎn)，使得下一個監(jiān)控片6對準(zhǔn)開口821而作為測試目標(biāo)；當(dāng)該基盤31的監(jiān)控片6用盡后，再次開啟第一馬達41調(diào)控承載基座3繞軸座11公轉(zhuǎn)，基盤31相應(yīng)地也繞軸座11公轉(zhuǎn)，從而可選取下一個基盤31作為測試基盤。
可以理解地，監(jiān)控遮板82上的開口821也可為多個，每個開口821可對應(yīng)一個監(jiān)控片6，從而使得所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置10也可同時選取多個監(jiān)控片6作為測試目標(biāo)。
因此，本發(fā)明所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置10于多層鍍膜制程中或膜厚要求較為精確時，不需要中止后續(xù)制程以更換監(jiān)控片，其可通過承載基座3的公轉(zhuǎn)及自轉(zhuǎn)而選取監(jiān)控片6，從而可達到連續(xù)生產(chǎn)及測試可靠度高的功效。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置包括一固持支架、多個承載基座、一第一驅(qū)動裝置及一第二驅(qū)動裝置；該承載基座與該固持支架連接，且可相對于該固持支架旋轉(zhuǎn)；該第一驅(qū)動裝置用于驅(qū)動該固持支架旋轉(zhuǎn)，該第二驅(qū)動裝置用于驅(qū)動該承載基座旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該固持支架包括一軸座及多個支臂，該多個支臂沿該軸座的邊緣呈輻射狀伸出。
3.如權(quán)利要求2所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該軸座包括一輪齒部及軸體部，該輪齒部及該軸體部為一體成型體；該輪齒部外緣具有齒紋，該軸座具有一貫穿該輪齒部及該軸體部中心的軸孔。
4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于第一驅(qū)動裝置包括一第一馬達及一變速齒輪，該第一馬達具有一傳動軸，該傳動軸連接于該變速齒輪的軸心，該變速齒輪與該固持支架的輪齒部嚙合。
5.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該第二驅(qū)動裝置包括一第二馬達、一傳動齒盤及一軸芯，該軸芯的一端固定連接于該傳動齒盤的中心，其另一端貫穿于該軸座中心的軸孔后連接于該第二馬達。
6.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該承載基座包括一基盤，該基盤外緣設(shè)有齒紋，且該基盤與該傳動齒盤相嚙合。
7.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該承載基座還包括一旋轉(zhuǎn)軸及軸承組件，該旋轉(zhuǎn)軸一端固定于該基盤中心，另一端通過該軸承組件固接于該支臂從軸座伸出的一端。
8.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其特征在于該基盤上開設(shè)有多個容置孔。
全文摘要
一種光學(xué)監(jiān)控設(shè)備的承載裝置，其包括一固持支架、多個承載基座、一第一驅(qū)動裝置及一第二驅(qū)動裝置；該承載基座與該固持支架連接，且可相對于該固持支架旋轉(zhuǎn)；該第一驅(qū)動裝置用于驅(qū)動該固持支架旋轉(zhuǎn)，該第二驅(qū)動裝置用于驅(qū)動該承載基座旋轉(zhuǎn)。
文檔編號C03C17/00GK1978355SQ20051010199
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月2日
發(fā)明者簡士哲 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司