專利名稱：?jiǎn)尉Ч枨蟹窖b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種切割單晶硅的機(jī)床，特別涉及一種切割單晶硅的切方裝置。
現(xiàn)有技術(shù)拉制后的單晶硅棒根據(jù)使用要求需要進(jìn)行切割，傳統(tǒng)的切割方法采用繩鋸或帶鋸。北京市海淀區(qū)學(xué)清路16號(hào)學(xué)知園一號(hào)樓1608室苗正華設(shè)計(jì)的《金剛石繩鋸》(專利號(hào)CN98218513.8)，該實(shí)用新型金剛石繩鋸，由機(jī)架、工作臺(tái)、動(dòng)力裝置、繩鋸輪、繩鋸條和供冷卻液裝置構(gòu)成。其特征在于其繩鋸條之外圓周面為金剛石材料附著；該實(shí)用新型金剛石繩鋸結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，造價(jià)低廉，可方便地對(duì)硬脆工件進(jìn)行各個(gè)方向的曲線切割，如玻璃、石材、陶瓷和單晶硅等，但不適合單晶硅棒料的切方加工。北京紫玉電子產(chǎn)品廠和北京欣福盛經(jīng)貿(mào)有限公司研制的《金剛石帶鋸》(專利號(hào)CN98208113.8)，該實(shí)用新型金剛石帶鋸，由機(jī)架、工作臺(tái)、動(dòng)力裝置和供冷卻液裝置、帶鋸輪、帶鋸條構(gòu)成；其特征在于其帶鋸條之刃口為金剛石材料的方形、長(zhǎng)方形、半圓形、梯形和三角形齒，實(shí)踐證實(shí)，該實(shí)用新型金剛石帶鋸結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，造價(jià)低廉，可方便的加工大于3～5mm厚度的硬脆工件，如玻璃、石料、單晶硅等，該實(shí)用新型同樣不能進(jìn)行單晶硅棒料的切方加工。
發(fā)明的目的本實(shí)用新型的目的是提供一種能夠?qū)尉Ч璋袅线M(jìn)行切方加工的單晶硅切方裝置。
技術(shù)方案本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，本實(shí)用新型在床身上固聯(lián)一支架，支架上固聯(lián)有直線導(dǎo)軌，直線導(dǎo)軌上設(shè)置有工作臺(tái)，工作臺(tái)的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)沿導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)；工作臺(tái)上端外側(cè)設(shè)置有兩臺(tái)電機(jī)，電機(jī)通過(guò)皮帶帶動(dòng)安裝在工作臺(tái)上動(dòng)力頭的主軸轉(zhuǎn)動(dòng)；主軸的前端設(shè)置有鋸片夾頭，鋸片夾頭上分別夾持有鋸片，兩鋸片間的中心線與單晶硅中心線重合；單晶硅夾持在單晶硅夾具上；單晶硅夾具沿鋸片間中心線安裝在單晶硅夾具體上，單晶硅夾具體安裝在床身上，單晶硅夾具體可沿鋸片中心線運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)鋸片，同時(shí)，單晶硅夾具帶動(dòng)單晶硅棒料沿中心線運(yùn)動(dòng)，從而切割單晶硅棒料，切割后的單晶硅成對(duì)稱矩形。鋸片為盤鋸片，鋸片的齒間設(shè)置有合金粉末。動(dòng)力頭為機(jī)械動(dòng)力頭。
有益效果由于切方鋸片的上下垂直運(yùn)動(dòng)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，保證了切方精度，同時(shí)能切割單晶硅棒料。


附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2是附圖1的右視圖。
附圖中1是工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置，2是直線導(dǎo)軌，3是電機(jī)，4是皮帶，5是動(dòng)力頭，6是支架，7是鋸片，8是鋸片夾頭，9是工作臺(tái)，10是晶硅棒料，11是單晶硅夾具，12是單晶硅夾具體，13是床身。
實(shí)施例本實(shí)施例床身(13)上固聯(lián)一支架(6)，支架上固聯(lián)有直線導(dǎo)軌(2)，直線導(dǎo)軌(2)上設(shè)置有工作臺(tái)(9)，工作臺(tái)(9)的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置(1)，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置(1)可以驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)(9)沿導(dǎo)軌(2)上下運(yùn)動(dòng)；工作臺(tái)(9)上端外側(cè)設(shè)置有兩臺(tái)電機(jī)(3)，電機(jī)(3)通過(guò)皮帶(4)帶動(dòng)安裝在工作臺(tái)上動(dòng)力頭(5)的主軸轉(zhuǎn)動(dòng)；動(dòng)力頭(5)主軸的前端設(shè)置有鋸片夾頭(8)，鋸片夾頭(8)上分別夾持有鋸片(7)，兩鋸片(7)間的中心線與單晶硅棒料(10)中心線重合；單晶硅棒料(10)夾持在單晶硅夾具(11)上；單晶硅夾具(11)沿鋸片(7)間中心線安裝在單晶硅夾具體(12)上，單晶硅夾具體(12)安裝在床身(13)上，單晶硅夾具體(12)可沿鋸片(7)中心線運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)鋸片(7)，同時(shí)，單晶硅夾具(11)帶動(dòng)單晶硅棒料(10)沿中心線運(yùn)動(dòng)，從而切割單晶硅棒料(10)，切割后的單晶硅成對(duì)稱矩形。鋸片(7)為盤鋸片(7)，鋸片(7)的齒間設(shè)置有硬質(zhì)合金粉末。動(dòng)力頭(5)為機(jī)械動(dòng)力頭(5)。與本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，是當(dāng)前是理想的單晶硅切方裝置之一。
權(quán)利要求1.一種單晶硅切方裝置由床身等組成，其特征在于床身上固聯(lián)一支架，支架上固聯(lián)有直線導(dǎo)軌，直線導(dǎo)軌上設(shè)置有工作臺(tái)，工作臺(tái)的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)沿導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)；工作臺(tái)上端外側(cè)設(shè)置有兩臺(tái)電機(jī)，電機(jī)通過(guò)皮帶帶動(dòng)安裝在工作臺(tái)上動(dòng)力頭的主軸轉(zhuǎn)動(dòng)；主軸的前端設(shè)置有鋸片夾頭，鋸片夾頭上分別夾持有鋸片，兩鋸片間的中心線與單晶硅夾具中心線重合；單晶硅夾持在單晶硅夾具上；單晶硅夾具沿鋸片間中心線安裝在單晶硅夾具體上，單晶硅夾具體安裝在床身上，單晶硅夾具體可沿鋸片中心線運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅切方裝置，其特征在于鋸片為盤鋸片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1和2所述的單晶硅切方裝置，其特征在于鋸片的齒間設(shè)置有合金粉末。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅切方裝置，其特征在于動(dòng)力頭為機(jī)械動(dòng)力頭。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種單晶硅切方裝置，裝置的床身上固聯(lián)一支架，支架上固聯(lián)有直線導(dǎo)軌，直線導(dǎo)軌上設(shè)置有工作臺(tái)，工作臺(tái)的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置可以驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)沿導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)；工作臺(tái)上端外側(cè)設(shè)置有兩臺(tái)電機(jī)，電機(jī)通過(guò)皮帶帶動(dòng)安裝在工作臺(tái)上動(dòng)力頭的主軸轉(zhuǎn)動(dòng)；主軸的前端設(shè)置有鋸片夾頭，鋸片夾頭上分別夾持有鋸片，兩鋸片間的中心線與單晶硅中心線重合；單晶硅夾持在單晶硅夾具上；單晶硅夾具沿鋸片間中心線安裝在單晶硅夾具體上，單晶硅夾具體安裝在床身上，單晶硅夾具體可沿鋸片中心線運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)鋸片，同時(shí)，單晶硅夾具帶動(dòng)單晶硅棒料沿中心線運(yùn)動(dòng)，從而切割單晶硅棒料，切割后的單晶硅成對(duì)稱矩形。鋸片為盤鋸片，鋸片的齒間設(shè)置有合金粉末。動(dòng)力頭為機(jī)械動(dòng)力頭。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，是當(dāng)前理想的單晶硅切方裝置之一。
文檔編號(hào)B28D1/32GK2825255SQ200520076510
公開日2006年10月11日 申請(qǐng)日期2005年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月20日
發(fā)明者馮金生, 蔡平 申請(qǐng)人:馮金生