專利名稱：糊劑涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在平板制造工序中，往基板上涂敷糊劑或滴下液晶的涂敷裝置。
背景技術(shù)：
已往的技術(shù)中，如日本特開2002-346452號公報所示，存在調(diào)節(jié)噴嘴的X方向間隔的技術(shù)?；蛘呷缛毡咎卦S第2740588號公報所示，存在調(diào)節(jié)噴嘴的Z方向位置的技術(shù)。
已往的技術(shù)中，Y方向的噴嘴間的位置調(diào)節(jié)，是以在裝置的安裝時進(jìn)行調(diào)節(jié)為前提的。但是，當(dāng)今，由于描繪到基板上的糊劑圖形的多樣化、糊劑種類的多樣化、或者為了提高糊劑補(bǔ)充時的作業(yè)性，需要更換噴嘴，在每次更換噴嘴時，必須調(diào)節(jié)各噴嘴間的X方向、Y方向、Z方向的噴嘴位置。另外，本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)，隨著玻璃基板的大型化，每一臺涂敷裝置上搭載的噴嘴數(shù)增加，所以，噴嘴的位置調(diào)節(jié)需要更多的時間。另外，隨著玻璃基板的大型化，操作者的操作位置與噴嘴間的距離加長，用手工作業(yè)進(jìn)行噴嘴的位置調(diào)節(jié)是很困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供涂敷裝置，該涂敷裝置中，在一個框架上設(shè)有若干個噴嘴，能高精度且簡單地進(jìn)行各噴嘴間的、相對于框架長度方向的直角方向的位置整合。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明中，設(shè)有能對各噴嘴獨立地調(diào)節(jié)X、Y、Z各方向的移動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、和控制它們的控制機(jī)構(gòu)。上述X、Y、Z方向的移動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以一個噴嘴的位置為基準(zhǔn)，計測其它噴嘴的X、Y、Z方向的位置偏移量，基于該計測結(jié)果，使各噴嘴在X、Y、Z方向獨立地移動。
根據(jù)上述構(gòu)造，可以在短時間內(nèi)，進(jìn)行已往很難做到的、各噴嘴間的位置調(diào)節(jié)。


圖1是本發(fā)明糊劑涂敷機(jī)一實施例的概略立體圖。
圖2是上述實施例中的Y方向微少移動機(jī)構(gòu)的概略圖。
圖3是上述實施例中的控制裝置一具體例的框圖。
圖4是Y方向微少移動機(jī)構(gòu)的、與圖2不同實施例的圖。
具體實施例方式
本發(fā)明，在備有若干個噴嘴的糊劑涂敷裝置中，能有效地進(jìn)行噴嘴的初期位置調(diào)節(jié)。圖1是表示本發(fā)明的糊劑涂敷裝置一實施例的概略立體圖。
圖1中，涂敷頭，是把噴嘴1a、1b安裝在糊劑收納筒(或注射器)2a、2b上而構(gòu)成的。3a、3b是光學(xué)式距離計、4a、4b是Z軸臺、5是X軸臺、6是Y軸臺、7是被描繪糊劑圖形的基板、8是θ軸臺、9是臺架部、10是框架、11a、11b是圖像識別照相機(jī)、12a、12b是噴嘴支承具、13是吸附固定著基板7的吸附臺、14a是主控制裝置、14b是副控制裝置、15是圖像處理裝置、16是外部存儲裝置、17是圖像監(jiān)視器、18是表示兩控制裝置14a、14b的控制處理狀況的顯示器、19是鍵盤、20a、20b分別是圖像識別照相機(jī)11a、11b的鏡筒、21a和21c～21e是伺服馬達(dá)、22是照相機(jī)支承部。另外，為了避免圖面的煩雜，Z軸臺4a、4b相對于框架10的X方向移動機(jī)構(gòu)圖示省略。
該圖中，X軸臺5固定在臺架部9上，在該X軸臺5上，搭載著可在X軸方向移動的Y軸臺6。Y軸臺6借助伺服馬達(dá)21a在X軸方向移動。在該Y軸臺6上，搭載著可在Y軸方向移動并且可轉(zhuǎn)動的θ軸臺8。通過驅(qū)動伺服馬達(dá)21b，θ軸臺8可在Y軸方向移動。在該θ軸臺8上，固定著吸附臺13。另外，θ軸臺8借助設(shè)在Y軸臺6上的伺服馬達(dá)21e可以旋轉(zhuǎn)θ角。作為涂敷對象物的基板7(玻璃基板)，其各邊與X、Y軸方向平行地被吸附固定在該吸附臺13上。即，在吸附臺13上，設(shè)有與供給負(fù)壓的負(fù)壓源連接著的若干個吸附孔，借助供給到吸附孔的負(fù)壓，可以吸引吸附基板。
在臺架部9上，跨越上述XYθ軸臺地設(shè)有框架10，在該框架10上，設(shè)有可在X軸方向移動的若干個涂敷頭。
在臺架部9的下側(cè)，設(shè)有用信號線連接著的主控制裝置14a、副控制裝置14b、圖像處理裝置15、外部存儲裝置16。另外，圖像監(jiān)視裝置17和顯示控制處理狀況等的顯示器17與主控制裝置14a連接，設(shè)置在容易看見的位置。另外，輸入主控制裝置14a或副控制裝置14b的控制條件等用的鍵盤等構(gòu)成的輸入機(jī)構(gòu)19，與主控制裝置14a連接。
圖2表示Z軸臺部的概略構(gòu)造。另外，該圖表示了Z軸臺4b部，Z軸臺4a部也是同樣的構(gòu)造。
框架10，設(shè)有可在X軸方向移動的Z軸臺支承部35b。在框架10上，圖未示的線性馬達(dá)沿長度方向(Y軸方向)設(shè)置著，Z軸臺支承部35b借助該線性馬達(dá)移動。在該Z軸臺支承部35b上，設(shè)有若干個滑動導(dǎo)軌31，Z軸臺4b能沿著滑動導(dǎo)軌31在Y軸方向移動地被支承著。另外，用設(shè)在Z軸臺支承部35b上的驅(qū)動用直動式馬達(dá)30，使Z軸臺4b在Y軸方向移動。在Z軸臺4b的可動部32上，安裝著糊劑收納筒2b和光學(xué)式距離傳感器3b，在糊劑收納筒2b的下端，通過噴嘴支承具設(shè)置著噴嘴1b。另外，Z軸臺4b的可動部32，借助伺服馬達(dá)21d可在Z軸方向移動，可在設(shè)在Z軸臺4b上的直線軌道(圖未示)上滑動。
如前所述，設(shè)置由滑動導(dǎo)軌31和直動式馬達(dá)30構(gòu)成的、涂敷頭的Y軸方向調(diào)節(jié)用驅(qū)動機(jī)構(gòu)(Y方向微少移動機(jī)構(gòu))，從而可以自動地調(diào)節(jié)若干個涂敷頭間的位置。
圖3是表示主控制裝置和副控制裝置的構(gòu)造的框圖。本圖中，主要由主控制裝置14a進(jìn)行設(shè)在臺架部9上的各臺的驅(qū)動控制和圖像處理，副控制裝置14b進(jìn)行Z軸臺的各移動控制。
在微機(jī)14a1上，連接著馬達(dá)控制器14a3和外部接口14a2，在該馬達(dá)控制器上，連接著X、Y、θ各臺的各軸驅(qū)動器14a4、14a5、14a6，這樣，構(gòu)成了主控制裝置14a。另外，在外部接口14a2上，連接著設(shè)在主控制裝置14a外面的鍵盤19、顯示器18、外部存儲裝置16、圖像處理裝置15、以及設(shè)在副控制裝置14b上的外部接口14b2。另外，圖像處理裝置15上，連接著CCD照相機(jī)11a、11b、和圖像監(jiān)視器17。在X軸驅(qū)動器14a4上，連接著設(shè)在X軸臺5上的伺服馬達(dá)21a。在Y軸驅(qū)動器14a5上，連接著設(shè)在Y軸臺6上的伺服馬達(dá)21b，在θ軸驅(qū)動器14a6上，連接著使θ軸臺8進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)的伺服馬達(dá)21e。
副控制裝置14b是與主控制裝置14a同樣的構(gòu)造，在微機(jī)14b1上，連接著外部接口14b2和馬達(dá)控制器14b3，在該馬達(dá)控制器14b3上，連接著使Z軸臺4a、4b在Z軸方向移動的Z軸驅(qū)動器14b4、14b5、和Y-Y軸驅(qū)動器14b6。另外，本圖中，Y-Y軸驅(qū)動器是一個，但也可以與Z軸驅(qū)動器同樣地，按照Z軸臺的數(shù)目設(shè)置。另外，用于使Z軸臺在X軸方向移動的馬達(dá)驅(qū)動器(圖未示)，也與Z軸臺的數(shù)目一致。該副控制裝置14b的外部接口14b2上，連接著光學(xué)式距離計3a、3b，在Z軸驅(qū)動器14b4上連接著伺服馬達(dá)21c，在Z軸驅(qū)動器14b5上連接著伺服馬達(dá)21d，在Y-Y軸驅(qū)動器上連接著伺服馬達(dá)30。
搭載在吸附臺13上的基板7，借助主控制裝置14a的控制驅(qū)動，可在X、Y各軸方向移動。即，當(dāng)伺服馬達(dá)21a被主控制裝置14a驅(qū)動時，Y軸臺6在X軸方向移動，基板7向X軸方向移動。當(dāng)圖3所示的伺服馬達(dá)21b被主控制裝置14a驅(qū)動時，θ軸臺8在Y軸方向移動，基板7向Y軸方向移動。因此，主控制裝置14a分別使Y軸臺6和θ軸臺8移動任意距離時，基板7在與臺架部9平行的面內(nèi)，在任意方向移動任意距離。另外，θ軸臺8借助伺服馬達(dá)21e，能以其中心位置為中心，在θ方向轉(zhuǎn)動任意量。
另外，在臺架部9上，設(shè)置著支承Z軸臺支承部35的框架10。在Z軸臺支承部35上，安裝著可在Z軸方向(上下方向)移動的Z軸臺4a、4b。設(shè)在一方Z軸臺4a上的可動部32a上，載置著噴嘴1a、糊劑收納筒2a、光學(xué)式距離計3a。在另一方Z軸臺4b的可動部32b上，載置著噴嘴1b、糊劑收納筒2b、光學(xué)式距離計3b。Z軸臺4a、4b的X、Y、Z軸方向的驅(qū)動控制，是由副控制裝置14b進(jìn)行的。即，伺服馬達(dá)21c、21d被副控制裝置14b驅(qū)動時，Z軸臺4a、4b在Z軸方向移動，隨之，噴嘴1a、1b、糊劑收納筒2a、2b、光學(xué)式距離計3a、3b在Z軸方向移動。另外，噴嘴1a、1b分別設(shè)在糊劑收納筒2a、2b的前端，噴嘴1a、1b和糊劑收納筒2a、2b的下端隔著備有連接部的噴嘴支承具12a、12b稍稍離開。
光學(xué)式距離計3a、3b分別用非接觸三角測定法，測定噴嘴1a、1b的前端(下端)即糊劑噴出口與基板7的上面之間的距離。
Z軸臺4a固定在Z軸臺支承部35上，Z軸臺4b，如圖2所示，通過若干個滑動導(dǎo)軌31，借助直動式馬達(dá)30，可相對于Z軸臺支承部35在Y軸方向移動。另外，Z軸臺支承部35借助伺服馬達(dá)可在框架10上沿X軸方向移動。
下面，說明噴嘴的位置調(diào)節(jié)動作?；?和噴嘴1a及1b的Z方向距離，預(yù)先調(diào)節(jié)為相同，其詳細(xì)說明從略。
首先，驅(qū)動XYθ軸臺，使搭載在吸附臺13上的基板7移動到預(yù)先規(guī)定的位置。接著，驅(qū)動XYθ軸臺，一邊使基板7移動，一邊用噴嘴1a、噴嘴1b在基板7上呈十字形地涂敷糊劑。然后，將基板7移動到照相機(jī)20a的位置，用照相機(jī)20a讀取各十字交點的坐標(biāo)。判斷噴嘴1a和噴嘴1b的坐標(biāo)值是否成為預(yù)先決定的數(shù)值。如果是預(yù)先決定的數(shù)值，則不需要調(diào)節(jié)。如果不是預(yù)先決定的數(shù)值，則要實施噴嘴間的調(diào)節(jié)。這時，首先，相對于噴嘴1a涂敷的糊劑所描繪的十字交點的X坐標(biāo)，把噴嘴1b涂敷的糊劑所描繪的十字交點的X坐標(biāo)調(diào)節(jié)成為預(yù)先決定的數(shù)值。即，用圖未示的X方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(線性馬達(dá))，使帶有噴嘴1b的Z軸臺4b移動，調(diào)節(jié)噴嘴1b的X方向位置。當(dāng)然，已往的涂敷裝置中，也能進(jìn)行該X軸方向的調(diào)節(jié)。
接著，以噴嘴1a涂敷的糊劑所描繪的十字交點的Y坐標(biāo)為基準(zhǔn)，計算出噴嘴1b涂敷的糊劑所描繪的十字交點的Y坐標(biāo)相對于該基準(zhǔn)的差。然后，借助安裝在Z軸臺支承部35上的直動式馬達(dá)30，使Z軸臺4b沿Y方向移動相當(dāng)于該差的距離，把Y坐標(biāo)納入預(yù)定的誤差內(nèi)，這樣進(jìn)行調(diào)節(jié)。這樣，噴嘴1a和噴嘴1b的X、Y軸方向的相對位置的調(diào)節(jié)完成。
該調(diào)節(jié)完成后，框架10上的各涂敷頭的X、Y方向作為固定，驅(qū)動XYθ軸臺，使基板移動到涂敷開始位置，對各糊劑收納筒2a、2b施加加壓力，使糊劑從噴嘴1a、1b中噴出。同時，驅(qū)動XYθ軸臺，使基板7移動，可以同時地描繪若干個糊劑圖像。另外，在該描繪中，用光學(xué)式距離計3a、3b對各噴嘴測定基板與噴嘴的噴出口之間的距離，根據(jù)該結(jié)果，驅(qū)動伺服馬達(dá)21c、21d，將各噴嘴與基板間的距離保持為一定。
這里，說明了噴嘴為2個時的例子，但是，即使設(shè)有若干個噴嘴，也能以噴嘴1a為基準(zhǔn)，對各噴嘴反復(fù)進(jìn)行上述操作，進(jìn)行各噴嘴的X方向、Y方向的位置調(diào)節(jié)。
另外，也可以在設(shè)有Z軸臺的框架部上，設(shè)置基準(zhǔn)位置標(biāo)記，用觀察該基準(zhǔn)位置和噴嘴噴出口位置的移動用照相機(jī)進(jìn)行觀測，求出相對于基準(zhǔn)位置的偏離，進(jìn)行修正。另外，也可以以一個噴嘴的噴出口為基準(zhǔn)，觀測另一個噴嘴的噴出口，從該觀測結(jié)果，求出偏離，進(jìn)行位置的修正。
如上所述，以一個噴嘴為基準(zhǔn)，可自動地調(diào)節(jié)各噴嘴的Y軸方向的位置偏離，采用若干個涂敷頭，可同時高精度地進(jìn)行若干個糊劑涂敷。
圖4表示圖2所示的Z軸臺部的另一實施例。
圖4中，為了使Z軸臺部4b在Y軸方向移動，不采用圖2中的由若干個滑動導(dǎo)軌31和直動式馬達(dá)30構(gòu)成的Y軸方向調(diào)節(jié)用驅(qū)動機(jī)構(gòu)(Y方向微少移動機(jī)構(gòu))，而是采用由脈沖馬達(dá)41和偏心凸輪40構(gòu)成的Y軸方向調(diào)節(jié)用驅(qū)動機(jī)構(gòu)(Y方向微少移動機(jī)構(gòu))。另外，該圖中，雖然未示出光學(xué)式距離計3b，但實際上是設(shè)置著的，可以計測從噴嘴出射口到基板面的距離。
本構(gòu)造中，在Z軸臺支承部35b與Z軸臺4b之間設(shè)置了線性軸承，使設(shè)在Z軸臺支承部35b上的脈沖馬達(dá)41旋轉(zhuǎn)時，偏心凸輪40就旋轉(zhuǎn)，Z軸臺4b可在Y軸方向移動。
涂敷頭的位置調(diào)節(jié)方法與上述實施例中說明的方法相同，其說明從略。
根據(jù)這樣的構(gòu)造，可用上述的方法，簡單地修正噴嘴部的Y軸方向的位置偏離。
另外，作為Y軸方向調(diào)節(jié)用的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，也可以采用線性馬達(dá)使Z軸臺移動的構(gòu)造。
權(quán)利要求
1.糊劑涂敷裝置，與設(shè)在若干個涂敷頭上的噴嘴的糊劑噴出口相向地將基板載置在臺上，一邊使收納在糊劑收納筒內(nèi)的糊劑從上述噴出口噴出到上述基板上，一邊使上述噴嘴與上述基板的相對位置關(guān)系變化，在上述基板上描繪出所需形狀的糊劑圖形；其特征在于，在框架上沿X軸方向備有上述各噴嘴，備有調(diào)節(jié)各噴嘴間的X軸方向間隔的機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)各噴嘴間的Y軸方向相對位置的機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)各噴嘴間的Z方向相對位置的機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的糊劑涂敷裝置，其特征在于，更換上述若干個涂敷頭中的至少一個時，用各涂敷頭描繪出對準(zhǔn)位置用的標(biāo)記，從該描繪的標(biāo)記位置求出噴嘴的位置偏離量，調(diào)節(jié)各噴嘴的位置。
3.如權(quán)利要求1所述的糊劑涂敷裝置，其特征在于，在上述框架上，設(shè)有使Z軸臺支承部在X軸方向移動的線性馬達(dá)，為了使備有上述涂敷頭的Z軸臺在Y軸方向移動，在上述Z軸臺支承部上，設(shè)有由若干個滑動導(dǎo)軌和直動式馬達(dá)構(gòu)成的Y軸方向調(diào)節(jié)用的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的糊劑涂敷裝置，其特征在于，在上述框架上，設(shè)有使Z軸臺支承部在X軸方向移動的線性馬達(dá)，為了使備有上述涂敷頭的Z軸臺在Y軸方向移動，在上述Z軸臺支承部上，設(shè)有由備有脈沖馬達(dá)的偏心凸輪構(gòu)成的Y軸方向調(diào)節(jié)用的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
5.糊劑涂敷裝置的涂敷頭位置調(diào)節(jié)方法，在該糊劑涂敷裝置中，與設(shè)在若干個涂敷頭上的噴嘴的糊劑噴出口相向地將基板載置在臺上，一邊使收納在糊劑收納筒內(nèi)的糊劑從上述噴出口噴出到上述基板上，一邊使上述噴嘴與上述基板的相對位置關(guān)系變化，在上述基板上描繪出所需形狀的糊劑圖形；其特征在于，從搭載在框架上的各涂敷頭將糊劑涂敷成十字形，求出各涂敷的糊劑的十字交點坐標(biāo)，以一個涂敷頭描繪的交點坐標(biāo)為基準(zhǔn)，如果沒有達(dá)到預(yù)先決定的值時，用X軸方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和Y軸方向用的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，調(diào)節(jié)各噴嘴間的相對位置。
全文摘要
在一個框架上備有若干個涂敷頭的糊劑涂敷機(jī)中，在更換涂敷頭部、尤其是更換包含噴出糊劑的噴嘴的噴嘴收納筒時，需要能簡單地修正噴嘴的位置偏離。本發(fā)明的涂敷裝置中，與若干個噴嘴的糊劑噴出口相向地、將基板載置在臺上，一邊使收納在糊劑收納筒內(nèi)的糊劑從上述噴出口噴出到上述基板上，一邊使上述噴嘴與該基板的相對位置關(guān)系變化，在該基板上描繪出所需形狀的糊劑圖形。在一個框架上沿X方向備有各噴嘴，備有調(diào)節(jié)各噴嘴間的X軸方向間隔的機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)各噴嘴間的Y軸方向相對位置的機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)各噴嘴間的Z方向相對位置的機(jī)構(gòu)。
文檔編號C03C17/00GK1970167SQ20061013614
公開日2007年5月30日 申請日期2006年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月14日
發(fā)明者石田茂, 川隅幸宏, 山間伸也, 渡邊健, 圓山勇 申請人:株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)