專利名稱：固持裝置及固持方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及鏡片制作技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種固持裝置及固持方法。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，許多工業(yè)產(chǎn)品表面都鍍有功能薄膜，以改善產(chǎn)品表面的各種性能。如在光學(xué)鏡片 的表面鍍上一層抗反射膜，以降低鏡片表面的反射率，降低入射光通過鏡片的能量損耗。又 如在玻璃基板表面鍍上一層濾光膜，以濾掉某一預(yù)定波段的光，制成各種各樣的濾光片。參 見文獻(xiàn)A widely tunable optical filter using ladder-type structure; S. Matsuo， Y. Yoshikuni， T. Segawa; Y. 0hiso， H. Okamoto; NTT Photonics Labs, Kanagawa， Japan; Photonics Technology Letters, IEEE; Volume 15， Issue 8， Aug.2003， pages 1114-1116。
目前，光學(xué)鍍膜制作以物理蒸鍍法(Physics Vapor D印osition，簡稱PVD)為主。由于 現(xiàn)有光學(xué)鍍膜用玻璃基板在蒸鍍過程容易產(chǎn)生遮蔽效應(yīng)(Shadow Effect)，故現(xiàn)有濾光片 的制作流程通常包括先將大片光學(xué)鍍膜用玻璃基板置于夾具后放入真空環(huán)境中鍍上濾光膜層 ，再將鍍膜后的玻璃基板切割成若干矩形小玻璃基片，然后采用滾圓裝置將重疊的矩形小玻 璃基片滾圓等步驟。
然而，濾光片的滾圓制程中各矩形小玻璃基片之間相互摩擦以及滾圓治具對(duì)小玻璃基片 的作用力會(huì)不可避免地導(dǎo)致小玻璃基片破碎，且易使光學(xué)膜層從小玻璃基片剝落，進(jìn)而導(dǎo)致 濾光片良率下降及材料浪費(fèi)。此外，由于真空鍍膜制程中采用夾具夾持玻璃基片，夾具與玻 璃基片之間呈點(diǎn)接觸，而玻璃基片尺寸較小，容易導(dǎo)致應(yīng)力分布集中，致使玻璃基板破碎。
近年也出現(xiàn)了另一種制作濾光片的方法。該方法包括首先將大玻璃基板切割成若干小玻 璃基片，其次滾圓小玻璃基片，最后將滾圓后的小玻璃基片置于支架進(jìn)行真空鍍膜等步驟。 該方法與前述方法相比，其能在鍍膜制程前挑選出已破碎的小玻璃基片，并降低了前述方法 的已鍍膜的大玻璃基板在切割和滾圓成小玻璃基片時(shí)發(fā)生破碎的機(jī)率。但其在真空鍍膜制程 采用的支架通常為轉(zhuǎn)臺(tái)，該轉(zhuǎn)臺(tái)承載面的圓周上設(shè)有多個(gè)凹槽，每個(gè)凹槽對(duì)應(yīng)固定一小玻璃 基片。由于小玻璃片尺寸較小，重量較輕，當(dāng)轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)速較大時(shí)，小玻璃基片容易與轉(zhuǎn)臺(tái)發(fā)生 相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而滑離凹槽，引起小玻璃基片之間以及小玻璃基片與轉(zhuǎn)臺(tái)之間發(fā)生碰撞，造成 小玻璃基片表面的劃傷和磨損，影響后續(xù)濾光片的尺寸精度和外觀質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
因此，提供一種固持效果好且方便操作的固持裝置及固持方法以提高生產(chǎn)品良率、節(jié)約 材料實(shí)為必要。
以下將以實(shí)施例為例說明一種固持裝置及固持方法。
所述固持裝置包括具有空腔的承載裝置和吸氣裝置。所述承載裝置包括承載部。所述承 載部開設(shè)有多個(gè)與空腔相連通的通孔，以使待加工工件覆蓋通孔時(shí)待加工工件與承載裝置配 合形成封閉的空腔。所述吸氣裝置與承載裝置的空腔相連通，用于抽取承載裝置的空腔內(nèi)的 氣體。
所述固持方法包括以下步驟將待加工工件置于承載裝置的承載部的通孔處，使其完全 覆蓋通孔；利用吸氣裝置抽取承載裝置的空腔內(nèi)的氣體，直至空腔內(nèi)處于真空狀態(tài)，從而使 得待加工工件固定于承載裝置。
本技術(shù)方案的固持裝置通過于承載裝置的承載部開設(shè)多個(gè)通孔，將待加工工件遮蓋通孔 ，將吸氣裝置與承載裝置連通，使得承載裝置具有密閉空腔，再采用吸氣裝置抽取承載裝置 空腔內(nèi)的氣體，直至空腔內(nèi)處于真空狀態(tài)，從而利用真空吸附將待加工工件固定于承載面。 因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)方案的固持裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，固持效果佳，有效提 高了生產(chǎn)效率并節(jié)約了材料。


圖l是本技術(shù)方案第一實(shí)施例提供的固持裝置的立體圖； 圖2是本技術(shù)方案第二實(shí)施例提供的固持裝置的立體圖； 圖3是圖1所示固持裝置固定玻璃基片的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下將結(jié)合附圖對(duì)本技術(shù)方案提供的固持裝置及固持方法進(jìn)行詳細(xì)說明。本技術(shù)方案的 固持裝置及固持方法可用于固定片狀及板狀待加工工件，如濾光片制作工藝中經(jīng)滾圓制程后 的玻璃基片。
請(qǐng)參閱圖l，本技術(shù)方案的第一實(shí)施例提供的固持裝置100包括承載裝置10和與承載裝置 相連通的吸氣裝置20。
承載裝置10包括承載部11、側(cè)壁12和底壁13。
承載部11與底壁13相對(duì)且平行設(shè)置。側(cè)壁12設(shè)于承載部11和底壁13之間，并與承載部 11和底壁13圍合成長方體結(jié)構(gòu)，從而形成一個(gè)空腔113。為確保氣密性，優(yōu)選承載部ll、側(cè) 壁12和底壁13—體成型。承載部ll具有承載面lll，用于承載待加工工件。承載部11開設(shè)有多個(gè)與空腔113相通的 通孔112。通孔112的尺寸略小于待加工工件的尺寸，以便后續(xù)將待加工工件置于承載部ll的 承載面l 1 l并能完全遮蓋通孔l 12 。
承載裝置10也可為其它結(jié)構(gòu)和形狀，只要具有空腔113，且在承載部ll上設(shè)有連通承載 部11的空腔113的通孔112，便于利用真空吸附原理承載待加工工件即可。
吸氣裝置20具有抽取氣體功能，可直接與承載裝置10相連通，也可通過導(dǎo)氣部件與承載 裝置10相連通。本實(shí)施例中，吸氣裝置20通過導(dǎo)氣部30與承載裝置10連通。導(dǎo)氣部30可設(shè)于 側(cè)壁12，也可設(shè)于底壁13，只要其一端與承載裝置10連通，另一端與吸氣裝置20連通即可。 導(dǎo)氣部30用以于承載裝置10的空腔113內(nèi)產(chǎn)生空氣信道，增強(qiáng)后續(xù)吸氣裝置20對(duì)待加工工件 的真空吸附力。導(dǎo)氣部30可為管體，也可為一個(gè)管體及與管體一端相通的真空吸嘴。所述真 空吸嘴可用于連通管體與承載裝置IO，也可用于連通管體與吸氣裝置20。本實(shí)施例中，導(dǎo)氣 部30為管體。
當(dāng)待加工工件遮蓋通孔112時(shí)，即承載裝置10的空腔113由與外界相通的狀態(tài)轉(zhuǎn)為封閉狀 態(tài)時(shí)，吸氣裝置20能抽取承載裝置10的空腔113內(nèi)的氣體，從而使承載裝置10的空腔113處于 真空狀態(tài)，產(chǎn)生作用于待加工工件的真空吸附力。
當(dāng)本實(shí)施例的固持裝置100用于玻璃基片的真空鍍膜制程時(shí)，可根據(jù)需要，于本領(lǐng)域常 用的真空鍍膜裝置的真空鍍膜室內(nèi)設(shè)置一驅(qū)動(dòng)裝置，然后將固定有待鍍膜的玻璃基片的固持 裝置100與驅(qū)動(dòng)裝置相連，使固持裝置100能相對(duì)設(shè)置于驅(qū)動(dòng)裝置上方的中央蒸發(fā)源運(yùn)動(dòng)，以 使每個(gè)玻璃基片始終位于一個(gè)相對(duì)于在真空蒸鍍室中央呈錐形上升的蒸鍍電子束準(zhǔn)確角向位 置，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)每個(gè)玻璃基片表面上能獲得最佳的均勻的沉積。
請(qǐng)參閱圖2，與固持裝置100相比，本技術(shù)方案的第二實(shí)施例提供的固持裝置200的承載 裝置110的通孔212呈階梯狀，即包括第一凹槽2121和與第一凹槽2121連通的第二凹槽2122。 其中，第一凹槽2121靠近承載面2111，其開口尺寸與待加工工件的尺寸適配，且大于第二凹 槽2122的開口尺寸。通孔212用以收容固定待加工工件，以防止待加工工件于承載面2111移 位。
以上對(duì)本技術(shù)方案實(shí)施例提供的固持裝置進(jìn)行了具體說明，下面將以固持裝置100固持 濾光片制程中使用的經(jīng)滾圓的小尺寸玻璃基片200為例，說明本技術(shù)方案的固持方法。所述 固持方法包括以下步驟
第一步，將玻璃基片300置于承載部11的通孔112處，使玻璃基片300完全覆蓋通孔112。
第二步，將吸氣裝置20通過導(dǎo)氣部30與承載裝置10相連通。第三步，利用吸氣裝置20抽取承載裝置10的空腔113內(nèi)的氣體，直至承載裝置10的空腔 113內(nèi)處于真空狀態(tài)，從而使得玻璃基片300固定于承載裝置10。
請(qǐng)一參閱圖1及圖3，玻璃基片300完全覆蓋通孔112后，吸氣裝置20、導(dǎo)體部30與玻璃基 片300配合，使承載裝置10的空腔113由與外界相通的狀態(tài)轉(zhuǎn)為封閉狀態(tài)。啟動(dòng)吸氣裝置20， 抽取空腔113內(nèi)的氣體，直至承載裝置10的空腔113內(nèi)處于真空狀態(tài)，玻璃基片300將因此受 到吸氣裝置20對(duì)其產(chǎn)生的真空吸附力而固定于承載裝置10。
本技術(shù)方案的固持方法通過提供具有承載部和空腔的承載裝置，于承載裝置的承載部開 設(shè)多個(gè)與空腔相連通的通孔，采用待加工工件遮蓋通孔，然后將承載裝置與吸氣裝置相連， 使得承載裝置具有密閉空腔，再采用吸氣裝置抽取承載裝置空腔內(nèi)的氣體以利用真空吸附原 理而將待加工工件固定于承載部。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)方案的固持裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作 方便，由于采用真空吸附的方式，即使使承載有待加工工件的承載裝置轉(zhuǎn)動(dòng)，待加工工件也 不會(huì)脫離承載裝置。因此，本技術(shù)方案的固持裝置固持效果佳，有效提高了生產(chǎn)效率并節(jié)約 了材料。
以上對(duì)本技術(shù)方案的固持裝置及固持方法進(jìn)行了詳細(xì)描述，但不能理解為是對(duì)本技術(shù)方 案構(gòu)思的限制?？梢岳斫獾氖?，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本技術(shù)方案的技 術(shù)構(gòu)思做出其它各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本申請(qǐng)權(quán)利要求的 保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
權(quán)利要求1一種固持裝置，用于固持待加工工件，其特征在于，所述固持裝置包括具有空腔的承載裝置，所述承載裝置具有承載部，所述承載部用于承載待加工工件，其開設(shè)有多個(gè)與空腔相連通的通孔，以使待加工工件覆蓋通孔時(shí)待加工工件與承載裝置配合形成封閉的空腔；及吸氣裝置，其與承載裝置的空腔相連通，用于抽取承載裝置空腔內(nèi)的氣體。
2.如權(quán)利要求l所述的固持裝置，其特征在于，所述承載裝置還包括 側(cè)壁和底壁，所述承載部與側(cè)壁和底壁圍合形成具有空腔的呈長方體狀的承載裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的固持裝置，其特征在于，所述側(cè)壁和底壁與承 載部一體成型。
4.如權(quán)利要求3所述的固持裝置，其特征在于，所述固持裝置還包括 導(dǎo)氣部，所述導(dǎo)氣部一端與承載裝置的空腔相通，另一端連接于吸氣裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的固持裝置，其特征在于，所述導(dǎo)氣部設(shè)于底壁
6.如權(quán)利要求4所述的固持裝置，其特征在于，所述導(dǎo)氣部設(shè)于側(cè)壁
7.如權(quán)利要求l所述的固持裝置，其特征在于，所述通孔呈階梯狀， 其包括第一凹槽和與第一凹槽連通的第二凹槽，所述第一凹槽的開口尺寸大于第二凹槽的開 口尺寸，用于收容待加工工件。
8. 一種采用如權(quán)利要求l所述的固持裝置的固持方法，包括以下步驟將待加工工件置于承載裝置的承載部的通孔處，使其完全覆蓋通孔； 利用吸氣裝置抽取承載裝置的空腔內(nèi)的氣體，直至空腔內(nèi)處于真空狀態(tài)，從而使得待 加工工件固定于承載裝置。
9.如權(quán)利要求8所述的固持方法，其特征在于，所述固持方法還包括 抽取承載裝置空腔內(nèi)的氣體前將吸氣裝置通過導(dǎo)氣部與承載裝置相連通的步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種固持裝置。所述固持裝置包括具有空腔的承載裝置和吸氣裝置。所述承載裝置包括承載部。所述承載部開設(shè)有多個(gè)與空腔相連通的通孔，以使待加工工件覆蓋通孔時(shí)待加工工件與承載裝置配合形成封閉的空腔。所述吸氣裝置與承載裝置的空腔相連通，用于抽取承載裝置的空腔內(nèi)的氣體。本發(fā)明還涉及所述固持裝置固定待加工工件的方法。本發(fā)明的固持裝置結(jié)構(gòu)簡單。使用本發(fā)明的固持方法操作方便，固持效果佳，能有效提高生產(chǎn)效率并節(jié)約材料。
文檔編號(hào)C03C17/00GK101441278SQ20071020260
公開日2009年5月27日 申請(qǐng)日期2007年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月20日
發(fā)明者王仲培 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司