專利名稱:改進(jìn)的平板玻璃鍍膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型是一種改進(jìn)的平板玻璃鍍膜裝置,涉及玻璃表面的鍍膜設(shè)備。
背景技術(shù):
隨著社會(huì)對(duì)節(jié)能和環(huán)境保護(hù)的廣泛關(guān)注,以及人們對(duì)審美意識(shí)的不斷提高,鍍 有色彩的 玻璃在建筑、裝飾等領(lǐng)域已得到廣泛的應(yīng)用。各種鍍膜玻璃是由專門 的鵬設(shè)備加工生產(chǎn)的,現(xiàn)有生產(chǎn)鵬玻璃的設(shè)備一般的是由低真空室~~^待室 (緩沖室)——第^M室一第11 室~~^待室~f氐真空室組成。鑒于不 同制品對(duì)各種鍍,的要求不同,其^M室的個(gè)數(shù)與其所鍍的反應(yīng)氣體成分也有所 不同。為保證反應(yīng)氣流的均勻流動(dòng),低真空室、等待室與 室均設(shè)置了抽氣口, 經(jīng)生產(chǎn)實(shí)踐證明,如此設(shè)置的結(jié)果,因反應(yīng)氣流在鍍膜室內(nèi)流向紊亂、反應(yīng)氣體既 不能均勻分布,也不能均勻參與 反應(yīng)。其結(jié),成制品 的膜層不均勻和色 彩差別大的缺陷,,其次,反應(yīng)氣體易在各鍍膜室之間相互竄氣,使鍍出的制品對(duì)其 節(jié)能效果存在較大影響。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的,是為改善現(xiàn)有玻璃鍍膜設(shè)備生產(chǎn)的制品存在膜層不均勻及 fe^差別較大的缺陷,而提出一種艦的平板玻璃鵬裝置。為實(shí)現(xiàn)上述木的采用
以下的技術(shù)方泉 一種艦的平板玻璃鵬裝置,包括低真空室、等待室、IW室,
,征是鍍膜室在其入口、出口的一端或兩端設(shè)有抽氣室,相鄰的兩抽氣室之間設(shè)
有隔離室;第一透明保護(hù)膜 室的出口端與反射膜 室的入口端分別設(shè)有抽氣 室,兩抽氣室之間設(shè)有隔離室;反射膜 室與過渡保護(hù)膜鍍膜室之間設(shè)有抽氣室;
a^度,膜鍍膜室的出口端與第二透明保護(hù)膜M室的入口端分別設(shè)有抽氣室,兩
抽氣室之間設(shè)有隔離室;第一透明保護(hù)膜 室的入口端設(shè)有等待室,等待室與低 真空室之間設(shè)有高真空室;第二透明,膜 室的出口端設(shè)有抽氣室;隔離室的
兩側(cè)分別設(shè)有抽氣口。
按本方案實(shí)施的平板玻璃 裝置,由于在鍍膜室的一端或兩端分別設(shè)置了單
獨(dú)的抽氣室以及兩抽氣室之間設(shè)置了隔離室,從而較妥善的解決了反應(yīng)氣體流向紊 亂以及杜絕了反應(yīng)氣 室之間相互竄氣的缺陷。經(jīng)本方案改進(jìn)的,生產(chǎn)的 ,制品具有房堤附著力牢固、膜層fe^均勻透明、低輻射的特點(diǎn),本實(shí)用新型結(jié) 構(gòu)艦合理,較顯著的提高了生產(chǎn)效率和節(jié)約了能源。
圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意亂圖2為圖1的俯視示意圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖作進(jìn)一步的具體說明。本實(shí)施例是一種施鍍大型透明微膜的驢, 是由低真空室1-一高真空室2—等待室3~~^~^膜室即透明保護(hù)膜 室41 一抽氣室5—~P愚離室6~~W氣室5~~^二 室即反射膜鍍膜室42—抽氣 室5~~^三働莫室及逾度保護(hù)膜鍍膜室43—抽氣室5—隔離室6~—抽氣室5 一第四,室即第二透明保護(hù)膜鍍膜室44一抽氣室5—高真空室2~~f氐真 空室1構(gòu)成。其中,低真空室l、高真空室2、等待室3、抽氣室5及隔離室6的兩 側(cè)均設(shè)有抽氣口 10、 20、 30、 50及60,其中,抽氣室的抽氣口也可以設(shè)置于抽氣 室的頂部,四個(gè)渡膜室不再設(shè)抽氣口。為保證反應(yīng)氣體均勻的穩(wěn)定流向,抽氣均由 分別設(shè)于各M室入口端與出口端的抽氣室來完成,各抽氣室即可同時(shí)進(jìn)行抽氣, 又可單^3S行抽氣。作如此改進(jìn)的設(shè)置,可使鍍膜室內(nèi)的反應(yīng)氣體流向均勻穩(wěn)定, 致使反應(yīng)氣,鍍膜室內(nèi)均勻分布并均勻參與鍍膜,以保證M層的勻致性。設(shè)于 抽氣室之間的隔離室6的目的,是在保證鍍膜室內(nèi)反應(yīng)氣體均勻分布的前提下,將 反應(yīng)氣體隔離開以杜絕反應(yīng)氣體來回竄氣的缺陷。本裝置低真空室1的進(jìn)口 端、低真空室1與高真空室之間2、高真空室2與等待室3之間均設(shè)置有真空鎖7, 各 室內(nèi)設(shè)有磁控1耙8。整^M^過程,前后低真空室1通過真空鎖7完成 從大氣到真空,以及真空到大氣的抽~~^文氣過程,其余各室保持再鍍膜所需要的 真空狀態(tài)。經(jīng)第一 室41施鍍的透明fW"膜,主要是為了反射膜在玻璃表面附著 牢固,鄉(xiāng)鵬以滿足制品對(duì)f繊射的要求,過渡膜用來微反射膜,第二層透明 保護(hù)膜用以保護(hù)反射效果。經(jīng)本實(shí)用新型裝置生產(chǎn)的平板 玻璃,具有^M均勻牢固、可連續(xù)生產(chǎn)、節(jié)約能源及效率高的特點(diǎn)c
權(quán)利要求1、一種改進(jìn)的平板玻璃鍍膜裝置,包括低真空室、等待室、鍍膜室、真空鎖、磁控濺射靶,其特征是鍍膜室在其入口、出口的一端或兩端設(shè)有抽氣室,相鄰的兩抽氣室之間設(shè)有隔離室。
2、 按權(quán)利要求1所述改進(jìn)的平板自 裝置,其特征是第一透明f,膜IM室的出口端與反射膜 室的入口端分別設(shè)有抽氣室,兩抽氣室之間設(shè)有隔離室;反射膜鵬室與逾度保護(hù)膜鍍膜室之間設(shè)有抽氣室;迚渡保護(hù)膜鍍膜 室的出口端與第二透明保護(hù)膜鍍膜室的入口端分別設(shè)有抽氣室,兩抽氣室之 間設(shè)有隔離室;第一透明保護(hù)膜,室的入口端設(shè)有等待室,等待室與低真 空室之間設(shè)有高真空室;第二透明保護(hù)膜lg^室的出口端設(shè)有抽氣室。
3、 按權(quán)利要求1或2 ,改進(jìn)的平板 裝置,,征是隔離室的兩側(cè)分 別設(shè)有抽氣口。
專利摘要本實(shí)用新型是一種改進(jìn)的平板玻璃鍍膜裝置,涉及玻璃表面的鍍膜設(shè)備。其特征是鍍膜室在其入口、出口的一端或兩端設(shè)有抽氣室,相鄰的兩抽氣室之間設(shè)有隔離室。按本方案實(shí)施的改進(jìn)的平板玻璃鍍膜裝置,由于在鍍膜室的一端或兩端分別設(shè)置了單獨(dú)的抽氣室以及兩抽氣室之間設(shè)置了隔離室,從而較妥善的解決了反應(yīng)氣體流向紊亂以及杜絕了反應(yīng)氣體在鍍膜室之間相互竄氣的缺陷。經(jīng)本方案改進(jìn)的裝置生產(chǎn)的鍍膜制品具有膜層附著力牢固、膜層色彩均勻透明、低輻射的特點(diǎn),本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)改進(jìn)合理,較顯著的提高了生產(chǎn)效率和節(jié)約了能源。
文檔編號(hào)C03C17/00GK201033765SQ200720005949
公開日2008年3月12日 申請(qǐng)日期2007年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月27日
發(fā)明者王百新, 王百江 申請(qǐng)人:王百新;王百江