專利名稱：一種金剛石切片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于切割工具技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種一體結(jié)構(gòu)高速金剛石切片。
背景技術(shù)：
由于金剛石具有超硬、耐磨特性，金剛石工具的使用壽命是其他普通工具的 幾十倍，金剛石工具近些年在制造業(yè)得到廣泛應(yīng)用。在半導(dǎo)體材料的制造過(guò)程 中，需要將大塊的材料切割成小塊，所用的金剛石切片呈三體組裝結(jié)構(gòu)，金剛石切割片2和兩個(gè)切割片固定加緊體1分別制造，然后在設(shè)備上同軸端面加緊3 使用，如圖l、圖2所示。由于金剛石切割片是采用配料熱壓成型的工藝制造， 它的表面平整度差(一般表面粗糙度高于2微米)，圓周各部位的材料分布均勻 程度差，零件的動(dòng)靜平衡差，而且刀片的厚度不能制造的很薄， 一般大于0.5 毫米。由于是采用三體組裝的結(jié)構(gòu)，每個(gè)零件的精度和平衡性都對(duì)切割作業(yè)帶 來(lái)影響，總體造成切割作業(yè)質(zhì)量低(切割端面粗糙度大于5微米)、切割效率低 (由于刀片精度差，動(dòng)平衡不好的限制，刀片的旋轉(zhuǎn)速度不能高于5000轉(zhuǎn)/分 鐘)。由于刀片厚度大，在切割過(guò)程中浪費(fèi)材料嚴(yán)重(對(duì)貴重的半導(dǎo)體材料尤其 突出)。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的在于提供一種一體結(jié)構(gòu)的高速金剛石切片， 一體金剛石切片 的動(dòng)平衡非常好，切割質(zhì)量較高。為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案 一種金剛石切片，包括切片機(jī)體和在切片機(jī)體一側(cè)端面外延上電鍍制成的金剛石切片刃部，二者成一體 結(jié)構(gòu)。所述的金剛石切片刃部由與機(jī)體粘連固定部分和伸出機(jī)體部分組成，二者厚度相等。本實(shí)用新型是在高精度的切片機(jī)體的端面外延上靠電鍍法制成金剛石切片 刃部， 一體成型結(jié)構(gòu)，沒(méi)有了組裝加緊使用切片造成的誤差引起的切片跳動(dòng)。一體金剛石切片的動(dòng)平衡非常好，刀片的旋轉(zhuǎn)速度可以達(dá)到30000轉(zhuǎn)/分鐘，可 以大幅度提高加工效率和切割質(zhì)量。切片刃部可以制作的很精細(xì)，表面粗糙度 不大于0.5微米，切片厚度可以制造0.03毫米，大量節(jié)約切割的材料損耗，經(jīng) 濟(jì)效益顯著。


圖1為現(xiàn)有分體結(jié)構(gòu)截面示意圖；圖2為現(xiàn)有分體結(jié)構(gòu)的側(cè)面示意圖；圖3為本實(shí)用新型的截面示意圖；圖4為本實(shí)用新型的側(cè)面示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例如圖3圖4所示的金剛石切片，包括切片機(jī)體4和在切片機(jī)體4一 側(cè)端面外延上電鍍制成的金剛石切片刃部7， 二者成一體結(jié)構(gòu)。金剛石切片刃部 7由和機(jī)體粘連的內(nèi)圈粘結(jié)固定部分6和外伸切片刃部5組成，二者是一次成型 的等厚體，直徑方向的粘結(jié)長(zhǎng)度和外伸切片刃長(zhǎng)基本相等。機(jī)體設(shè)計(jì)成帶有圓周外圓加緊9方式的圓柱，使用中采用中孔定位，端面定 位加緊8。外圓加緊9主要承擔(dān)旋轉(zhuǎn)扭矩作用力，加緊更牢靠。機(jī)體的動(dòng)平衡加 工中更好保證，所有機(jī)體的尺寸和形位公差均小于0.004毫米，表面粗糙度小于0.2微米。切片機(jī)體4由高強(qiáng)度的輕質(zhì)鋁合金制造，在電鍍前需進(jìn)行鋁脫脂，鋁酸洗和防氧化處理，金剛石電解液包括金剛石微分子，結(jié)合劑，電鍍液，鎳 液，酸堿調(diào)節(jié)劑，濕潤(rùn)劑等。在高精度的切片機(jī)體4的端面外延上靠電鍍法制成金剛石切片刃部7，可以 制作的很精細(xì)，表面粗糙度不大于0. 5微米，切片厚度b可以制造0.03毫米， 大量節(jié)約切割的材料損耗，經(jīng)濟(jì)效益顯著。
權(quán)利要求1. 一種金剛石切片，其特征在于，包括切片機(jī)體和在切片機(jī)體一側(cè)端面外延上電鍍制成的金剛石切片刃部，二者成一體結(jié)構(gòu)。
2、 如權(quán)利要求1所述的金剛石切片，其特征在于所述的金剛石切片刃部 由與機(jī)體粘連固定部分和伸出機(jī)體部分組成，二者厚度相等。
專利摘要本實(shí)用新型屬于切割工具技術(shù)領(lǐng)域，包括切片機(jī)體和在切片機(jī)體一側(cè)端面外延上電鍍制成的金剛石切片刃部，二者成一體結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型是在高精度的切片機(jī)體的端面外延上靠電鍍法制成金剛石切片刃部，一體成型結(jié)構(gòu)，沒(méi)有了組裝加緊使用切片造成的誤差引起的切片跳動(dòng)。一體金剛石切片的動(dòng)平衡非常好，刀片的旋轉(zhuǎn)速度可以達(dá)到30000轉(zhuǎn)/分鐘，可以大幅度提高加工效率和切割質(zhì)量。切片刃部可以制作的很精細(xì)，表面粗糙度不大于0.5微米，切片厚度可以制造0.03毫米，大量節(jié)約切割的材料損耗，經(jīng)濟(jì)效益顯著。
文檔編號(hào)B28D1/22GK201095168SQ200720129579
公開(kāi)日2008年8月6日 申請(qǐng)日期2007年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月31日
發(fā)明者楊晉中, 巖 趙, 郭留希 申請(qǐng)人:鄭州人造金剛石及制品工程技術(shù)研究中心