專利名稱：：玻璃制硬盤基板用成形模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及玻璃制硬盤基板用成形模具，更詳細(xì)地說涉及含有碳化硅-碳復(fù)合陶瓷的玻璃制硬盤基板用成形模具以及使用了該模具的玻璃制硬盤基板的制造方法。
背景技術(shù)：
：玻璃制硬盤基板為信息記錄裝置中優(yōu)選使用的磁記錄介質(zhì)用基板。該玻璃制硬盤基板通常通過在成形模具的上模和下模之間配置玻璃原料，通過熱壓成形為所需的形狀，進(jìn)而根據(jù)需要對(duì)表面進(jìn)行研磨，從而制成制品。作為用于成形這種玻璃制硬盤基板的成形模具的材料，由于熱穩(wěn)定性優(yōu)異，因此一直使用各種陶瓷(專利文獻(xiàn)O。另外，專利文獻(xiàn)2中公開了一種陶瓷復(fù)合燒結(jié)體，其中，作為對(duì)陶瓷、玻璃、金屬等進(jìn)行成形加工時(shí)的成形模具的原料，將特定粒徑的陶瓷材料(碳化硅等)和特定粒徑的碳以特定的比例進(jìn)行了配合。專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-230747號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-67432號(hào)公報(bào)但是，在玻璃制硬盤基板的制造中，隨著成形的高速化、高頻率化，上述專利文獻(xiàn)1所記載的成形模具材料存在下述問題表面易磨耗，玻璃成分在高溫下與成形模具表面發(fā)生反應(yīng)，從而成形后的玻璃的表面精度降低。另外，專利文獻(xiàn)2所記載的陶瓷復(fù)合燒結(jié)體由于所含碳粒子的粒徑微小，因此存在下述問題玻璃成分與成形模具表面牢固地密合，難以從上述成形模具上剝離，因此難以連續(xù)成形。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明涉及一種玻璃制硬盤基板用成形磨具(以下也稱作"本發(fā)明的成形模具，，)，其是含有碳化硅-碳復(fù)合陶瓷的成形模具，其中，在所述碳化硅-碳復(fù)合陶瓷中相對(duì)于100重量份碳化硅含有15~50重量份的碳粒子，所述碳粒子的平均粒徑為0.3-10(Him的范圍。本發(fā)明還涉及玻璃制硬盤基板的制造方法，其包括在成形模具中配置玻璃原料，并將所述玻璃原料進(jìn)行壓制成形的工序，其中，所述成形模具為本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具。圖l為表示本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具的一個(gè)例子的截面圖。圖2為表示本發(fā)明的實(shí)施例的玻璃制硬盤基板用成形模具的上模的圖，A為所述上模的截面圖，B為所述上模的俯視圖。具體實(shí)施例方式(玻璃制硬盤基板用成形模具)本發(fā)明的成形模具如上所述包含碳化硅-碳復(fù)合陶瓷(以下也稱作"復(fù)合陶瓷")，該復(fù)合陶瓷含有相對(duì)于100重量份碳化硅為15~50重量份的碳粒子，且所述碳粒子的平均粒徑為0.310(^m的范圍。如此，本發(fā)明的成形模具在所述復(fù)合陶瓷中含有相對(duì)于ioo重量份碳化硅為15-50重量份的碳粒子，該含量與現(xiàn)有技術(shù)、例如上述專利文獻(xiàn)1的碳化硅復(fù)合陶瓷的制造中作為燒結(jié)助劑使用的碳量相比，為更多的量。通過設(shè)定為這種含量，可以抑制玻璃成形時(shí)與玻璃的反應(yīng)性，從而制成顯示高耐磨耗性和耐久性的成形模具。另夕卜，還可以確保如專利文獻(xiàn)2那樣碳含量非常高的陶瓷所無法實(shí)現(xiàn)的充分的耐久性。另外，本發(fā)明的成形模具在所述復(fù)合陶瓷中所含的碳粒子的平均粒徑為0.3~100pm，該平均粒徑與專利文獻(xiàn)2的陶瓷中的碳粒子相比，是非常大的粒徑。通過使用這種大粒徑的碳粒子，成形后的玻璃與成形模具表面的密合性降低，可以實(shí)現(xiàn)良好的脫模性。另外，從確保更良好的脫模性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述復(fù)合陶瓷中所含碳粒子的平均粒徑優(yōu)選為0.5pm以上、更優(yōu)選為0.7pm以上、進(jìn)一步優(yōu)選為l(im以上。同樣地，從確保更良好的脫模性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述復(fù)合陶瓷中所含碳粒子的平均粒徑優(yōu)選為25pm以下、更優(yōu)選為5pm以下。具體地說，碳粒子的平均粒徑優(yōu)選為0.5~25pm、更優(yōu)選為0.7pm~5nm、進(jìn)一步優(yōu)選為15pim。上述碳粒子的平均粒徑為利用激光衍射/散射光式粒徑分布測(cè)定裝置(商品名LA720、堀場(chǎng)制作所公司制)測(cè)定的體積平均粒徑D^(以下相同)。另外，本發(fā)明的成形模具為玻璃制硬盤基板制造中使用的成形模具，玻璃制硬盤基板可以是非晶態(tài)玻璃(無定形玻璃)制的基板，還可以是結(jié)晶化玻璃(玻璃陶瓷)制的基板，只要是玻璃系的基板即可，沒有特別限制。從確保更高耐磨耗性和耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述復(fù)合陶瓷中所含碳粒子的含量優(yōu)選相對(duì)于100重量份碳化硅為15~45重量份，更優(yōu)選為1530重量份。作為上述碳化硅的原料，可以是ouP的任一種的晶型。另外，碳化硅原料的純度并無特別限制，但從以更高密度使其燒結(jié)、從而進(jìn)一步提高耐磨耗性和耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)，碳化硅原料的純度優(yōu)選為90重量％以上，更優(yōu)選為95重量％以上。碳化硅原料(粒子)的平均粒徑并無特別限制，但由于燒結(jié)性更為良好，因此上述原料優(yōu)選為0.1~10|im的粉末。上述復(fù)合陶瓷中所含的碳粒子優(yōu)選為碳的單質(zhì)，包括結(jié)晶相、非晶相或結(jié)晶相和非晶相的混合相。這些單質(zhì)的結(jié)晶相優(yōu)選在利用激光拉曼散射法獲得的測(cè)定光譜中，在以1580cm"附近為中心的14501700cm"處具有結(jié)晶相的峰。其結(jié)晶結(jié)構(gòu)并無特別限制，但優(yōu)選可以舉出石墨型平面六邊形結(jié)構(gòu)、菱面體形結(jié)構(gòu)等。另外，非晶相優(yōu)選在利用激光拉曼散射法獲得的測(cè)定光譜中，在以1360cm"附近為中心的13001450cm"處具有結(jié)晶相的峰。從確保更高耐磨耗性和耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)、進(jìn)而從實(shí)現(xiàn)更高強(qiáng)度和破壞韌性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述復(fù)合陶瓷中所含的碳粒子優(yōu)選結(jié)晶相與非晶相的激光拉曼散射強(qiáng)度的峰面積比(結(jié)晶相/非晶相)為110，更優(yōu)選為15。上述峰面積比通常認(rèn)為相當(dāng)于碳的石墨化度，因此其值為上述范圍時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)更良好的強(qiáng)度和破壞韌性。另外，上述光譜的測(cè)定可以使用氬激光拉曼散射裝置(NEC公司制)。為了實(shí)現(xiàn)這種峰面積比，作為碳源，選擇優(yōu)選殘?zhí)悸蕿?0~95重量％、更優(yōu)選殘?zhí)悸蕿?0~90重量％的垸基改性酚醛樹脂、煤焦油瀝青即可。另外，殘?zhí)悸适侵父鶕?jù)JISK2425測(cè)定的碳源中的固定碳的重量％。從確保更高耐磨耗性和耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述復(fù)合陶瓷中所含碳化硅的平均粒徑優(yōu)選為0.3pm以上。同樣地，從確保更高耐磨耗性和耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述復(fù)合陶瓷中所含碳化硅的平均粒徑優(yōu)選為100pm以下、更優(yōu)選為50pm以下、進(jìn)一步優(yōu)選為4pm以下。具體地說，碳化硅的平均粒徑優(yōu)選為0.3~100pm、更優(yōu)選為0.350jim、進(jìn)一步優(yōu)選為0.3~4^m。另外，碳化硅的平均粒徑可通過與上述碳粒子的平均粒徑同樣的方法測(cè)定。碳化硅在上述復(fù)合陶瓷中成為基質(zhì)，其晶型可以為a、(3的任一種。上述復(fù)合陶瓷優(yōu)選由上述碳化硅和碳構(gòu)成，但也可以在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)進(jìn)一步含有碳化硅以外的碳化物等任意成分。本發(fā)明的復(fù)合陶瓷由于含有粒徑較大的碳粒子和優(yōu)選粒徑較大的碳化硅，因此為了確保復(fù)合陶瓷的強(qiáng)度，優(yōu)選孔隙(void)直徑小。最大孔隙直徑優(yōu)選為300pm以下、更優(yōu)選為0100|im、進(jìn)一步優(yōu)選為50)im以下、更加優(yōu)選為25pm以下。另外，最大孔隙直徑可以如下測(cè)定。即，對(duì)于復(fù)合陶瓷表面的空隙孔，利用Keyence公司制的VH-8000型獲得空隙孔的圖像(照片)，對(duì)所得圖像進(jìn)行圖像解析，從而求得最大孔隙直徑。進(jìn)行圖像解析時(shí)，測(cè)定無規(guī)取向的空隙孔的長軸直徑(mm)和短軸直徑(mm)，求得(長軸直徑+短軸直徑)/2,對(duì)上述VH-8000型的倍率為100倍時(shí)的視野中的空隙孔，將分別所得到的值的最大值作為最大孔隙直徑。長軸直徑和短軸直徑分別如下定義。用兩根平行線夾住空隙孔時(shí)，將該2根平行線的間隔達(dá)到最小的空隙孔的寬度作為短軸直徑，另一方面，利用與該平行線成直角方向的2根平行線夾住空隙孔時(shí)，將該2根平行線的間隔作為長軸直徑。另外，在金屬模具成形、CIP(冷等靜壓成形)、HIP(熱等靜壓成形)等中，當(dāng)在0.55t/cm2的壓力下成形時(shí)，可以使復(fù)合陶瓷的最大孔隙直徑為300nm以下。本發(fā)明的成形模具由于對(duì)玻璃的脫模性高，因此優(yōu)選玻璃成形時(shí)玻璃所接觸的表面的至少一部分由上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成，更優(yōu)選上述接觸表面全部由上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成。另外，也可以上述成形模具的整體由上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成。作為具體例子，在本發(fā)明的成形模具由沖模和沖孔構(gòu)成時(shí)，可以6用上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成沖模和沖孔的任一者或兩者。另外，對(duì)于沖模和沖孔的任一者或兩者而言，還可以用上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成與玻璃接觸的面的一部分或全部。作為本發(fā)明成形模具的形狀，可以舉出與以往公知的成形模具相同的形狀。本發(fā)明的成形模具的特征在于含有上述復(fù)合陶瓷，如上所述，當(dāng)玻璃所接觸的表面的至少一部分含有上述復(fù)合陶瓷時(shí)，由于提高了對(duì)玻璃的脫模性，因此其形狀本身并無任何限制。使用本發(fā)明的成形模具來制造玻璃制硬盤基板時(shí)，上述成形模具與玻璃接觸的表面的形狀轉(zhuǎn)印于成形后的玻璃表面，因此優(yōu)選上述接觸表面盡量光滑。具體地說，從成形后的基板研磨效率的觀點(diǎn)和上述接觸表面的平滑性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述接觸表面的中心線平均粗糙度Ra優(yōu)選為0細(xì)10阿、更優(yōu)選為0.019.5拜、進(jìn)一步優(yōu)選為0.029拜。另外，中心線平均粗糙度Ra可以根據(jù)JISB0651求得。中心線平均粗糙度Ra可以通過提高燒結(jié)體的密度而設(shè)定在上述范圍內(nèi)，因此使用后述的煅燒粉末(復(fù)合陶瓷)即可。(復(fù)合陶瓷的制造方法)本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具中的復(fù)合陶瓷可以如下調(diào)制。上述復(fù)合陶瓷可以在根據(jù)需要煅燒含有碳化硅和碳源的原料混合物后成形為所需的形狀，然后將其燒成而制造。當(dāng)用該復(fù)合陶瓷構(gòu)成本發(fā)明的成形模具整體時(shí)，成形為所需的成形模具的形狀即可，另外，當(dāng)用該復(fù)合陶瓷構(gòu)成本發(fā)明的成形模具的一部分時(shí)，成形為制成成形模具的部件的所需的形狀即可，具體情況在后敘述。上述復(fù)合陶瓷中優(yōu)選如上所述含有碳的單質(zhì)，該碳的單質(zhì)優(yōu)選在制造中由適當(dāng)?shù)奶荚瓷?。具體地說，將碳化硅、后述的碳源以及根據(jù)需要添加的以往公知的添加劑進(jìn)行濕式混合并煅燒即可。該煅燒工序中，通常碳源的碳轉(zhuǎn)變?yōu)閱钨|(zhì)。上述各原料的混合比例按照所得復(fù)合陶瓷含有相對(duì)于100重量份碳化硅為1550重量份的碳粒子的方式進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定即可。上述添加劑并無特別限制，可以舉出公知的硼化合物、鈦化合物、鋁、氧化釔化合物等燒結(jié)助劑等。上述濕式混合可以使用球磨機(jī)、振動(dòng)磨機(jī)、行星磨機(jī)等來進(jìn)行。另外，7作為濕式混合中所使用的溶劑，并無特別限制，但優(yōu)選苯、甲苯、二甲苯等芳香族系溶劑；甲醇、乙醇等醇系溶劑；甲乙酮等酮系溶劑等有機(jī)溶劑。作為其它溶劑，還可以使用水、水與上述有機(jī)溶劑的混合溶劑等。經(jīng)濕式混合的混合物的煅燒并無特別限制，可以通過以往公知的方法來進(jìn)行，但從更為充分地將所用的碳源轉(zhuǎn)化成碳單質(zhì)、同時(shí)維持良好的分散性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在不活潑性氣氛下(氮?dú)?、氬氣等氣氛?、在150800'C下進(jìn)行熱處理來進(jìn)行。上述碳源并無特別限制，可以使用可溶于或可分散于濕式混合所用的上述有機(jī)溶劑中、且在上述煅燒條件下可轉(zhuǎn)化成碳的碳源。碳源為固體粉末時(shí)，從其分散性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選平均粒徑為0.1100pm左右的材料。另外，從向煅燒后的碳的轉(zhuǎn)化率高的觀點(diǎn)出發(fā)，上述碳源優(yōu)選為芳香族烴，具體地可舉出呋喃樹脂、酚醛樹脂、煤焦油瀝青等，其中更優(yōu)選酚醛樹脂、煤焦油瀝青。另外，還可以使用經(jīng)煅燒的上述物質(zhì)作為碳源。上述碳化硅原料(粒子)如上所述，可以為a、P的任一種的晶型。另外，該碳化硅原料的純度并無特別限制，但從以更高密度燒結(jié)以進(jìn)一步提高耐磨耗性和耐久性的觀點(diǎn)出發(fā)，該碳化硅原料的純度優(yōu)選為90重量％以上、更優(yōu)選為95重量％以上。碳化硅原料(粒子)的平均粒徑并無特別限制，但從燒結(jié)性更為良好的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.1l(Vm的粉末。另外，碳化硅原料(粒子)的平均粒徑為使用激光衍射/散射光式粒徑分布測(cè)定裝置(商品名LA720、堀場(chǎng)制作所公司制)測(cè)定的體積平均粒徑D5。(以下相同)。接著，將煅燒后的混合物根據(jù)需要進(jìn)行造粒后，成形為所需的形狀。成形方法并無特別限制，可以利用金屬模具成型法、注射法、CIP(冷等靜壓成形)法等形成坯塊，根據(jù)需要將上述坯塊進(jìn)行機(jī)械加工，從而制作所需形狀的成形體。接著，將所得成形體供于燒成工序。燒成方法并無特別限制，按照以往公知的方法進(jìn)行即可，但優(yōu)選在不活潑性氣氛下或真空下、在18002300"C下進(jìn)行處理。在這種燒成溫度下進(jìn)行處理時(shí)，燒結(jié)體的密度、強(qiáng)度、硬度等機(jī)械特性可變得更為良好。作為上述燒成方法，為了進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)高密度化，優(yōu)選采用熱壓、HIP(熱等靜壓成形)法等。該復(fù)合陶瓷除了能夠容易地加工成形之外，根據(jù)其特性，對(duì)于作為本發(fā)明預(yù)解決課題之一的成形模具所要求的特性的賦予也起到很大貢獻(xiàn)，具體地說，對(duì)相對(duì)于高溫玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性(耐氧化性、耐腐蝕性、對(duì)玻璃的惰性)、和耐磨耗性、與玻璃的脫模性、表面平滑性等玻璃制硬盤基板用成形模具的特性的賦予起到很大貢獻(xiàn)。為了不使上述復(fù)合陶瓷中的碳粒子或碳化硅的平均粒徑過度地微細(xì)，優(yōu)選將碳原料的殘?zhí)悸?、粒徑調(diào)整至上述優(yōu)選范圍，調(diào)整煅燒條件，不過度地進(jìn)行原料的溶解。另外，對(duì)于碳化硅而言，優(yōu)選調(diào)整燒成條件以提高結(jié)晶性，從而使粒子適度地成長。(本發(fā)明的成形模具的制造方法)接著，說明本發(fā)明的成形模具的優(yōu)選制造方法，但本發(fā)明的成形模具的制造方法并非限定于此。當(dāng)由上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成本發(fā)明的成形模具的整體時(shí)，在上述復(fù)合陶瓷的制造工序中，將煅燒后的混合物成形為所需的成形模具的形狀，并進(jìn)行燒成即可。另外，由上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成本發(fā)明的成形模具的一部分時(shí)，如上所述，通過制作由復(fù)合陶瓷構(gòu)成的部件，并將其作為成形模具的一部分進(jìn)行組裝，可以制造本發(fā)明的成形模具。本發(fā)明的成形模具中，優(yōu)選玻璃制硬盤基板的制造中與玻璃接觸的表面如上所述為光滑的。因此，與上述玻璃的接觸表面優(yōu)選根據(jù)需要進(jìn)行研磨。研磨方法并無特別限制，但當(dāng)上述復(fù)合陶瓷為高硬度材料時(shí)，由于利用金剛石以外的磨粒進(jìn)行的研磨所需的時(shí)間延長，因此優(yōu)選利用金剛石磨粒進(jìn)行研磨。從充分確保本發(fā)明的成形模具與玻璃的接觸表面的表面平滑性的觀點(diǎn)出發(fā)，所用金剛石磨粒的平均粒徑優(yōu)選為2pm以下。構(gòu)成本發(fā)明的成形模具的上述復(fù)合陶瓷在利用HIP法進(jìn)行燒成時(shí)，可以獲得密度非常高的燒結(jié)體。從能夠賦予成形的玻璃的表面更為良好的平滑性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選成形模具的相對(duì)密度高。具體地說，優(yōu)選成形模具的相對(duì)密度為95%以上、更優(yōu)選為98%以上。該相對(duì)密度可以通過體積密度除以理論密度(真比重)而算出，體積密度可以根據(jù)JISR1634進(jìn)行測(cè)定。另外，當(dāng)陶瓷由多個(gè)成分構(gòu)成時(shí)，計(jì)算各成分的理論密度x各成分的含量(重量％)+100，將所得各成分的計(jì)算值之和作為上述陶瓷整體的理論密度。(玻璃制硬盤基板的制造方法)本發(fā)明的玻璃制硬盤基板的制造方法如上所述，其包括在成形模具中9配置玻璃原料，并根據(jù)需要在加熱條件下將上述玻璃原料進(jìn)行壓制成形的工序，其中，上述成形模具為本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具。這樣，本發(fā)明的制造方法中，使用本發(fā)明的成形模具作為成形模具即可，對(duì)于其它的工序或處理?xiàng)l件等，并無任何限制。對(duì)于本發(fā)明的玻璃制硬盤基板的制造方法的一個(gè)例子，使用圖1進(jìn)行說明，但本發(fā)明并非限定于此。圖l為表示本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具的一個(gè)例子的截面圖。如圖1所示，成形模具具備相向的上模10a和下模10b、將它們以可上下移動(dòng)的方式連接的外周部12，101a為上模10a的加工面(與玻璃的接觸面)、101b為下模10b的加工面(與玻璃的接觸面)。而且，成形模具至少用上述復(fù)合陶瓷構(gòu)成上模10a的加工面101a和下模10b的加工面101b。另外，成形模具也可不具備外周部。首先，在成形模具的上模10a和下模10b之間配置玻璃材料11(例如配置在下模10b的加工面101b上)。然后，通過移動(dòng)上模10a和下模10b對(duì)玻璃材料11進(jìn)行壓制，之后將其冷卻，從而成形玻璃制硬盤基板。然后，將該成形后的玻璃制硬盤基板從上述成形模具上脫模，獲得玻璃制硬盤基板。另外，本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具的制造方法以使用本發(fā)明的成形模具為特征，溫度或加重的條件等沒有任何限制，可以如以往公知的那樣進(jìn)行設(shè)定。玻璃材料11可以將未加熱的玻璃原料(室溫左右)配置在上模10a和下模10b之間，然后一邊加熱一邊進(jìn)行壓制加工，還可以預(yù)先將玻璃原料11加熱至規(guī)定的溫度而制成熔融玻璃，然后使其從熔融玻璃槽通過流出管流至下模10b的加工面。加熱處理的溫度并無特別限制，但從成形性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為2001500。C、更優(yōu)選為4001500。C、進(jìn)一步優(yōu)選為5001400。C、更加優(yōu)選為600140(TC。另外，熔融玻璃的溫度只要玻璃原料發(fā)生熔融即可，并無特別限制，但從成形性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為200150(TC、更優(yōu)選為4001500。C、進(jìn)一步優(yōu)選為5001400°C、更加優(yōu)選為600~1400°C。壓制時(shí)所施加的壓力并無特別限制，但優(yōu)選為0.250MPa,從進(jìn)一步縮短壓制時(shí)間的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選為0.340MPa、進(jìn)一步優(yōu)選為0.430MPa。另外，壓制可以移動(dòng)上模10a和下模10b兩者來進(jìn)行，也可以如圖1的箭頭所示對(duì)上模10a施壓制力來進(jìn)行。上述玻璃原料的種類也無任何限制，可以是成形后的形態(tài)變?yōu)闊o定形玻璃的原料，也可以是成形后的形態(tài)變?yōu)榻Y(jié)晶化玻璃(玻璃陶瓷)的原料。(信息記錄介質(zhì))根據(jù)本發(fā)明，還可提供具備上述玻璃制硬盤基板的信息記錄介質(zhì)。此時(shí)，使用利用上述方法制作的玻璃制硬盤基板即可，對(duì)于信息記錄介質(zhì)的其它構(gòu)成等，并無任何限制。實(shí)施例1使用振動(dòng)磨機(jī)對(duì)下述表1中所示的碳源、平均粒徑為0.5pm的(3-碳化硅粒子(純度為98重量％)以及燒結(jié)助劑B4C(2重量％)利用乙醇進(jìn)行濕式混合，干燥后在50(TC下煅燒2小時(shí)，利用乙醇將該煅燒物進(jìn)行濕式粉碎而制成漿料。利用噴霧干燥機(jī)對(duì)該漿料進(jìn)行造粒而獲得顆粒。使用這些顆粒利用CIP法形成坯塊，利用NC(數(shù)字控制)加工機(jī)對(duì)所得坯塊進(jìn)行加工而成形玻璃成形模具，然后在氬氣氣氛下、在220(TC下燒成4小時(shí)。通過該燒成，形成本發(fā)明的碳化硅-碳復(fù)合陶瓷。對(duì)于燒成后的成形模具，利用平均粒徑為2pim的金剛石磨粒對(duì)與玻璃接觸的表面進(jìn)行研磨，最終獲得玻璃制硬盤基板用成形模具。另外，在下述表l中，碳含量表示相對(duì)于100重量份碳化硅的燒成后的碳含量。對(duì)于所得成形模具，利用以下測(cè)定方法評(píng)價(jià)各特性。將它們的結(jié)果一并示于下述表1中。(1)激光拉曼比激光拉曼比為碳粒子的結(jié)晶相與非晶相的激光拉曼散射強(qiáng)度的峰面積比(結(jié)晶相/非晶相)，利用氬激光拉曼散射裝置(NEC公司制)進(jìn)行測(cè)定。(2)表面粗糙度對(duì)于上述成形模具，使用粗糙度計(jì)(小坂技研制)，根據(jù)JISB0651來測(cè)定與玻璃接觸的表面的中心線平均粗糙度Ra。(3)脫模性使用所制作的成形模具，在以下的條件下制作硬盤基板，如下評(píng)價(jià)上述硬盤基板從硬板基板成形模具的脫模性。即，通過在上述成形模具中投入成為原料的玻璃Gob塊(粘度logri:14)，并施加MMPa的壓力，從而制得玻璃制硬盤基板。進(jìn)而，使用同一成形模具連續(xù)地進(jìn)行1000個(gè)玻璃制硬盤基板的制造，根據(jù)下述評(píng)價(jià)基準(zhǔn)來評(píng)價(jià)各玻璃制硬盤基板的脫模性。(硬盤基板的制作條件)玻璃成分Si02、Li02、A1203、B203、Na2Q、K2Q剛壓制前的玻璃溫度12001400°C(利用放射溫度計(jì)來測(cè)定)壓制方法利用直接壓制法將規(guī)定重量的熔融玻璃的溫度降溫至成形溫度范圍(1ogrr710)，利用成形模具進(jìn)行玻璃塊的壓制成形。冷卻條件在壓制中利用熱交換用流體(水)吸收壓制品的熱量。由此，通過冷卻壓制面，可以獲得高品質(zhì)且高效的玻璃成形品。(評(píng)價(jià)基準(zhǔn))◎:IOOO個(gè)均顯示良好的脫模性〇1000個(gè)中有1個(gè)發(fā)生脫模不良△:1000個(gè)中有24個(gè)發(fā)生脫模不良X:1000個(gè)中有5個(gè)以上發(fā)生脫模不良良好脫模是指在剛壓制后將成形模具的上模從壓制品上脫離時(shí)壓制品不會(huì)移動(dòng)，脫模不良是指在剛壓制后將成形模具的上模從壓制品上脫離時(shí)壓制品發(fā)生移動(dòng)、或者壓制品粘在上模上。(4)耐久性成形模具的耐久性是對(duì)上述(3)的脫模性試驗(yàn)后的成形模具利用目測(cè)進(jìn)行表面的外觀及其粗糙度的觀察以及進(jìn)行中心線平均粗糙度Ra的測(cè)定，并根據(jù)下述評(píng)價(jià)基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)。中心線平均粗糙度Ra如下求得測(cè)定成形模具(上模)與玻璃的接觸面(壓制面)的中心部和外周部的各一點(diǎn)，求得兩個(gè)測(cè)定值之差。圖2示意地表示成形模具的上模。圖2中，(A)為成形模具的上模的截面圖、(B)為成形模具的上模的俯視圖。如圖2(B)所示，對(duì)于上述中心部，以成形模具(上模)的壓制面的中心點(diǎn)為中心測(cè)定2mm(圖中的箭頭X)，對(duì)于上述外周部，測(cè)定從外周(圖2(B)中內(nèi)側(cè)的實(shí)線)起算內(nèi)側(cè)10mm的再內(nèi)側(cè)2mm(圖中的箭頭Y)。在下述評(píng)價(jià)基準(zhǔn)中，"粗糙度變化"是指上述中心部與外周部之差的粗糙度的差異，即對(duì)于上述中心部與外周部之差，是指在脫模性試驗(yàn)前后所產(chǎn)生的變化量。另外，在評(píng)價(jià)為成形模具的耐久性高時(shí)，同樣地，可以說耐磨耗性也良好。(評(píng)價(jià)基準(zhǔn))沒有粗糙度變化〇可見若干粗糙度變化RaA10。/。以下可見粗糙度變化RaA20y。以下X:可見很大的粗糙度變化RaA30y。以下表l<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>根據(jù)本發(fā)明的玻璃制硬盤基板用成形模具，與玻璃的反應(yīng)性少，耐磨耗性和耐久性優(yōu)異，且成形后的玻璃從上述成形模具表面的脫模性變得良好。因此，即便連續(xù)且長期地使用本發(fā)明的成形模具，也可以抑制成形模具的加工表面的粗糙或脫模不良，能夠以高頻率制造玻璃制硬盤基板。另外，所得玻璃制硬盤基板的合格率也提高，還可以實(shí)現(xiàn)實(shí)質(zhì)上不需要成形后的研磨的程度的表面平滑性。因此，根據(jù)本發(fā)明的成形模具，還可以降低玻璃制硬盤基板的成形成本。權(quán)利要求1.一種玻璃制硬盤基板用成形模具，其含有碳化硅-碳復(fù)合陶瓷，其中，在所述碳化硅-碳復(fù)合陶瓷中相對(duì)于100重量份碳化硅含有15～50重量份的碳粒子，所述碳粒子的平均粒徑為0.3～100μm的范圍。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃制硬盤基板用成形模具，其中，所述碳化硅-碳復(fù)合陶瓷中的碳化硅的平均粒徑為0.3100pm的范圍。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃制硬盤基板用成形模具，其中，所述碳粒子的結(jié)晶相與非晶相的激光拉曼散射強(qiáng)度的峰面積比即結(jié)晶相/非晶相為1~10。4.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項(xiàng)所述的玻璃制硬盤基板用成形模具，其中，所述復(fù)合陶瓷的最大孔隙直徑為300|im以下。5.根據(jù)權(quán)利要求14任一項(xiàng)所述的玻璃制硬盤基板用成形模具，其中，在玻璃制硬盤基板的成形時(shí)與玻璃接觸的所述成形模具表面的中心線平均粗糙度Ra為0.001^im10[im。6.—種玻璃制硬盤基板的制造方法，其包括在成形模具中配置玻璃原料，并將所述玻璃原料進(jìn)行壓制成形的玻璃成形工序，其中，所述成形模具為權(quán)利要求1~5任一項(xiàng)所述的玻璃制硬盤基板用成形模具。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃制硬盤基板的制造方法，其中，在所述玻璃成形工序中，在將所述玻璃原料加熱至20(TC150(TC的狀態(tài)下對(duì)所述玻璃原料施加0.250MPa的壓力來進(jìn)行成形。全文摘要本發(fā)明提供與玻璃的反應(yīng)性少、耐磨耗性和耐久性高、成形后的玻璃從成形模具表面的脫模性良好的玻璃制硬盤基板用成形模具。該玻璃制硬盤基板用成形模具含有碳化硅-碳復(fù)合陶瓷，所述碳化硅-碳復(fù)合陶瓷中相對(duì)于100重量份碳化硅含有15～50重量份的碳粒子，所述碳粒子的平均粒徑為0.3～100μm的范圍。文檔編號(hào)C03B11/00GK101454249SQ20078001996公開日2009年6月10日申請(qǐng)日期2007年5月31日優(yōu)先權(quán)日2006年5月31日發(fā)明者上山弘樹,井上啟作,吉田聰明,野崎守二,阪口美喜夫,青木哲也申請(qǐng)人:花王株式會(huì)社;株式會(huì)社小原