專(zhuān)利名稱(chēng)：切削裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種切削半導(dǎo)體晶片等被加工物的切削裝置。
背景技術(shù)：
例如，在半導(dǎo)體器件制造工序中，在大致圓板形狀的半導(dǎo)體晶片的
表面上，在由形成為格子狀的稱(chēng)為間隔道(street)的分割預(yù)定線劃分而 成的多個(gè)區(qū)域中形成IC (Integrated Circuit:集成電路)、LSI (large scale integration:大規(guī)模集成電路)等電路，沿分割預(yù)定線來(lái)分割形成有該電 路的各區(qū)域，由此制造出一個(gè)個(gè)半導(dǎo)體芯片。 一般使用作為切割裝置的 切削裝置來(lái)作為分割半導(dǎo)體晶片的分割裝置。該切削裝置具備保持被 加工物的卡盤(pán)工作臺(tái)；對(duì)保持在該卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物的應(yīng)切削區(qū) 域進(jìn)行檢測(cè)的攝像單元；以及對(duì)保持在卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行切 削的切削單元。
在這樣的切削裝置中，由切削單元實(shí)施切削作業(yè)的切削區(qū)域、以及 由攝像單元對(duì)保持在卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物的應(yīng)切削區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)的 校準(zhǔn)區(qū)域，設(shè)置在卡盤(pán)工作臺(tái)的移動(dòng)路徑上。因此會(huì)產(chǎn)生以下問(wèn)題當(dāng) 將保持被加工物的卡盤(pán)工作臺(tái)移動(dòng)至切削區(qū)域并由切削單元實(shí)施切削作 業(yè)時(shí)，含有切削屑的切削水的飛沬附著在攝像單元上，會(huì)污染攝像單元 的物鏡。
為了解決以上問(wèn)題，提出了如下的切削裝置設(shè)置對(duì)攝像單元的容 納有物鏡的物鏡外殼的下方進(jìn)行遮蔽的遮蔽單元，由此，使因切削單元 進(jìn)行的切削而飛散的含有切削屑的切削水飛沫不會(huì)附著在攝像單元的物 鏡上(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2007—88361號(hào)公報(bào)
對(duì)上述攝像單元的容納有物鏡的物鏡外殼的下方進(jìn)行遮蔽的遮蔽單 元包括引導(dǎo)部件，其與物鏡光軸成直角地安裝在物鏡外殼的下端，并 具有與物鏡外殼對(duì)應(yīng)的第1孔；遮蔽部件，其可移動(dòng)地配設(shè)在引導(dǎo)部件 的下側(cè)，由具有與第1孔對(duì)應(yīng)的第2孔的、具有撓性的薄片部件構(gòu)成； 以及動(dòng)作單元，其使遮蔽部件沿引導(dǎo)部件的下表面移動(dòng)，以將其定位于 使第2孔與第1孔對(duì)置的作用位置和遮蔽第1孔的遮蔽位置，這樣的遮 蔽單元具有以下問(wèn)題在引導(dǎo)部件以及遮蔽部件上附著包含切削屑的切
削水，從而妨礙遮蔽部件的動(dòng)作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于以上問(wèn)題而完成的發(fā)明，其主要的技術(shù)課題在于提供 如下一種切削裝置將攝像單元的遮蔽物鏡的遮蔽部件構(gòu)成為可裝卸， 遮蔽部件如果被污染可取下進(jìn)行更換或者清洗。
為了解決上述主要的技術(shù)課題，本發(fā)明提供一種切削裝置，其具有 卡盤(pán)工作臺(tái)，其保持被加工物；攝像單元，其對(duì)保持在該卡盤(pán)工作臺(tái)上 的被加工物的應(yīng)加工區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)，并且具有物鏡；以及切削單元，其 對(duì)保持在該卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物實(shí)施切削加工，其特征在于，所述 切削裝置包括
罩部件，其圍繞所述攝像單元的容納所述物鏡的物鏡外殼地安裝在 所述物鏡外殼的下端部，并具有將圖像取入到所述物鏡的攝像開(kāi)口；以 及
遮蔽單元，其由環(huán)狀框體和透明板構(gòu)成，所述環(huán)狀框體可裝卸地安 裝在所述罩部件的所述攝像開(kāi)口上，所述透明板的外周部保持在所述環(huán) 狀框體上，用于遮蔽所述物鏡。
所述罩部件具有與所述攝像開(kāi)口連通的空氣導(dǎo)入路徑，在所述遮蔽 單元的環(huán)狀框體中，在周方向上設(shè)有多個(gè)細(xì)孔，所述細(xì)孔與所述空氣導(dǎo) 入路徑連通，并沿所述透明板的下表面噴出空氣。
在所述罩部件中具有與所述攝像開(kāi)口連通的空間部，該空間部與所 述空氣導(dǎo)入路徑連通，并且與所述物鏡外殼的外周面形成環(huán)狀的空氣室， 在所述遮蔽單元的環(huán)狀框體上，設(shè)有連通所述多個(gè)細(xì)孔與所述環(huán)狀的空
氣室的多個(gè)空氣流通路徑。
此外，在所述罩部件的攝像開(kāi)口的內(nèi)周面形成有內(nèi)螺紋，在所述遮 蔽單元的環(huán)狀框體的外周面形成有與內(nèi)螺紋螺合的外螺紋。
本發(fā)明的切削裝置包括罩部件，其圍繞攝像單元的容納物鏡的物 鏡外殼地安裝在物鏡外殼的下端部，并具有將圖像取入到物鏡的攝像開(kāi) 口；以及遮蔽單元，其由環(huán)狀框體和透明板構(gòu)成，所述環(huán)狀框體可裝卸 地安裝在所述罩部件的攝像開(kāi)口上，所述透明板的外周部保持在所述環(huán) 狀框體上，用于遮蔽物鏡，因此，即使在切削時(shí)向切削部供給的切削水 飛散，也可以通過(guò)遮蔽單元的透明板來(lái)遮蔽飛散的飛沬，使該飛沫不會(huì) 附著在物鏡上。并且，當(dāng)由于實(shí)施切削作業(yè)而在透明板上附著有清洗水 妨礙了攝像單元的攝像時(shí)，由于遮蔽單元可裝卸地安裝在罩部件上，所 以可以取下遮蔽單元進(jìn)行清洗或?qū)⒁呀?jīng)清洗的遮蔽單元安裝到罩部件 上，由此可以保證攝像單元的攝像功能。


圖1是按照本發(fā)明構(gòu)成的切削裝置的立體圖。
圖2是圖1所示的切削裝置中所裝備的攝像單元的主要部分的分解 立體圖。
圖3是圖1所示的切削裝置中所裝備的攝像單元的主要部分的剖視圖。
圖4是構(gòu)成圖2以及圖3所示的攝像單元的遮蔽單元的俯視圖。
圖5是圖4所示的遮蔽單元的剖視圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明
2:裝置外殼；3:卡盤(pán)工作臺(tái)；4:主軸單元。41:主軸套；42:旋 轉(zhuǎn)主軸；43:切削刀具；44:切削水供給噴嘴；5:攝像單元；52:物鏡； 53-物鏡外殼；54:罩部件；542:攝像開(kāi)口 ； 543:空氣室；544:空氣 導(dǎo)入路徑；55:遮蔽單元；551:環(huán)狀框體；551b:多個(gè)細(xì)孔；551c:多 個(gè)空氣流通路徑；552:透明板；51:切削刀具的基座；511:圓盤(pán)狀的 基座本體；512:刀具安裝部；7:顯示單元；8:盒載置工作臺(tái)；9:盒； 10:臨時(shí)放置工作臺(tái)；11:搬出單元；12:第1搬送單元；13:清洗單 元；14:第2搬送單元；W:被加工物；F:環(huán)狀的支承框架；T:保護(hù) 帶。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)按照本發(fā)明而構(gòu)成的切削裝置的優(yōu)選實(shí)施方式更 加詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明。
圖1是表示按照本發(fā)明而構(gòu)成的切削裝置的立體圖。圖示的實(shí)施方 式中的切削裝置具有呈大致立方體狀的裝置外殼2。在該裝置外殼2內(nèi)， 可在切削進(jìn)給方向即箭頭X所示的方向上移動(dòng)地配設(shè)有保持被加工物的
卡盤(pán)工作臺(tái)3。卡盤(pán)工作臺(tái)3具有吸附卡盤(pán)支承臺(tái)31、和配設(shè)在該吸附 卡盤(pán)支承臺(tái)31上的吸附卡盤(pán)32，通過(guò)使未圖示的吸引單元?jiǎng)幼鱽?lái)將被加 工物吸引保持在該吸附卡盤(pán)32的上表面即保持面上。此外，卡盤(pán)工作臺(tái) 3構(gòu)成為可通過(guò)未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。另外，在卡盤(pán)工作臺(tái)31上配設(shè) 有夾緊器33，該夾緊器33用于固定環(huán)狀的支承框架，該支承框架經(jīng)保護(hù) 帶支承作為被加工物的后述的半導(dǎo)體晶片。這樣構(gòu)成的卡盤(pán)工作臺(tái)3，通 過(guò)未圖示的切削進(jìn)給單元在箭頭X所示的切削進(jìn)給方向上移動(dòng)。
圖示實(shí)施方式中的切削裝置具有作為切削單元的主軸單元4。主軸 單元4具有主軸套41，其安裝在未圖示的移動(dòng)基座上，可在分度方向 即箭頭Y所示的方向以及切入方向即箭頭Z所示的方向上進(jìn)行移動(dòng)調(diào)整； 旋轉(zhuǎn)主軸42，其可自由旋轉(zhuǎn)地支承在于該主軸套41，并由未圖示的旋轉(zhuǎn) 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)；以及切削刀具43,其安裝在該旋轉(zhuǎn)主軸42上。 在該切削刀具43的兩側(cè)配設(shè)有切削水供給噴嘴44。該切削水供給噴嘴 44與未圖示的切削水供給單元連接。
圖示實(shí)施方式的切削裝置具有攝像單元5，該攝像單元5用于對(duì)保 持在上述卡盤(pán)工作臺(tái)3上的被加工物的表面進(jìn)行攝像以檢測(cè)應(yīng)由上述切 削刀具43進(jìn)行切削的區(qū)域。參照?qǐng)D2至圖5對(duì)該攝像單元5進(jìn)行說(shuō)明。 圖示實(shí)施方式的攝像單元5具有本體51以及安裝在該本體51的下端的、 容納物鏡的物鏡外殼53。在如上所述構(gòu)成的攝像單元5的本體51內(nèi)配設(shè)
有攝像元件(CCD)等，將通過(guò)物鏡52拍攝到的圖像信號(hào)傳送至未圖示 的控制單元。
圖示實(shí)施方式的攝像單元5具有在上述物鏡外殼53的下端部圍繞 物鏡外殼53安裝的罩部件54;以及可裝卸地安裝在該罩部件54上的、 對(duì)上述物鏡52進(jìn)行遮蔽的遮蔽單元55。罩部件54在上部具有與物鏡外 殼53配合的配合孔541、并且還具有在物鏡外殼53的下方將圖像取入到 物鏡52中的攝像開(kāi)口 542。在配合孔541的內(nèi)周面上形成有環(huán)形槽541a， 在該環(huán)形槽541 a中配設(shè)有密封圈545。此外，在罩部件54中，在攝像 開(kāi)口 542的內(nèi)周面上形成有內(nèi)螺紋542a。此外，在罩部件54中設(shè)有空間 部543a，該空間部543a與物鏡外殼53的外周面形成與上述攝像開(kāi)口 542 連通的環(huán)狀的空氣室543，并且，在罩部件54中形成有與該空氣室543 連通的、并與未圖示的空氣供給源連接的空氣導(dǎo)入路徑544。
上述遮蔽單元55如圖4和圖5所示具有環(huán)狀框體551、和由外周 部保持在該環(huán)狀框體551上的玻璃板等構(gòu)成的圓形形狀的透明板552。環(huán) 狀框體551在內(nèi)周上部具有保持上述透明板552的環(huán)狀的保持部551a。 環(huán)狀的保持部551a形成為從上表面設(shè)有階段差，通過(guò)粘結(jié)劑將透明板552 的外周部下表面緊固保持在環(huán)狀的保持部551a的上表面即保持面上。此 外，在環(huán)狀框體551中在環(huán)狀的保持部551a的下側(cè)在周向上隔開(kāi)預(yù)定間 隔地設(shè)有截面為矩形形狀的多個(gè)細(xì)孔551b，該細(xì)孔551b沿透明板552的 下表面噴出空氣，并且，在環(huán)狀框體551中還設(shè)有分別與該多個(gè)細(xì)孔551b 相連通的、在上表面開(kāi)口的多個(gè)空氣流通路徑551c。此外，當(dāng)遮蔽單元 55安裝在上述罩部件54上時(shí)，多個(gè)空氣流通路徑551c與上述空氣室543 連通。該多個(gè)空氣流通路徑551c形成為其直徑從0.5mm到0.8mm。另外， 在環(huán)狀框體551中在其上部外周面上設(shè)有與內(nèi)螺紋542a螺合的外螺紋 551d，該內(nèi)螺紋542a形成在上述罩部件54的攝像開(kāi)口 542的內(nèi)周面上， 如圖3所示通過(guò)將該外螺紋551d與內(nèi)螺紋542a螺合，將環(huán)狀框體551 可裝卸地安裝在罩部件54上。此外，如圖2所示在環(huán)狀框體551的下表 面設(shè)有多個(gè)凹部551e，該凹部551 e與用于轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)狀框體551的工具配
從未圖示的空氣供給源向如上所述構(gòu)成的罩部件54的空氣導(dǎo)入路 徑544 —分鐘供給10 15升(10 15升/分)空氣。供給向空氣導(dǎo)入路 徑544的空氣如圖3中箭頭所示流入空氣室543。流入到空氣室543的空 氣如圖5中箭頭所示通過(guò)多個(gè)空氣流通路徑551c從多個(gè)細(xì)孔551b沿透 明板552的下表面噴出，其中所述空氣流通路徑551c設(shè)于構(gòu)成遮蔽單元 55的環(huán)狀框體551中。
回到圖1繼續(xù)說(shuō)明，圖示的實(shí)施方式中的切削裝置具有顯示由上述 攝像單元5拍攝到的圖像的顯示單元7。此外，在上述裝置外殼2中的盒 載置區(qū)域8a中配設(shè)有盒載置工作臺(tái)8，該盒載置工作臺(tái)8用于載置容納 被加工物的盒。該盒載置工作臺(tái)8構(gòu)成為可通過(guò)未圖示的升降單元在上 下方向移動(dòng)。在盒載置工作臺(tái)8上載置有容納被加工物W的盒9。容納 在盒9中的被加工物W在晶片的表面形成有格子狀的間隔道，在由該格 子狀的間隔道劃分而成的多個(gè)矩形區(qū)域中形成有電容器、LED (發(fā)光二 極管)、電路等器件。如上所述形成的物加工物W，以背面粘貼在安裝于 環(huán)狀支承框架F的保護(hù)帶T的表面的狀態(tài)、容納在盒9中。
此外，圖示實(shí)施方式的切削裝置具有搬出單元ll,其將在載置于 盒載置工作臺(tái)8上的盒9中所容納的被加工物W (經(jīng)保護(hù)帶T支承在環(huán) 狀的框架F上的狀態(tài))搬出至臨時(shí)放置工作臺(tái)10;第1搬送單元12，其 將搬出至臨時(shí)放置工作臺(tái)10的被加工物W搬送至上述卡盤(pán)工作臺(tái)3上； 清洗單元13，其對(duì)在卡盤(pán)工作臺(tái)3上進(jìn)行了切削加工的被加工物W進(jìn)行 清洗；以及第2搬送單元14，其將在卡盤(pán)工作臺(tái)3上進(jìn)行了切削加工的 被加工物W搬送到清洗單元13。
對(duì)如上所述構(gòu)成的切削裝置的動(dòng)作簡(jiǎn)單地進(jìn)行說(shuō)明。
通過(guò)由未圖示的升降單元使盒載置工作臺(tái)8上下移動(dòng)，在載置于盒 載置工作臺(tái)8上的盒9的預(yù)定位置處所容納的被加工物W被定位于搬出 位置。然后，搬出單元11進(jìn)行進(jìn)退動(dòng)作，將定位于搬出位置的被加工物 W搬出至臨時(shí)放置工作臺(tái)10上。搬出至臨時(shí)放置工作臺(tái)10的被加工物 W，通過(guò)第1搬送單元12的回轉(zhuǎn)動(dòng)作被搬送至上述卡盤(pán)工作臺(tái)3上。在 被加工物W載置在卡盤(pán)工作臺(tái)3上之后，未圖示的吸引單元進(jìn)行動(dòng)作，
將被加工物W吸引保持在卡盤(pán)工作臺(tái)3上。此外，經(jīng)保護(hù)帶T支承被加 工物W的支承框架F，通過(guò)上述夾緊器33而被固定。這樣，使保持被加 工物W的卡盤(pán)工作臺(tái)3移動(dòng)至攝像單元5的正下方。當(dāng)卡盤(pán)工作臺(tái)3定 位于攝像單元5的正下方時(shí)，通過(guò)攝像單元5對(duì)形成在被加工物W上的 間隔道進(jìn)行檢測(cè)，對(duì)主軸單元4在分度方向即箭頭Y方向上進(jìn)行移動(dòng)調(diào) 節(jié)，進(jìn)行使間隔道與切削刀具43之間的精密對(duì)位作業(yè)。此外，攝像單元 5透過(guò)物鏡52以及安裝于物鏡外殼53上的遮蔽單元55的透明板552對(duì) 被加工物W進(jìn)行攝像。
然后，將切削刀具5在箭頭Z所示的方向上切入迸給預(yù)定量、并向 預(yù)定方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使吸引保持被加工物W的卡盤(pán)工作臺(tái)3以預(yù)定的切 削進(jìn)給速度在切削進(jìn)給方向即箭頭X所示的方向(與切削刀具43的旋轉(zhuǎn) 軸正交的方向)移動(dòng)，由此，通過(guò)切削刀具43將保持在卡盤(pán)工作臺(tái)3上 的被加工物W沿預(yù)定的間隔道切斷(切削工序)。在該切削工序中，從 切削水供給噴嘴44向切削刀具43以及被加工物W的切削部供給切削水。 于是，在沿預(yù)定間隔道切斷被加工物W之后，將卡盤(pán)工作臺(tái)3在箭頭Y 所示的方向上分度進(jìn)給間隔道的間隔，實(shí)施上述切削工序。然后，當(dāng)沿 著在被加工物W的預(yù)定方向上延伸的所有間隔道實(shí)施了切削工序之后， 使卡盤(pán)工作臺(tái)3旋轉(zhuǎn)90度，沿著在與被加工物W的預(yù)定方向正交的方 向上延伸的間隔道實(shí)施切削作業(yè)，由此，在被加工物W上呈格子狀地形 成的所有間隔道被切削，從而分割成一個(gè)個(gè)芯片。此外，分割而成的芯 片通過(guò)保護(hù)帶T的作用不會(huì)散落，而是維持支承于框架F上的晶片的狀 態(tài)。
在上述切削工序中，如上所述從切削水供給噴嘴44向切削刀具43 以及被加工物W的切削部供給切削水。該切削水由于切削刀具43的旋 轉(zhuǎn)而向切削進(jìn)給方向的前后飛散。該飛散的飛沫一部分飛散至攝像單元5 側(cè)。然而，飛散的飛沫被遮蔽單元55的透明板552所遮蔽，因而不會(huì)附 著在物鏡52上。此外，在上述切削工序中，從未圖示的空氣供給源向在 攝像單元5的物鏡外殼53的下端部上安裝的罩部件54的空氣導(dǎo)入路徑 544供給空氣，該空氣如上所述通過(guò)空氣室543、多個(gè)空氣流通路徑551c
從多個(gè)細(xì)孔551b沿透明板552的下表面噴出，所以在透明板552的下側(cè) 形成了氣簾(air curtain),因此，可以抑制清洗水的飛沫附著在透明板552 上。此外，當(dāng)由于長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)上述的切削工序而使得清洗水附著在透明 板552上妨礙攝像單元5的攝像時(shí)，由于遮蔽單元55可裝卸地安裝在罩 部件54上，所以可取下遮蔽部件55進(jìn)行清洗然或?qū)⒁呀?jīng)清洗的遮蔽單 元55安裝到罩部件54上。
在如上述那樣沿被加工物W的間隔道結(jié)束切斷作業(yè)之后，保持有被 加工物W的卡盤(pán)工作臺(tái)3返回至最初吸引保持被加工物W的位置。然 后，解除被加工物W的吸引保持。接下來(lái)，被加工物W通過(guò)第2搬送 單元14搬送至清洗單元13。被搬送至清洗單元13的被加工物W在此進(jìn) 行清洗以及干燥。像這樣進(jìn)行了清洗以及干燥后的被加工物W通過(guò)第1 搬送單元12被搬出至臨時(shí)放置工作臺(tái)10。然后，被加工物W通過(guò)搬出 單元11容納到盒9的預(yù)定位置處。因此，搬出單元11還具有作為將加 工后的被加工物W搬入至盒9中的搬入單元的功能。
權(quán)利要求
1.一種切削裝置，其具有卡盤(pán)工作臺(tái)，其保持被加工物；攝像單元，其對(duì)保持在該卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物的應(yīng)加工區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)，并且具有物鏡；以及切削單元，其對(duì)保持在該卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物實(shí)施切削加工，其特征在于，所述切削裝置包括罩部件，其圍繞所述攝像單元的容納所述物鏡的物鏡外殼地安裝在所述物鏡外殼的下端部，并具有將圖像取入到所述物鏡的攝像開(kāi)口；以及遮蔽單元，其由環(huán)狀框體和透明板構(gòu)成，所述環(huán)狀框體可裝卸地安裝在所述罩部件的所述攝像開(kāi)口上，所述透明板的外周部保持在所述環(huán)狀框體上，用于遮蔽所述物鏡。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的切削裝置，其特征在于， 所述罩部件具有與所述攝像開(kāi)口連通的空氣導(dǎo)入路徑，在所述遮蔽單元的環(huán)狀框體中，在周方向上設(shè)有多個(gè)細(xì)孔，所述細(xì)孔與所述空氣導(dǎo) 入路徑連通，并沿所述透明板的下表面噴出空氣。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的切削裝置，其特征在于， 在所述罩部件中具有與所述攝像開(kāi)口連通的空間部，該空間部與所述空氣導(dǎo)入路徑連通，并且與所述物鏡外殼的外周面形成環(huán)狀的空氣室， 在所述遮蔽單元的所述環(huán)狀框體上，設(shè)有連通所述多個(gè)細(xì)孔與所述 環(huán)狀的空氣室的多個(gè)空氣流通路徑。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的切割裝置，其特征在于， 在所述罩部件的攝像開(kāi)口的內(nèi)周面形成有內(nèi)螺紋，在所述遮蔽單元的所述環(huán)狀框體的外周面形成有與內(nèi)螺紋螺合的外螺紋。
全文摘要
本發(fā)明提供一種切削裝置，其可裝卸地構(gòu)成對(duì)攝像單元的物鏡進(jìn)行遮蔽的遮蔽部件，并且如果遮蔽部件被污染可以將其取下進(jìn)行更換或者清洗。所述切削裝置具有卡盤(pán)工作臺(tái)，其保持被加工物；攝像單元，其對(duì)保持在卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物的應(yīng)加工區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)并具有物鏡；以及切削單元，其對(duì)保持在卡盤(pán)工作臺(tái)上的被加工物實(shí)施切削加工，所述切削裝置包括罩部件，其圍繞攝像單元的容納物鏡的物鏡外殼地安裝在物鏡外殼的下端部，并具有將圖像取入到物鏡的攝像開(kāi)口；以及遮蔽單元，其由環(huán)狀框體和透明板構(gòu)成，所述環(huán)狀框體可裝卸地安裝在罩部件的攝像開(kāi)口上，所述透明板的外周部保持在環(huán)狀框體上，用于遮蔽物鏡。
文檔編號(hào)B28D5/00GK101357491SQ200810131200
公開(kāi)日2009年2月4日 申請(qǐng)日期2008年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月1日
發(fā)明者前田泰, 奧鳴研悟 申請(qǐng)人:株式會(huì)社迪思科