專利名稱:多線鋸?fù)登懈罘椒捌溲b置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種線切割的技術(shù),特變是一種多線鋸?fù)登懈罘椒捌溲b置
背景技術(shù):
目前多線鋸切割一般采用單向切割,每次能切割出1700~2500片硅片,切割線只能用 一遍,同時(shí)當(dāng)完成一次后會(huì)殘留一部分的切割線在放線輪上,造成了切割線的浪費(fèi),如此 計(jì)算,在切割成本中線成本基本達(dá)到1.5元/片,生產(chǎn)成本較高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題,而提供一種可以使切割線往返使用兩次的,降低生產(chǎn) 成本的多線鋸?fù)登懈罘椒捌溲b置。
為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明所設(shè)計(jì)的多線鋸?fù)登懈罘椒?,包括采用常?guī)的多線鋸
切割機(jī),其特征是它主要包括以下步驟安裝含有新切割線的放線輪和收線輪,然后進(jìn) 行第一遍線切割,在完成第一遍線切割后,將放線輪上剩余的最后一層切割線收到收線 輪上,然后調(diào)整線切割參數(shù)、系統(tǒng)參數(shù)放線輪直徑D、切割線輪上限高度H和切割線
輪下限高度h,修改成收線輪直徑D1收線輪上限高度H1收線輪下限高度hl,以及降 低切割張力2N/mm2,并重新清零到修改值后反向運(yùn)行多線鋸切割,進(jìn)行第二遍線切割。 在完成第二遍線切割后,重新取下第二遍線切割的時(shí)使用的收線輪,安裝上含有新切割 線的放線輪,并將放線輪直徑D,切割線輪上限高度H和切割線輪下限高度h修改為重 新安裝上去的的切割線放線輪直徑D2,放線輪上限高度H2和放線輪下限高度h2,以及, 并重新清零到修改值,改好切割方向和修改切割張力到第一遍切割張力的設(shè)定值,就可 以繼續(xù)進(jìn)行第二循環(huán)切割。
為了適應(yīng)各種不同的切割需要,以及達(dá)到更好的切割效果,可以在第一遍切割后將 放線輪上剩余的最后一層切割線收到收線輪上后,取下放線輪,安裝一個(gè)新的收線輪, 調(diào)整線切割參數(shù)和系統(tǒng)參數(shù),進(jìn)行第二遍線切割。
本發(fā)明所設(shè)計(jì)的多線鋸?fù)登懈钛b置,它主要包括多線鋸切割機(jī)、兩個(gè)收線輪和一 個(gè)放線輪,放線輪通過可拆卸結(jié)構(gòu)安裝在多線鋸切割機(jī)的放線輪位置上,收線輪放置在多線鋸切割機(jī)的收線輪位置上, 一遍切割后,在放線輪從多線鋸切割機(jī)放線輪位置上拆 下,安裝上第二收線輪。所述的放線輪和收線輪是通過由軸套,上壓套,下支承套組成, 并可拆卸安裝在多線鋸切割機(jī)上。
本發(fā)明所設(shè)計(jì)的多線鋸?fù)登懈畹姆椒?,將原有只能使用一遍的切割線重復(fù)使用第
二遍,使得原有一根切割線每次能切出1700 2500片硅片的切割線,增加到3400~5000, 增產(chǎn)達(dá)到一倍,大大降低了硅片的生產(chǎn)成本,使得每次切割能節(jié)約1275元成本以上。同 時(shí),本發(fā)明所設(shè)計(jì)的多線鋸?fù)登懈钛b置,通過可拆卸結(jié)構(gòu)使得放線輪能夠方便的安裝 放線輪,且加入了第二收線輪,在進(jìn)行第二遍線切割時(shí),可以將原有的放線輪替換為標(biāo) 準(zhǔn)的收線輪,保證了第二遍切割時(shí)精確度和質(zhì)量。
圖1是本發(fā)明第一遍切割開始時(shí)放線輪結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明第一遍切割結(jié)束時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖3是本發(fā)明實(shí)施例2第二遍切割開始時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖4是本發(fā)明實(shí)施例2第二遍切割結(jié)束時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中新切割線l、放線輪2、第一收線輪3、切割線4、第二收線輪5、軸套6, 上壓套7,下支承套8。
具體實(shí)施例方式
下面通過實(shí)施例結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。 實(shí)施例h
本實(shí)施例鎖描述的多線鋸?fù)登懈罘椒?,包括采用常?guī)的多線鋸切割機(jī),它主要包 括以下步驟,如圖1所示,安裝含有新切割線1的切割線放線輪2和切割線收線輪3, 然后進(jìn)行第一遍線切割。如圖2所示,在完成第一遍線切割后,將切割線放線輪2上剩 余的最后一層切割線4收到切割線收線輪3上的,然后調(diào)整線切割參數(shù),將系統(tǒng)參數(shù) 放線輪直徑D、切割線輪上限高度H和切割線輪下限高度h修改成收線輪直徑Dl收線 輪上限高度H1收線輪下限高度hl,以及降低切割張力2N/mm2,并重新清零到修改值 后反向運(yùn)行多線鋸切割裝置,迸行第二遍線切割。在完成第二遍線切割后,重新取下第 二遍線切割時(shí)使用的切割線收線輪2 (即第一遍切割時(shí)的放線輪),安裝上含有新切割線1的切割線放線輪2,并將系統(tǒng)參數(shù)放線輪直徑D、切割線輪上限高度H和切割線輪
下限高度h,修改為重新安裝上去的的切割線放線輪直徑D2,放線輪上限高度H2和放 線輪下限高度h2,以及,并重新清零到修改值,改好切割方向和修改切割張力到第一遍 切割張力的設(shè)定值,回到如圖1所示的狀態(tài)下,就可以繼續(xù)進(jìn)行第二循環(huán)切割的第一遍 線切割。 實(shí)施例2:
本實(shí)施例所描述的多線鋸?fù)登懈畹姆椒?,包括采用常?guī)的多線鋸切割機(jī),在常規(guī)
的多線鋸切割機(jī)中采用一只具有新線的放線輪和兩只收線輪,即放線輪2、第一收線 輪3和第二收線輪5,如圖1所示,在安裝含有新切割線1的放線輪2和第一收線輪3 后進(jìn)行第一遍線切割,在完成第一遍線切割后,將放線輪2上剩余的最后一層切割線4 收到第一收線輪3上的,如圖2所示,然后取下放線輪2,安裝一個(gè)新的第二收線輪5, 如圖3所示,然后將切割線線頭纏繞到第二收線輪5上,此時(shí),第一遍切割的第一收線 輪3作為放線輪,修改相應(yīng)的切割參數(shù)后,進(jìn)行第二遍線切割。當(dāng)完成第二遍切割時(shí), 所有的切割線9都纏繞在第二收線輪5上,如圖4所示狀態(tài),即可拆下第二收線輪5, 重新裝上裝有新線的放線輪2,回到如圖l所示狀態(tài),開始第二循環(huán)的第一遍切割。 實(shí)施例3:
如圖1、圖3所示,本實(shí)施例描述的多線鋸?fù)登懈钛b置,它主要包括多線鋸切割 機(jī)、第一收線輪3、第二收線輪5和一個(gè)放線輪2,放線輪2通過可拆卸結(jié)構(gòu)安裝在多線 鋸切割機(jī)的放線輪位置上,第一收線輪3安裝在多線鋸切割機(jī)的收線輪位置上,經(jīng)第一 遍切割,放線輪2的切割線走空后,從多線鋸切割機(jī)的放線輪位置上拆下放線輪2后, 在該放線輪位置設(shè)置第二收線輪5,此時(shí),第一收線輪3作放線輪使用,調(diào)整多線鋸切 割機(jī)的放線輪和收線輪參數(shù),所述的放線輪和收線輪是通 過由軸套6,上壓套7,下支承 套8組成,并可拆卸安裝在多線鋸切割機(jī)上的。
權(quán)利要求
1. 一種多線鋸?fù)登懈罘椒ǎú捎贸R?guī)的多線鋸切割機(jī),其特征是它主要包括以下步驟安裝含有新線的切割線放線輪線輪和切割線收線輪,然后進(jìn)行第一遍線切割,在完成第一遍線切割后,將切割線放線輪上剩余的最后一層切割線收到切割線收線輪上的,然后調(diào)整線切割參數(shù)、系統(tǒng)參數(shù)放線輪直徑D、切割線輪上限高度H和切割線輪下限高度h,修改成收線輪直徑D1收線輪上限高度H1收線輪下限高度h1,以及降低切割張力2N/mm2,并重新清零到修改值后反向運(yùn)行多線鋸切割,進(jìn)行第二遍線切割。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線鋸?fù)登懈罘椒?,其特征是在完成第二遍線切割后, 重新取下第二遍線切割的時(shí)使用的收線輪,安裝上含有新切割線的放線輪,并 將放線輪直徑D,切割線輪上限高度H和切割線輪下限高度h修改為重新安裝 上去的的切割線放線輪直徑D2,放線輪上限高度H2和放線輪下限高度h2,以 及,并重新清零到修改值,改好切割方向和修改切割張力到第一遍切割張力的 設(shè)定值,就可以繼續(xù)進(jìn)行第二循環(huán)切割。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多線鋸?fù)登懈罘椒?,其特征是在完成第一遍線切 割后,將放線輪上剩余的最后一層切割線收到收線輪上后,取下放線輪,安裝 一個(gè)新的收線輪,再進(jìn)行調(diào)整線切割參數(shù)、系統(tǒng)參數(shù),進(jìn)行第二遍線切割。
4. 一種實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求3所述方法的多線鋸?fù)登懈钛b置,它主要包括多線鋸切 割機(jī)、兩個(gè)收線輪和一個(gè)放線輪,放線輪通過可拆卸結(jié)構(gòu)安裝在多線鋸切割機(jī) 的放線輪位置上,收線輪放置在多線鋸切割機(jī)的收線輪位置上, 一遍切割后, 在放線輪從多線鋸切割機(jī)放線輪位置上拆下,安裝上第二收線輪。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的多線鋸?fù)登懈钛b置,其特征是所述的放線輪和收線輪 是通過由軸套,上壓套,下支承套組成,并可拆卸安裝在多線鋸切割機(jī)上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多線鋸?fù)登懈罘椒捌溲b置,包括采用常規(guī)的多線鋸切割機(jī),其特征是它主要包括以下步驟安裝含有新切割線的放線輪和收線輪,然后進(jìn)行第一遍線切割,在完成第一遍線切割后,將放線輪上剩余的最后一層切割線收到收線輪上,然后調(diào)整線切割參數(shù)、系統(tǒng)參數(shù)放線輪直徑D、切割線輪上限高度H和切割線輪下限高度h,修改成收線輪直徑D1收線輪上限高度H1收線輪下限高度h1,以及降低切割張力2N/mm<sup>2</sup>,并重新清零到修改值后反向運(yùn)行多線鋸切割,進(jìn)行第二遍線切割。本發(fā)明將原有只能使用一遍的切割線重復(fù)使用第二遍,可增產(chǎn)達(dá)到一倍,大大降低了硅片的切割成本,同時(shí),本發(fā)明所設(shè)計(jì)的多線鋸?fù)登懈钛b置,通過可拆卸結(jié)構(gòu)使得放線輪能夠方便的安裝。
文檔編號(hào)B28D5/04GK101444934SQ20081016378
公開日2009年6月3日 申請日期2008年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月31日
發(fā)明者童立峰 申請人:嘉興嘉晶電子有限公司