專利名稱：一種劃線裝置和利用該劃線裝置切割基板的設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明，涉及用于制造平板顯示器面板的設(shè)備及方法，尤其涉及，在由多個單位基板形成的母基板上形成切割線的 一種劃線裝置和利用該劃線裝置切割母基板的設(shè)備及方法。
背景技術(shù)：
最近，信息處理機，正在急速地向多功能、高速處理信息的方向不斷發(fā)展。這樣的信息處理機，也包含有顯示機器運作信息的顯示器。以前，作為顯示器
主要使用陰極射線管(Cathode ray tube )、但在最近，則大大增加了使用輕便且占用空間小的薄膜晶體管液晶顯示面板(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display Panel)或新一代二極管顯示器(Organic Light EmittingDiodes display)的平板顯示器。
一般的，用于平板顯示器的面板，通常用脆性基板做成，面板大致區(qū)分為兩種以一張構(gòu)成的單板基板和以2張基板接合而成的接合基板。
接合基板，為將其加工成多種多樣大小各異，能夠適合從移動電話液晶顯示器所用的小型面板，到電視、顯示器等所用大型面板，需要將大型的母基板切割成所定大小的單位基板，作為各種各樣的面板使用。
對于母基板的切割方法，有用激光束切割的切割方法，還有用刺有微小鉆石的劃線輪(Scribe Wheel)的切割方法。
用激光束切割母基板的方法，是將劃線用的激光束沿母基板的切割預(yù)定線照射，形成切割線，再急速冷卻加熱后的切割線的劃線工藝和用切割用激光束沿切割線照射將母基板切割成單位基板的切割工藝所組成。
用劃線輪切割母基板的方法，是由將母基板的切割預(yù)定線與劃線輪相接觸，沿切割預(yù)定線形成所定深度的切割線(Scribe Line)的劃線工藝和在母基板上增加物理沖擊沿切割線擴張裂紋(Crack)而將母基板切割成單位基板的切割工藝(Breaking Process)所組成。在實現(xiàn)上述劃線工藝的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題在進行劃線工藝的過程中需要旋轉(zhuǎn)母基板，這樣一來，浪費時間，效率較低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施例提供一種不用旋轉(zhuǎn)母基板就能沿單位基板的排列方向在母基板上形成切割線的劃線裝置和用該裝置切割基板的設(shè)備及方法。
為達到上述目的，本發(fā)明的實施例提供的劃線裝置釆用如下技術(shù)方案一種為將多個單位基板所形成的母基板分離成單位基板的進行劃線工序的
劃線裝置，包括
所述母基板被放置、能夠向第1方向直線移動的支撐部件，和提供在所述支撐部件的移動路徑上的、在所述母基板上形成切割線的多個
劃線單元；
所述劃線單元，包括
在所述母基板上形成所述第1方向的切割線的第1劃線單元，和在所述母基板上形成垂直于所述第1方向的第2方向的切割線的第2劃線單元。
在含有上述構(gòu)成的本發(fā)明提供的劃線裝置上，所述第l劃線單元，在所述第2方向上并列的提供有多個。
所述第2劃線單元，沿所述第1方向提供在所述第1劃線單元的任意一側(cè)。
進一步包括令所述多個第1劃線單元向所述第2方向移動，使所述多個第1劃線單元對齊所述母基板上的所述第1方向的切割預(yù)定線的第1移動單元。
所述第1移動單元，包括
與所述第1劃線單元各自聯(lián)結(jié)的第l托架，和
插入所述所有第1托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第1絲杠，和令所述第1絲杠各自旋轉(zhuǎn)的第1驅(qū)動器；
在所述第1托架中，為能與所述第1絲杠中的任意一個第1絲杠進行螺紋結(jié)合，而形成第1內(nèi)螺紋部。進一步包括沿所述母基板上的所述第2方向的切割預(yù)定線，令所述第2劃線單元移動的第2移動單元；所述第2移動單元，包括與所述第2劃線單元聯(lián)結(jié)的第2托架，和
插入所述第2托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第2絲杠，和令所述第2絲杠旋轉(zhuǎn)的第2驅(qū)動器；
在所述第2托架中，為能與所述第2絲杠螺紋結(jié)合而形成第2內(nèi)螺紋部。進一步包括與第1絲杠以及第2絲杠平行配置的，引導(dǎo)所述第1托架以
及所述第2托架直線移動的導(dǎo)槽部件。
所述第1劃線單元和所述第2劃線單元各自在所述第2方向上并列配置有2
個劃線器；
所述第1劃線單元的所述劃線器，沿所述第1方向形成彼此方向相反的切割線，
所述第2劃線單元的所述劃線器，沿所述第2方向形成彼此方向相反的切割線。
為達到上述目的，本發(fā)明的實施例提供的基板切割設(shè)備采用如下技術(shù)方案一種基板切割設(shè)備，包括
裝載多個單位基板所形成的母基板的裝載部，和在被從所述裝載部傳送的所述母基板上生成切割線的劃線部，和沿在所述母基板上生成的切割線，將所述母基板分離成單位基板的切割部，
和
卸載分離后的所述單位基板的卸載部；所述劃線部，包括
所述母基板被放置、能夠向第1方向直線移動的支撐部件，和在所述支撐部件移動的路徑上，在垂直于所述第1方向的第2方向上并列
配置的、在所述母基板上形成所述第1方向的切割線的多個第1劃線單元，和沿所述第1方向提供在所述第1劃線單元的任意一側(cè)的、在所述母基板上
形成所述第2方向的切割線的第2劃線單元在含有上述構(gòu)成的本發(fā)明提供的基板切割設(shè)備上，進一步包括令所述多個第1劃線單元向所述第2方向移動，使得所述多個第1劃線單元對齊所述母基板上的所述第1方向的切割預(yù)定線的第1移動單元。
所述第1移動單元，包括
與所述第1劃線單元各自聯(lián)結(jié)的第l托架，和
插入所述所有第1托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第1絲杠，和令所述第1絲杠各自旋轉(zhuǎn)的第1驅(qū)動器；
在所述第1托架中，為能與所述第1絲杠中的任意一個第1絲杠螺紋結(jié)合而形成了第1內(nèi)螺紋部。進一步包括
沿所述基板上的所述第2方向的切割預(yù)定線，令所述第2劃線單元移動的第2移動單元；
所述第2移動單元包括
與所述第2劃線單元聯(lián)結(jié)的第2托架，和
插入所述第2托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第2絲杠，和令所述第2絲杠旋轉(zhuǎn)的第2驅(qū)動器；
在所述第2托架中，為能與所述第2絲杠螺紋結(jié)合而形成了第2內(nèi)螺紋部。進一步包括與第1絲杠以及第2絲杠平行配置的、引導(dǎo)所述第1托架以
及所述第2托架直線移動的導(dǎo)槽部件。
所述第1劃線單元和所述第2劃線單元各自在所述第2方向上并列配置有2
個劃線器；
所述第1劃線單元的所述劃線器，沿所述第1方向形成彼此方向相反的切割線，
所述第2劃線單元的所述劃線器，沿所述第2方向形成彼此方向相反的切割線。
所述母基板為平板顯示器基板。
為達到上述目的，本發(fā)明的實施例提供的基板切割方法采用如下技術(shù)方案一種提供多個劃線單元、將單位基板所形成的母基板分離成單位基板的基才反切割方法方法，包4舌 多個劃線單元，包括
在垂直于所述母基板直線移動的第1方向的第2方向上、并列配置的第1 劃線單元，和
沿所述第1方向配置于所述第1劃線單元的任意一側(cè)的第2劃線單元； 利用所述第1劃線單元，在所述母基板上在所述第1方向上形成切割線， 利用所述第2劃線單元，在所述母基板上在所述第2方向上形成切割線。 在含有上述步驟的本發(fā)明提供的基板切割方法中，包括 在形成所述第1方向的切割線時，所述第1劃線單元，被固定，所述母基
板向所述第1方向直線移動；
在形成所述第2方向的切割線時，所述母基板被固定，所述第2劃線單元，
向所述第2方向直線移動。
所述第1方向的切割線，同時形成多條。
調(diào)節(jié)所述第1劃線單元之間的間隔，在所述母基板上形成所述第1方向的 切割線。
所述母基板沿所述第1方向階段性的不斷移動，令所述第2劃線單元對齊 所述母基板上的第2方向的切割預(yù)定線、在所述母基板上形成第2方向的切割 線。
通過本發(fā)明，即使不旋轉(zhuǎn)母基板，也能沿單位基板的排列方向在母基板上 形成切割線，另外，利用本發(fā)明能夠縮短工作時間，使生產(chǎn)效率得到大提高。


圖1為母基板的示意圖2為本發(fā)明提供的基板切割設(shè)備的構(gòu)成概要示意圖3為提供圖2的劃線部分的本發(fā)明提供的劃線裝置的斜視圖4為圖3劃線裝置的平面圖5為圖3支撐部件的側(cè)面圖6為圖3中"A"部分的擴大10圖7A為圖6的托架與絲杠之間的結(jié)合關(guān)系的截面示意圖7B為圖6的托架與絲杠之間的結(jié)合關(guān)系的截面示意圖8為圖6的劃線器的斜視圖9為圖8的劃線器下端的部分截面圖IO為圖9的劃線輪的平面圖11為利用本發(fā)明基板切割設(shè)備制造平板顯示器的過程的順序流程圖； 圖12A為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12B為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12C為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12D為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12E為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12F為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12G為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12H為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖121為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12J為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意
圖12K為利用本發(fā)明提供的劃線裝置在母基板上生成切割線的過程的示意圖。符號說明
1 母基板
100 支撐部件
200a-1、 200a-2、 200b 劃線單元 300a、 3G0b 移動單元 400 控制單元
具體實施例方式
下面，結(jié)合附圖，對本發(fā)明實施例提供的劃線裝置以及利用該裝置切割基 板的設(shè)備及方法進行詳細描述。首先，各圖的構(gòu)成要素都附有參考符號，需要 留意的是，對于相同的要素，即使在其他的圖中表示，也使用相同的符號。另 外，在解釋本發(fā)明的過程中，相關(guān)的公知構(gòu)成或被對于機能的具體說明被判斷 為不明本發(fā)明的要旨時，則省略該詳細說明。
圖1為，母基板的示意圖。
如圖l所示，母基板l為薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display TFT-LCD )用的面才反。母基才反1由大致成 四角形板狀的第1母基板2和第2母基板3構(gòu)成。第1母基板2和第2母基板3, 上下重疊。在第l母基板2以及第2母基板3上，形成多個單位基板h、 3a。 單位母基板2a、 3a，在第1母基板2以及第2母基板3的平面上呈格子狀排列。 第1母基板2為薄膜晶體管基板所形成的基板，第2母基板3為彩色濾光片基 板所形成的基板。另一方面，母基板l還可以為另一種由有機發(fā)光二極管 (Organic Light Emitting Diodes OLED)所形成的顯示器用面一反。
圖2為本發(fā)明提供的基板切割設(shè)備10的構(gòu)成示意圖。
如圖2所示，基板切割設(shè)備10為將母基板(圖1中標號1)切割成多個單 位基板，包括裝載部ll、劃線部12、切割部13以及卸載部l4。裝在部ll、 劃線部12、切割部13以及卸載部14順序地配置為一列。母基板l通過裝載部 11傳送進基板切割裝置10，順序經(jīng)過劃線部12和切割部13,分離成多個單位 基板，然后經(jīng)由卸載部14,傳送出基板切割設(shè)備IO。劃線部12，利用后述劃線裝置12a，在第1母基板2或第2母基板上沿單 位基板的排列方向形成切割線(Scribe Line )。切割部13,利用切割器(Break Bar )(圖中未表示)在母基板1上形成的切割線上施加力，將母基板1切割成 單位基板。并且，在劃線部12的一側(cè)，配置有翻轉(zhuǎn)部15。翻轉(zhuǎn)部15的作用是，
將形成有切割線一面的位置與沒有形成切割線的其他面進行位置相互轉(zhuǎn)換。也 就是說，在母基板l中，在第l母基板2上首先形成切割線時，為能在第2母 基板3上也形成切割線，則將第1母基板2和第2母基板3的位置相互轉(zhuǎn)換。
圖3為，提供圖2中劃線部12的本發(fā)明提供的劃線裝置的斜視圖，圖4為 圖3中劃線裝置的平面圖，圖5為圖3中支撐部件的側(cè)視圖。
如下所示，第1方向I為后述支撐部件100的直線移動方向，第2方向I1 為垂直于劃線裝置12a平面配置構(gòu)造的第1方向I的方向，第3方向III為垂直 于第1方向I和第2方向II的方向。第1方向I和第2方向II各自對應(yīng)于在母 基板1上呈格子狀排列的單位基板2a、 3a排列方向上的任意一方向。
如圖3-圖5所示，劃線裝置12a包括支撐部件100、劃線單元200( 200a-l、 200a-2、 200b )、移動單元300 ( 300a、 300b )。支撐部件100，用來支撐母基板 1,令母基板1沿第1方向直線移動。從而形成第1方向I的切割線和第2方向 II的切割線。移動單元300，令劃線單元200向第2方向II直線移動。
移動單元300a,令劃線單元200a-l、 200a-2向第2方向II移動，以調(diào)節(jié)劃 線單元200a-l、 200a-2之間的間隔。通過調(diào)節(jié)200a-1、 200a-2之間的間隔， 第1方向I的切割線間隔也隨之被調(diào)節(jié)。形成第1方向I的切割線時，固定好 劃線單元200a-1、 200a-2,母基板1向第1方向I移動。
移動單元300b,令劃線單元200b向第2方向II直線移動。形成第2方向II 的切割線時，固定好母基板l，劃線單元200b通過移動單元300b向第2方向II 直線移動。第2方向II的切割線的間隔由母基板1的第1方向I的移動來調(diào)節(jié)。
支撐部件100包括，臺面120和驅(qū)動單元140。在臺面120上，放置母基板 1。驅(qū)動單元140令臺面120向第1方向I直線移動。
臺面120包括，上部板122和下部板124。上部板122和下部板124,為平 整的長方形，上部板122位于下部板124的上方。在上部板122上放置母基板1。上部板122與母基板1相似，或者比其有更大的面積。在上部板122的上面形 成與真空線(圖中未表示)聯(lián)結(jié)的多個孔洞(圖中未表示)，母基板l,由真空 壓力固定在上部板122的上面。同樣，在上部板122或下部板124上，設(shè)置有 將附加的母基板1固定在上部板122上的扣片(圖中未表示)。
驅(qū)動單元140,令臺面120向第1方向I直線移動。驅(qū)動單元140包括，導(dǎo) 槽142、托架144以及驅(qū)動器(圖中未表示)。導(dǎo)槽142,沿第1方向I設(shè)置很 長，并裝在底座B的中央。導(dǎo)槽142沿延長方向有相同的寬幅。導(dǎo)槽142的上 面平整，在導(dǎo)槽142的兩側(cè)面，在較長的方向形成有槽141。
臺面120，由托架144與導(dǎo)槽142聯(lián)結(jié)。托架144包括，底板145、支撐板 147以及結(jié)合板149。底板145，為平整的長方形板狀，放置在導(dǎo)槽部件142的 上面。支撐板147，固定的垂直設(shè)置于底板145的上面，為支撐臺面120而與臺 面120的下部板124固定結(jié)合。支撐板147有2個，并列配置于底板145上面 的兩側(cè)。結(jié)合板149包括，垂直結(jié)合于底板145底面的側(cè)板149a和、從側(cè)板149a 的下端延伸出的垂直于其內(nèi)側(cè)插入板149b。插入板149b,插入導(dǎo)槽142側(cè)面的 槽141中。結(jié)合板149，相互對著的提供有2個。
驅(qū)動器，提供臺面120由導(dǎo)槽142引導(dǎo)，在第l方向I上直線移動的驅(qū)動 力。作為驅(qū)動器，可以利用具備有電動機和推進器的聯(lián)合裝置。可選的，可以 用電動機、運動帶、以及皮帶輪組合而成的聯(lián)合裝置或者是用具備直線電機的 聯(lián)合裝置作為驅(qū)動器。由于上述各種聯(lián)合裝置的具體構(gòu)成，為相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的 從業(yè)人員周知，故在此省略詳細說明。
劃線單元200，包括第1劃線單元200a-l、 200a-2和第2劃線單元200b。 第1劃線單元200a-l、 200a-2，在支撐部件100的移動路徑上并列于第2方向 II上，第2劃線單元200b沿第1方向設(shè)置在第1劃線單元200a-1、 200a_2的 一側(cè)。第1劃線單元200a-l、 200a-2，在母基板1上形成第1方向I的切割線， 第2劃線單元200b在母基板1上形成第2方向II的切割線。
本實施例，雖只對作為第1劃線單元200a-l、 200a-2提供的2個劃線單元 200a-1、 200a-2進行舉例說明，當(dāng)然也可以配置多個劃線單元。第1劃線單元 200a-l、 200a-2通過后述的第1移動單元300a向第2方向II移動，調(diào)節(jié)之間間
14隔。
如圖6所示，第1劃線單元200a-l，在第2方向II上并列的配置有2個劃 線器220a-l、 240a-1，第1劃線單元200a-2，在第2方向II上并列的配置有2 個劃線器220a-2、 240a-2，并且，第2劃線單元，在第2方向II上并列的配置 有2個劃線器220b、 2楊。劃線器220a-l、 240a-l、 220a-2、 240a-2、 220b、 240b，由于為同樣的構(gòu)造，下面僅以劃線器220a-l為例進行說明，劃線器240a-l、 220a-2、 240a-2、 220b、 240b的說明則省略。
圖8為圖6中的劃線器的斜視圖，圖9為圖8中劃線器下端部分的部分截 面圖，圖IO為圖9中劃線輪的平面圖。
如圖8-圖IO所示，劃線器220a-l包括，劃線輪222、支撐體224、按壓部 件226以及振子228。劃線輪222在進行劃線時接觸母基板1并不斷轉(zhuǎn)動，在母 基板l上形成切割線。作為劃線輪222，可以用鉆石材料的輪子。在劃線輪222 的中央，形成圓形通孔222a，劃線輪222的輪邊222b非常尖銳。
劃線論222由支撐體224支撐。支撐體224包括，本體224a和軸針224b。 在本體224a的下面，在一個方向上形成貫通本體224a的槽225。軸針224b， 截面為圓形呈長條狀。軸針224b,位于槽225內(nèi)與槽225的長方向垂直。軸針 224b的兩端固定于本體224a上。軸針224b貫通形成于劃線輪222上的通孔 222b。劃線論222被軸針224b支撐，劃線論222的一部分位于槽225內(nèi)側(cè)，另 一部分從支撐體224的下面突出出來。
按壓部件226,在劃線輪222和母基板1接觸時，為讓劃線輪222能有一定 的力施加在母基板l上，因而要給劃線輪222加壓。通過一例，按壓部件226 位于支撐體224的上部，利用氣動將支撐體224向下壓下，因而給劃線輪222 加壓。
振子228,在劃線工作進行時，向劃線輪222加以振動。振子228，放置在 本體224a的內(nèi)部，作為振子228，可以采用超聲波振子。
同樣，如圖3-圖5所示，移動單元300包括，第1移動單元300a和第2移 動單元300b。第1移動單元300a，令第1劃線單元200a-l、 200a_2向第2方 向II移動，使得第1劃線單元200a-l、 200a-2對齊母基板1上的第1方向I的切割預(yù)定線。第2移動單元300b,令第2劃線單元200b沿母基板1上的第2方 向II的切割預(yù)定線移動。并且，第1劃線單元200a-l、 200a-2的直線移動和第 2劃線單元200b的直線移動都由導(dǎo)槽部件370引導(dǎo)。
第1移動單元300a包括，第1垂直支撐臺310、第l托架330-1、 330-2、 以及第1驅(qū)動部件350。第1垂直支撐臺310，在第2方向II上間隔一定距離配 置。第1垂直支撐臺310被配置為，母基板l沿第1方向直線移動時，母基板l 能夠通過第l垂直支撐臺310下面的空間。在第l垂直支撐臺310的上端設(shè)置 有導(dǎo)槽部件370,導(dǎo)槽部件370的較長方向，對齊第2方向I1。在導(dǎo)槽部件370 的上面以及下面沿較長方向設(shè)有長槽372、 374。
第1劃線單元200a-l，通過第1托架330-1與導(dǎo)槽部件370結(jié)合，第1劃 線單元200a-2,通過第1托架330-2與導(dǎo)槽部件370結(jié)合。因為第1托架330-1 、 330-2為相同的構(gòu)造，故以下只針對第1托架330-1進行說明。第1托架330-1， 如圖6所示，包括支撐板332和結(jié)合板334。支撐板332為平整的長方形板狀， 位于導(dǎo)槽部件370 —個側(cè)面上。結(jié)合板334，包括從支撐板332的上側(cè)以及下側(cè) 突出出來垂直于支撐板332的側(cè)板334a和插入導(dǎo)槽部件370的長槽372中的插 入板334b。
第1驅(qū)動部件350,提供讓第1托架330-1、 330-2沿導(dǎo)槽部件370直線移 動的驅(qū)動力。第1驅(qū)動部件350,包括和導(dǎo)槽部件370平行配置的第1絲杠352、 354。如圖7A所示，在第1絲杠352上，裝有能夠直線移動的第1托架330-1, 在第1絲杠354上，裝有能夠直線移動330-2。也就是說，在第1托架330-1中 插入第1絲杠352、 354，第l絲杠352嚙合第l托架330-1內(nèi)所形成的內(nèi)螺紋 335-1，相應(yīng)的，第l絲杠354貫通第l托架330-1內(nèi)所形成的通孔336-1，但 不與通孔336-1接觸。同樣的，在第1托架330-2中插入第1絲杠352、 354, 第1絲杠352貫通托架330-2內(nèi)所形成的通孔336-2,但不與通孔336-2接觸， 相應(yīng)的，第l絲杠354嚙合第l托架330-2內(nèi)所形成的內(nèi)螺紋335-2。
驅(qū)動第1絲杠352時，第1托架330-1直線移動，第1托架330-2不移動， 驅(qū)動第1絲杠354時，第1托架330-1不移動，第1托架330-2直線移動。由 于這種移動方式，與第1托架330-1聯(lián)結(jié)的第1劃線單元200a-l和與第1托架330-2聯(lián)結(jié)的第1劃線單元200a-2，能夠沿第2方向II移動，調(diào)節(jié)第1劃線單 元200a-l、 200a-2之間的間隔。
在第1絲杠352的一端，連接有提供旋轉(zhuǎn)力的第1驅(qū)動器323,在第1絲杠 354的一端，連接有提供旋轉(zhuǎn)力的第1驅(qū)動器355。作為第1驅(qū)動器353、 355, 可以利用電動機等的驅(qū)動器。雖僅以具備電動機和絲杠的聯(lián)合裝置作為第l馬區(qū) 動器進行說明，但也可以利用諸如其他的汽缸等各種驅(qū)動器向第l托架330-1 、 330-2提供直線驅(qū)動力。
如圖6所示，第1劃線單元200a-l，固定在第1托架330-1的支撐板332 上，能夠上下移動。通過一例，在支撐板332上，在第3方向III上形成狹縫狀 的引導(dǎo)槽331，第1劃線單元200a-l的劃線器220a-l、 240a-l插入引導(dǎo)槽331 各自與支撐軸(圖中未表示)結(jié)合。第1劃線單元200a-2也與第l托架330-2 聯(lián)結(jié)，也能上下移動，其聯(lián)結(jié)構(gòu)造因與第1劃線單元200a-l的聯(lián)結(jié)構(gòu)造相同， 故省略對其說明。
第2移動單元300b包括，第2垂直支撐臺310'、第2托架330'、以及第2 驅(qū)動部件35(K。第2垂直支撐臺310'，在第2方向II間隔一定距離配置。第2 垂直支撐臺310'被配置為，母基板l沿第1方向直線移動時，母基板l能夠通 過第2垂直支撐臺310'下面的空間。并且，第2垂直支撐臺31(T被配置為， 其上端與固定在第1垂直支撐臺上端的導(dǎo)槽部件370固定結(jié)合。
第2劃線單元200b，通過第2托架330'與導(dǎo)槽部件370相結(jié)合。因第2 托架與上述的第1托架330-1有相同的構(gòu)造，故省略對其的說明。
第2驅(qū)動部件350、如圖4所示，提供第2托架330'沿導(dǎo)槽部件370直 線移動的驅(qū)動力。第2驅(qū)動部件35(K包括與導(dǎo)槽部件370平行配置的第2絲杠 352'。如圖7B所示，在第2絲杠352'上，裝有能夠直線移動的第2托架330'。 也就是說，第2托架330'內(nèi)形成的內(nèi)螺紋335'與第2絲杠35^相嚙合。通 過這種移動方式，與第2托架33(T相聯(lián)結(jié)的第2劃線單元200b就能沿第2方 向II移動。
在第2絲杠352'的一端，聯(lián)結(jié)提供旋轉(zhuǎn)力的第2驅(qū)動器353、第2驅(qū)動 器353'可以用電動機等驅(qū)動器。雖僅以具有電動機和絲杠的聯(lián)合裝置作為第2驅(qū)動部件350'為例進行說明，但也可以利用諸如其他的汽缸等各種驅(qū)動器向第
2托架330'提供直線驅(qū)動力。
第2劃線單元200b，與第2托架33(K聯(lián)結(jié)，能夠上下移動，其聯(lián)結(jié)構(gòu)造 與上述第1劃線單元200a-l的聯(lián)結(jié)構(gòu)造相同，故省略對其說明。
上述第1以及第2移動單元300a、 300b的動作，受控制單元400的控制。 控制單元400,控制第1移動單元300a的第1驅(qū)動器353、 355和第2移動單元 300b的第2驅(qū)動器353'的動作。通過控制第l驅(qū)動器353、 355,第1劃線單 元200a-l、 200a-2向第2方向II移動，能夠調(diào)節(jié)第1劃線單元200a_l、 200a-2 之間的間隔。同樣，通過控制第2驅(qū)動器353'，第2劃線單元200b能夠向第2 方向II移動。
利用含有上述構(gòu)成的本發(fā)明提供的基板切割設(shè)備，說明平板顯示器面板的 制造過程，如下所示
圖11為利用本發(fā)明提供的基板切割設(shè)備制造平板顯示器面板的制造過程順 序流程圖。
如圖ll所示，首先裝載母基板(S10),然后對第l母基板進行劃線工藝 (S20)。在第l母基板上形成切割線后，翻轉(zhuǎn)母基板(S30),在第2母基板上 形成切割線(S40)。這樣的，進行完對第1以及第2母基板的劃線后，再進行 切割工藝(S50 )。通過切割將模板1分離成多個單位基板，卸載單位基板(S60 )， 對單位基板進行清洗。
下面，對利用本發(fā)明提供的劃線裝置12a，在母基板1進行劃線的過程進行 說明。
圖12A-圖12K為利用本發(fā)明提供的劃線裝置，在母基板上生成切割線的過 程的示意圖。
母基板l放置在臺面120的上部板122上。臺面120通過驅(qū)動器(圖中未 表示)向第1方向I直線移動(圖12A)。移動臺面120到既定位置(也就是說， 將母基板l的第1切割預(yù)定線a對齊第2劃線單元200b的位置)時，臺面U0 的移動停止(圖12B)。
然后，第2劃線單元200b在第2方向II上對準母基板1的第1切割預(yù)定線
18a,在此狀態(tài)下，驅(qū)動第2移動單元300b的第2驅(qū)動器353、令第2劃線單元 200b向母基板1的一側(cè)方向移動。這時，第2劃線單元200b的劃線器220b、 240b中的任意一個劃線器220b、 240b向下移動，處于能與母基板1相接觸高度， (圖12C)。
在這種狀態(tài)下，驅(qū)動第2移動單元300b的第2驅(qū)動其353',令第2劃線單 元200b沿第2方向移動，橫切母基板l。這時，第2劃線單元200b的劃線器 220b、 240b中，與母基板l相接觸的劃線器在母基板l上形成了切割線。由于 沿切割預(yù)定線連續(xù)的形成裂紋，在母基板1上，最終形成切割線。切割線形成 后，第2劃線單元200b的劃線器220b、 240b向上移動(圖12D )。
臺面120,由驅(qū)動器(圖中未表示)向第1方向I直線移動。移動到臺面 120預(yù)先設(shè)定好的位置(也就是說，將母基板1的第2切割預(yù)定線b對齊第2劃 線單元200b的位置)時，臺面120的移動停止。并且，第2劃線單元200b的 劃線器220b、 240b中的任意一個劃線器220b、 240b向下移動，處于能與母基 板l相接觸高度，(圖12E)。
然后，驅(qū)動第2移動單元300b的第2驅(qū)動器353'，令第2劃線單元^0b 沿第2方向II移動，橫切母基板l。這時，第2劃線單元200b的劃線器220b、 240b中與母基板1接觸的劃線器在母基板1上形成了裂紋。由于沿切割預(yù)定線 b連續(xù)的形成裂紋，因而在母基板l上形成了切割線。切割線形成以后，第2劃 線單元200b的劃線器220b、 240b向上方移動(圖12F )。
反復(fù)以上說明的過程，沿余下的切割預(yù)定線c、 d在母基板上形成切割線， 然后，臺面120通過驅(qū)動器(圖中未表示)向第1方向I直線移動。移動到臺 面120到既定位置時，臺面120停止移動(圖12G)。
然后，驅(qū)動第l移動單元300a的驅(qū)動器353、 355，調(diào)節(jié)第1劃線單元200a-l、 200a-2之間的間隔。第l移動單元300a,令第1劃線單元200a-l移動到既定 位置(也就是說，將第1劃線單元200a-l對齊母基板1的切割預(yù)定線e的位置)， 令第1劃線單元200a-2移動到既定位置(也就是說，將第1劃線單元200a_2 對齊母基板1的切割預(yù)定線f的位置)。這時，第1劃線單元200a-1的劃線器 220a-l、 240a-1中的任意一個劃線器220a-l、 240a-1向下移動，處于能與母基板l相接觸高度，第1劃線單元200a-2的劃線器220a-2、 240a-2中的任意一 個劃線器220a-2、 240a-2向下移動，處于能與母基板1相接觸高度(圖12 H )。
第1劃線單元200a-l、 200a-2沿第方向I對準母基板1的切割預(yù)定線e、f， 在此狀態(tài)下，臺面120通過驅(qū)動器(圖中未表示)向第1方向I直線移動。臺 面120移動到既定位置(也就是說，沿母基板1的切割預(yù)定線e、 f在母基板1 上形成切割線的位置)時，臺面120的移動停止(圖121)。
然后，驅(qū)動第l移動單元300a的驅(qū)動器353、 355,移動第1劃線單元200a-l、 200a-2，令第l劃線單元200a-l、 200a-2對準切割預(yù)定線g、 h。通過第1移動 單元300a，第1劃線單元200a-l移動到既定位置(也就是說，令第1劃線單元 200a-l對準母基板1的切割預(yù)定線g的位置)，第1劃線單元200a-2，移動到 既定位置(也就是說，令第1劃線單元200a-2對準母基板1的切割預(yù)定線h的 位置)。這時，第1劃線單元200a-1的劃線器220a-1、 240a-l中的任意一個劃 線器220a-l、 240a-l向下移動，處于能與母基板1相接觸高度，第1劃線單元 200a-2的劃線器220a-2、 240a-2中的任意一個劃線器220a-2、 240a-2向下移 動，處于能與母基板l相接觸高度(圖12J)。
第1劃線單元200a-l、 200a-2沿第1方向I對準母基板1的切割預(yù)定線g、 h，在此狀態(tài)下，臺面120在驅(qū)動器(圖中未表示)的作用下向第1方向I直線 移動。臺面120移動到既定位置時(也就是說，沿母基板l的切割預(yù)定線g、 h 在母基板l上形成切割線的位置)，臺面120的移動停止。(圖12K)。
如以上說明的那樣，本發(fā)明提供的劃線裝置以及基板切割設(shè)備，能夠形成 母基板的平面上單位基板的排列方向中的任意方向，例如第2方向II的切割線， 然后，不用旋轉(zhuǎn)母基板，能夠以此狀態(tài)再形成垂直于第2方向II的第1方向I 的切割線。在此，切割線的形成順序，僅僅不過是示例，也可以先形成第l方 向I的切割線，再形成垂直于第1方向I的第2方向II的切割線。
這樣一來，由于在切割線的形成過程中不需要旋轉(zhuǎn)基板，所以能夠縮短全 部工藝的時間，并因此使得劃線工作的生產(chǎn)效率得到很大提高。
以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于 此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng) 所述以權(quán)利要求的保護范圍為準。
權(quán)利要求
1、一種為將多個單位基板所形成的母基板分離成單位基板的進行劃線工序的劃線裝置，其特征在于，包括所述母基板被放置、能夠向第1方向直線移動的支撐部件，和提供在所述支撐部件的移動路徑上的、在所述母基板上形成切割線的多個劃線單元；所述劃線單元，包括在所述母基板上形成所述第1方向的切割線的第1劃線單元，和在所述母基板上形成垂直于所述第1方向的第2方向的切割線的第2劃線單元。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃線裝置，其特征在于，所述第l劃線單元，在 所述第2方向上并列的提供有多個。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的劃線裝置，其特征在于，所述第2劃線單元，沿 所述第1方向提供在所述第1劃線單元的任意一側(cè)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的劃線裝置，其特征在于，進一步包括令所述多 個第1劃線單元向所述第2方向移動，使所述多個第1劃線單元對齊所述母基 板上的所述第1方向的切割預(yù)定線的第1移動單元。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的劃線裝置，其特征在于， 所述第1移動單元，包括與所述第1劃線單元各自聯(lián)結(jié)的第l托架，和插入所述所有第1托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第1絲杠，和 令所述第1絲杠各自旋轉(zhuǎn)的第1驅(qū)動器；在所述第1托架中，為能與所述第1絲杠中的任意一個第1絲杠進行螺紋 結(jié)合，而形成第1內(nèi)螺紋部。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的劃線裝置，其特征在于，進一步包括沿所述母 基板上的所述第2方向的切割預(yù)定線，令所述第2劃線單元移動的第2移動單元；所述第2移動單元，包括與所述第2劃線單元聯(lián)結(jié)的第2托架，和插入所述第2托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第2絲杠，和 令所述第2絲杠旋轉(zhuǎn)的第2驅(qū)動器；在所述第2托架中，為能與所述第2絲杠螺紋結(jié)合而形成第2內(nèi)螺紋部。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的劃線裝置，其特征在于，進一步包括與第l絲 杠以及第2絲杠平行配置的，引導(dǎo)所述第1托架以及所述第2托架直線移動的 導(dǎo)槽部件。
8、 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的劃線裝置，其特征在于，包括所述第1劃線單元和所述第2劃線單元各自在所述第2方向上并列配置有2 個劃線器；所述第1劃線單元的所述劃線器，沿所述第1方向形成彼此方向相反的切 割線，所述第2劃線單元的所述劃線器，沿所述第2方向形成彼此方向相反的切 割線。
9、 一種基板切割設(shè)備，其特征在于，包括裝載多個單位基板所形成的母基板的裝載部，和 在被從所述裝載部傳送的所述母基板上生成切割線的劃線部，和 沿在所述母基板上生成的切割線，將所述母基板分離成單位基板的切割部，和卸載分離后的所述單位基板的卸載部； 所述劃線部，包括所述母基板被放置、能夠向第1方向直線移動的支撐部件，和 在所述支撐部件移動的路徑上，在垂直于所述第1方向的第2方向上并列配置的、在所述母基^Ji形成所述第1方向的切割線的多個第1劃線單元，和 沿所述第1方向提供在所述第1劃線單元的任意一側(cè)的、在所述母基板上形成所述第2方向的切割線的第2劃線單元。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，進一步包括令 所述多個第1劃線單元向所述第2方向移動，使得所述多個第1劃線單元對齊 所述母基板上的所述第1方向的切割預(yù)定線的第1移動單元。
11、 根據(jù)權(quán)利要求IO所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述第1移動單元，包括與所述第1劃線單元各自聯(lián)結(jié)的第l托架，和插入所述所有第1托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第1絲杠，和令所述第1絲杠各自旋轉(zhuǎn)的第1驅(qū)動器；在所述第1托架中，為能與所述第1絲杠中的任意一個第1絲杠螺紋結(jié)合而形成了第l內(nèi)螺紋部。
12、 根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，進一步包括沿所述基板上的所述第2方向的切割預(yù)定線，令所述第2劃線單元移動的第2移動單元；所述第2移動單元包括與所述第2劃線單元聯(lián)結(jié)的第2托架，和插入所述第2托架、軸方向平行于所述第2方向配置的第2絲杠，和令所述第2絲杠旋轉(zhuǎn)的第2驅(qū)動器；在所述第2托架中，為能與所述第2絲杠螺紋結(jié)合而形成了第2內(nèi)螺紋部。
13、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，進一步包括與第1絲杠以及第2絲杠平行配置的、引導(dǎo)所述第1托架以及所述第2托架直線移動的導(dǎo)槽部件。
14、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，包括所述第1劃線單元和所述第2劃線單元各自在所述第2方向上并列配置有2個劃線器；所述第1劃線單元的所述劃線器，沿所述第1方向形成彼此方向相反的切割線，所述第2劃線單元的所述劃線器，沿所述第2方向形成彼此方向相反的切割線。
15、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板切割設(shè)備，其特征在于，所述母基板為平板顯示器基板。
16、 一種提供多個劃線單元、將單位基板所形成的母基板分離成單位基板的基板切割方法方法，其特征在于，包括多個劃線單元，包括在垂直于所述母基板直線移動的第1方向的第2方向上、并列配置的第1劃線單元，和沿所述第1方向配置于所述第1劃線單元的任意一側(cè)的第2劃線單元；利用所述第1劃線單元，在所述母基板上在所述第1方向上形成切割線，利用所述第2劃線單元，在所述母基板上在所述第2方向上形成切割線。
17、 根據(jù)權(quán)利要求16所述的基板切割方法，其特征在于，包括在形成所述第1方向的切割線時，所述第1劃線單元，被固定，所述母基板向所述第1方向直線移動；在形成所述第2方向的切割線時，所述母基板被固定，所述第2劃線單元，向所述第2方向直線移動。
18、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的基板切割方法，其特征在于，包括所述第l方向的切割線，同時形成多條。
19、 根據(jù)權(quán)利要求18所述的基板切割方法，其特征在于，包括調(diào)節(jié)所述第1劃線單元之間的間隔，在所述母基板上形成所述第1方向的切割線。
20、 根據(jù)權(quán)利要求17所述的基板切割方法，其特征在于，包括所述母基板沿所述第1方向階段性的不斷移動，令所述第2劃線單元對齊所述母基板上的第2方向的切割預(yù)定線、在所述母基板上形成第2方向的切割線。
全文摘要
本發(fā)明實施例公開一種劃線裝置和利用該劃線裝置切割基板的設(shè)備及方法，涉及用于制造平板顯示器面板的設(shè)備及方法，解決了在進行劃線工藝的過程中需要旋轉(zhuǎn)母基板這一問題。具體方案為包括母基板被放置、能夠向第1方向直線移動的支撐部件，和提供在支撐部件的移動路徑上的、在母基板上形成切割線的多個劃線單元；劃線單元包括在母基板上形成所述第1方向的切割線的第1劃線單元，和在母基板上形成垂直于所述第1方向的第2方向的切割線的第2劃線單元。本發(fā)明實施例用于制造平板顯示器面板。
文檔編號C03B33/00GK101525211SQ20081017655
公開日2009年9月9日 申請日期2008年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月5日
發(fā)明者樸俊禹, 金民雄 申請人:細美事有限公司