專利名稱：線切割機硅片收集槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種單晶硅生產(chǎn)過程中使用的線切割 機硅片收集槽。
背景技術(shù)：
在單晶硅生產(chǎn)過程中需要通過線切割機將硅棒切成硅 片，切割后的硅片落入硅片收集槽中。在硅片下落至收集槽 時會產(chǎn)生相互擠壓、重疊，拾取時極易導(dǎo)致硅片破損。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題， 提供一種可防止硅片下落后擠壓、重疊，確保撿取時硅片完 好無損的線切割機硅片收集槽。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的它有一個槽體，在槽體兩個 端面設(shè)有扶手，其特殊之處是在槽體內(nèi)放置有支架，在支 架上部設(shè)置有橫向隔筋，在支架下部設(shè)置有縱向支撐筋。
本實用新型的優(yōu)點是通過設(shè)置在收集槽中的支架，可 使被切割的硅片沿二個相鄰的橫向隔筋之間落入支架中并 通過縱向支撐筋支撐，降低硅片下落高度，防止硅片擠壓、 重疊、平落，確保硅片完好無損，并且方便撿取。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖所示，本實用新型有一個槽體l，槽體l一端為活 動門結(jié)構(gòu)，在槽體1兩個端面上設(shè)有扶手2，以便于取出單 晶硅片。在槽體1內(nèi)放置有支架3，在支架3上部沿水平方
向設(shè)置有橫向隔筋4，在支架3下部沿水平方向設(shè)置有縱向 支撐筋5。
權(quán)利要求1、一種線切割機硅片收集槽，包括一個槽體，在槽體兩個端面設(shè)有扶手，其特征是在槽體內(nèi)放置有支架，在支架上部設(shè)置有橫向隔筋，在支架下部設(shè)置有縱向支撐筋。
專利摘要一種線切割機硅片收集槽，解決了在單晶硅生產(chǎn)過程中將硅棒進行線切割時硅片落入硅片收集槽中會產(chǎn)生相互擠壓、重疊，拾取時極易導(dǎo)致硅片破損的問題。它有一個槽體，在槽體兩個端面設(shè)有扶手，其特殊之處是在槽體內(nèi)放置有支架，在支架上部設(shè)置有橫向隔筋，在支架下部設(shè)置有縱向支撐筋。優(yōu)點是可防止硅片下落后擠壓、重疊，確保撿取時硅片完好無損。
文檔編號B28D5/04GK201325127SQ200820232270
公開日2009年10月14日 申請日期2008年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月25日
發(fā)明者馬軍正 申請人:錦州日鑫硅材料有限公司